DE10153266B4 - pressure detector - Google Patents

pressure detector Download PDF

Info

Publication number
DE10153266B4
DE10153266B4 DE10153266A DE10153266A DE10153266B4 DE 10153266 B4 DE10153266 B4 DE 10153266B4 DE 10153266 A DE10153266 A DE 10153266A DE 10153266 A DE10153266 A DE 10153266A DE 10153266 B4 DE10153266 B4 DE 10153266B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
poles
change
capacitor
pole
folding edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10153266A
Other languages
German (de)
Other versions
DE10153266A1 (en
Inventor
Jürgen Kraetzl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WET Automotive Systems AG
Original Assignee
WET Automotive Systems AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WET Automotive Systems AG filed Critical WET Automotive Systems AG
Priority to DE10153266A priority Critical patent/DE10153266B4/en
Priority to US09/995,020 priority patent/US6604426B2/en
Publication of DE10153266A1 publication Critical patent/DE10153266A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10153266B4 publication Critical patent/DE10153266B4/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01GWEIGHING
    • G01G19/00Weighing apparatus or methods adapted for special purposes not provided for in the preceding groups
    • G01G19/40Weighing apparatus or methods adapted for special purposes not provided for in the preceding groups with provisions for indicating, recording, or computing price or other quantities dependent on the weight
    • G01G19/413Weighing apparatus or methods adapted for special purposes not provided for in the preceding groups with provisions for indicating, recording, or computing price or other quantities dependent on the weight using electromechanical or electronic computing means
    • G01G19/414Weighing apparatus or methods adapted for special purposes not provided for in the preceding groups with provisions for indicating, recording, or computing price or other quantities dependent on the weight using electromechanical or electronic computing means using electronic computing means only
    • G01G19/4142Weighing apparatus or methods adapted for special purposes not provided for in the preceding groups with provisions for indicating, recording, or computing price or other quantities dependent on the weight using electromechanical or electronic computing means using electronic computing means only for controlling activation of safety devices, e.g. airbag systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
    • G01L1/146Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors for measuring force distributions, e.g. using force arrays

Abstract

Vorrichtung, geeignet zum Detektieren von Druck, mit mindestens zwei einen Kondensator (1) bildenden Polen (4, 6), welche gegeneinander beabstandet sind, und von denen mindestens einer zumindest teilweise flächig ausgebildet ist und deren Abstand (16) voneinander sich bei einem Wechsel der Detektorvorrichtung zwischen belastetem und unbelastetem Zustand ändert, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Pole (4, 6) zumindest in einem der beiden Lastzustände längs einer Faltkante (10) gefaltet ist und die Faltkante (10) einen Öffnungsgrad aufweist, der sich bei einer Änderung des Lastzustands ändert und daß mindestens einer der Pole (4, 6) um mindestens einen anderer Pol (4, 6) gewickelt ist.Contraption, suitable for detecting pressure, with at least two a capacitor (1) forming poles (4, 6) which are spaced apart from each other, and at least one of which is at least partially planar is and whose distance (16) from each other in a change of Detector device between loaded and unloaded state changes, thereby characterized in that at least one of the poles (4, 6) at least in one of the two load states along a Folded edge (10) is folded and the folding edge (10) has an opening degree which occurs in the event of a change of the load state changes and that at least one of the poles (4, 6) is wound around at least one other pole (4, 6) is.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Detektor-Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1. Insbesondere ist sie zur Erkennung der Benutzung einer zum Sitzen bestimmten Einrichtung und der Berührung von zu überwachenden Flächen geeignet.The The present invention relates to a detector device after Preamble of claim 1. In particular, it is for detection the use of a seated device and the touch of to be monitored Suitable areas.

Es ist bekannt, flexible, plattenförmige Kondensatorpole durch eine kompressible Kunststoffschicht gegeneinander zu beabstanden. Wird ein solcher Kondensator-Sandwich mit Druck beaufschlagt, führt die elastische Kompression der Kunststoffschicht zu einer Annäherung der Kondensatorpole aneinander. Dadurch ändert sich die Kapazität des Kondensators. Aus dieser Änderung läßt sich auf das Vorhandensein eines Druckes und auf seine Höhe schließen. Nach einer Entlastung führt die komprimierte Kunststoffschicht die Kondensatorpole in ihre Ausgangsstellung zurück.It is known, flexible, plate-shaped Capacitor poles by a compressible plastic layer against each other to space. Will such a capacitor sandwich with pressure charged, leads the elastic compression of the plastic layer to approximate the Condenser poles to each other. This changes the capacitance of the capacitor. From this change let yourself to indicate the presence of a pressure and its height. To a discharge leads the compressed plastic layer, the capacitor poles in their original position back.

Nachteilig ist jedoch die Dicke und Steife eines solchen Kondensator-Sandwichs.adversely However, the thickness and stiffness of such a capacitor sandwich.

Aus DE 200 04 248 U1 ist ein Drucksensor bekannt, bei dem Kondensatorplatten mit gewellter Kontur oder rauhen Oberflächen zur Kapazitätsänderung eines Meßkondensators genutzt werden. Für manche Anwendungen ist eine demgegenüber höhere Kapazitätsänderung erforderlich.Out DE 200 04 248 U1 a pressure sensor is known in which capacitor plates with wavy contour or rough surfaces are used to change the capacitance of a measuring capacitor. For some applications, a higher capacity change is required.

Gegenstand der Erfindungobject the invention

Solche Probleme werden bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung dadurch vermieden, daß mindestens einer der Pole zumindest in einem der beiden Lastzustände längs einer Faltkante gefaltet ist und die Faltkante einen Öffnungsgrad aufweist, der sich bei einer Änderung des Lastzustands ändert. Der Öffnungsgrad läßt sich je nach Ausführungsform dabei zweckmäßigerweise als Biegeradius oder als Biegewinkel erfassen. Außerdem besitzt eine solche Vorrichtung eine erhöhte Meßgenauigkeit.Such Problems are thereby avoided in a device according to the invention, that at least one of the poles at least in one of the two load states along a Faltkante is folded and the fold has an opening degree, which is in case of a change of the load state changes. The opening degree let yourself depending on the embodiment expediently detect as bending radius or as bending angle. Also owns such a device increased Measurement accuracy.

Bei der erfindungsgemäßen Lösung ist eine kompressible Kunststoff-Zwischenschicht nicht erforderlich. Die Kondensatorpole sind durch Luft gegeneinander beabstandet. Dadurch wird die Vorrichtung flexibler, leichter und dünner.at the solution according to the invention a compressible plastic intermediate layer not mandatory. The capacitor poles are by air against each other spaced. This makes the device more flexible, lighter and more portable thinner.

Eine Vorrichtung nach Anspruch 2 ermöglicht eine einfache Rückstellung durch eine elastisch verformte Faltkante. Zusätzliche Rückstell-Vorrichtungen entfallen.A Device according to claim 2 allows a simple default by an elastically deformed folding edge. Additional reset devices are eliminated.

Eine Vorrichtung nach Anspruch 3 ist mechanisch einfach aufgebaut und deshalb einfach zu fertigen.A Apparatus according to claim 3 is mechanically simple and therefore easy to manufacture.

Eine Vorrichtung nach Anspruch 4 ist kostengünstig und einfach zu fertigen.A Apparatus according to claim 4 is inexpensive and easy to manufacture.

Eine Vorrichtung nach Anspruch 5 ist kompakt und kostengünstig zu fertigen.A Device according to claim 5 is compact and inexpensive too finished.

Eine Vorrichtung nach Anspruch 6 benötigt keine zusätzlichen Rückstell-Einrichtungen.A Device according to claim 6 requires no additional Restoring facilities.

Figurencharacters

Nachfolgend wird die Erfindung im Detail anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben. Diese dienen der Veranschaulichung und sollen die Erfindung nicht einschränken.following the invention will be described in detail with reference to embodiments. These are illustrative and not intended to the invention limit.

Die Figuren zeigen:The Figures show:

1a) ein erstes Ausführungsbeispiel im Ruhezustand von der Seite 1a) a first embodiment in the idle state from the side

1b) das Beispiel von 1a) im belasteten Zustand von der Seite 1b) the example of 1a) in loaded condition from the side

2 ein zweites Ausführungsbeispiel 2 a second embodiment

Beschreibung der Erfindungdescription the invention

1a zeigt eine Vorrichtung zum Detektieren von Druck mit einem Kondensator 1. Der Kondensator 1 besitzt zwei flächige, ebene Pole 4, 6. Die Pole 4, 6 sind jeweils mit einer nicht dargestellten, elektrisch nicht leitfähigen Beschichtung versehen. Sie sind dadurch elektrisch gegeneinander isoliert. Vorteilhafterweise sind die Pole 4, 6 aus metallisch beschichteten Kunststoff-Folien gebildet. 1a shows a device for detecting pressure with a capacitor 1 , The capacitor 1 has two flat, level poles 4 . 6 , The poles 4 . 6 are each provided with a not shown, electrically non-conductive coating. They are thus electrically isolated from each other. Advantageously, the poles 4 . 6 Made of metallically coated plastic films.

Der Pol 6 wird an seiner Oberseite vom Pol 4 bedeckt. Der Pol 4 ist an einer Seitenkante 8 des ersten Pols 6 um diesen herumgefaltet und bedeckt auch dessen Unterseite. Der Pol 4 weist somit eine Faltkante 10 auf, welche im wesentlichen parallel zur Seitenkante 8 des Pols 6 verläuft.The pole 6 is at its top from the pole 4 covered. The pole 4 is on a side edge 8th of the first pole 6 folded around this and also covers its bottom. The pole 4 thus has a folding edge 10 on, which is substantially parallel to the side edge 8th of the pole 6 runs.

Die Faltkante 10 weist einen Biegeradius auf, der im unbelasteten Zustand größer ist als die halbe Dicke des Poles 6. Der Abstand der beiden Pole 4, 6 voneinander ist deshalb im Bereich 14 nahe der Faltkante 10 größer als im übrigen Bereich des Kondensators. Dadurch sind die beiden Pole 4,6 zumindest hier durch einen Luftspalt 12 voneinander beabstandet.The folding edge 10 has a bending radius that is greater than half the thickness of the pole in the unloaded state 6 , The distance between the two poles 4 . 6 from each other is therefore in the field 14 near the fold edge 10 larger than in the remaining area of the capacitor. This causes the two poles 4 . 6 at least here by an air gap 12 spaced apart.

Der Kondensator wird zur Benutzung an eine zu überwachende Fläche, z.B. eine Sitzfläche eines Fahrzeugsitzes angebracht und an eine nicht dargestellte Auswerteelektronik angeschlossen.The capacitor is for use on a surface to be monitored, for example, mounted a seat of a vehicle seat and connected to a transmitter, not shown.

1b zeigt die Detektor-Vorrichtung 1 bei Einwirkung einer Belastung in Form einer Kraft F senkrecht zu den Kondensatorflächen. Dabei ändert sich der Biegeradius der Faltkante 10. Der Pol 4 wird im Teilbereich 14 nahe seiner Faltkante 10 abgeflacht. Dadurch wird der Pol 4 an den ebenen Pol 6 angenähert. Der Luftspalt 12 verengt sich oder verschwindet. Dadurch ändert sich die Kapazität des Kondensators, was von der Auswerteelektronik erfaßt wird. 1b shows the detector device 1 when exposed to a load in the form of a force F perpendicular to the capacitor surfaces. The bending radius of the fold edge changes 10 , The pole 4 is in the subarea 14 near his fold edge 10 flattened. This will be the pole 4 to the flat pole 6 approximated. The air gap 12 narrows or disappears. As a result, the capacitance of the capacitor changes, which is detected by the transmitter.

2 zeigt eine weitere Ausführungsform der Detektor-Vorrichtung 1 von der Seite. 2 shows a further embodiment of the detector device 1 of the page.

Die Detektor-Vorrichtung 1 weist zwei flächige Pole 4, 6 auf. Diese liegen übereinander und sind durch mehrfache Faltung an Faltkanten 10 zu einem Folien-Paket aufgewickelt. Ein um das Folien-Paket herumgelegtes Band 18 hält die Lagen des Folien-Pakets in seiner Mitte zusammen.The detector device 1 has two flat poles 4 . 6 on. These lie one above the other and are by folding several times at folding edges 10 wound into a foil package. A band wrapped around the foil package 18 holds the layers of the film package together in its middle.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Faltkanten 10 mit sehr großem Knickradius ausgeführt. Das Folien-Paket besitzt deshalb von der Seite betrachtet die Form einer Acht.In the present embodiment, the folding edges 10 executed with a very large buckling radius. The foil package therefore has the shape of an eight viewed from the side.

Wird die Detektor-Vorrichtung mit einer Kraft F belastet, so führt dies zu einer Verflachung des Folien-Pakets. Die Krümmungsradien der Kondensatorpole 4, 6 werden kleiner. Die Kondensatorpole 4, 6 werden in den Bereichen 16 nahe den Knickkanten 10 aneinander angenähert. Die veränderten Abstände der Kondensatorpole 4, 6 bewirken eine veränderte, geringere Kapazität des Kondensators. Diese Änderung kann von einer Auswerte-Elektronik detektiert werden.If the detector device is loaded with a force F, this leads to a flattening of the film package. The radii of curvature of the capacitor poles 4 . 6 become smaller. The capacitor poles 4 . 6 be in the fields 16 near the bend edges 10 approached each other. The changed distances of the capacitor poles 4 . 6 cause an altered, lower capacity of the capacitor. This change can be detected by an evaluation electronics.

Die im Ausführungsbeispiel dargestellten großen Knickradien sind insbesondere bei leicht verformbaren Kondensatorpolen 4, 6 von Vorteil. Einerseits läßt sich durch die größere elastische Verformung eine größere Rückstellkraft erzielen. Andererseits ist die Kapazitätsänderung im Kondensator und somit die Sensiblität durch die größeren Abstandsänderungen höher.The illustrated in the exemplary embodiment large buckling radii are especially in easily deformable capacitor poles 4 . 6 advantageous. On the one hand can be achieved by the larger elastic deformation a greater restoring force. On the other hand, the capacitance change in the capacitor and thus the sensitivity due to the larger distance changes is higher.

Insbesondere bei steiferen Materialien ist es jedoch auch denkbar, daß die Faltkanten nicht als Krümmung sondern winkelförmig ausgeführt sind. In diesem Fall würden die Kapazitätsänderung und die Rückstellkraft durch das Maß der Winkelveränderung bestimmt.Especially with stiffer materials, however, it is also conceivable that the folding edges not as a curvature but angular accomplished are. In that case, would the capacity change and the restoring force by the measure of Angle change determined.

Die wechselweise Übereinanderordnung der Kondensatorpole dieser Ausführungsform führt zu einer gegenüber der ersten Ausführungsform vervielfachten Kapazität des Kondensators. Krafteinwirkungen führen deshalb auch zu einer vervielfachten Kapazitätsänderung. Dadurch ist die Meßgenauigkeit der Detektor-Vorrichtung verbessert.The alternately superposition the capacitor poles of this embodiment leads to one opposite the first embodiment multiplied capacity of the capacitor. Force effects therefore also lead to a multiplied capacity change. As a result, the accuracy of the Detector device improved.

Claims (6)

Vorrichtung, geeignet zum Detektieren von Druck, mit mindestens zwei einen Kondensator (1) bildenden Polen (4, 6), welche gegeneinander beabstandet sind, und von denen mindestens einer zumindest teilweise flächig ausgebildet ist und deren Abstand (16) voneinander sich bei einem Wechsel der Detektorvorrichtung zwischen belastetem und unbelastetem Zustand ändert, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Pole (4, 6) zumindest in einem der beiden Lastzustände längs einer Faltkante (10) gefaltet ist und die Faltkante (10) einen Öffnungsgrad aufweist, der sich bei einer Änderung des Lastzustands ändert und daß mindestens einer der Pole (4, 6) um mindestens einen anderer Pol (4, 6) gewickelt ist.Device suitable for detecting pressure, having at least two a capacitor ( 1 ) forming poles ( 4 . 6 ), which are spaced apart from each other, and of which at least one is at least partially planar and whose distance ( 16 ) changes in a change of the detector device between loaded and unloaded state, characterized in that at least one of the poles ( 4 . 6 ) at least in one of the two load states along a folding edge ( 10 ) is folded and the folding edge ( 10 ) has an opening degree which changes with a change of the load state and that at least one of the poles ( 4 . 6 ) around at least one other pole ( 4 . 6 ) is wound. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Änderung des Öffnungsgrades eine elastische Verformung der Faltkante (10) bedingt.Apparatus according to claim 1, characterized in that the change of the opening degree, an elastic deformation of the folding edge ( 10 ) conditionally. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei der Pole (4, 6) zumindest in einem der beiden Lastzustände zumindest in einem Teilbereich (14) durch ein elektrisch nicht leitfähiges Fluid (12), insbesondere Luft, gegeneinander beabstandet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least two of the poles ( 4 . 6 ) at least in one of the two load states at least in a partial area ( 14 ) by an electrically non-conductive fluid ( 12 ), in particular air, are spaced from each other. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einer der Pole (4, 6) zumindest teilweise mittels einer elektrisch nicht leitfähigen Isolationsschicht gegen mindestens einen weiteren Pol (4, 6) beabstandet ist, wobei die Isolationsschicht vorzugsweise mit einem der Pole (4, 6) verbunden ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the poles ( 4 . 6 ) at least partially by means of an electrically non-conductive insulating layer against at least one further pole ( 4 . 6 ), wherein the insulating layer is preferably connected to one of the poles ( 4 . 6 ) connected is. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitfähige Schicht dünner als 200 μm und die elektrisch nicht leitfähige Schicht dünner als 1 mm ist.Device according to claim 4, characterized in that that the electrically conductive Layer thinner as 200 μm and the electrically non-conductive layer thinner than 1 mm. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückstellung mindestens eines Pols (4, 6) nach einem Lastwechsel im wesentlichen durch die an der Faltkante (10) gespeicherte elastische Energie erfolgt.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the provision of at least one pole ( 4 . 6 ) after a load change substantially by the at the folding edge ( 10 ) stored elastic energy takes place.
DE10153266A 2000-11-27 2001-10-31 pressure detector Expired - Fee Related DE10153266B4 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10153266A DE10153266B4 (en) 2000-11-27 2001-10-31 pressure detector
US09/995,020 US6604426B2 (en) 2000-11-27 2001-11-27 Variable capacitance pressure sensor

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10058836.0 2000-11-27
DE10058836 2000-11-27
DE10153266A DE10153266B4 (en) 2000-11-27 2001-10-31 pressure detector

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10153266A1 DE10153266A1 (en) 2005-02-17
DE10153266B4 true DE10153266B4 (en) 2005-07-14

Family

ID=7664827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10153266A Expired - Fee Related DE10153266B4 (en) 2000-11-27 2001-10-31 pressure detector

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP3639554B2 (en)
DE (1) DE10153266B4 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008241717A (en) * 2004-03-29 2008-10-09 Sanyo Electric Co Ltd Electrostatic capacitance-type pressure sensor, and heart rate/respiratory rate measuring device having the same

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20004248U1 (en) * 2000-03-10 2000-07-06 Wet Automotive Systems Ag Pressure sensor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20004248U1 (en) * 2000-03-10 2000-07-06 Wet Automotive Systems Ag Pressure sensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE10153266A1 (en) 2005-02-17
JP3639554B2 (en) 2005-04-20
JP2002202208A (en) 2002-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1470394B1 (en) Device for measuring levels
DE2724787A1 (en) KINETIC PROBE MADE OF POLYMERIC, PIEZOELECTRIC MATERIAL
DE102005030971A1 (en) Ball joint with sensor device, method for load measurement and method for wear measurement
DE102011076008B4 (en) Force transducer, in particular load cell
DE102016110299A1 (en) Sensor body for a flow-pressure sensor
EP1451043B1 (en) Sensor arrangement
DE3225554A1 (en) Measuring device for fluid jets
DE112018001090T5 (en) Layered sensor device and method for its manufacture
WO1999019697A1 (en) Force sensor
DE10153266B4 (en) pressure detector
DE102013113173A1 (en) Strain, force sensor measuring device, has load bearing part provided with bearing device, measuring objects measuring load of thin plate, and two strain parts fixed with end of beam, load receiving part, strain part and load bearing
DE3411528A1 (en) Platform for measuring force distributions
DE202016008592U1 (en) sensor
DE112017004229T5 (en) pressure sensor
DE202014010496U1 (en) Capacitive sensor element with integrated measuring and reference capacitance
DE102014009003A1 (en) Device for the parallel detection of motion and gravitational acceleration
EP0256392A1 (en) Measuring device for determination of forces and moments
EP0414699A1 (en) Measuring device for determining an angle of rotation
AT504406B1 (en) MEASURING DEVICE
DE10011312B4 (en) pressure sensor
DE10218613A1 (en) Mechanical power detection apparatus has detection plate including measurement layers whose characteristics change, if power that is to be detected acts on measurement layers
DE19823190B4 (en) Level sensor with float
DE3719842A1 (en) PRESSURE MEASURING DEVICE
DE3226386A1 (en) Device for three-dimensional force measurement
DE2731752C2 (en) Device for determining small distances

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee