DE10161042B4 - Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeichers und Halbleiterspeicher - Google Patents

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Abstract

Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeichers (1) mit mehreren Speicherbereichen (B1, B2, B3), bei dem Informationen (DQ) in Speicheradressen (A) geschrieben und aus den Speicheradressen (A) wieder ausgelesen werden und bei dem eine Fehlerprüfung der Informationen (DQ) durchgeführt wird, wobei Speicheradressen (A) aus mindestens drei Speicherbereichen (B1, B2, B3) in der Weise zueinander parallelgeschaltet werden, daß jeder Schreib- oder Lesevorgang auf eine Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) zugreift, die jeweils eine Speicheradresse (Aij1; Aij2; Aij3) aus jedem Speicherbereich (B1; B2; B3) umfaßt,
wobei beim Schreiben dieselbe Information (DQij) an alle Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) geleitet wird und
wobei die Fehlerprüfung in der Weise durchgeführt wird, daß geprüft wird, ob die Informationen (DQij1, DQji2, DQij3) der Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) untereinander identisch sind, dadurch gekennzeichnet,daß
dann, wenn die Fehlerprüfung ergibt,daß die Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) in den Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) nicht untereinander identisch sind, eine Korrektur vorgenommen wird, bei der derjenige Datenwert (DQij), mit dem die meisten Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) der Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) der Gruppe (Gij) übereinstimmen, in alle Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) dieser Gruppe (Gij) geschrieben wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeichers mit mehreren Speicherbereichen, bei dem Informationen in Speicheradressen geschrieben und aus den Speicheradressen wieder ausgelesen werden und bei dem eine Fehlerprüfung der Informationen durchgeführt wird, wobei Speicheradressen aus mindestens drei Speicherbereichen in der Weise zueinander parallelgeschaltet werden, daß jeder Schreib- oder Lesevorgang auf eine Gruppe von Speicheradressen zugreift, die jeweils eine Speicheradresse aus jedem Speicherbereich umfaßt, wobei beim Schreiben dieselbe Information an alle Speicheradressen einer Gruppe geleitet wird und wobei die Fehlerprüfung in der Weise durchgeführt wird, daß geprüft wird, ob die Informationen der Speicheradressen einer Gruppe untereinander identisch sind. Derartige Verfahren sind aus DE 44 41 007 C2 und DE 199 16 065 A1 bekannt.
  • Die Erfindung betrifft ferner einen Halbleiterspeicher nach dem Oberbegriff des Anspruchs 18.
  • In integrierten Halbleiterspeichern werden in einer Vielzahl von Speicherzellen Informationen in Form von Ladungsmengen gespeichert. Die gespeicherten Informationen müssen bei nichtflüchtigen Halbleiterspeichern über eine lange Zeit, bei flüchtigen Halbleiterspeichern zumindest für die Zeitdauer bis zum nächsten Wiederauffrischungsvorgang gespeichert bleiben. Toleranzen bei der Fertigung integrierter Halbleiterschaltungen und nicht vollständig vermeidbare Leckströme können zu einem Abfließen solcher Ladungen führen. Solche Einflüsse lassen sich durch verbesserte Herstellungstechnologien beseitigen.
  • Die Zuverlässigkeit der Speicherung von Informationen wird ferner durch äußere Einflüsse, insbesondere Alphastrahlung, beeinflußt. Alphateilchen, die in einen integrierten Halbleiterspeicher eindringen, erzeugen Sekundärladungen, die unkontrolliert abfließen und dadurch in Speicherzellen gespeicherte Ladungsmengen verändern können. Da das Eindringen von Alphastrahlung nicht vermieden werden kann, geben Hersteller von Halbleiterprodukten Fehlertoleranzen an, durch die eine obere Schranke für die Wahrscheinlichkeit eines Fehlers bei der Speicherung von Informationen festgelegt wird. Insbesondere bei sicherheitsrelevanten Schaltungen darf die Ausfallwahrscheinlichkeit nur wenige Speicherfehler pro eine Million Speicherzellen betragen.
  • Angesichts der nicht völlig auszuschließenden Fehler beim Betrieb eines integrierten Halbleiterspeichers werden aufwendige ECC-Module (Error Code Correction) eingesetzt, in denen zeitaufwendige Fehlerkorrekturen durchgeführt werden. Beispielsweise werden Prüfsummen gebildet, mit denen sich fehlerhafte Datenbits erkennen lassen. Die Module bestehen aus mehreren Halbleiterbausteinen, die beispielsweise auf einer Leiterplatte angeordnet sind. Damit werden in zeitlichen Abständen Wiederaufbereitungen der Speicherinformationen, sogenannte Memory Scrubbings durchgeführt, um eine Anhäufung von Fehlern in einzelnen Speicherzellen zu beheben, bevor Fehler in zueinander benachbarten oder einander zugeordneten Speicherzellen entstehen, die sich nicht mehr beseitigen lassen. Der technische Aufwand, die Kosten und der Zeitaufwand für solche korrigierenden Eingriffe in den Halbleiterspeicher von außen sind sehr hoch.
  • Um eine zuverlässige Speicherung ohne solche Eingriffe von außen zu erreichen, kann vorgesehen sein, daß die Speicheradressen aus mindestens drei Speicherbereichen in der Weise zueinander parallel geschaltet werden, daß jeder Schreiboder Lesevorgang auf eine Gruppe von Speicheradressen zugreift, die jeweils eine Speicheradresse aus jedem Speicher bereich umfaßt, daß beim Schreiben dieselbe Information an alle Speicheradressen einer Gruppe geleitet wird und daß die Fehlerprüfung in der Weise durchgeführt wird, daß geprüft wird, ob die Informationen der Speicheradressen einer Gruppe untereinander identisch sind.
  • Dabei wird eine Mehrfachspeicherung eingesetzt, bei der die zu speichernden Daten mehrfach, und zwar mindestens dreifach gespeichert werden. Da jedes Datenbit der Erfindung zufolge in drei verschiedenen Speicherzellen gespeichert wird, die sich in verschiedenen Speicherbereichen befinden und räumlich auseinander liegen, ist ein Speicherfehler in mehr als einer dieser Speicherzellen gleichzeitig unwahrscheinlich. Man kann daher davon ausgehen, daß zwei Speicherzellen das gespeicherte Datenbit richtig wiedergeben. Beim Auslesen eines Datenbits wird auf alle drei Speicherzellen, in die dieses Datenbit geleitet wurde, zugegriffen. Es findet eine Fehlerprüfung statt, die anders als herkömmliche ECC-Korrekturen keine zusätzlichen Daten erfordert, um die Richtigkeit der gelesenen Informationen zu überprüfen. Statt dessen wird geprüft, ob die aus den mindestens drei Speicherzellen gelesenen Informationen, untereinander übereinstimmen oder nicht. Sofern aus allen drei Speicherzellen derselbe Wert des Datenbits gelesen wird, kann mit an Sicherheit grenzender Wahrscheinlichkeit ein Speicherfehler ausgeschlossen werden. Lediglich dann, wenn eine der Speicherzellen, in die dasselbe Datenbit geleitet wurde, ein anderes Datenbit ausgibt als die übrigen Speicherzellen, liegt ein Speicherfehler oder Lesefehler vor.
  • Diese Vorgehensweise hat den Vorteil, daß die Fehlerprüfung auf dem Halbleiterspeicher und durch den Halbleiterspeicher selbst durchgeführt werden kann. Der Grund liegt darin, daß keine zusätzlichen Informationen wie beispielsweise Prüfsummen benötigt werden, um die Richtigkeit der gespeicherten Daten zu überprüfen. Durch einen bloßen Vergleich mehrfach auf dem Halbleiterspeicher gespeicherter Informationen läßt sich der richtige Datenwert ermitteln; der Vergleich kann in einer kleinen Teilschaltung auf dem Halbleiterschalter durchgeführt werden. Dadurch entfallen die aufwendigen Maßnahmen, die bisher für einen einigermaßen fehlerfreien Betrieb eines Halbleiterspeichers erforderlich waren. Der erfindungsgemäße Vergleich der mehrfach gespeicherten Daten erfolgt auf dem Chip.
  • Ein in dieser Weise betriebener Halbleiterspeicher besitzt eine geringere Speicherkapazität, als wenn er jede Information nur einmal speichert. Dafür jedoch ist die Zuverlässigkeit der Speicherung höher als bei einer Einfachspeicherung, die mit Hilfe aufwendiger ECC-Korrekturen kontrolliert wird.
  • Das oben beschriebene Verfahren bietet die Möglichkeit, festzustellen, welche Gruppe von Speicheradressen, auf die während eines Schreib- oder Lesevorgangs gleichzeitig zugegriffen wird, eine oder mehrere Speicherzellen enthält, die eine von den übrigen Speicherzellen dieser Gruppe abweichende und somit falsche Information gespeichert hat.
  • Es ist mit diesem Verfahren jedoch nicht möglich, festzustellen, welche dieser mehreren Speicherzellen, auf die gleichzeitig zugegriffen worden ist, die falsche Information gespeichert hat. Hierzu wäre eine Kenntnis des jeweils gespeicherten Datenwertes selbst erforderlich; auf diese Kenntnis jedoch wird bei dem oben beschriebenen Verfahren gerade verzichtet. Somit ist es nicht ohne weiteres möglich, diejenige der zueinander parallelgeschalteten Speicherzellen zu bestimmen, die den falschen Datenwert gespeichert hat und überschrieben werden muß.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeichers bereitzustellen, bei dem ohne Kenntnis der Datenwerte selbst, die in den Speicherzellen einer Gruppe zueinander parallelgeschalteter Speicherzellen gespeichert sind, in diejenige Speicherzelle, die einen falschen Datenwert speichert, der richtige, zu speichernde Datenwert überschrieben werden kann, ohne in die übrigen Speicherzellen der Gruppe von Speicherzellen den falschen Datenwert zu überschreiben.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst, bei dem dann, wenn die Fehlerprüfung ergibt, daß Informationen in den Speicheradressen einer Gruppe nicht untereinander identisch sind, eine Korrektur vorgenommen wird, bei der derjenige Datenwert, mit dem die meisten Informationen der Speicheradressen der Gruppe übereinstimmen, in alle Speicheradressen dieser Gruppe geschrieben wird.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren sieht somit vor, daß alle Speicheradressen einer Gruppe von Speicheradressen ausgelesen und die gelesenen Informationen durch ein Datenbit ersetzt werden, das dem aus den meisten dieser Speicheradressen gelesenen Datenwert entspricht. Dieses Datenbit wird anschließend in alle Speicheradressen dieser Gruppe zurückgeschrieben und dadurch ein etwaiger Speicherfehler überschrieben. Dadurch wird die mindestens dreifache Speicherung der jeweils richtigen Information, bzw. des jeweils richtigen Datenwertes wiederhergestellt.
  • Ein wesentlicher Vorzug der erfindungsgemäßen Korrektur von Fehlern besteht darin, daß sie instantan, d. h. sofort nach einem Zugriff auf Speicherzellen erfolgen kann. Es ist keine Weiterleitung zu einem Schaltkreis außerhalb des Halbleiterbausteins oder zu einem weiteren Halbleiterbaustein erforderlich. Insbesondere kann die Fehlerkorrektur bei einem Auslesevorgang automatisch durchgeführt werden.
  • Bevorzugte Ausführungsarten sehen vor, daß die Speicherbereiche Speicherbänke sind und daß Speicheradressen aus genau vier Speicherbänken zueinander parallel geschaltet werden. Diese Ausführungsarten nutzen die Architekturen handelsüblicher Halbleiterspeicher aus, deren Speicherzellenfelder in Bänke unterteilt sind. Jede Speicherbank hat die gleiche Größe, d. h. die gleiche Anzahl von Speicherzellen. Vorausset zung ist, daß nicht weniger als drei Speicherbänke vorgesehen ist. Halbleiterspeicher mit zwei Speicherbänken müssen in kleinere Speicherbereiche als die Speicherbänke unterteilt werden, um auf die erfindungsgemäße Weise betrieben werden zu können. Eine Redundanz an Speicherbänken wirkt sich nicht nachteilig auf das erfindungsgemäße Verfahren aus.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß auch bei einem Wiederauffrischen der Speicherinformationen diese Fehlerkorrektur automatisch durchgeführt wird.
  • Eine andere Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß der Halbleiterspeicher testweise betrieben wird, wobei wiederholt Informationen in verschiedene Gruppen von Speicheradressen geschrieben und aus ihnen ausgelesen werden, wobei die Reihenfolge, in der nacheinander auf verschiedene Gruppen von Speicheradressen zugegriffen wird, beim Auslesen von Informationen eine andere ist als beim Schreiben von Informationen. Die vorliegende Erfindung eröffnet neue Möglichkeiten zum Testen eines Halbleiterspeichers, die sich aufgrund der Art der vorgenommenen Fehlerkorrektur ergeben. Aufgrund des internen Vergleichs der aus den Speicherzellen, in die eine Information mehrfach geschrieben wurde, ausgelesenen Datenwerte kann die Richtigkeit der Information aus ihnen selbst ermittelt werden. Es sind keine zusätzlichen Informationen wie etwa Prüfsummen oder Quersummen erforderlich. Insbesondere ist nicht erforderlich, daß festgehalten wird, welcher Wert ursprünglich in die Speicherzellen geschrieben wurde. Bei jedem herkömmlichen Verfahren zum Testen eines Halbleiterspeichers muß das Datenbit, das zum Speichern in den Halbleiterspeicher geleitet wurde, mit demjenigen Datenbit, das aus ihm ausgelesen wurde, verglichen werden, um einen Speicherfehler festzustellen. Der Vergleich könnte dadurch ermöglicht werden, daß die Abfolge von Informationen und angesprochenen Speicherzellen außerhalb des Halbleiterspeichers erfaßt wird und später mit dem Ausleseergebnis verglichen wird. Vorzugsweise vermeidet man eine solche zusätzliche Speicherung, indem man die in die Speicherzellen einzuspeicherenden Informationen in geordneter Reihenfolge eingibt und in der selben geordneten Reihenfolge wieder ausliest. Die Reihenfolge des Ansprechens verschiedener Zellen ist insofern geordnet, als sie beim Einschreiben in die Zellen und Auslesen aus den Zellen identisch ist. Andernfalls ist ein unmittelbarer Vergleich von ursprünglicher und wiedergegebener Information nicht gültig. Durch die notwendige Übereinstimmung der Schreib- und Lesereihenfolge sind die Testmöglichkeiten zum Testen eines Halbleiterspeichers sehr beschränkt. So vergeht immer dieselbe Zeit zwischen Speichern und Lesen, unabhängig von der angesprochenen Speicherzelle. Dadurch werden statistische Speicherfehler nur teilweise entdeckt.
  • Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens jedoch kann ein Speichertest auch mit unterschiedlichen Reihenfolgen für das Lesen und Schreiben ausgeführt werden. Eine Zuordnung beider Reihenfolgen zueinander ist nicht mehr erforderlich, da sich die Richtigkeit der gelesenen Datenbits aus ihnen selbst, d. h. aus dem bei der Dreifachspeicherung mehrheitlich ausgelesenen Bitwert ergibt. Dadurch kann in anderer Reihenfolge lesend auf die Zellen zugegriffen werden als schreibend.
  • Eine Weiterbildung dieses Testverfahrens sieht vor, daß die Reihenfolge verschiedener Gruppen von Speicheradressen, auf die nacheinander zugegriffen wird, dadurch festgelegt wird, daß eine vorgegebene Reihenfolge aller Gruppen von Speicheradressen permutiert wird. Ein großes Problem bei dem Versuch, statistische Speicherfehler zu erfassen, besteht darin, mit ausreichender Wahrscheinlichkeit alle Zellen des Halbleiter speichers anzusprechen. Dies ist bei statistischen Zugriffsmethoden nur unter unverhältnismäßigem Zeit- und Kostenaufwand möglich. Jedoch verbleiben meist einige Speicherzellen, die noch nicht angesprochen wurden. Um ein Ansprechen jeder einzelnen Speicherzelle sicherzustellen, sieht die hier beschriebene Ausführungsart vor, daß zunächst eine beliebige, systematische oder auch quasistatistische Reihenfolge von Speicheradressen vorgegeben wird. In dieser Folge ist jede einzelne Gruppe von Speicherzellen genau einmal enthalten. Anschließend wird diese Reihenfolge von Speicheradressengruppen permutiert, d. h. die Reihenfolge der Gruppen untereinander vertauscht. Der Vorteil dabei ist, daß eine beliebig zufällig erscheinende Reihenfolge erzeugt werden kann, bei der gewährleistet ist, daß jede Gruppe von Speicherzellen mit der gleichen Häufigkeit angesprochen wird. Bei längerer Testdauer können mehrere solche Permutationen gebildet werden, die sich auch untereinander unterscheiden können. Insgesamt wird dabei jede Gruppe von Speicherzellen genau n-mal angesprochen. Speicherfehler werden mit hoher Zuverlässigkeit entdeckt.
  • Vorzugsweise wird beim Auslesen von Informationen eine andere Permutation gewählt als beim Schreiben von Informationen.
  • Vorzugsweise ist vorgesehen, daß beim Permutieren der Reihenfolge der Gruppen von Speicheradressen die Zeilenadressen und die Spaltenadressen unabhängig voneinander permutiert werden. Dabei wird die Architektur handelsüblicher Speicher ausgenutzt, Wortleitungsadressen und Bitleitungsadressen durch getrennte Adreßleitungen oder nacheinander durch die selben Adreßleitungen anzusprechen. Durch die einzelnen Permutationen der Bitleitungen untereinander und der Wortleitungen untereinander wird die Art des Datentransports durch die Permutationsbildung die ein sprunghaft wechselndes Ansprechen weit voneinander entfernter Speicherzellen mit sich bringt, nicht beeinträchtigt.
  • Vorzugsweise ist vorgesehen, daß die Reihenfolge von Gruppen von Speicheradressen, auf die nacheinander zugegriffen wird, dadurch permutiert wird, daß jede Speicheradresse mit einer Permutationskonstante, die genauso viele Dualziffern besitzt wie die bereichsinternen Speicheradressen in einem Speicherbereich, in Dualschreibweise ziffernweise durch eine Rechenoperation zu einer Ziffernfolge verknüpft wird, die die permutierte Speicheradresse angibt, wobei die Rechenoperation zwei Bitwerte genau dann zu dem logischen Wert Eins verknüpft, wenn die Bitwerte voneinander verschieden sind. Diese logische XOR-Funktion verknüpft zwei unterschiedliche Bits zu einer Eins und zwei gleiche Bits zu einer Null. Diese Operation setzt stets zwei Bits voraus. Ein Bit, das einer Speicheradresse entspricht, wird je nachdem, welchen Wert die mit ihr verknüpfte Ziffer der Permutationskonstante annimmt, entweder beibehalten oder invertiert. Speicheradressen bestehen aus einer längeren Folge von Ziffern in Dualschreibweise. Mit Hilfe einer Permutationskonstante, die in Dualsohreibweise aus genau so vielen Ziffern besteht wie eine speicherbereichsinterne Speicheradresse, läßt sich ziffernweise eine XOR-Verknüpfung herstellen. Dadurch entsteht eine zweite Ziffernfolge, die einer neuen Speicheradresse zugeordnet werden kann. Die XOR-Funktion gewährleistet, daß bei einer Folge von ersten Speicheradressen, in der jede einzelne Speicheradresse nur genau einmal auftritt, eine Folge zweiter Speicheradressen gebildet wird, die ebenfalls jede Speicheradresse genau einmal enthält. Genau dadurch wird eine Permutation gebildet. Somit läßt sich auf einer geordneten, systematischen ersten Reihenfolge von Speicheradressen eine zufällig erscheinende zweite Reihenfolge geänderter Speicheradressen erzeugen.
  • Die einzuspeichernden und wieder auszulesenden Informationen werden vorzugsweise mithilfe von Permutationskonstanten, mit denen Gruppen von Speicheradressen untereinander beim Schreiben oder Auslesen permutiert werden, verändert. Die Permutationskonstanten entweder für den Schreib- oder den Lesevor gang dienen gleichzeitig dazu, quasistatistische Bitfolgen zu erzeugen, die eingeschrieben und wieder ausgelesen werden.
  • Vorzugsweise ist vorgesehen, daß die Reihenfolge, in der nacheinander auf verschiedene Gruppen von Speicheradressen zugegriffen wird, durch eine Schaltung auf dem Halbleiterspeicher permutiert wird. Dieses Verfahren ist von Vorteil gegenüber quasizufälligen Speicheradressierungen von außen, weil es auf dem Halbleiterspeicher selbst, beispielsweise durch eine kleine Teilschaltung mit hoher Geschwindigkeit, und ohne längere Datenstrecken durchgeführt werden kann. Die Teilschaltung zum Permutieren der Speicheradressen und gegebenenfalls auch der Datenwerte kann eine Schaltung aus Gattern sein, die die erforderlichen ziffernweisen XOR-Verknüpfungen durchführen.
  • Ferner können Datenwerte, die gespeichert werden sollen, ebenfalls mit Hilfe entsprechender Permutationen und Permutationskonstanten verändert werden. Dazu können eigene Schaltungen auf dem Halbleiterspeicher vorgesehen sein.
  • Eine Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, daß der Halbleiterspeicher in einem Testmodus betrieben wird, in dem beim Auslesen von Informationen anstelle der ausgelesenen Informationen ein auf der Grundlage der Fehlerprüfung erstelltes Fehlerprotokoll ausgegeben wird. Hierbei werden Ausgangsleitungen, die gewöhnlich zum Übertragen der aus den Speicherzellen gelesenen Datenwerte bestimmt sind, zum Ausgeben von Testinformationen, die sich auf diese Datenwerte beziehen, genutzt. Es kann ein Betriebsmodus eingestellt werden, bei dem die Kenntnis der in den Speicherzellen gespeicherten Werte nicht von Bedeutung ist, so daß eine Übertragung dieser Daten sich erübrigt. Statt dessen können die Datenleitungen, üblicherweise als DQ (Data Query) bezeichnet, für in anderer Hinsicht aussagekräftigere Informationen genutzt werden. So können beispielsweise Fehlerhäufig keiten oder die Art auftretender Fehler anstelle der gelesenen Speicherzelleninhalte übermittelt werden.
  • Eine bevorzugte Ausführungsart sieht vor, daß beim Auslesen der Informationen aus einer Gruppe von Speicherzellen ein Datenwert ausgegeben wird, der angibt, ob die ausgelesenen Informationen untereinander identisch sind. Ein solcher Datenwert, der standardmäßig Null betragen kann, solange kein Fehler vorliegt, und ausnahmsweise bei einer Abweichung auf den Wert 1 springt, ist besonders für Aussagen über statistische Fehlerhäufigkeiten von Bedeutung. Er kann genauso schnell wie der gelesene Datenwert selbst ausgegeben und übertragen werden, muß jedoch selbst nicht mehr nachträglich beurteilt werden. Da er selbst ebenfalls nur ein Bit beansprucht, kann er über eine DQ-Leitung (data query) übertragen werden.
  • Insbesondere ist vorgesehen, daß nur der Datenwert ohne die Angabe der Speicheradressen ausgegeben und zur Fehlerzählung verwendet wird. Dadurch wird ein Zählen von Fehlern des gesamten Halbleiterspeichers ermöglicht. Die Fehlerzählung kann mithilfe einer auf dem Halbleiterspeicher angeordneten Fehlerzähleinrichtung oder einer externen Fehlerzähleinrichtung durchgeführt werden.
  • Vorzugsweise ist vorgesehen, daß auf Informationen mehrerer Gruppen von Speicheradressen gleichzeitig durch einen Datenbus mit mehreren Datenleitungen zugegriffen wird und daß jede Datenleitung des Datenbusses den Datenwert derjenigen Gruppe von Speicheradressen, auf die sie zugreift, ausgibt. Hierbei kann auf mehrere Informationen, die jeweils mindestens dreifach gespeichert wurden, gleichzeitig zugegriffen werden.
  • Eine weitere bevorzugte Ausführungsart sieht vor, daß ein Fehlerprotokoll erstellt wird, bei dem die Datenleitungen nach jedem Auslesen von Informationen in mehreren Zeittakten nacheinander Angaben über das Auftreten von Fehlern, die Art aufgetretener Fehler, die Nummern der Datenleitungen, die ei nen Fehler ausgeben, und die Speicheradressen, aus denen ausgelesen wurde, ausgeben. Mit Hilfe eines solchen erweiterten Fehlerprotokolls, das für ausführlichere Testauswertungen gedacht ist, können über mehrere Zeittakte hinweg nach dem Auslesen jeder Gruppe von Speicheradressen alle testerheblichen Informationen, beispielsweise die mit Hilfe der auf dem Halbleiterspeicher erfolgten Adressenpermutationen berechneten geänderten Speicheradressen, auf die zugegriffen wurde, übertragen werden.
  • Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird ferner durch einen Halbleiterspeicher gemäß Anspruch 18 gelöst, bei dem jede Synchronisationsschaltung eine Korrekturschaltung aufweist, die nach einem Auslesen und/oder bei einem Wiederauffrischen von Informationen einen einheitlichen Datenwert an alle an die Synchronisationsschaltung angeschlossenen Speicheradressen leitet.
  • Die Synchronisationsschaltungen veranlassen, daß jede Information anstatt (wie herkömmlich) nur in eine Speicheradresse eines einzigen Halbleiterspeichers erfindungsgemäß in je eine Speicheradresse in mindestens drei Speicherbereichen geschrieben wird. Diese Speicherung in mindestens drei verschiedenen Speicherzellen, die üblicherweise dieselbe speicherbereichsinterne Adresse besitzen, jedoch zu verschiedenen Speicherbereichen gehören, ermöglicht eine zuverlässige Speicherung. Durch dieses speicherbereichparallele Schreiben und Lesen und durch die Prüfeinheit, die eine Identitätsprüfung der beim Auslesen, vorzugsweise auch beim Wiederauffrischen von Informationen erkannten Datenbits der Speicherzellen einer Gruppe vornimmt, arbeitet der Halbleiterspeicher mit an Sicherheit grenzender Wahrscheinlichkeit fehlerfrei.
  • Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Korrekturschaltung kann ein erkannter Fehler überschrieben werden, wodurch die Kenntnis fehlerhafter Datenbits sofort in eine Korrektur umgesetzt wird. Diese Korrektur braucht nicht allein beim Lesen durch geführt zu werden, sie kann während jeden Auffrischungsvorgangs zum Wiederauffrischen von Speicherinhalten automatisch durchgeführt werden. Solch ein "selbstreinigender Halbleiterspeicher" ist besonders fehlerresistent.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform sieht vor, daß die Synchronisationsschaltungen in die Prüfeinheit integriert sind. Da jede Synchronisierungsschaltung mindestens drei Speicheradressen zu einer Adressengruppe zusammenfaßt, kann ein Ausgabesignal der Synchronisierungsschaltungen unmittelbar als Prüfergebnis verwendet werden.
  • Vorzugsweise ist jede Synchronisierungsschaltung mit einer Speicheradresse aus jedem Speicherbereich verbunden. Die Speicherbereiche sind dabei vorzugsweise Speicherbänke. Insbesondere sind genau vier Speicherbänke vorgesehen.
  • Eine Weiterbildung sieht vor, daß mehrere Betriebsarten des Halbleiterspeichers einstellbar sind, bei denen entweder die Synchronisierungsschaltungen und die Korrekturschaltungen oder nur die Synchronisationsschaltungen aktiviert oder die Synchronisationsschaltungen und die Korrekturschaltungen deaktiviert sind. Danach ist die Betriebsart des Halbleiterspeichers durch entsprechende Codenummern, die beispielsweise über externe Anschlüsse des Halbleiterspeichers eingegeben werden können, zwischen einem Hochsicherheitsbetrieb mit Fehlerkorrektur, einem Hochsicherheitsbetrieb, in dem auftretende Fehler lediglich angezeigt werden, und einer normalen Betriebsweise umschaltbar. Die Betriebsart kann auch zu Testzwecken vorübergehend geändert werden.
  • Vorzugsweise weist der Halbleiterspeicher eine Schaltung auf, mit der speicherintern Speicheradressen untereinander vertauscht und Befehle an die vertauschten Speicheradressen umgeleitet werden. Diese Schaltung permutiert die Speicheradressen, auf die Schreib- und Lesebefehle zugreifen, untereinander und leitet dadurch diese Befehle um. Eine solche speicherinterne, auf dem Halbleiterspeicher integrierte Permutationsschaltung dient dazu, die Testmöglichkeiten eines Halbleiterspeichers, der herkömmlich nur mit Hilfe von in ihren Möglichkeiten sehr eingeschränkten externen Testgeräten getestet werden kann, zu erweitern. Solche Testgeräte, die quasizufällige topologische Testmuster zu erzeugen versuchen, besitzen nur einen eingeschränkten Vorrat an topologischen Testmustern. Mit Hilfe eines auf dem Halbleiterspeicher integrierten Permutationsschaltkreises können aus solchen geordneten Reihenfolgen von Speicheradressen beliebig zufällig erscheinende Adressenfolgen erzeugt werden.
  • Gemäß einer anderen Weiterbildung ist vorgesehen, daß der Halbleiterspeicher eine Schaltung zum Ausgeben eines Fehlerprotokolls aufweist, durch die anstelle von oder zusätzlich zu aus den Speicheradressen ausgelesenen Informationen Datenwerte ausgegeben werden, die angeben, ob die in einer Gruppe von Speicheradressen ausgelesenen Informationen untereinander identisch sind. Diese Weiterbildung ist auf Betriebsarten gerichtet, bei denen die gespeicherten Informationen selbst nicht interessieren, sondern nur die Art und die Anzahl von Speicherfehlern von Interesse sind. Insbesondere bei einem Testbetrieb lassen sich anstelle der gespeicherten Informa tionen Fehlerprotokolldaten ausgeben, im einfachsten Fall ein Datenbit, das angibt, ob ein Speicherfehler in einer Gruppe von Speicherzellen aufgetreten ist oder nicht.
  • Eine weitere Weiterbildung sieht schließlich vor, daß mehrere Betriebsarten des Halbleiterspeichers einstellbar sind, bei denen entweder nur die aus den einzelnen Speicheradressen derselben Gruppe ausgelesenen Informationen oder an deren Stelle nur Datenwerte, die angeben, ob diese Informationen untereinander identisch sind, oder diese Datenwerte und zusätzlich die ausgelesenen Informationen ausgegeben werden. Danach lassen sich auch hinsichtlich der Art des gewünschten Fehlerprotokolls verschiedene Betriebsarten einstellen. Im einfachsten Fall enthält das Testprotokoll nur Datenbits, die jeweils einen Fehler anzeigen und die nur intern und/oder extern gezählt werden müssen, um die Fehleranfälligkeit zu beurteilen. Trotz der durch die Dreifachspeicherung getroffene Fehlervorsorge können solche Tests erforderlich sein, um unmittelbar nach der Herstellung des Halbleiterspeichers die Einhaltung der vorgeschriebenen Fertigungstoleranzen zu überprüfen und eventuell mangelhafte Halbleiterspeicher zu entfernen.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der Figuren erläutert. Es zeigen:
  • 1 einen erfindungsgemäßen Halbleiterspeicher,
  • 2 eine Synchronisationsschaltung des Halbleiterspeichers aus 1,
  • 3A und 3B Betriebsweisen des Halbleiterspeichers aus 1,
  • 4A bis 4C Verfahren zur Permutation von Speicheradressen,
  • 5A und 5B diagrammatische Darstellungen von Speicheradressenpermutationen,
  • 6 eine Schaltung zur Fehlerprotokollerstellung und
  • 7A und 7B Beispiele verschiedener Fehlerprotokolle.
  • 1 zeigt einen Halbleiterspeicher 1, der vier Speicherbänke B1, B2, B3 und B4 aufweist. Der Halbleiterspeicher kann ein flüchtiger Halbleiterspeicher, beispielsweise ein DRAM (Dynamic Random Access Memory) oder ein nichtflüchtiger Speicher sein. Der Halbleiterspeicher 1 besitzt in jeder Speicherbank nicht näher dargestellte Speicheradressen, die wie in herkömmlicher Weise an Wortleitungen und Bitleitungen, die senkrecht zueinander auf dem Substrat verlaufen, angeschlossen sind. Je nach Nummer der Wortleitung und der Bitleitung ist eine Speicherzelle durch die Speicheradresse Aij gekennzeichnet. Beispielsweise kann i die zugehörige Wortleitung und j die zugehörige Bitleitung angeben oder umgekehrt. Die Gesamtzahl der pro Speicherbank vorgesehenen Wort- oder Bitleitungen ist für jede Speicherbank identisch.
  • Auf eine Speicheradresse wird zugegriffen, indem zunächst eine Wortleitung geöffnet und anschließend eine Bitleitung ausgelesen wird. In 1 sind in der Mitte jeder Speicherbank B1, B2, B3, B4 senkrecht verlaufende Reihen 2 von Signalverstärkern 3 dargestellt, die jeweils zum Auslesen einer Bitleitung vorgesehen sind. Erfindungsgemäß ist in einem mittleren Bereich des Halbleiterspeichers, im sogenannten Gürtel, eine Anordnung 10 von Synchronisationsschaltungen 11 vorgesehen, von denen jede an jeweils vier Signalverstärker 3 angeschlossen ist, von denen sich in jedem der Speicherbereiche B1, B2, B3, B4 einer befindet. Mit Hilfe der Synchronisationsschaltungen 11 können die aus vier in unterschiedlichen Speicherbänken angeordneten Speicheradressen ausgelesenen Da tenwerte synchronisiert, d. h. untereinander verglichen und zu einem einzigen Datenwert zusammengefaßt werden, der entweder durch die dargestellte Ausgangsleitung 4 und weitere an späterer Stelle noch beschriebene Schaltungen, die Permutationsschaltung 20 und die Fehlerprotokollschaltung 30, ausgegeben werden kann oder auf die vier angeschlossenen Speicheradressen zurückgeschrieben werden kann.
  • 2 zeigt schematisch eine Synchronisationsschaltung 11, die an Bitleitungen der Speicherbänke B1, B2, B3, B4 angeschlossen ist. Mithilfe dieser Leitungen können Daten gelesen oder geschrieben werden, wozu die Synchronisationsschaltung 11 auf der rechten Seite eine weitere Datenleitung DQ aufweist. In der Synchronisationsschaltung 11 werden vier von den Speicherbänken ausgelesene Informationen Aij1, Aij2, Aij3 und Aij4 in ein einziges Datenbit umgewandelt, das über die Datenleitung DQ als Information Aij weitergeleitet werden kann. Umgekehrt kann ein einziges Datenbit Aij mit Hilfe der Synchronisationsschaltung 11 in vier Speicheradressen aus insgesamt vier Speicherbänken geleitet werden. Erfindungsgemäß ist eine Korrekturschaltung 13 vorgesehen, die im Falle eines Auslesens unterschiedlicher Datenwerte aus den vier Speicherbereichen einen einheitlichen Wert generiert, diesen zurückschreibt und somit Speicherfehler korrigiert. Die Option, Datenwerte zurückzuschreiben, kann mittels eines entsprechenden Moderegisters MR-WB (write back) aktiviert oder deaktiviert werden.
  • Die Synchronisationseinheit 11 ist aktivierbar und deaktivierbar, wozu ein Moderegister MR-S (Synchronisation) vorgesehen ist. Weitere Anschlüsse BSl und BSO, über die jeweils ein Datenbit zum Auswählen einer Speicherbank geleitet werden kann, sind mit Hilfe des Moderegisterschalters MR-5 abstellbar. Mit Hilfe der in 2 abgebildeten Schaltung kann auch ein Fehlerprotokoll ausgegeben werden, wozu die Betriebsweise des Halbleiterspeichers durch einen Moderegisterschalter MR-F (Fehlerprotokoll) auf die Ausgabe eines Fehler protokolls umgestellt werden kann. Über Zuleitungen WR1, WR2 zum Schreiben, RD1 und RD2 zum Lesen und RF1 und RF2 zum Wiederauffrischen von Speicherinhalten wird die Synchronisationsschaltung 11 mit dem jeweils auszuführenden Befehl versorgt.
  • 3A zeigt die Betriebsweise einer Synchronisationsschaltung 11 beim Lesen von Speicherinhalten. Dargestellt sind an die jeweiligen Wort- und Bitleitungen angeordnete Speicheradressen Aij1, Aij2, Aij3 und Aij4 in den Speicherbänken B1, B2, B3, B4. Jede dieser vier Speicheradressen ist über eine Zuleitung 5 mit der Synchronisationseinheit 11 verbunden.
  • Bei der in 3A dargestellten Betriebsweise werden Datenbits aus den Speicheradressen jeder Speicherbank durch die Synchronisationseinheit gelesen. Die Datenbits betragen im Falle der Speicherbank B2 1 und im Falle der übrigen Speicherbänke jeweils 0. In der Speicherbank B2 hat sich ein Speicherfehler ereignet, so daß deren Datenbit von den übrigen abweicht. Die Synchronisationsschaltung 11 berechnet in einem logischen Gatter aus den vier eingelesenen Bits einen einzigen Bitwert, der demjenigen entspricht, der von den meisten der Speicheradressen Aij1, Aij2, Aij3 und Aij4 ausgelesen wurde. Bei der in 3A dargestellten Bitkonstellation wird über die Ausgangsleitung 4 der Bitwert 0 ausgegeben.
  • 3B zeigt eine weitere Funktionsweise der Synchronisationseinheit 11 im Falle einer eingeschalteten Korrekturschaltung 12. In diesem Fall wurden dieselben Bitwerte wie in 3A durch die Synchronisationsschaltung 11 eingelesen. Hier wird jedoch der ermittelte richtige Bitwert 0, der in allen vier Speicherbänken B1, B2, B3 und B4 hätte gespeichert werden sollen, sowohl durch eine Ausgangsleitung 4 weitergeleitet, als auch durch die Zuleitungen 5 wieder in die vier angeschlossenen Speicheradressen geschrieben. Auf diese Weise wird der in der Speicherbank B2 falsche Bitwert 1 zu 0 korrigiert.
  • 4A zeigt schematisch eine Anordnung von acht Speicheradressen, die in x- und y-Richtung durch Zählindizes i und j numeriert sind. Die Adresse jeder Speicherzelle ist durch Zahlenpaare (ij) eindeutig festgelegt. In 4A sind die in jeder Speicherzelle dargestellten Speicherinformationen in Form von Datenbits 0 oder 1 dargestellt.
  • Wird ein Halbleiterspeicher getestet, so werden willkürlich Bitfolgen in ihn eingeschrieben und aus ihm ausgelesen. Zur Erkennung möglichst vielfältiger Fehlerarten ist man bemüht, in möglichst zufällig erscheinender Adressierungsreihenfolge auf verschiedene Speicherzellen des Halbleiterspeichers zuzugreifen, die Speicherzellen willkürlich mit "0" oder "1" zu beschreiben und diese Informationen wieder auszulesen. Der testweise Betrieb eines Halbleiterspeichers funktioniert immer in der Weise, daß eine Folge von Datenbits adressenabhängig eingeschrieben und zeitversetzt wieder ausgelesen wird. Dabei wird beim Auslesen im einfachsten Fall dieselbe Adressierungsreihenfolge eingehalten wie beim Einspeichern, um die gesamte Datenmenge nicht außerhalb des zu testenden Halbleiterspeichers speichern und die eingeschriebene und die ausgelesene Bitfolge einander zuordnen zu müssen. Wird die Datentopologie adressenabhängig generiert und beim Lesen beachtet, so kann mit unterschiedlicher Adressenreihenfolge auf die Speicherzellen zugegriffen werden. Werden jedoch adressenunabhängige Datentopologieren generiert, so muß auf die gleiche Adressenreihenfolge lesend wie schreibend zugegriffen werden. Nur durch die Einhaltung der gleichen Reihenfolge beim Schreiben und beim Auslesen ist gewährleistet, daß die gerade gelesenen Informationen mit den kurz vorher eingespeicherten Informationen verglichen und im Falle von Unterschieden Speicherfehler festgestellt werden können.
  • Wird hingegen in anderer Adressierungsreihenfolge schreibend auf die Speicherzellen zugegriffen als lesend, so sind die eingeschriebene und die ausgelesene Datenfolge nicht mehr einander zuordbar, wenn keine adressenabhängige Datentopologie verwendet wird. Die in 4A eingeschriebene Bitfolge SW wurde entsprechend der Adressenfolge FW bei zunächst gleichbleibendem Adressenwert j für zunächst anwachsenden Adressenwerte i nacheinander in die aufeinanderfolgenden Speicherzellen geschrieben. Erst bei Erreichen des Maximalwertes der Zahl i wurde die Zahl j um 1 erhöht. Auf diese Weise entstanden die in den acht Speicherzellen dargestellten Bitwerte. Beim Auslesen wurden die Speicherzellen entsprechend der Adressenfolge FR bei festem i für zunächst anwachsendes j ausgelesen. Bei dieser Reihenfolge wurde die Bitfolge SR ausgelesen, die mit der Bitfolge SW nicht übereinstimmt. Obwohl die Bitfolge den korrekten Bitwerten der acht Speicherzellen entspricht, ist die ausgelesene Bitfolge SR der eingelesenen Bitfolge S W nicht zuordbar. Obwohl alle Informationen richtig ausgelesen wurden, ist eine Aussage über Fehlerhäufigkeiten nicht möglich, da beide Bitfolgen nicht übereinstimmen. Aus diesem Grund wird bei jedem herkömmlichen Testbetrieb eines Halbleiterspeichers schreibend und lesend in derselben Reihenfolge auf die Speicheradressen zugegriffen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht es hingegen, ohne Rücksicht auf die Adressierungsreihenfolge, in der auf die Speicheradressen zugegriffen wird, und auf die adressenabhängige Datentopologie, d. h. auf die räumliche Verteilung von Speicherinformationen im Halbleiterspeicher, Fehler beim Betrieb des Halbleiterspeichers zu erkennen. Der Grund liegt darin, daß jede Information mindestens dreifach in einander entsprechenden (und an jeweils gleichen speicherinternen Adressen in verschiedenen Speicherbänken angeordneten) Speicherzellen gespeichert wird. Jede Information ist damit mehrfach gespeichert. Bei dem gleichzeitigen Auslesen dieser Informationen und bei der Fehlerprüfung, ob diese Informationen übereinstimmen oder nicht, kann festgestellt werden, welchen Informationswert die meisten der an einer Synchronisationseinheit 11 angeschlossenen Speicheradressen Aij1, Aij2, Aij3 und Aij4 gespeichert und ausgegeben haben. Diese vier angeschlossenen Speicheradressen, die die Gruppe Gij von Speicherzellen bilden, die durch die Synchronisationsschaltung 11 angesprochen wird, liefern entsprechend 3A dreimal den Bitwert 0 und einmal den Bitwert 1. Diese Bitwerte werden in den Bitwert 0 umgewandelt, der der Gruppe Gij von Speicherzellen zugeordnet wird. Da es sehr unwahrscheinlich ist, daß mehr als eine der vier angesprochenen Speicherzellen einen falschen Bitwert speichert oder ausgibt, gibt der von der Synchronisationsschaltung 11 ausgegebene Bitwert 0 praktisch immer den korrekten Speicherwert wieder.
  • Mit Bezug auf 4A bedeutet dies, daß die ausgelesene Bitfolge SR aus Datenbits besteht, von denen jedes Bit bereits auf seine Richtigkeit geprüft ist. Eine eindeutige Zuordnung dieser Bitfolge zur eingeschriebenen Bitfolge SW ist daher nicht erforderlich. Daher können Informationen ohne Rücksicht auf die Adressierungsreihenfolge und die adressenabhängige Datentopologie, in der schreibend auf die Speicheradressen zugegriffen wurde, in völlig anderer Reihenfolge ausgelesen werden und ermöglichen dennoch eine zuverlässige Feststellung von Speicherfehlern.
  • 4B zeigt ein Rechenbeispiel zum Permutieren von Speicheradressen mit Hilfe einer Permutationskonstante. Das Beispiel geht von einer speicherbankinternen Speicheradresse aus, die bezüglich Spalten X wie auch Zeilen Y in Dualschreibweise vierstellig ist. Dementsprechend gliedert sich die Permutationskonstante ebenfalls in eine Konstante WX = 0001 für die Permutation von Zeilen und WY = 0010 für die Permutation von Spalten. In dem Rechenbeispiel werden Spaltenadressen und Zeilenadressen getrennt voneinander permutiert. Für eine Speicherzelle mit der Zeilenadresse i = 0101 wird die geänderte Zeilenadresse dadurch berechnet, daß die Zeilenadresse i und die Zeilenpermutationskonstante WX ziffernweise durch eine XOR-Verknüpfung zur neuen Zeilenadresse i' verknüpft werden. Die XOR-Funktion zweier Dualziffern er gibt genau dann 1, wenn die Dualziffern ungleich sind, und führt in der zweiten Ziffer der geänderten Zeilenadresse i' zu dem Wert 1, in den übrigen Ziffern zu dem Wert 0. Auf die geschilderte Weise werden sämtliche Zeilen- und Spaltenadressen in neue entsprechende Adressen umgewandelt, d. h. untereinander vertauscht. Dadurch wird beispielsweise aus der speicherinternen Adresse (i, j) = 01011101 die geänderte Adresse (i', j') = 01001111. Mit Hilfe der hier beschriebenen Vertauschung von Speicheradressen läßt sich aus einer geordneten Folge von Speicheradressen, bei der jede Speicheradresse genau einmal angesprochen wird, eine quasistatistische Zugriffsreihenfolge herstellen. Die permutierte Zugriffsreihenfolge bietet den Vorteil statistischer Verteilung, andererseits aber auch sehr viel zuverlässigere Testergebnisse, da aufgrund der zugrundeliegenden geordneten Reihenfolge auch nach der Permutation jede Speicherzelle gleich häufig angesprochen wird, unabhängig von der Dauer des Speichertests.
  • 4C zeigt eine weitere bevorzugte Ausführungsart, bei der auch die Daten selbst, die in die Speicheradressen geschrieben werden, mit Hilfe einer permutationsähnlichen Rechenoperation quasistatistisch verändert werden. Dabei werden die gleichen Permutationskonstanten WX und WY zugrundegelegt. Es ist sogar ausreichend, als Anfangswert für alle Daten denselben Speicherwert 0000 vorzugeben. Dieser wird nach Art der ziffernweisen Verknüpfung mit Hilfe der XOR-Funktion zunächst mit Hilfe der Zeilenpermutationskonstante in einen ersten geänderten Datenwert P umgerechnet, der dann mit Hilfe der Spaltenpermutationskonstante wiederum in einen nochmals geänderten Datenwert P' umgerechnet wird. Aus dem ursprünglichen Datenwert 0000 wird dadurch eine duale Zahl, die von der Position der Speicheradresse im Speicherbereich abhängt. Dadurch können Speicherprozesse noch variabler ausgeführt werden.
  • 5A und 5B zeigen Flußdiagramme, die Testverfahren zum Beschreiben bzw. Auslesen eines erfindungsgemäßen Halbleiter speichers wiedergeben. Bei diesen Testverfahren werden die in den 4B und 4C beschriebenen Permutationen bzw. Datenwertänderungen vorgenommen. Dadurch wird ein statistischer Zugriff auf einen Halbleiterspeicher simuliert. Zu Beginn werden Permutationskonstanten WX, WY für das Schreiben von Informationen und davon unterschiedliche Permutationskonstanten RX, RY für das Lesen definiert. Durch die unterschiedlichen Schreib- und Lesepermutationskonstanten wird ein Zugriff auf die Speicheradressen in unterschiedlichen Reihenfolgen für das Schreiben und das Lesen verursacht. Solche Zugriffe können nur mit dem erfindungsgemäßen Verfahren sinnvoll ausgewertet werden, welches aufgrund der Mehrfachspeicherung nicht mehr auf die herkömmlich identischen Zugriffsreihenfolgen beschränkt ist.
  • Dem statistischen Zugriff auf die Speicheradressen kann irgendein beliebiges systematisches Zugriffsschema zugrundegelegt werden. Beispielsweise werden in 5A die Adressenvariablen j und i der Reihe nach von 0 auf ihre jeweiligen Maximalwerte Y und X erhöht, wobei in 5A für festes j zunächst i erhöht wird. Für eine vorgegebene Speicheradresse wird in einem Schritt 6 zunächst der permutierte Zeilenwert i' berechnet. Die Zeile mit dieser Zeilenadresse wird danach geöffnet. Anschließend wird in einem Schritt 7 auch die geänderte Spaltenadresse j' errechnet, die zusammen mit der Zeilenadresse die Speicheradresse Aij' kennzeichnet, in die anstelle der ursprünglich vorgegebenen Speicheradresse Aij eine Information gespeichert werden soll. Die Information selbst wird nach der in 4C beschriebene Methode berechnet, wodurch das Datenbit DQij' entsteht. Dieses wird in die Adresse Aij' geschrieben. Schließlich wird in einem Schritt 8 die Zeile i' wieder geschlossen. Damit ist das erste Datenbit gespeichert. Danach werden zyklisch diese Schritte wiederholt, bis die ursprüngliche Zeilenvariable i ihren Maximalwert erreicht hat. Danach wird jeweils auch die Spaltenvariable j erhöht. Das Beschreiben des Halbleiterspeichers kann abgebrochen werden, wenn, wie in 5 dargestellt, jede Zelle einmal angesprochen wurde. Es können jedoch mehrfach durch Permutationen erzeugte Schreiboperationen stattfinden, insbesondere mit neuen Permutationskonstanten, die sich von den alten vorzugsweise um eine Primzahl, die größer als 2 ist, unterscheiden. Dadurch wird sichergestellt, daß der nochmalige Durchlauf nicht lediglich die bereits eingeschriebenen Informationen bestätigt.
  • Nach dem Einschreiben von Informationen in den Halbleiterspeicher gemäß 5A können die Speicheradressen nach dem in 5B dargestellten Verfahren ausgelesen werden. Das Ausleseverfahren funktioniert wie das Verfahren nach 5A, greift aber lesend in einer anderen Reihenfolge als beim Schreiben auf die Speicheradressen zu, was durch unterschiedliche Permutationskonstanten Rx, Ry zum Ausdruck kommt. Auch hier können nach jedem Durchlauf des kompletten Zellenfeldes die Permutationskonstanten Rx und Ry um Primzahlwerte größer als zwei erhöht werden. Bei dem bankparallelen Speicherbetrieb können Schreib- und Lesezugriffe mit unterschiedlichen Adressierungsreihenfolgen, ausgedrückt durch unterschiedliche Permutationskonstanten zum Lesen und Schreiben, vorgenommen werden. Die Permutationskonstanten werden extern vorgegeben oder intern auf dem Speicherchip erzeugt.
  • 6 zeigt eine Schaltung 30 des Halbleiterspeichers 1 aus 1, die zur Erstellung eines Fehlerprotokolls für einen Halbleiterbaustein mit beispielsweise vier Datenausgangsleitungen dient. Sie weist daher vier Teilschaltungen 40 auf, die an je eine Datenausgangsleitung DQl', DQ2', DQ3' bzw. DQ4' angeschlossen sind. Datenleitungen DQ1, DQ2, DQ3 und DQ4 sind für jede der vier Teilschaltungen vierfach, d. h. insgesamt sechzehnfach vorhanden. Sie führen von den Teilschaltungen 40 aus zu den als 1 bis 4 bezeichneten Speicherbänken. Die vierfache Anordnung von Teilschaltungen 40 und die sechzehnfache Anordnung von Zuleitungen zu den Speicherbänken B resultiert daraus, daß in dem in 6 dargestellten Halbleiterspeicher die als Beispiel gewählte Busbreite 4 Bit be trägt. Die Beschreibung der 6 beschränkt sich im folgenden nur auf die oberste Teilschaltung 40, die an die Datenleitung DQ1' angeschlossen ist.
  • Die Teilschaltung 40 ist der zentrale Bestandteil der Fehlerprotokollschaltung 30 und dient dazu, aus den Datenleitungen 1, 2, 3 und 4 ein Datenbit D zu errechnen, welches anstelle eines aus den Speicheradressen gelesenen Datenwertes DQ über die Ausgangsleitung DQ1' ausgegeben wird. Beispielsweise kann das Datenbit D den Wert 1 annehmen, wenn die aus den Datenleitungen 1, 2, 3 und 4 gelesenen Datenbits nicht identisch sind. Dadurch wird das Auftreten eines Speicherfehlers angezeigt und weitergeleitet. Die nach unten weisenden Speicherbanksignalleitungen 41 dienen dazu, Informationen auszugeben, die anzeigen, in welcher Speicherbank ein falscher Wert gespeichert wurde.
  • Mit Hilfe des Moderegisters für die Fehlerprotokollerstellung MRF kann die Fehlerprotokollschaltung 30 aktiviert und deaktiviert werden. Über die Bankauswahlleitungen BS0 und BS1 können die Zusammenschaltungen der Zuleitungen zu allen Speicherbänken aufgehoben und letztere wieder einzeln adressiert werden. Schließlich sind zum Mitteilen des auszuführenden Befehls "Lesen" oder "Schreiben" Leitungen R und W vorgesehen, die den Leitungen RD2 und WR2 in 2 entsprechen.
  • Mit Hilfe der in 6 dargestellten Fehlerprotokollschaltung können Fehlerprotokolle verschiedenster Protokolldaten erstellt und ausgegeben werden. Beispiele hierzu sind in den 7A und 7B dargestellt.
  • 7A zeigt die aus vier Speicherbänken 1, 2, 3 und 4 gelesenen Datenbits über eine Folge von neun Taktzeiten hinweg. In einer unteren Zeile sind Datenwerte DQ angegeben, die von den Synchronisationseinheiten 11 aus den jeweils vier gelesenen Datenbits errechnet werden und den jeweils richtigen Da tenwert angeben. Die Folge von neun Datenbits DQ bildet die Datenfolge S, die über eine Datenleitung DQ' ausgegeben wird.
  • Alternativ dazu kann anstelle der gelesenen Daten DQ eine Information D ausgegeben werden, die angibt, ob ein Speicherfehler aufgetreten ist oder nicht. Diese Datenbits D nehmen nur ausnahmsweise den Wert 1 an und bilden zusammen ein sehr kompaktes Fehlerprotokoll F, das sich zum Zählen von Speicherfehlern ohne Angabe der Speicheradressen eignet. Wird das Fehlerprotokoll F einer Fehlerzähleinrichtung FZE zugeführt, zählt diese die Gesamtzahl aller aufgetretenen Fehler und gibt in dem dargestellten Beispiel die Fehlersumme "2" als Zählergebnis aus.
  • Ein komplexeres Fehlerprotokoll ist in 7B dargestellt. Über eine Folge von zwölf Taktzeiten ist in eckigen Klammern angegeben, was durch die in 6 dargestellten vier Busleitungen DQ1', DQ2', DQ3' und DQ4' als Datenbit ausgegeben wird. Nach jeder Abfrage einer Gruppe aus Speicheradressen werden mindestens zwölf Zeittakte geschaltet, um ein möglichst vollständiges Fehlerprotokoll auszugeben. Die Datenleitung DQ1' gibt im ersten Takt t1 eine 1 aus, wenn ein Speicherfehler festgestellt wurde, ansonsten eine 0 (PF; Pass-Fail). Die Datenleitung DQ2' gibt im ersten Zeittakt an, welcher Bitwert 0 oder 1 in einer der vier gelesenen Speicherzellen ausgefallen ist (SCF; Single Cell Fail). Weitere in den ersten beiden Zeittakten übermittelte Datenbits DQ1, DQ2, DQ3 und DQ4 geben an, welche Gruppe einander zugeordneter Speicherzellen des Viererbusses einen Fehler aufweist. Die übrigen Zeittakte t3 bis t12 dienen hier zum Übermitteln der hier jeweils in Dualschreibweise 15-stelligen Zeilen- und Spaltenadressen.
  • Die in 7B dargestellte Formeines Fehlerprotokolls ist lediglich beispielhaft. Je nach Zweck des Fehlerprotokolls kann auch eine kompaktere oder komplexere Form gewählt werden, die weniger oder mehr Zeittakte benötigt. Die Informa tionen des Fehlerprotokolls sind abhängig von der Busbreite der Datenausgangsleitungen und dem Adreßraum für die x- und y-Adressen des jeweiligen Speichers.
  • Mit Hilfe der Fehlerprotokollschaltung können bei einem testweisen Betreiben eines Halbleiterspeichers interessierende Protokolldaten unmittelbar errechnet werden und anstelle der im Speicher abgerufenen Daten ausgegeben werden. Die Fehlerprotokollschaltung 30 muß nicht notwendigerweise, wie in 1 dargestellt, eine von der Prüfeinheit 10 getrennte Schaltung sein, sie kann auch teilweise mit der Prüfeinheit 10 verknüpft werden, da die in ihrer Zahl den Bitleitungen entsprechenden Synchronisationsschaltungen 11 ähnliche Aufgaben übernehmen wie die in der Fehlerprotokollschaltung 30 entsprechend der Busbreite mehrfach vorhandenen Teilschaltungen 40.
  • 1
    Halbleiterspeicher
    2
    Signalverstärkeranordnung
    3
    Signalverstärker
    4
    Ausgangsdatenleitung
    5
    Synchronisationsleitung
    10
    Prüfeinheit
    11
    Synchronisationsschaltung
    12
    Synchronisationseinheit
    13
    Korrekturschaltung
    20
    Permutationsschaltung
    30
    Fehlerprotokollschaltung
    40
    Teilschaltung
    41
    Speicherbanksignalleitung

Claims (25)

  1. Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeichers (1) mit mehreren Speicherbereichen (B1, B2, B3), bei dem Informationen (DQ) in Speicheradressen (A) geschrieben und aus den Speicheradressen (A) wieder ausgelesen werden und bei dem eine Fehlerprüfung der Informationen (DQ) durchgeführt wird, wobei Speicheradressen (A) aus mindestens drei Speicherbereichen (B1, B2, B3) in der Weise zueinander parallelgeschaltet werden, daß jeder Schreib- oder Lesevorgang auf eine Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) zugreift, die jeweils eine Speicheradresse (Aij1; Aij2; Aij3) aus jedem Speicherbereich (B1; B2; B3) umfaßt, wobei beim Schreiben dieselbe Information (DQij) an alle Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) geleitet wird und wobei die Fehlerprüfung in der Weise durchgeführt wird, daß geprüft wird, ob die Informationen (DQij1, DQji2, DQij3) der Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) untereinander identisch sind, dadurch gekennzeichnet, daß dann, wenn die Fehlerprüfung ergibt, daß die Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) in den Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) nicht untereinander identisch sind, eine Korrektur vorgenommen wird, bei der derjenige Datenwert (DQij), mit dem die meisten Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) der Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) der Gruppe (Gij) übereinstimmen, in alle Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) dieser Gruppe (Gij) geschrieben wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Speicherbereiche (B1, B2, B3) Speicherbänke sind.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3, Aij4) aus genau vier Speicherbänken (B1, B2, B3, B4) zueinander parallel geschaltet werden.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrektur bei jedem Auslesevorgang automatisch durchgeführt wird.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrektur bei jedem Wiederauffrischungsvorgang von Speicherinhalten automatisch durchgeführt wird.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet daß der Halbleiterspeicher (1) testweise betrieben wird, wobei wiederholt Informationen (DQij) in verschiedene Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) geschrieben und aus ihnen ausgelesen werden, wobei die Reihenfolge (F), in der nacheinander auf verschiedene Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) zugegriffen wird, beim Auslesen von Informationen eine andere (FR) ist als beim Schreiben (FW) von Informationen.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Reihenfolge verschiedener Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3), auf die nacheinander zugegriffen wird, dadurch festgelegt wird, daß eine vorgegebene Reihenfolge aller Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) permutiert wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß beim Auslesen von Informationen eine andere Permutation (PR) gewählt wird als beim Schreiben (PW) von Informationen.
  9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß beim Permutieren der Reihenfolge der Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) die Zeilendressen (i) und die Spaltenadressen (j) unabhängig voneinander permutiert werden.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Reihenfolge (R) von Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3), auf die nacheinander zugegriffen wird, dadurch permutiert wird, daß jede Speicheradresse (Aij) mit einer Permutationskonstante (Wx, Wy; Rx, Ry), die genauso viele Dualziffern besitzt wie die bereichsinternen Speicheradressen (Aij) in einem Speicherbereich (B1, B2, B3), in Dualschreibweise ziffernweise durch eine Rechenoperation zu einer Ziffernfolge verknüpft wird, die die permutierte Speicheradresse (Aij') angibt, wobei die Rechenoperation zwei Bitwerte genau dann zu dem logischen Wert Eins verknüpft, wenn die Bitwerte voneinander verschieden sind.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß einzuspeichernde und wieder auszulesende Informationen (DQij) mithilfe von Permutationskonstanten (Wx, Wy; Rx, Ry), mit denen Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) untereinander beim Schreiben oder Auslesen permutiert werden, verändert werden.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Reihenfolge, in der nacheinander auf verschiedene Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) zugegriffen wird, durch eine Schaltung (20) auf dem Halbleiterspeicher (1) permutiert wird.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterspeicher (1) in einem Testmodus betrieben wird, in dem beim Auslesen von Informationen anstelle der ausgelesenen Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) ein auf der Grundlage der Fehlerprüfung erstelltes Fehlerprotokoll (F) ausgegeben wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß beim Auslesen der Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) aus einer Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) ein Datenwert (D) ausgegeben wird, der angibt, ob die ausgelesenen Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) untereinander identisch sind.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Datenwert (D) ohne Angabe der Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) ausgegeben und zur Fehlerzählung verwendet wird.
  16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß auf Informationen mehrerer Gruppen (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) gleichzeitig durch einen Datenbus (B) mit mehreren Datenleitungen (DQ1, DQ2, DQ3, DQ4) zugegriffen wird und daß jede Datenleitung (DQ1, DQ2, DQ3, DQ4) des Datenbusses (B) den Datenwert (D) derjenigen Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3), auf die sie zugreift, ausgibt.
  17. Verfahren nach einen der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein Fehlerprotokoll erstellt wird, bei dem die Datenleitungen (DQ1, DQ2, DQ3, DQ4) nach jedem Auslesen von Informationen in mehreren Zeittakten (t1, t2,... t12) nacheinander Angaben über das Auftreten von Fehlern, die Art aufgetretener Fehler, die Nummern der Datenleitungen, die einen Fehler ausgeben, und die Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3), aus denen ausgelesen wurde, ausgeben.
  18. Halbleiterspeicher (1) mit mehreren Speicherbereichen (B1, B2, B3), die jeweils eine Vielzahl von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) aufweisen, in die Informationen geschrieben und aus denen Informationen ausgelesen werden können, wobei der Halbleiterspeicher (1) Synchronisationsschaltungen (11) aufweist, – durch die Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) aus mindestens drei Speicherbereichen (B1, B2, B3) in der Weise zueinander parallel schaltbar sind, daß jeder Schreib- oder Lesevorgang auf eine Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) zugreift, die jeweils eine Speicheradresse (Aij1; Aij2; Aij3) aus jedem Speicherbereich (B1; B2; B3) umfaßt, und – durch die beim Schreiben dieselbe Information an alle Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) geleitet wird, und wobei der Halbleiterspeicher (1) eine Prüfeinheit (10) aufweist, mit der geprüft werden kann, ob die Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) der Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) einer Gruppe (Gij) untereinander identisch sind, dadurch gekennzeichnet, daß jede Synchronisationsschaltung (11) eine Korrekturschaltung (13) aufweist, die nach einem Auslesen und/oder bei einem Wiederauffrischen von Informationen einen einheitlichen Datenwert (DQij) an alle an die Synchronisationsschaltung (11) angeschlossenen Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) leitet.
  19. Halbleiterspeicher nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß Synchronisationsschaltungen (11) in die Prüfeinheit (10) integriert sind.
  20. Halbleiterspeicher nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß jede Synchronisationsschaltung (11) mit je einer Speicheradresse (Aij1; Aij2; Aij3) aus jedem Speicherbereich (B1; B2; B3) verbunden ist.
  21. Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherbereiche (B1, B2, B3) Speicherbänke sind.
  22. Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 18 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Betriebsarten des Halbleiterspeichers (1) einstellbar sind, bei denen entweder die Synchronisationsschaltungen (11) und die Korrekturschaltungen (13) oder nur die Synchronisationschaltungen (11) aktiviert oder die Synchronisationsschaltungen (11) und die Korrekturschaltungen (13) deaktiviert sind.
  23. Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterspeicher (1) eine Schaltung (20) aufweist, mit der speicherintern Speicheradressen (Aij) untereinander vertauscht und Befehle an die vertauschten Speicheradressen umgeleitet werden.
  24. Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 18 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterspeicher (1) eine Schaltung (30) zum Ausgeben eines Fehlerprotokolls aufweist, durch die anstelle von oder zusätzlich zu aus den Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) ausgelesenen Informationen (DQij) Datenwerte (Dij) ausgegeben werden, die angeben, ob die in einer Gruppe (Gij) von Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) ausgelesenen Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) untereinander identisch sind.
  25. Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 18 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Betriebsarten des Halbleiterspeichers (1) einstellbar sind, bei denen entweder nur die aus den einzelnen Speicheradressen (Aij1, Aij2, Aij3) derselben Gruppe (Gij) ausgelesenen Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) oder an deren Stelle nur Datenwerte (Dij), die angeben, ob diese Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) untereinander identisch sind, oder diese Datenwerte (Dij) und zusätzlich die ausgelesenen Informationen (DQij1, DQij2, DQij3) ausgegeben werden.
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