DE10141753A1 - Method for installing electronic component on support structure, involves using face-down technology - Google Patents

Method for installing electronic component on support structure, involves using face-down technology

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Abstract

A method for installing an electronic component on a support or carrier structure (1), in which the component is joined in its installed position through an adhesive layer (3) at its structured side facing the carrier structure with the surface of the carrier structure. The adhesive layer (3) is mounted in a first working step on the bottom face of the component and in a further working step prior to curing the adhesive layer (3), and subsequently a material aggregate (4) of the conducting material is applied for forming the contact bridge by an injection process at high-speed, onto the pad (2), such that in the region of the pad (2) the adhesive layer material is dispelled and after placing the processed component into the required position on the carrier structure (1), simultaneous curing of the adhesive layer and the electronic, conducting contact bridges (bumps) follows.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Montage eines elektronischen Bauelementes auf einer Trägerstruktur in Face-Down-Technik, bei dem das Bauelement in montiertem Zustand durch eine Klebeschicht an seiner der Trägerstruktur zugewandten strukturierten Seite mit der Oberseite der Trägerstruktur verbunden wird und wobei in montiertem Zustand zwischen sich gegenüberliegenden Kontaktflächen an Trägerstruktur und elektronischem Bauelement eine elektrisch leitende Verbindung mittels aus leitendem Material bestehenden Kontaktbrücken (Bumps) hergestellt ist. The invention relates to a method for assembling an electronic component on a support structure in face-down technology, in which the component in assembled state by an adhesive layer on its the support structure facing structured side is connected to the top of the support structure and wherein in the assembled state between opposing contact surfaces on the support structure and electronic component an electrically conductive Connection using contact bridges (bumps) made of conductive material is made.

Das eingangs geschilderte gattungsgemäße Verfahren wird in vielen Bereichen der Elektronikindustrie eingesetzt, so auch unter anderem zur Herstellung von Chipmodulen für Datenträgerkarten. Die genannten Bumps überbrücken dabei den Weg zwischen sich spiegelbildlich gegenüberliegenden Anschlussstrukturen und werden mit unterschiedlichen Verfahren hergestellt. Als Material der Bumps können hierbei neben reinen Metallen und Lotwerkstoffen unter anderem Leitkleber verwendet werden, wobei die Klebeeigenschaften des verwendeten Materials zu einer ersten provisorischen Fixierung des Bauelementes auf der Trägerstruktur benutzt werden. In aller Regel ist die mechanische Belastbarkeit der mittels Leitkleber hergestellten Bumps jedoch so gering, dass diese für eine endgültige Fixierung des Bauelementes nicht ausreichend ist. Aus diesem Grunde wird in einem weiteren Arbeitsschritt in den Zwischenraum zwischen Unterseite des Bauelementes und Oberseite der Trägerstruktur ein zusätzliches Klebematerial als so genannter Underfiller eingebracht. Der zusätzlich eingebrachte Kleber stellt hierbei die dauerhafte Fixierung des Bauelementes auf der Trägerstruktur sicher. The generic method described at the outset is used in many areas of Electronics industry used, including for the production of Chip modules for data carrier cards. The bumps mentioned bridge the way between connecting structures that are opposite each other in mirror image made with different processes. The material of the bumps can be In addition to pure metals and solder materials, conductive glue is also used be, the adhesive properties of the material used to a first provisional fixation of the component on the support structure can be used. As a rule, the mechanical resilience of those produced using conductive adhesive Bumps, however, are so small that they are used for a final fixation of the component is not sufficient. For this reason, in a further step in the space between the underside of the component and the top of the Carrier structure introduced an additional adhesive material as a so-called underfiller. The additional glue is the permanent fixation of the Component safe on the support structure.

Es ist leicht einsehbar, dass der geschilderte Verfahrensablauf mit seinen einzelnen Arbeitsschritten und hierbei insbesondere das Einbringen des Underfillers in den Zwischenraum zwischen Bauelement und Trägerstruktur zu nicht unerheblichen Kosten führt. Ergänzend ist darauf hinzuweisen, dass bei den geschilderten aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren unter Umständen nach dem Herstellen der Bumps aus leitfähigem Kleber und dem Aufsetzen des Bauelementes als zusätzlicher Arbeitsschritt ein Aushärten der Bumps erforderlich ist. Hierdurch erhöht sich die Gesamtfertigungszeit der elektronischen Anordnung zusätzlich. It is easy to see that the procedure described with its individual Steps and in particular the insertion of the underfiller in the The space between the component and the support structure is not insignificant Costs. In addition, it should be noted that the described from the Methods known in the art under certain circumstances after the manufacture of the Bumps of conductive glue and the placement of the component as an additional Step a hardening of the bumps is required. This increases the Total manufacturing time of the electronic arrangement additionally.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, dass aus den eingangs geschilderten Arbeitsschritten bestehende gattungsgemäße Verfahren so weiter zu entwickeln, dass die Montage elektronischer Bauelemente auf entsprechenden Trägerstrukturen erheblich vereinfacht und somit wesentlich kostengünstiger gestaltet wird. The object of the present invention is that from the above Work steps to further develop existing generic methods so that the assembly of electronic components on appropriate support structures is considerably simplified and is therefore made much more cost-effective.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die in den nebengeordneten Ansprüchen 1 und 2 offenbarten technischen Lehren gelöst. Es ist bei dem erfindungsgemäßen ersten Verfahren vorgesehen, dass die Klebeschicht in einem ersten Arbeitsschritt auf der strukturierten Seite des Bauelementes vollflächig ohne komplette Aussparung der Kontaktflächen aufgetragen wird, anschließend in einem weiteren Arbeitsschritt vor der Aushärtung der Klebeschicht auf die Kontaktflächen des Bauelementes eine Materialanhäufung aus dem leitenden Material zur Bildung der Kontaktbrücke mittels eines Spritzvorganges mit hoher Geschwindigkeit so aufgebracht wird, dass das im Bereich der Kontaktflächen befindliche Material der Klebeschicht verdrängt wird. Die Viskosität und Schichtdicke der Klebeschicht ist dabei ebenso wie das Volumen und die Eigenschaften des leitenden Materials dem erfindungsgemäßen Verfahren angepasst. Abschließend erfolgt nach dem Aufsetzen des so vorbereiteten Bauelementes an die erforderliche Position auf der Trägerstruktur eine gleichzeitige Aushärtung von Klebeschicht und elektrisch leitenden Kontaktbrücken (Bumps). Das geschilderte Verfahren zeichnet sich insbesondere dadurch aus, dass das zeitaufwendige Einbringen eines Underfillers in den Zwischenraum zwischen Bauelement und Trägerstruktur zur endgültigen Fixierung von Ersterem vollständig entfallen kann. Darüber hinaus findet durch die gemeinsame Aushärtung von Kontaktbrücken und Klebeschichtmaterial eine weitere Herstellungszeitreduzierung und somit eine Herabsetzung der Herstellkosten statt. Vor dem Auftragen der Klebeschicht können die Kontaktflächen des Bauelementes an der zu beschichtenden Seite durch eine Under-Bump Metallisierung vorbereitet werden. This object is achieved by the in the independent claims 1 and 2 disclosed technical teachings solved. It is with the invention First method provided that the adhesive layer in a first step the structured side of the component over the entire surface without a complete recess Contact surfaces is applied, then in a further step the curing of the adhesive layer on the contact surfaces of the component Material accumulation from the conductive material to form the contact bridge is applied by spraying at high speed so that the material of the adhesive layer located in the area of the contact surfaces displaces becomes. The viscosity and layer thickness of the adhesive layer is just like that Volume and the properties of the conductive material according to the invention Procedure adapted. Finally, after putting on the so prepared A simultaneous component to the required position on the support structure Hardening of adhesive layer and electrically conductive contact bridges (bumps). The described method is particularly characterized in that the time-consuming insertion of an underfiller in the space between the component and support structure for the final fixation of the former are completely eliminated can. In addition, the joint curing of contact bridges takes place and adhesive layer material a further reduction in production time and thus one Reduction in manufacturing costs instead. Before applying the adhesive layer you can the contact surfaces of the component on the side to be coated by a Be prepared for under-bump metallization.

Entsprechend einer mit den gleichen Zeit- und Kostenvorteilen versehenen alternativen Ausgestaltungsvariante kann das erfindungsgemäße Verfahren auch dadurch durchgeführt werden, dass die Klebeschicht in einem ersten Arbeitsschritt auf der Oberseite der Trägerstruktur vollflächig ohne komplette Aussparung der Kontaktflächen aufgetragen wird, anschließend in einem weiteren Arbeitsschritt vor der Aushärtung der Klebeschicht auf die Kontaktflächen eine Materialanhäufung aus dem leitenden Material zur Bildung der Kontaktbrücken mittels eines Spritzvorganges mit hoher Geschwindigkeit so aufgebracht wird, dass das im Bereich der Kontaktflächen befindliche Material der Klebeschicht verdrängt wird und nach dem Aufsetzen des Bauelementes an die erforderliche Position auf der vorbereiteten Trägerstruktur eine gleichzeitige Aushärtung von Klebeschicht und elektrisch leitenden Kontaktbrücken (Bumps) erfolgt. Vorteilhafterweise besitzt das Bauelement auch bei dieser Verfahrensvariante eine Under-Bump-Metallisierung auf seinen Kontaktflächen. According to one with the same time and cost advantages The method according to the invention can also provide an alternative embodiment variant be carried out that the adhesive layer in a first step on the Top of the support structure over the entire surface without complete recess Contact surfaces is applied, then in a further step before Hardening of the adhesive layer on the contact surfaces a material accumulation the conductive material to form the contact bridges by means of a Spraying process is applied at high speed so that in the area of Contact surfaces located material of the adhesive layer is displaced and after Place the component in the required position on the prepared one Carrier structure a simultaneous curing of the adhesive layer and electrical conductive contact bridges (bumps). The component advantageously has an under-bump metallization on his also in this method variant Contact surfaces.

Die mittels der beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Bauelemente werden danach in der Regel in oder auf Chipkarten befestigt, jedoch sind auch andere Einsatzgebiete auf dem Elektroniksektor der Bauelemente denkbar. Those produced by means of the described method according to the invention Components are usually attached in or on chip cards, but are also other areas of application in the electronics sector of the components are conceivable.

Im Folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand der beigefügten Fig. 1 und 2 näher erläutert. The method according to the invention is explained in more detail below with reference to the attached FIGS. 1 and 2.

In der Fig. 1 ist dabei eine Trägerstruktur 1 dargestellt, welche mit mehreren Kontaktflächen 2 versehen ist. Diese Trägerstruktur 1 wird zur Vorbereitung der Montage eines elektronischen Bauelementes zunächst auf seiner Oberseite mit einer Klebeschicht 3 versehen. Wie aus der Fig. 1 deutlich wird, ist die Klebeschicht 3vollflächig ausgeführt und überdeckt sowohl die Kontaktflächen 2 als auch die zwischenliegenden Bereiche der Trägerstruktur 1. In einem anschließenden Arbeitsschritt wird sodann auf die Kontaktflächen 2 jeweils eine Materialanhäufung 4 in Form so genannter Bumps mittels eines in der Zeichnung als Blackbox dargestellten geeigneten Spritzgerätes 5 aufgebracht. Ein jeweils eine Materialanhäufung 4 bildender Tropfen 6 wird hierbei mittels des Spritzgerätes 5 in seiner Volumenmenge dosiert und auf eine so große Geschwindigkeit beschleunigt, dass beim Auftreffen des Tropfens 6 auf die Klebeschicht 3 deren Material im Bereich der Kontaktflächen 2 verdrängt wird, das Material des Tropfens 6 bis zur Kontaktfläche 2 die Klebeschicht 3 durchwandert und mit der Außenfläche der Klebeschicht eine bündige Oberfläche bildet oder aus dieser geringfügig nach oben herausragt. Voraussetzung hierfür ist es, dass nach dem vorhergehenden Auftragen der Klebeschicht 3 noch keine Aushärtung des Klebeschichtmaterials stattgefunden hat. Ist die Trägerstruktur 1 durch die geschilderten Arbeitsschritte für die Montage eines elektronischen Bauelementes 7 beispielsweise in Form eines Chips vorbereitet, so wird dieser mit seiner Unterseite und darauf befindlichen mit den Kontaktflächen 2 auf der Trägerstruktur 1 korrespondierenden weiteren Kontaktflächen auf die Trägerstruktur 1 aufgesetzt. Durch den Aufsetzvorgang wird gleichzeitig eine endgültige Fixierung des Bauelementes 7 mittels der Klebeschicht 3 auf der Trägerstruktur 1 vorgenommen und darüber hinaus durch die Kontaktbrücke der Materialanhäufung 4 (Bump) eine elektrisch leitende Verbindung zwischen elektronischem Bauelement 7 und Trägerstruktur 1 geschaffen, die gleichzeitig geringfügig zur endgültigen Fixierung beiträgt. Abschließend erfolgt eine gleichzeitige Aushärtung des Klebeschichtmaterials und der elektrisch leitenden Substanz der Materialanhäufung 4. In Fig. 1 while a support structure 1 is shown which is provided with several contact surfaces 2. To prepare for the assembly of an electronic component, this carrier structure 1 is first provided with an adhesive layer 3 on its upper side. As is clear from FIG. 1, the adhesive layer 3 has a full surface and covers both the contact surfaces 2 and the intermediate regions of the carrier structure 1 . In a subsequent work step, a material accumulation 4 in the form of so-called bumps is then applied to the contact surfaces 2 by means of a suitable spraying device 5 shown as a black box in the drawing. A drop 6 , each forming a material accumulation 4 , is metered in volume by means of the spraying device 5 and accelerated to such a high speed that when the drop 6 hits the adhesive layer 3 , the material of which is displaced in the area of the contact surfaces 2 , the material of the drop 6 traverses the adhesive layer 3 as far as the contact surface 2 and forms a flush surface with the outer surface of the adhesive layer or protrudes slightly upwards therefrom. The prerequisite for this is that after the previous application of the adhesive layer 3 , the adhesive layer material has not yet cured. If the support structure 1 is prepared for the assembly of an electronic component 7, for example in the form of a chip, by the described working steps, then this is placed on the support structure 1 with its underside and further contact areas corresponding to the contact areas 2 on the support structure 1 . Through the placement process, the component 7 is finally fixed by means of the adhesive layer 3 on the carrier structure 1 and, moreover, an electrically conductive connection between the electronic component 7 and the carrier structure 1 is created by the contact bridge of the material accumulation 4 , which at the same time is slightly final Fixation contributes. Finally, the adhesive layer material and the electrically conductive substance of the material accumulation 4 are simultaneously cured.

Es wird an dieser Stelle darauf verzichtet, die einzelnen Abläufe des alternativen erfindungsgemäßen Verfahrens zu schildern, bei dem zur Montagevorbereitung des elektronischen Bauelementes 7 auf der Trägerstruktur 1 die Klebeschicht 3 auf der Unterseite des elektronischen Bauelementes 7 aufgebracht wird und anschließend im Bereich der Kontaktflächen mittels eines geeigneten Spritzgerätes Materialanhäufungen aufgebracht werden, da für den Fachmann aus den dargelegten Figuren die alternative Gestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens zweifellos deutlich wird. Bezugszeichenliste 1 Trägerstruktur
2 Kontaktfläche
3 Klebeschicht
4 Materialanhäufung
5 Spritzgerät
6 Tropfen
7 elektronisches Bauelement
At this point it is not necessary to describe the individual processes of the alternative method according to the invention, in which the adhesive layer 3 is applied to the underside of the electronic component 7 to prepare the assembly of the electronic component 7 on the carrier structure 1 and then in the area of the contact surfaces by means of a Suitable accumulator material accumulations are applied, since the alternative design of the method according to the invention will undoubtedly become clear to the person skilled in the art from the figures presented. Reference symbol list 1 support structure
2 contact surface
3 adhesive layer
4 Material accumulation
5 sprayer
6 drops
7 electronic component

Claims (3)

1. Verfahren zur Montage eines elektronischen Bauelementes (7) auf einer Trägerstruktur (1) in Face-Down-Technik, bei dem das Bauelement (7) in seiner montierten Position durch eine Klebeschicht (3) an seiner der Trägerstruktur (1) zugewandten strukturierten Seite mit der Oberseite der Trägerstruktur verbunden wird und wobei in montiertem Zustand zwischen sich gegenüber liegenden Kontaktflächen (2) an Trägerstruktur (1) und elektronischem Bauelement (7) eine elektrisch leitende Verbindung mittels aus leitendem Material bestehenden Kontaktbrücken (Bumps) hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebeschicht (3) in einem ersten Arbeitsschritt auf der Unterseite des Bauelementes (7) vollflächig ohne komplette Aussparung der Kontaktflächen (2) aufgetragen wird, in einem weiteren Arbeitsschritt vor der Aushärtung der Klebeschicht (3) anschließend auf die Kontaktflächen (2) eine Materialanhäufung (4) aus dem leitenden Material zur Bildung der Kontaktbrücke mittels eines Spritzvorganges mit hoher Geschwindigkeit so aufgebracht wird, dass das im Bereich der Kontaktflächen (2) befindliche Material der Klebeschicht (3) verdrängt wird und nach dem Aufsetzen des so vorbereiteten Bauelementes (7) an die erforderliche Position auf der Trägerstruktur (1) eine gleichzeitige Aushärtung von Klebeschicht (3) und elektronisch leitenden Kontaktbrücken (Bumps) erfolgt. 1. A method for assembling an electronic component ( 7 ) on a support structure ( 1 ) using face-down technology, in which the component ( 7 ) in its assembled position is structured by an adhesive layer ( 3 ) on the support structure ( 1 ) facing it Side is connected to the top of the support structure and in the assembled state between opposite contact surfaces ( 2 ) on the support structure ( 1 ) and electronic component ( 7 ) an electrically conductive connection is made by means of contact bridges (bumps) made of conductive material, characterized that the adhesive layer ( 3 ) is applied over the entire surface in a first step on the underside of the component ( 7 ) without completely cutting out the contact surfaces ( 2 ), in a further step before the adhesive layer ( 3 ) is hardened then on the contact surfaces ( 2 ) a material accumulation ( 4 ) from the conductive material to form d he contact bridge is applied at high speed by means of a spraying process in such a way that the material of the adhesive layer ( 3 ) located in the area of the contact surfaces ( 2 ) is displaced and after the component ( 7 ) prepared in this way has been placed on the required position on the carrier structure ( 1 ) the adhesive layer ( 3 ) and electronically conductive contact bridges (bumps) are cured at the same time. 2. Verfahren zur Montage eines elektronischen Bauelementes (7) auf einer Trägerstruktur (1) in Face-Down-Technik, bei dem das Bauelement (7) in seiner montierten Position durch eine Klebeschicht (3) an seiner der Trägerstruktur (1) zugewandten strukturierten Seite mit der Oberseite der Trägerstruktur verbunden wird und wobei in montiertem Zustand zwischen sich gegenüber liegenden Kontaktflächen (2) an Trägerstruktur (1) und elektronischem Bauelement (7) eine elektrisch leitende Verbindung mittels aus leitendem Material bestehenden Kontaktbrücken (Bumps) hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebeschicht (3) in einem ersten Arbeitsschritt auf der Oberseite der Trägerstruktur (1) vollflächig ohne komplette Aussparung der Kontaktflächen (2) aufgetragen wird, in einem weiteren Arbeitsschritt vor der Aushärtung der Klebeschicht (3) anschließend auf die Kontaktflächen (2) eine Materialanhäufung (4) aus dem leitenden Material zur Bildung der Kontaktbrücke mittels eines Spritzvorganges mit hoher Geschwindigkeit so aufgebracht wird, dass das im Bereich der Kontaktflächen (2) befindliche Material der Klebeschicht (3) verdrängt wird und nach dem Aufsetzen des Bauelementes (7) an die erforderliche Position auf der vorbereiteten Trägerstruktur (1) eine gleichzeitige Aushärtung von Klebeschicht (3) und elektronisch leitenden Kontaktbrücken (Bumps) erfolgt. 2. Method for mounting an electronic component ( 7 ) on a support structure ( 1 ) using face-down technology, in which the component ( 7 ) in its assembled position is structured by an adhesive layer ( 3 ) on the support structure ( 1 ) facing it Side is connected to the top of the support structure and in the assembled state between opposite contact surfaces ( 2 ) on the support structure ( 1 ) and electronic component ( 7 ) an electrically conductive connection is made by means of contact bridges (bumps) made of conductive material, characterized that the adhesive layer ( 3 ) is applied over the entire surface in a first step on the upper side of the carrier structure ( 1 ) without completely cutting out the contact surfaces ( 2 ), in a further step before the adhesive layer ( 3 ) hardens then onto the contact surfaces ( 2 ) an accumulation of material ( 4 ) from the conductive material for formation the contact bridge is applied at high speed by means of a spraying process in such a way that the material of the adhesive layer ( 3 ) located in the area of the contact surfaces ( 2 ) is displaced and after the component ( 7 ) has been placed on the required position on the prepared carrier structure ( 1 ) simultaneous curing of the adhesive layer ( 3 ) and electronically conductive contact bridges (bumps) takes place. 3. Verfahren zur Montage eines elektronischen Bauelementes (7) auf einer Trägerstruktur (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktflächen (2) vor dem Verfahrensschritt des Kleberauftrages mit einer Under-Bump-Metallisierung versehen werden. 3. A method for mounting an electronic component ( 7 ) on a carrier structure ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the contact surfaces ( 2 ) are provided with an under-bump metallization before the step of applying the adhesive.
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