DE10133520A1 - System und Verfahren zur Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum und Verfahren - Google Patents

Abstract

In einem System zur Messung von Parametern in einem Reinraum, insbesondere zur Herstellung von 300 mm-Wafern, wird ein FOUP (3) mit einem Meßgerät (5) sowie einem Lufteinlaß (33) und einem Luftauslaß (34) versehen. Der FOUP wird vermittels des herkömmlichen Transportsystems (1, 2, 4) durch den Reinraum bewegt und analysiert die über den Einlaß (33) aufgenommene Reinraumluft. Das System ermöglicht eine kontinuierliche fertigungsintegrierte Messung von Reinraumparametern.

Description

• Die Erfindung betrifft ein System, um die Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum, beispielsweise für die Fertigung von Halbleiterprodukten, zu messen, wobei der Reinraum ein Transportsystem enthält. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren, um eine solche Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum durchzuführen.
• Eine Vielzahl von elektronischen Produkten wird heutzutage in Reinräumen hergestellt. Beispielsweise erfolgt die Herstellung von Halbleiterwafern, aus denen integrierte Schaltungen gewonnen werden, die Herstellung von Flachbildschirmen oder die Herstellung von Kompakt-Disks oder CD-ROMs in solchen Reinräumen. Die Reinräume weisen gegenüber einer herkömmlichen Umgebungsluft eine wesentlich geringere Verunreinigung durch Staubpartikel oder bestimmte Gase auf und werden auf relativ konstanter Temperatur und Feuchte gehalten. Problematisch ist die ständige Überprüfung der Eigenschaften der im Reinraum enthaltenen Umgebungsluft, so daß bei einer Abweichung von den Sollbedingungen eine entsprechende Meldung ausgegeben wird oder entsprechend entgegen gewirkt wird, um Sollbedingungen wieder herzustellen.
• Das Vorsehen geeigneter, die Umgebungsluft überwachender Meßgeräte an verschiedene Orten des Reinraumes ist kostspielig. Alternativ kann ein von einer Bedienperson zu bewegender Meßwagen eingesetzt werden, der an verschiedenen Stellen des Reinraumes plaziert wird und an den verschiedenen Orten jeweils Messungen durchführt. Problematisch ist hier, daß das Verbringen des Meßwagens zeitaufwendig ist und Messungen nicht kontinuierlich erfolgen können. Abweichungen von Sollbedingungen können nur mit Zeitverzögerung erkannt werden.
• Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein System und ein Verfahren zur Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum anzugeben, das eine schnelle und umfassende Überwachung der Reinraumbedingungen ermöglicht.
• Diese Aufgabe wird betreffend das System gelöst durch ein System zur Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum, in dem Produkte herstellbar sind, umfassend:
  
• - ein im Reinraum angeordnetes Transportsystem, umfassend Transportwege sowie eine Vielzahl von Behältern, die zur Aufnahme und zum Transport der herzustellenden Produkte dienen,
• - einen weiteren Behälter mit einem Einlaß und einem Auslaß (34) für die Umgebungsluft,
• - ein im Behälter angeordnetes Meßgerät, um mindestens einen Parameter von über den Einlaß aufgenommener Luft zu messen.
• Bei einem Verfahren zur Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum, wird ein Behälter innerhalb des Reinraums bewegt und verschiedenenorts innerhalb des Reinraums wird Umgebungsluft in den Behälter aufgenommen und eine Messung von Parametern der Luft im Innenraum des Behälters durchgeführt.
• Das Meßsystem gemäß der Erfindung integriert das Meßgerät in das ohnehin zum Transport der Produkte im Reinraum angeordneten Transportsystem. Das Meßgerät ist in den fertigungseigenen Behältnissen angeordnet. Das Meßgerät kann daher unter Ausnutzung der vom Transportsystem vorgegeben Transportwege an sämtliche für eine Messung interessierende Orte bewegt werden. Vor Ort oder während des Transportes wird Umgebungsluft in das Transportbehältnis aufgenommen und dort analysiert. Ein besonderer Vorteil des Systems gemäß der Erfindung besteht darin, daß Überschreitungen der Sollwerte im Reinraum sofort erkannt werden. Es kann daraufhin reagiert und beispielsweise ein Alarmsignal ausgelöst werden, so daß ein Operator die Lage in Augenschein nehmen kann oder automatisch eine Gegenmaßnahme eingeleitet wird. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Messung an verschiedenen Stellen durchgeführt werden kann. Das Transportsystem arbeitet üblicherweise automatisch gesteuert. Die Überwachung des Reinraumes kann daher prinzipiell ohne Eingriff einer Bedienperson durchgeführt werden. Ein zusätzlicher Vorteil besteht darin, daß eine nahezu kontinuierliche Überwachung aller den Reinraum charakterisierenden Parameter durchführbar ist.
• Durch die flexibel, vielerorts und schnell durchführbaren Messungen und die Rückkopplung der Messungen sind Fehler wesentlich schneller als bisher behebbar. Die Ausbeute der Produktion wird dadurch erhöht. Bedienpersonal kann eingespart werden und trotzdem ist eine kontinuierliche Erfassung von Meßwerten möglich. Da das System subjektive Einflüsse weitgehend ausschaltet, kann von einer Erhöhung der Meßqualität ausgegangen werden.
• Als Behälter empfehlen sich solche, die bezogen auf ihre relevanten Abmessungen und Schnittstellen gleich derjenigen sind, die ansonsten zum Transport der im Reinraum bewegten Produkte und Vorprodukte verwendet werden. Insbesondere sollte die mechanische Schnittstelle des das Meßgerät enthaltenden Behälters zum Transportsystem den gleichen Standards gehorchen wie bei den zu fertigende Produkte transportierenden Behältern. Vorteilhafterweise sollten auch die Schnittstellen zu den Fertigungsgeräten gleich sein. Der Behälter läßt sich daher vollständig in die üblichen Transportaufgaben integrieren. In der Fertigung von Halbleiterwafern werden genormte Behälter zum Transport der Wafer verwendet. Für die Fertigung von Halbleiterwafern für integrierte Schaltungen mit einer Größe von 300 mm werden sogenannte Front Opening Unified Pods (FOUP) verwendet. Die mechanischen Eigenschaften der FOUPs sind genormt, beispielsweise treffen die SEMI Standards E19 für Gehäuseabmessungen oder E15 für Schnittstellen oder Load- Ports zu den Fertigungsgeräten oder E57 für Kinematic Coupling Pins zu. Ein solcher FOUP wird gemäß der Erfindung dazu verwendet, um mit einem Luftein- und Luftauslaß versehen sowie mit einem Meßgerät ausgestattet zu werden, um bewegt durch das Transportsystem Messungen im Reinraum weitgehend kontinuierlich, weitgehend automatisiert an nahezu allen vom Transportsystem erreichbaren Orten durchzuführen.
• Ein weiterer Vorteil der Verwendung der fertigungseigenen Behältnisse, beispielsweise der FOUPs in der Fertigung von 300 mm-Wafern besteht darin, daß der Behälter mit seiner standardgemäßen Schnittstelle an ein Fertigungsgerät ankoppelt und die dort vorliegenden Eigenschaften der aufgenommenen Luft mißt. Im Umfeld der 300 mm-Wafer bilden die Fertigungsgeräte meist eine abgeschlossene Umgebung aus (Mini- Environment), das eine um eine oder mehrere Reinraumklassen bessere Umgebung bildet. Indem der Meß-FOUP an ein Fertigungsgerät ankoppelt, bildet der Innenraum des Meß-FOUP mit dem Mini-Environment des Meßgerätes eine Einheit, so daß durch den Meß-FOUP die Bedingungen des Mini-Environment gemessen werden können. Dies ist besonders dann vorteilhaft, wenn ein Fertigungsgerät in der Fertigungslinie neu installiert oder nach einer Reinigung oder Wartung neu qualifiziert werden muß. Es erübrigt sich dann, die Bereitstellung von gesonderten Meßgeräten. Ein Meß-FOUP kann zur Überwachung von Mini-Environments mehrerer, besonders auch unterschiedlicher Fertigungsgeräte verwendet werden, da die Schnittstelle, über die die Behälter an die Fertigungsgeräte ankoppeln, stets gleich ist, da standardisiert.
• Denkbar ist auch, daß der Meß-FOUP mit einem Teleskoparm versehen wird, der endseitig einen Meßsensor trägt. Wenn der Meß-FOUP an den Load-Port des Fertigungsgerätes angekoppelt ist, bewegt sich der Teleskoparm im Mini-Environment des Fertigungsgerätes und kann dort an verschiedenen Stellen Meßsignale aufnehmen. Der Meß-FOUP wird über das herkömmliche Transportsystem zum Fertigungsgerät transportiert, so daß ein außerordentlicher Aufwand zur Bereitstellung des Meßgerätes nicht anfällt.
• Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
• So ist es vorteilhaft, daß der das Meßgerät enthaltende Behälter eine Kommunikationsschnittstelle aufweist, um die vom Meßgerät erfaßten Daten an eine meist zentrale Auswerteeinrichtung abzugeben. Beispielsweise kann die Kommunikationsschnittstelle ein reinrauminternes oder ein herkömmliches Mobilfunknetz sein. Die Daten werden dann kontinuierlich an die Auswerteeinrichtung abgegeben. Eine sofortige Alarmierung und Überwachung der Reinraumumgebung ist dadurch gewährleistet. Der Meß-FOUP weist ein entsprechend ausgebildetes Kommunikationsmodul und eine Antenne auf, so daß Funkverbindung mit einem Empfänger hergestellt werden kann. Andererseits oder zusätzlich ist möglich, daß eine elektrische Schnittstelle, beispielsweise ein Steckverbinder vorgesehen ist, über den im Behälter durch das Meßgerät aufgenommene Meßdatenwerte an einen Auswertungsrechner übergeben werden.
• Die Meßdatenerfassung kann kontinuierlich an die Auswerteeinheit übergeben werden, was eine Funkschnittstelle erforderlich macht. Andererseits kann ein Speicher vorgesehen sein, der die aufgenommenen Werte sammelt und an bestimmten Kopplungsstationen zur Auswertung, zur Archivierung und zur Führung von Statistiken übergibt.
• Das Meßgerät weist eine herkömmliche Architektur auf. Beispielsweise ist ein Mikrocontroller vorgesehen, der mit dem Meßgerät und/oder Meßsensor kommuniziert. Ein Halbleiter- oder Festplattenspeicher speichert das Betriebsprogramm und/oder aufgenommene Meßdaten. Eine optische Anzeigeeinrichtung, beispielsweise ein LCD-Display dient zur Anzeige von Steuerungsdaten oder Meßdatenwerten. Eine Bedienerschnittstelle ist vorgesehen, die einerseits leitungsgebunden oder andererseits über Infrarot die Eingabe von Steuerungsbefehlen ermöglicht. Diese umfaßt eine Tastatur, um Eingabeparameter einzugeben, das Meßgerät ein- oder auszuschalten oder um weitere Bedienschritte einzugeben. Schließlich dient wie oben bereits ausgeführt eine Datenschnittstelle dazu, um Meßdaten oder Betriebsdaten an eine Auswerteinrichtung zu übergeben oder von ihr zu empfangen.
• Das Meßgerät im Behälter wird von einer aufladbaren Batterie mit Energie versorgt. Im Transportsystem sind daher Stationen vorgesehen, um das Wiederaufladen der Batterie zu ermöglichen. Eine Überwachungseinrichtung stellt sicher, daß der Akkumulator stets soweit aufgeladen ist, daß ausreichend Betriebsdauer möglich ist, so daß Betriebssicherheit gewährleistet ist. Das Transportsystem muß dementsprechend steuerbar sein, daß ein Anlauf einer Wiederaufladestation für den Akkumulator ausreichend schnell erreicht wird, daß keine unerwünschte Betriebsunterbrechung des Meßgerätes eintritt.
• Die Behälter werden wie solche Behälter vom Transportsystem transportiert, die End-, Zwischen- oder Vorprodukte der im Reinraum herzustellenden Produkte transportieren. In der Halbleiterwaferfertigung für 300 mm-Wafer sind dies Halbleiterwafer, die bereits mehr oder weniger Prozeßschritte zur Herstellung einer integrierten Schaltung in verschiedenen im Reinraum angeordneten Fertigungsgeräten erfahren haben. Das Transportsystem wird von einer automatischen Steuerung überwacht. Die Steuerung wird derart ergänzt, daß der Meßbehälter an verschiedenen Orten nach einem vorgegebenen, zufällig ausgewählten Schema vorbeigeführt wird. Durch den Luftein- und Luftauslaß wird Umgebungsluft des Reinraumes in den Behälter aufgenommen. Das Meßgerät analysiert die Luft und speichert die Meßwerte zwischen oder gibt die Meßwerte kontinuierlich über die mobile drahtlose Funkschnittstelle an den Auswertungsrechner ab. Somit ist eine kontinuierliche Überwachung des Reinraumes gewährleistet. Die zu messenden Parameter können beispielsweise die Temperatur der Umgebungsluft, die Feuchte, also der Wasserdampfgehalt der Umgebungsluft sein, die Verunreinigung der Luft durch Partikel, die Verunreinigung der Luft durch bestimmte unerwünschte Gase oder elektrostatische Aufladung sowie elektrostatische Entladung. Prinzipiell können jegliche andere Parameter der Umgebungsluft überwacht werden, sofern das Meßgerät innerhalb des Behälters angeordnet werden kann.
• Nachfolgend wird die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es zeigen:
• Fig. 1 einen Ausschnitt aus einem Transportsystem mit einem Behälter, der ein Meßgerät enthält, und
• Fig. 2 ein Blockschaltbild des im Behälter angeordneten Meßgerätes.
• Die Erfindung ist besonders in Reinräumen für die Fertigung von Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von 300 mm oder größer geeignet. Dort werden sogenannte FOUPs (Front Opening Unified Pods) verwendet, um die Halbleiterwafer innerhalb des Reinraumes zu transportieren, um sie von einer zur nächsten Bearbeitungsstation oder zur Zwischenlagerung zu bewegen. Ein herkömmlicher FOUP zum Transport von Halbleiterwafern ist ein abgeschlossener Raum, der seinerseits eine Mini-Umgebung bildet. Beispielsweise ist der Verunreinigungsgrad innerhalb eines FOUPs niedriger als bei der durch den Reinraum gebildeten Umgebungsluft.
• So zeigt die Fig. 1 einen schematischen Ausschnitt aus dem Transportsystem mit einem FOUP und entsprechenden Steuerungseinrichtungen. Das Transportsystem ist ein automatisches Über-Kopf-Transportsystem (Overhead Transport - OHT), durch das die FOUPs innerhalb des Reinraums transportiert werden. Die FOUPs können aber auch (nicht dargestellt) über ein Förderband transportiert werden, welches in Bodennähe installiert ist. Das Transportsystem umfaßt eine Transportschiene 1, um einen symbolisch dargestellten Transportwagen 2 zu führen, der einen FOUP 3 transportiert. Die mannigfaltigen Transportaufgaben sämtlicher Transportwägen 2 werden von einer computergestützten automatischen Steuerungseinrichtung 4 gesteuert. Üblicherweise werden über die Schienenanordnung des Transportsystems 1 eine Vielzahl von Hunderten von Behältern 3 transportiert. Üblicherweise enthalten die Behälter Aufnahmevorrichtungen, um Halbleiterwafer losweise zu transportieren. Ein FOUP kann beispielsweise dreizehn oder fünf- undzwanzig oder noch mehr 300 mm-Halbleiterwafer aufnehmen.
• Ein herkömmlicher FOUP weist ebenso wie der erfindungsgemäß ausgebildete FOUP ein Gehäuse 31 aus Plastik auf, das bestimmte mechanische Eigenschaften an Stabilität und Abmessungen einhalten muß. Eine abnehmbare vorderseitige Verschlußplatte ist vorgesehen, die mittels einer Verschließeinrichtung fest am Gehäuse 31 dessen Innenraum abschließend arretiert ist. Zum Be- und Entladen des FOUPs mit Halbleiterwafern wird die Verschlußplatte abgenommen. Die Schnittstelle 35 der Vorderseite des FOUPs unterliegt wiederum geeigneter Normung. Beispielsweise wird der FOUP an eine Schnittstelle oder ein sogenanntes Load-Port eines Halbleiterfertigungsgerätes, etwa eine Trockenätzkammer, eine Belichtungsstation, eine Abscheidekammer etc. gebracht. Das Gerät nimmt die Verschußplatte 31 ab und fährt mit einem Handhabungsroboter für Wafer in den FOUP, um die Wafer zu entnehmen.
• Schließlich weist ein herkömmlicher FOUP wie auch der erfindungsgemäße FOUP eine Schnittstelle zum Transportsystem hin auf. In der Zeichnung ist ein Greifer 21 vorgesehen, der am Transportwagen 2 befestigt ist. Der Greifer kann vom Transportwagen 2 hoch- und niedergefahren werden. Der Greifer 21 steht in der Figur in Wirkverbindung mit einem Eingriffselement 22, das oben auf dem Gehäuse 31 des FOUPs 3 befestigt ist. Der Greifer 21 umgreift das Griffelement 22, hebt den FOUP an, um ihn längs der Transportschiene 1 durch den Reinraum unter Steuerung der Einrichtung 4 zu transportieren.
• Gemäß der Erfindung weist der FOUP 3 ein Einlaßventil 33 auf, um Umgebungsluft aus dem Reinraum aufzunehmen. Ein Auslaßventil 34 gibt innere Luft aus dem FOUP wieder in den Reinraum ab. Im Reinraum selbst herrscht möglichst eine laminare von oben nach unten gerichtete Luftströmung. Der erfindungsgemäße FOUP wird wie ein herkömmlicher mit Halbleiterwafern versehener FOUP durch den Reinraum transportiert und nimmt ständig Umgebungsluft über das Ventil 33 auf und gibt entsprechende innere Luft über das Auslaßventil 34 wieder an den Reinraum ab. Im Inneren des Gehäuses 3 ist ein Meßgerät 5 angeordnet, das eine oder mehrere Eigenschaftsparameter der im FOUP 3 enthaltenen Luft mißt. Beispielsweise kann (nicht abschließend) die Lufttemperatur, die Verunreinigung durch Partikel, die Verunreinigung durch Gase oder die Wasserdampffeuchte gemessen werden. Dadurch daß der FOUP von der Steuerungseinrichtung 4 durch den Reinraum bewegt wird und daß aufgrund der Bewegung kontinuierlich oder an verschiedenen Orten diskret Luft in das Innere des Gehäuses 3 aufgenommen wird und dabei einer oder mehrere der genannten Parameter der Innenluft des FOUPs 3 gemessen werden, wird eine ortsabhängige Qualität der im Reinraum vorhandenen Umgebungsluft erfaßt. Die Messung erfolgt automatisiert quasi zeitlich und örtlich kontinuierlich. Die Ein- und Auslaßventile 33, 34 können mit einer Meßkammer des Meßgeräts 5 verbunden sein, so daß das Meßgerät die Luft direkt über die Ein- und Auslässe 33, 34 aufnimmt, analysiert und abgibt.
• Das Meßgerät 5, dessen Blockstruktur in Fig. 2 dargestellt ist, weist eine Kommunikationsschnittstelle auf, um Daten vom Meß-FOUP an eine Auswerteinrichtung 6 zu übertragen. Die Kommunikationsschnittstelle umfaßt beispielsweise einen Funksender und -empfänger mit einer Antenne 51. Über die Antenne 51 werden gemessene Datenwerte und Betriebsinformation an die Auswerteeinheit 6 abgegeben, im Gegenzug wird Steuerungsinformation von der Auswerteeinrichtung 6 empfangen. Die Auswerteinrichtung 6 ist beispielsweise ein Rechner, der eine angepaßte Funkschnittstelle aufweist. Alternativ oder zusätzlich kann ein Steckverbinder 52 vorgesehen sein, der mit einem entsprechenden Gegenstück, welches in die Auswerteeinrichtung 6 einkoppelt, verbindbar ist. In diesem Fall ist ein Speicher zur Zwischenspeicherung der Meßdatenwerte erforderlich. Die Datenwerte werden dann über den Steckverbinder 52 stationär an die Auswerteinheit 6 abgegeben.
• Das Meßgerät 5 im Innenraum des FOUP-Gehäuses 31 umfasst das Meßgerät an sich, also den Meßsensor 53. Dieser überträgt Meßwerte und Statusmeldungen und gegebenenfalls Fehlermeldungen an einen Controller 54. Der Controller 54 ist beispielsweise eine mikroprozessorgestützte Lösung oder ein Mikrocontroller. Der Controller 54 initialisiert beim Systemstart das Meßgerät. Ein Speicher 55 enthält das Betriebsprogramm für den Mikrocontroller und speichert gegebenenfalls die vom Meßsensor 53 ermittelten Meßdatenwerte zwischen. Eine Anzeigeeinrichtung in Form eines LCD-Displays 56 dient zur Anzeige von Meßwerten, Betriebs- und Statusinformation. Schließlich ist eine Bedienerschnittstelle für Dateneingabe durch einen Operator vorgesehen. Über eine Tastatur können hierzu Eingabedatenwerte, Startwerte und menügestützte, andere Eingaben an den Controller übermittelt werden. Schließlich kann das Meßgerät 5 über die Schnittstelle 57 ein- und ausgeschaltet werden. Eine Datenschnittstelle 58 ist von einer Fernbedienung steuerbar. Schließlich ist an die Schnittstelle 58 die Kommunikationsschnittstelle 51 bzw. der Steckverbinder 52 angeschlossen, um Meßdatenwerte an die Auswerteeinrichtung 6 zu übertragen. Eine Stromversorgungseinrichtung 59 dient zur Stromversorgung sowohl des Controllers 54 als auch des Meßsensors 53. Die Stromversorgung 59 steht über eine Statusmeldungen übertragende Schnittstelle mit dem Controller 54 in Steuerungsverbindung. Die Stromversorgung 59 enthält vorzugsweise Akkumulatoren, um einen ortsunabhängigen Betrieb zu gewährleisten. Der Controller 54 überwacht die Restladung der Akkumulatoren und die Betriebszeit. Über eine Ladeschnittstelle 591 werden die Akkumulatoren aufgeladen.
• Über die Fernbedienung kann der Meßvorgang im FOUP aktiviert werden. Dies ist besonders praktisch, wenn sich der Meß-FOUP im OHT-Transportsystem oder in einem FOUP-Stocker nicht in unmittelbarer Reichweite einer Bedienperson befindet.
• Der Meßsensor 53 ist vorzugsweise ein herkömmlicher Meßsensor, um Parameter der Reinraumluft zu messen. Zur Kontrolle der Reinraumklasse wird während der Fahrt durch den Reinraum über das Ventil 33 Umgebungsluft in den Innenraum des FOUPS oder direkt in das Meßgerät aufgenommen und die Verunreinigung mit Partikeln festgestellt. Molekulare Kontamination der Reinraumluft wird mit einem Ionenmobilitätsspektrometer gemesse, beispielsweise die Konzentration von Ammoniak NH₃ oder verschiedener Säuregase. Temperatur und Druckänderungen können durch entsprechende Temperatur- oder Drucksensoren festgestellt werden, um die Klimawerte oder Überdruck im Reinraum festzustellen. Ein Entladungsdetektor dient zum Nachweis elektrostatischer Entladungen für die ESD-Überwachung. Ein Feldmeter wird verwendet, um die statische Aufladung des FOUPs während seiner Nutzung und des Transportes durch den Reinraum zu messen.
• In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung kann der FOUP 3 zusätzlich dazu verwendet werden, um entsprechende Parameterwerte im Mini-Environment einer abgeschlossenen Kammer eines Fertigungsgerätes zu messen. Hierzu wird der FOUP 3 wie ein herkömmlicher, Halbleiterwafer transportierender FOUP auf das Load-Port eines Fertigungsgerätes gesetzt. Mit Abnahme der Vordertür 32 durch eine entsprechende Mechanik im Fertigungsgerät wird eine Verbindung des Innenraumes des Meß-FOUPs 3 mit dem Mini-Environment im Fertigungsgerät hergestellt. Nach erfolgtem Luftaustausch kann das Meßgerät 5 die Klimaparameter und Reinraumbedingungen im Mini-Environment des Fertigungsgerätes feststellen. Als Fertigungsgeräte kommen ins- besondere Abscheidekammern, Trockenätzkammern oder Belichtungsgeräte in Betracht sowie sogenannte Wafer-Stocker, um Halbleiterwafer zwischenzulagern. Auch kann die vordere Abdeckplatte des FOUPs mit einer Ansaugöffnung versehen sein, um die Luft aus dem Mini-Environment im Inneren des Fertigungsgeräte in den FOUP bzw. in das Meßgerät im FOUP aufzunehmen. Das Ansaugen der Luft kann über einen an der Öffnung angebrachten, in das Fertigungsgerät hineinreichenden Schlauch erfolgen. Die Abdeckplatte braucht dann nicht mehr abgenommen zu werden. Schließlich kann eine Öffnung in der Abdeckplatte vorgesehen werden, über die eine an einem Teleskoparm befestigte Meßsonde in das Mini-Environment des Fertigungsgeräts geführt wird.
• Besonders vorteilhaft bei diesem Gesichtspunkt der Erfindung ist, das bei der Qualifizierung des Fertigungsgerätes bei Inbetriebnahme oder nach Wartung und Reinigung ein sofortiges und beschleunigtes Hochlaufen möglich ist, da die Parametermessung in-situ erfolgt. Außerdem ist nicht mehr erforderlich, daß gleiche Meßgeräte an verschiedene Fertigungsgeräte angepaßt werden müssen. Ein einziger Meß-FOUP 3 kann für verschiedene Fertigungsgeräte verwendet werden. Bezugszeichenliste 1 Transportschiene
  2 Transportwagen
  3 FOUP
  4 Transportsteuerung
  5 Meßgerät
  6 Auswerteeinrichtung
  21 Greifer
  31 Gehäuse
  33 Fertigungsgerätschnittstelle
  32 Vordertür
  33 Lufteinlaß
  34 Luftauslaß
  51 Antenne
  52 Steckverbinder
  53 Meßsensor
  54 Controller
  55 Speicher
  56 Display
  57 Operatorschnittstelle
  58 Datenschnittstelle
  59 Stromversorgung
  591 Akkulare Schnittstelle
  

Claims (15)

1. System zur Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum, in dem Produkte herstellbar sind, umfassend:
ein im Reinraum angeordnetes Transportsystem, umfassend Transportwege (1) sowie eine Vielzahl von Behältern, die zur Aufnahme und zum Transport der herzustellenden Produkte dienen,
einen weiteren Behälter (3) mit einem Einlaß (33) und einem Auslaß (34) für die Umgebungsluft,
ein im Behälter (3) angeordnetes Meßgerät (5), um mindestens einen Parameter von über den Einlaß (33) aufgenommener Luft zu messen.

2. System nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Kommunikationsschnittstelle (51, 52, 58), um einen von einer durch das Messgerät (3) durchgeführten Messung abgeleiteten Datenwert an eine Auswerteeinrichtung (6) zu übertragen.

3. System nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßgerät (5) einen Speicher (55) enthält, um vom Meßgerät (5) an verschiedenen Orten im Reinraum gemessene Meßwerte zwischenzuspeichern.

4. System nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere Behälter (3) mit einer wiederaufladbaren Stromversorgungseinrichtung (59) versehen ist, um das Meßgerät (5) mit Energie zu versorgen.

5. System nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Transportsystem eine Steuerungseinrichtung (4) umfaßt, die ausgebildet ist, den weiteren Behälter (3) mittels des Transportsystems an verschiedene Orte innerhalb des Reinraumes zu transportieren.

6. System nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßgerät (5) ausgebildet ist, um während des Transports innerhalb des Reinraums an verschiedenen Orten eine Messung der Luft im Inneren des weiteren Behälters (3) durchzuführen.

7. System nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere Behälter (3) mindestens einem der Standards Semi E15, Semi E19, Semi E57 entspricht.

8. System nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßgerät (5) ausgebildet ist, die Temperatur oder die Verunreinigung mit Partikeln oder die Verunreinigung mit Gasen oder die Feuchte oder den Druck der Luft im Inneren des weiteren Behälters (3) oder elektrostatische Entladung im Reinraum oder elektrostatische Aufladung des weiteren Behälters (3) zu messen.

9. System nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Reinraum mit Bearbeitungsgeräten ausgestattet ist, um Halbleiterwafer für integrierte elektronische Halbleiterschaltungen herzustellen.

10. Verfahren zur Messung von Eigenschaften der Umgebungsluft in einem Reinraum, bei dem ein Behälter (3) innerhalb des Reinraumes bewegt wird und bei dem verschiedenenorts innerhalb des Reinraumes Umgebungsluft in den Behälter (3) aufgenommen wird und eine Messung von Parametern der Luft im Innenraum des Behälters (3) durchgeführt wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein von der Messung abgeleiteter Datenwert an eine zentrale Auswerteeinrichtung (6) außerhalb des Behälters (3) übertragen wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Datenwerte innerhalb des Behälters (3) zwischengespeichert werden.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Überschreitung eines vorgegebenen Grenzwertes eines zu messenden Parameters ein Alarmsignal erzeugt wird.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß als zu messender Parameter die Temperatur oder die Verunreinigung mit Partikeln oder die Verunreinigung mit Gasen oder die Feuchte oder der Druck der Luft im Inneren des Behälters (3) oder elektrostatische Entladung im Reinraum oder elektrostatische Aufladung des Behälters (3) gemessen werden.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß andere Behälter transportiert werden, die im Reinraum herzustellende Produkte enthalten.