DE10140417A1

DE10140417A1 - Anordnung zum Handhaben und/oder Aufbewahren einer Maske und/oder eines Substrates

Info

Publication number: DE10140417A1
Application number: DE10140417A
Authority: DE
Inventors: Florenz Kittel; Markus Schwambera; Walter Franken
Original assignee: Aixtron SE
Current assignee: Aixtron SE
Priority date: 2001-07-04
Filing date: 2001-08-17
Publication date: 2003-01-16

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Handhaben und/oder Aufbewahren einer Maske oder eines Substrates mit einem einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalter (1, 2). Um die Beschichtung/Strukturierung von Substraten innerhalb einer mehrere Beschichtungs-/Strukturierungseinheiten umfassenden Anordnung zu verbessern und insbesondere die Ausrichtung während des Handhabens exakt beizubehalten, schlägt die Erfindung vor, mehrere den Rahmen (1, 2) gabelartig untergreifende Stangen (3) vorzusehen, von denen mindestens zwei eine eine schneidenförmige Umfangskante (4'') aufweisende Scheibe (4, 5) tragen, welche Scheibe (4, 5) jeweils in eine dem Rahmen (1, 2) zugeordnete Kerbe (6) eingreift, welche Kerbe (6, 7) einen Kerbgrund (8) besitzt, der einen Scheitel (9) ausbildet.

Description

Die Erfindung betrifft zunächst eine Anordnung zum Handhaben und/ oder Aufbewahren einer Maske oder eines Substrates mit einem einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalter.
Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Handhabungsvorrichtung zum Handhaben eines einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalters oder einer Kombination derartiger Rahmen.
Ferner betrifft die Erfindung eine Aufbewahrungsvorrichtung zum Aufbewahren eines einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalters oder einer Kombination derartiger Rahmen mit ein oder mehreren Lagerholmpaaren zur Aufnahme des Rahmens.
Schließlich betrifft die Erfindung einen rahmenförmigen Masken- oder Substrathalter zum Zusammenwirken mit einer Handhabungsvorrichtung oder einer Aufbewahrungsvorrichtung.

Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bzw. von Displays, insbesondere von LCD-Displays oder von anderweitigen, auf dem Prinzip der Punktrasterdarstellung arbeitenden Anzeigeorganen werden zunächst kristalline oder nicht kristalline Schichten auf ein vorstrukturiertes oder nicht vorstrukturiertes Substrat, insbesondere Halbleitersubstrat abgeschieden. Der Abscheideprozess erfolgt in der Prozesskammer eines Reaktors in einer definiert eingestellten Atmosphäre. Der Schichtabscheidung folgen weitere Beschichtungs- oder Strukturierungsprozesse die eine Maskierung des Substrates erfordern. Zur Maskierung wird eine Maske, welche Durchgangsöffnungen aufweist, auf das Substrat gelegt. Bei einer maskierten Beschichtung findet die substratseitige Schichtabscheidung nur im Bereich der Öffnungen der Maske statt. Die verschiedenartigen Prozesse, die nacheinander abfolgen, werden in unterschiedlichen Vorrichtungen durchgeführt. Es ist demzufolge erforderlich, das Substrat von einer Prozesskammer in eine andere Prozesskammer zu bringen oder zwischenzulagern mit der Erhaltung der präzisen Ausrichtung von Maske zum Substrat.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen anzugeben, um die Beschichtung/Strukturierung von Substraten innerhalb einer mehrere Beschichtungs-/Strukturierungseinheiten umfassenden Anordnung zu verbessern und insbesondere die Ausrichtung während des Handhabens exakt beizubehalten.

Diese Aufgabe ist zunächst und im Wesentlichen vom Gegenstand des Anspruchs 1 gelöst, in welchem abgestellt wird auf zwei oder mehr den Rahmen gabelartig untergreifende Stangen, von denen mindestens zwei eine schneidenförmige Umfangskante aufweisende Scheibe tragen, welche Scheibe jeweils in eine dem Rahmen zugeordnete Kerbe eingreift, welche Kerbe einen Kerbgrund besitzt, der einen Scheitel ausbildet. Die in den weiteren Ansprüchen angegebenen Gegenstände betreffen sowohl vorteilhafte Weiterbildungen zum Gegenstand des Anspruches 1 als auch gleichzeitig davon und von der oben genannten Aufgabenstellung unabhängige eigenständige technische Lösungsvorschläge. Es wird dort vorgeschlagen, dass eine Stange nur mit einer Scheibe in eine rahmenseitige Kerbe tritt und den Rahmen an anderer Stelle lediglich stützend untergreift. Weiter wird vorgeschlagen, dass die Scheibe einen kreisförmigen Querschnitt besitzt. Außerdem können die Kerben einen dem Verlauf der Umfangskante entsprechenden Kerbgrund besitzen. Weiter ist vorgesehen, dass der Öffnungswinkel der Kerbwand dem Schneidenwinkel der Scheibenflanken entspricht. Zufolge dieser Ausgestaltung ist nicht nur eine formschlüssige, selbst lagezentrierende Aufnahme gewährleistet. Die Scheibe liegt auch in Flächenanlage an den Kerbwänden. In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Stangen mehrere Scheiben für verschieden gestaltete Rahmen aufweisen. Auch ist vorgesehen, dass die Stangen durchmessergrößere Abschnitte aufweisen zum stützenden Rahmenuntergriff. Die Rahmen können rund oder rechteckig sein. Die Rahmen können eine Mehrzahl von Kerben aufweisen, die jeweils Kerbenpaare ausbilden zum Zusammenwirken mit Stangenpaaren mit verschiedenem Stangenabstand. Die Kerben können auch oberseitig und unterseitig am Rahmen angeordnete sein, um eine Überkopf- Handhabung zu erlauben. Der Substrathalterrahmen hat bevorzugt die Form eines Rechteckes. Der Maskenhalterrahmen hat bevorzugt die Form eines Kreisrahmens. Der Maskenhalterrahmen kann den rechteckigen Substrathalterrahmen formschlüssig umgreifen. Insofern betrifft die Erfindung auch eine Kombination aus einem formschlüssig mit dem Rechteckrahmen verbundenen Kreisrahmen, wobei die im Kreisrahmen eingespannte Maske flächig auf dem im Rechteckrahmen eingespannten Substrat aufliegt oder wohldefiniert beabstandet ist. Diese Kombination kann von den Stangen sowohl in zwei um eine Vertikalachse um 180° gewendeten Stellungen als auch in zwei um eine Horizontalachse um 180° gewendeten Stellungen getragen werden. Die an einer Stange eines Stangenpaares angeordneten Scheiben können unterschiedliche Durchmesser aufweisen zum Eingriff in Kerben unterschiedlicher Größe, die jeweils verschiedenen Rahmen zugeordnet sind.

Die oben genannte Aufgabe wird auch durch die Weiterbildung einer Handhabungsvorrichtung zum Handhaben eines einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalters oder einer Kombination derartiger Rahmen mit einem Handhabungsarm gebildet. Hierzu werden zwei oder mehr vom Handhabungsarm ausgebildete gabelartig angeordnete Stangen zum lagefixierten Untergreifen des Rahmens vorgeschlagen, welche Stangen jeweils eine schneidenförmige Umfangskante aufweisende Scheibe tragen zum Eintritt in dem Rahmen zugeordnete Kerben, die einen einen Scheitel ausbildenden Kerbgrund besitzen.

Die erfindungsgemäße Weiterbildung einer Aufbewahrungsvorrichtung zum Aufbewahren eines einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalters oder einer Kombination derartiger Rahmen mit ein oder mehreren Lagerholmen zur Aufnahme des Rahmens ist durch dieselben Maßnahmen gewährleistet.

Der rahmenförmigen Masken- oder Substrathalter wird erfindungsgemäß durch rahmmunter- und/ oder rahmenoberseitig angeordnete Kerben weitergebildet, die mit einem einen Scheitel ausbildenden Kerbgrund ausgestattet sind, zum Eingriff von den rahmenlagefixiert unterstützenden, eine schneidenförmige Umfangskante aufweisenden, auf Stangen angeordneten Scheiben.

Die Erfindung liefert ein Konzept, womit mit einfachen Mitteln ein lagefixierter Untergriff unter den Substrathalterträger oder den Maskenhalterträger möglich ist. Das Substrat kann aufgespannt auf dem Substrathalter von einer Behandlungsvorrichtung zur anderen Behandlungsvorrichtung gebracht werden. Die Positionierung auf den Stangen erfolgt dabei selbstzentrierend. Auch die Positionierung in einer Kassette, die eine Vielzahl von stockwerkartig übereinander angeordneten Stangenpaaren aufweist, erfolgt selbstzentrierend. Da die der Kassette zugeordneten Stangen weiter auseinander liegen, als die dem Betätigungsarm zugeordneten Stangen, können die Stangen des Bestätigungsarmes des Roboters gabelstaplerartig zwischen die eine Lagerfunktion ausübenden Stangen der Kassette fahren und den Substrathalter, den Maskenhalter oder gegebenenfalls die Kombination aus auf Substrathalter aufliegendem Maskenhalter aufnehmen. Da auch in der Kassette eine Lagefixierung stattfindet kann der Betätigungsarm den Rahmen oder die Rahmen an einer definierten Position übernehmen. Bevorzugt ist die Handhabung mit lagefixiert zum Substratrahmen fixiertem Maskenrahmen möglich. Dies erlaubt auch ein automatisches Aufsetzen einer Maske auf ein Substrat, welches in einem Substrathalter eingespannt ist. Die Zuordnung von Maskenhalterrahmen zu Substrathalterrahmen erfolgt bevorzugt durch formschlüssige Selbstjustierung, so dass die einmal miteinander kombinierten Rahmen als Ensemble behandelt werden können. Der Substrathalterträger kann mit aufgesetztem Maskenhalterträger von einer Behandlungseinheit in eine andere Behandlungseinheit verbracht werden oder zwischengespeichert werden. Die Lage der beiden Rahmen ändert sich dabei nicht. Es hat sich herausgestellt, dass lediglich zwei Lagefixierungsstellen in Form zweier Schneiden insbesondere in Form von Scheiben ausreichen, um einen Rahmen korrekt zu positionieren. Damit ist eine Überbestimmung der Position vermieden. An anderen Stellen des Rahmens findet dann lediglich eine Unterstützung statt. Zufolge unterschiedlicher Durchmesser der unterstützenden Bereiche, welche im Wesentlichen eine kreiszylindrische Form besitzen, und der Scheiben, können verschiedenartige Rahmen auf unterschiedlichen Höhenniveaus getragen werden. Dies kommt der Anforderung entgegen, auch Rahmenkombinationen tragen zu können, dies auch in einer Kopfüber- Handhabung.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Effektor eines Handhaben-Automates mit der erfindungsgemäßen Stangenanordnung als Träger eines Substrathalterrahmens,
Fig. 2 die Anordnung gemäß Fig. 1 in der Unteransicht,
Fig. 3 einen Schnitt gemäß der Linie III-III in Fig. 2,
Fig. 4 einen Schnitt gemäß der Linie IV-IV in Fig. 2,
Fig. 5 einen Schnitt gemäß der Linie V-V in Fig. 2,
Fig. 6 den Substrathalterrahmen in der Unteransicht,
Fig. 7 eine Darstellung gemäß Fig. 2 mit einem Maskenhalterrahmen mit kreisförmigem Grundriss,
Fig. 8 den Maskenhalterrahmen in der Unteransicht,
Fig. 9 eine Kassette mit stockwerkartig übereinander angeordneten Lagerplätzen für Rahmen,
Fig. 10 eine perspektivische Darstellung eines auf einem Stangenpaar angeordneten Rahmenpaars bestehend aus einem rechteckigen Substrathalterrahmen, der formschlüssig von einem kreisrunden Maskenhalterrahmen umfangen ist,
Fig. 11 die perspektivische Darstellung einer Kassette mit mehreren Lagerpositionen, beladungsseitig,
Fig. 12 einen Endeffektor in perspektivischer Darstellung mit zwei gleich gestalteten Stangen,
Fig. 13 eine Variante eines Endeffektors in der Unteransicht, einen Maskenhalterrahmen tragend und
Fig. 14 eine weiteres Ausführungsbeispiel eines Endeffektors in der Darstellung gemäß Fig. 12.
Mit der Bezugsziffer 1 ist ein Substrathalterrahmen 1 bezeichnet. Dieser Substrathalterrahmen besitzt nicht näher dargestellte Spann-/Haltemittel, um ein rechteckiges Substrat auf den Rahmenschenkeln derart zu fesseln, dass die Substratfläche die Öffnung des Rahmens überfängt. Das Substrat wird derart am Rahmen gefesselt, dass es in der Ebene in einer definierten Position festliegt und beim Umdrehen des Rahmens nicht herausfällt. Der Rahmen besitzt mehrere Kerben 6, 7. Die Kerben 6, 7 sind zwei parallel zueinander und beabstandet voneinander angeordneten Rahmenschenkeln zugeordnet und wirken mit Scheiben 4 zusammen, die Stangen 3 zugeordnet sind, die sich in Parallellage erstrecken und ein festes Ende aufweisen, welches an einer Traverse 16 befestigt ist. In der Fig. 1 sind die beiden Stangen 3 einem Endeffektor 15 zugeordnet, welcher den Betätigungsarm eines Handhabungs-Automaten ausbildet. Im Bereich ihres festen Endes besitzen die beiden Stangen zwei in Achsrichtung hintereinanderliegende Scheiben 4, 5, wobei die Scheibe 4 einen kleineren Durchmesser besitzt, als die Scheibe 5. Die Scheiben 4, 5 sind einem durchmessergrößeren Abschnitt 12 der Stange zugeordnet. Das freie Ende der beiden Stangen 3 wird von zwei abgestuften, durchmesservergrößerten Abschnitten 10 und 11 ausgebildet, die eine Stützfunktion ausüben. Wie nämlich insbesondere den Fig. 1 und 2 zu entnehmen ist, greifen die schneidenartigen Umfangskanten 4" der Scheiben 4 in die einer entsprechenden Negativ-Form zu den Scheiben 4 ausbildenden Kerben 6 ein. Hierdurch erfährt der Rahmen 1 eine formschlussbedingte Lagefixierung in der Ebene. Der Schenkel, in welchem der Kerbeingriff stattfindet liegt ein Rahmenschenkel gegenüber, der lediglich auf den durchmesservergrößerten Stützabschnitten 10 der Stangen 3 aufliegt. Die Stützabschnitte 10 können, wie in der Fig. 5 schematisch dargestellt ist, auch mit einer Nut des Rahmenschenkels zusammenwirken, deren Weite geringer ist, als der Durchmesser des Stützabschnittes 10. Hierdurch ist eine Querfixierung erreicht. In Längsrichtung ist aber eine Ausweichbewegung möglich. Der Stützabschnitt 10 liegt beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 in zwei Linien - Auflage auf dem Rahmenschenkel.
Wie insbesondere den Fig. 3 und 4 zu entnehmen ist, folgt der Kerbgrund 8 der Kontur der Umfangskante 4" der Scheibe 4. Die Flanken 4' der Scheibe, die schneidenartig im Bereich der Umfangskante 4" zusammenlaufen, liegen in Flächenanlage an den Kerbwänden 6' der Kerbe 6. Die Kerbe wird von einem linienförmigen Kerbgrund 8 durchzogen, welcher seinen tiefsten Punkt im Scheitel 9 des Kerbgrundes besitzt. Der Kerbgrund läuft in die Randkante der Kerbe aus.
Wie die Fig. 5 darstellt, liegt der lediglich unterstützte Rahmenschenkel in einer Aussparung ein. Es reicht aber aus, wenn er in Linienauflage auf dem einen runden Querschnitt aufweisenden Stützabschnitt 11 aufliegt. Anstelle der Linienauflage kann auch eine Punktauflage treten.
Außerhalb der eng beieinanderliegenden Kerben 6 befindet sich ein weiteres, weiter auseinanderliegendes Kerbenpaar 7, dessen Kerben ähnlich gestaltet sind. Die Kerben 7 dienen ebenfalls zur Auflage des Rahmens auf schneidenförmige Scheiben 9. Die zugehörigen Stangen sind - wie den Fig. 9 und 11 zu entnehmen sind - einer Kassette 18 zugeordnet. Die Kassette 18 besteht aus einem vorder- und rückseitig offenen Kasten, dessen Seitenwände Haltekonsolen 20 bilden, die zwischen sich einen mittigen Eingriffsfreiraum belassen zum Eingriff des Endeffektors 15. Jeder der stockwerkartig übereinander angeordneten Haltekonsolen 20 ist eine Stange 3 zugeordnet, die ebenfalls zwei Scheiben 4, 5 besitzt und Stützabschnitte 10,11, 12.
Wie insbesondere der Fig. 9 zu entnehmen ist, liegen mehrere Stockwerke 19 übereinander.
Die Fig. 7 und 8 zeigen einen Maskenhalterrahmen 2. Dieser Rahmen hat eine kreisringförmige Gestalt. Der Kreisring besteht aus zwei, nicht näher dargestellten Spannreifen, die zwischen sich eine dünne Maske aufnehmen können, die in Kontakt-Auflage oder in wohldefiniertem Abstand auf die Oberfläche des Substrates bringbar ist. Diese Anordnung zeigt beispielsweise die Fig. 10. Das Substrat 14 erstreckt sich dort mit seinem Oberflächenniveau den Rahmen 1 des Substrathalters überragend zwischen den Rahmenschenkeln und unterhalb einer Maske 13, die vom Maskenhalterrahmen 2 gehalten ist. In der Fig. 10 ist auch ersichtlich, dass der Substrathalterrahmen 10 formschlüsssig vom Maskenhalterrahmen 2 umfasst wird. Auch der Maskenhalter 2 besitzt eng nebeneinanderliegende Kerben 6 eines ersten Kerbenpaares und entfernter voneinanderliegende Kerben 7 eines weiteren Kerbenpaares. Die Kerben 6 wirken mit den Scheiben 5 der Stangen 3 zusammen. Die Scheiben 5 haben einen etwas größeren Durchmesser, als die Scheiben 4. Dementsprechend sind die Kerben 6 des Maskenhalterrahmens und die Kerben 7 desselben etwas länger ausgestaltet, um einen formschlüssigen, selbstzentrierenden Eingriff der Scheiben 5 zu gewährleisten. Die äußeren Kerben 7 dienen dazu, auf die Scheiben 5 der Stangen 3 der Kassette 18 gelegt zu werden.
Die Fig. 10 zeigt, dass nicht nur die Scheiben 4 der Stangen 3 in den Kerben 6 des Substrathalterrahmens einliegen, sondern dass auch die Scheiben 5 der Stangen 3 in den Kerben 6 des Maskenhalterrahmens 2 einliegen. Die Stützabschnitte 10 der freien Enden der Stangen untergreifen den Substrathalterrahmen 1 an einer anderen, nämlich den eingriffseitigen Kerben 6 gegenüberliegenden Seite. Der den Substrathalterrahmen 1, 2 umfasst haltende Maskenhalterrahmen 2 liegt auf dem Substrathalterrahmen 1, 2 auf. Die Scheibe 5 liegt dort nur lose in der Kerbe 6 ein. Der Maskenhalterrahmen 2 liegt auf dem Substrathalterrahmen 1 auf. Die Erfindung verfolgt insgesamt das Konzept, dass bei einem auf den Stangen aufliegenden Halterverbund immer nur der untere Halter unterstützt wird.
Das erfindungsgemäße Konzept ist das Folgende:
In einer Kassette 18 können auf mehrere Stockwerke 19 verteilt Substrathalterrahmen mit bestückten Substraten oder Maskenhalterrahmen liegen. Da sowohl die Substrathalterrahmen als auch die Maskenhalterrahmen sowohl unterseitig als auch oberseitig mit Kerben 6, 7 bestückt sind, ist eine Kopfüber-Anordnung auch möglich. In den einzelnen Stockwerken 19 der Kassette 18 können auch Kombinationsanordnungen aus jeweils einem Substrathalterrahmen 1 mit zugeordnetem Maskenhalterrahmen einliegen.
In die Kassette können demnach die Rahmen 1, 2 sowohl einzeln, als auch als Paket abgelegt werden.
Durch Untergriff des Endeffektors 15, bei welchem die Scheiben 4, 5 in die zugeordneten Kerben auf der nach unten weisenden Seite des Rahmens eingreifen, erfolgt eine Selbstzentrierung des Rahmens 1, 2 gegenüber der beiden Stangen 3. Durch Anheben des Endeffektors 15 wird der Rahmen 1, 2 oder die Rahmenkombination 1, 2 aus der kassettenseitigen Halterung ausgehoben. Durch eine Horizontalverlagerung kann der Rahmen 1, 2 oder die Rahmenkombination aus der Kassette 18 entnommen werden, um einer Behandlungseinheit, beispielsweise einer Beschichtungsvorrichtung zugeführt zu werden. Dort wird sie in nicht dargestellter Weise auf einen Suszeptor oder dergleichen gebracht. Der Endeffektor 15 fährt zurück. In der Behandlungseinheit kann der zugehörige Prozess ablaufen.
Die in den Fig. 9 und 11 dargestellte Kassette 18 dient auch dazu, die Rahmen 1, 2 oder die Rahmenkombination von einem Endeffektor 15 auf einen anderen Endeffektor zu übergeben. Dies ist eine Folge der doppelt vorhandenen Kerbenanordnung und der durchgehenden Öffnung der Kassette 18.
Die Stangen können von Drehteilen gebildet sein. Dann sind die Scheiben 5, 4 fest mit den Stangen 3 verbunden.
Auf eine Zwischenlagerung auf Stangen mit Ausrichtescheiben 4, 5 kann verzichtet werden, wenn ausschließlich Handhabungsautomaten verwendet werden.
Die Stangen in den Aufbewahrungsvorrichtungen können drehbar gelagert sein, um ein leichtes Hineingleiten der Schneiden in die Kerben zu erlauben.
Insgesamt sind die Kerben der rahmenförmigen Masken- oder Substrathalter so positioniert, dass ein Handhabungsautomat nur genau eine Zielposition anlaufen muss unabhängig davon, ob es sich bei dem zu übernehmenden Gegenstand um einen einzelnen Halter 1, 2 oder um einen Verbund aus mehreren Haltern handelt. Getragen wird immer der unten liegende Halter.
In der Fig. 11 ist dargestellt, wie die beiden Stangen 3 des Endeffektors zwischen die beiden Stangen 3 der Kassette greifen. Alternativ dazu ist auch vorgesehen, dass die Stangen kammartig ineinandergreifen. Dies hat den Vorteil, dass die Stangenabstände der Stangenpaare jeweils gleich sein können. Dieses kammartige ineinandergreifen eignet sich bevorzugt dazu, Rahmenanordnung von einem Endeffektor-Armpaar an ein anderes Endeffektor-Armpaar zu übergeben. Die Halteranordnung braucht dann nicht symmetrisch auf einem Armpaar aufzuliegen. Sie kann asymmetrisch aufliegen. Die Anordnung der Kerben auf der Ober- oder Unterseite der beiden Masken ist darin entsprechend vorzunehmen.
Die Fig. 12 zeigt einen Endeffektor mit zwei Halterarmen, an denen eine Traverse sitzt, welche die beiden Stangen 3 trägt. Die beiden Stangen 3 sind gleich gestaltet und verlaufen parallel zueinander.
Die Fig. 13 zeigt eine Variante des Endeffektors, der in der Fig. 12 dargestellt ist. Diese Variante besitzt insgesamt drei Stangen 3, 3'. Die Stange 3 ist in der Mitte zwischen den beiden Stangen 3' angeordnet und ist länger als die Stangen 3'.
Die mittlere Stange 3 bildet an ihrem freien Ende die beiden oben erwähnten Stützabschnitte 10 und 11 aus, zur Auflage des Rahmens 1 oder 2. Die beiden außen an der Traverse angeordneten kürzeren Stangen 3' besitzen an ihren freien Enden jeweils eine Scheibe 5 in der Formgestalt, wie sie oben beschrieben worden ist. Diese Ausgestaltung ist weniger sperrig als die, welche die Fig. 12 zeigt.
Bei dem in Fig. 14 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Endeffektor ebenfalls dreiarmig ausgebildet. Die beiden kürzeren Arme 3', die jeweils endseitig an der Traverse 16 angeordnet sind, besitzen neben den Scheiben 5, die mit dem Maskenhalter 2 zusammenwirken jeweils eine weitere Scheibe 4, die zum Untergriff des Substrathalters 1 vorgesehen ist. Die Scheibe 4 für den Substrathalter 1 sitzt am freien Ende des Armes 3'.
Der mittlere Arm 3 des dreiarmigen Endeffektors ist länger ausgestaltet und dient zur Unterstützung des jenseitigen Schenkels oder Abschnitts des Rahmens 1, 2. Das freie Ende des Armes 3 ist gabelförmig ausgebildet. Die Gabel 21 besitzt zwei parallel zueinander verlaufende Gabelschenkel 22. Am Ende jedes Gabelschenkels 22 ist ein Vorsprung vorgesehen, der einen Stützabschnitt 11 ausbildet, um den Maskenhalter 2 zu unterstützen. Etwa im Bereich der Wurzel der Gabel 21 befinden sich zwei weitere Stützabschnitte 10, die ebenfalls von Vorsprüngen gebildet werden und die zur Unterstützung des Substrathalterrahmens 1 vorgesehen sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel besitzen die Arme 3, 3' keine Rotationssymmetrie. Die nach unten weisenden Abschnitte der Scheiben bzw. der Stangen 3 sind entfernt worden, so dass hier eine Ebene entstanden ist. Dadurch ist es möglich, auch in enge Öffnungen mit dem Endeffektor hineinzufahren. Der Endeffektor sitzt am Ende eines mehrgliedrigen Handhabungsautomaten. Zufolge der Ausgestaltung gemäß Fig. 14 ist eine effiziente Platzausnutzung bei geringem Raumbedarf möglich.
Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In der Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen.

Claims

1. Anordnung zum Handhaben und/oder Aufbewahren einer Maske oder eines Substrates mit einem einen Rahmen aufweisenden Substrat- oder Maskenhalter (1, 2), gekennzeichnet durch mehrere den Rahmen (1, 2) gabelartig untergreifende Stangen (3), von denen mindestens zwei eine eine schneidenförmige Umfangskante (4") aufweisende Scheibe (4, 5) tragen, welche Scheibe (4, 5) jeweils in eine dem Rahmen (1, 2) zugeordnete Kerbe (6) eingreift, welche Kerbe (6, 7) einen Kerbgrund (8) besitzt, der einen Scheitel (9) ausbildet.

2. Anordnung nach Anspruch 1 oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die scheibentragenden Stangen (3) nur mit einer Scheibe (4, 5) in eine rahmenseitige Kerbe (6, 7) tritt und den Rahmen (1, 2) an anderer Stelle ggf. in einer Aussparung lediglich stützend untergreift.

3. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Scheibe (4, 5) einen kreisförmigen Querschnitt besitzt.

4. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Kerbe (6, 7) einen dem Verlauf der Umfangskontur (4") entsprechenden Kerbgrund (8) besitzt.

5. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Öffnungswinkel der Kerbwand (6') dem Schneidenwinkel der Scheibenflanken (4') entspricht.

6. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Stangen (3) mehrere Scheiben (4, 5) für verschieden gestaltete Rahmen (1, 2) aufweisen.

7. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Stangen durchmessergrößere Abschnitte (10, 11, 12) aufweisen zum stützenden Rahmenuntergriff.

8. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (1, 2) rund oder eckig ist.

9. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von dem Rahmen zugeordnete Kerben (6, 7) zum Zusammenwirken mit Stangenpaaren (3) mit verschiedenem Stangenabstand.

10. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch ober- und unterseitig am Rahmen (1, 2) angeordnete Kerben (6, 7) zur Überkopf-Handhabung.

11. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass der Substrathalterrahmen (1) die Form eines Rechtecks hat und der Maskenhalterrahmen (2) ein den Rechteckrahmen formschlüssig umgreifender Kreisrahmen ist.

12. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine Kombination aus einem formschlüssig mit dem Rechteckrahmen (1) verbundenen Kreisrahmen (2), wobei die im Kreisrahmen (2) eingespannte Maske (13) flächig auf dem im Rechteckrahmen eingespannten Substrat (14) aufliegt, welche Kombination von den Stangen (3) sowohl in zwei um eine Vertikalachse um 180° gewendeten Stellungen als auch in zwei um eine Horizontalachse um jeweils 180° gewendeten Stellungen tragbar ist.

13. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch drei parallel zueinander verlaufende Stangen (3, 3') wobei die mittlere Stange (3), welche insbesondere an ihrem freien Ende den Stützabschnitt (10, 11) ausbildet, länger ist, als die beiden äußeren Stangen (3'), welche an ihren Enden insbesondere die Scheiben (5) tragen.

14. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch auf den Stangen (3) angeordnete Scheiben (4, 5) unterschiedlichen Durchmessers zum Eingriff in Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, Kerben (6, 7) unterschiedlicher Größe, die jeweils verschiedenen Rahmen (1, 2) zugeordnet sind.

15. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dass die Stützabschnitte (10, 11) einem gabelförmigen Ende einer mittleren Stange (3) zugeordnet sind.

16. Handhabungsvorrichtung zum Handhaben eines einen Rahmen (1, 2) aufweisenden Substrat- oder Maskenhalters oder einer Kombination derartiger Rahmen mit einem Handhabungsarm, gekennzeichnet durch zwei oder mehr vom Handhabungsarm (15) ausgebildete gabelartig angeordnete Stangen (3) zum lagefixierten Untergreifen des Rahmens (1, 2), welche Stangen (3) jeweils eine eine schneidenförmige Umfangskante (4") aufweisende Scheibe (4, 5) tragen zum Eintritt in dem Rahmen zugeordnete Kerben (6, 7), die einen einen Scheitel ausbildenden Kerbgrund (8) besitzen.

17. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 16 oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine Stangen-Ausgestaltung und/ oder -Anordnung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 15.

18. Aufbewahrungsvorrichtung zum Aufbewahren eines einen Rahmen (1, 2) aufweisenden Substrat- oder Maskenhalters oder eine Kombination derartiger Rahmen mit ein oder mehreren Lageholmpaaren zur Aufnahme des Rahmens, gekennzeichnet durch die Lagerholme bildende Stangen (3) zum lagefixierten Untergreifen des Rahmens (1, 2), welche jeweils eine eine schneidenförmige Umfangskante (4") aufweisende Scheiben (4, 5) tragen zum Eintritt in dem Rahmen zugeordnete Kerben (6, 7), die einen einen Scheitel (9) ausbildenden Kerbgrund (8) besitzen.

19. Aufbewahrungsvorrichtung nach Anspruch 18 oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine Stangen-Ausgestaltung und/oder -Anordnung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 13.

20. Aufbewahrungsvorrichtung nach Anspruch 18 oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Stangenpaare stockwerkartig in einem Gehäuse übereinander angeordnet sind.

21. Aufbewahrungsvorrichtung nach Ansprüch 18 oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass die Stangen drehbar gelagert sind.

22. Rahmenförmiger Masken- oder Substrathalter (1, 2), gekennzeichnet durch rahmmunter- und/ oder rahmenoberseitig angeordnete Kerben (6, 7) mit einem einen Scheitel (9) ausbildenden Kerbgrund (8) zum Eingriff von den Rahmen lagefixiert unterstützenden, eine schneidenförmige Umfangskante (4") aufweisenden, auf Stangen (3) angeordneten Scheiben (4, 5).

23. Rahmenförmiger Masken- oder Substrathalter (1, 2) nach Anspruch 22 oder insbesondere danach, gekennzeichnet durch eine Kerben-Ausgestaltung und/oder -Anordnung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 13.

24. Aufbewahrungsvorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach oder rahmenförmiger Masken- oder Substrathalter nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche oder insbesondere danach, dadurch gekennzeichnet, dass alle Kerben derart positioniert sind, dass ein Handhabungsautomat nur genau eine Zielposition anfahren braucht, unabhängig davon, ob er einen einzigen Rahmen oder einen Rahmenverbund übernehmen soll.