DE10124483B4 - measuring system - Google Patents

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Abstract

Wegmeßsystem mit einem Geber (36; 58) und mit einem Sensor (12; 48), welcher mindestens ein induktives Element (16; 50; 82) umfaßt, an das der Geber (36; 58) elektromagnetisch koppelt, wobei Sensor (12; 48; 92) und Geber (36; 58) relativ zueinander positionierbar sind, das mindestens eine induktive Element (16; 50) flächig ausgedehnt auf einem Träger (14; 44; 72) angeordnet ist und der Träger (14; 44; 72) mit dem mindestens einen induktiven Element (16; 50; 82) zumindest teilweise flexibel ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (72) einstarres Trägerteil (74) und ein oder mehrere flexible Trägerteile (76, 78) umfaßt, welche an dem starren Trägerteil (74) angeordnet sind.measuring system with a transmitter (36; 58) and with a sensor (12; 48) which at least one inductive element (16; 50; 82) to which the encoder (36; 58) electromagnetically couples, wherein sensor (12; 48; 92) and encoders (36, 58) are positionable relative to each other, the at least one inductive element (16; 50) expands in a planar manner on a carrier (14; 44; 72) and the carrier (14; 44; 72) with the at least an inductive element (16; 50; 82) formed at least partially flexible is characterized in that the Carrier (72) one-armed carrier part (74) and one or more flexible support members (76, 78), which on the rigid support part (74) are arranged.

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Description

Die Erfindung betrifft ein Wegmeßsystem mit einem Geber und mit einem Sensor, welcher mindestens ein induktives Element umfaßt, an das der Geber elektromagnetisch koppelt, wobei Sensor und Geber relativ zueinander positionierbar sind, das mindestens eine induktive Element flächig ausgedehnt auf einem Träger angeordnet ist und der Träger mit dem mindestens einen induktiven Element zumindest teilweise flexibel ausgebildet ist.The The invention relates to a measuring system with a sensor and with a sensor, which at least one inductive Element comprises to which the encoder electromagnetically couples, with sensor and encoder be positioned relative to each other, the at least one inductive Element flat stretched on a support is arranged and the carrier with the at least one inductive element at least partially is flexible.

Derartige Wegmeßsysteme werden beispielsweise zur Positionsmessung an pneumatischen Zylindern eingesetzt, zur Messung von Ventilstellungen insbesondere in Regelkreisen oder bei Greifern. Für solche Anwendungen ist es sehr vorteilhaft, wenn ein Relativweg zwischen Geber und Sensor absolut meßbar ist.such measuring systems For example, for position measurement on pneumatic cylinders used for measuring valve positions, especially in control circuits or with grippers. For Such applications, it is very advantageous if a Relativweg between encoder and sensor is absolutely measurable.

Aus der DE 42 05 957 A1 ist es bekannt, ein Geberlineal vorzusehen, welches relativ zu einem Spulenaufbau mit einer dreieckförmigen Bedämpfungsfläche aus elektrisch leitendem Material bewegbar ist, wobei die Bedämpfung zunimmt, je mehr sich der Spulenaufbau dem über die volle Breite des Geberlineals reichenden Ende der Bedämpfungsfläche nähert.From the DE 42 05 957 A1 It is known to provide a donor ruler which is movable relative to a coil construction with a triangular damping surface made of electrically conductive material, wherein the attenuation increases as the coil assembly approaches the full width of the donor ruler reaching end of the Bedämpfungsfläche.

Die DE 198 06 529 A1 offenbart einen Weg-Winkel-Sensor mit einem Spulenträger aus biegbarem Kunststoff.The DE 198 06 529 A1 discloses a path-angle sensor with a bobbin made of flexible plastic.

Die DE 197 15 360 A1 offenbart eine Bedienvorrichtung insbesondere für ein Fahrzeug, mit einem um eine Drehachse drehbar gelagerten Eingabeelement, dessen Drehstellung unter Einwirkung einer Umfangskraft manuell veränderbar ist und dessen Drehstellung von einem Wandler erfaßbar ist, der ein der Drehstellung entsprechendes elektrisches Signal erzeugt.The DE 197 15 360 A1 discloses an operating device, in particular for a vehicle, with an input element rotatably mounted about an axis of rotation, the rotational position of which is manually changeable under the action of a circumferential force and whose rotational position can be detected by a transducer which generates an electrical signal corresponding to the rotational position.

Die DE 44 06 417 A1 offenbart eine Einrichtung zum Messen eines Wegs oder eines Winkels, mit wenigstens einer Spule, einem gegenüber der Spule beweglichen Dämpfungselement aus elektrisch leitfähigem Material, sowie einer Vorrichtung zum Bestimmen der Spuleninduktivität in Abhängigkeit von der Lage des Dämpfungselements relativ zur Spule.The DE 44 06 417 A1 discloses a device for measuring a path or angle, comprising at least one coil, a damping element of electrically conductive material that is movable relative to the coil, and a device for determining the coil inductance as a function of the position of the damping element relative to the coil.

Die DE 39 13 861 A1 offenbart einen Verlagerungs-Detektor, der mit einer gedruckten Schaltkarte versehen ist, die sich durch einen vergleichsweise gleichförmigen magnetisierten Spalt eines Kerns erstreckt.The DE 39 13 861 A1 discloses a displacement detector provided with a printed circuit board extending through a comparatively uniform magnetized gap of a core.

Die DE 44 45 819 A1 offenbart eine Abstands/Positions-Meßvorrichtung mit einer symmetrischen Brückenschaltung, die aus einer Quelle gespeist wird und in ihren Zweigen jeweils eine Reihenschaltung aus einem Widerstand und einem durch ein Target verstimmbaren Element aufweist.The DE 44 45 819 A1 discloses a distance / position measuring apparatus having a balanced bridge circuit fed from a source and each having in its branches a series arrangement of a resistor and a target tunable element.

Die DE 42 13 866 A1 offenbart einen Sensor insbesondere für Drehbewegungen, mit variablen Induktivitäten in Form von Flachspulen, welche insbesondere in Form gedruckter Schaltungen ausgeführt sind und ihre Induktivitätskennwerte in Abhängigkeit von der Anwesenheit eines oder mehrerer metallischer oder ferromagnetisch oder diamagnetisch wirkender Gegenstände ändern.The DE 42 13 866 A1 discloses a sensor, in particular for rotational movements, with variable inductances in the form of flat coils, which are designed in particular in the form of printed circuits and change their inductance characteristics in dependence on the presence of one or more metallic or ferromagnetic or diamagnetic acting objects.

Die DE 42 05 957 A1 offenbart einen Spulenaufbau für induktive Sensoren, wobei auf eine Außenfläche eines Trägers aus weichmagnetischem oder hartmagnetischem Material eine Lage eines sich in dieser spiralförmig erstreckender Feinstleiters oder mehrere, jeweils durch eine Isolierschicht gegeneinander isolierte Lagen solcher Feinstleiter übereinander in Dünnschicht- oder Dickschichttechnik aufgebracht ist/sind, und die Feinstleiter übereinander befindlicher Lagen durch die Isolierschichten hindurch seriell durchkontaktiert sind.The DE 42 05 957 A1 discloses a coil assembly for inductive sensors, wherein on an outer surface of a carrier made of soft magnetic or hard magnetic material, a layer of this in a spirally extending fine conductor or more, each by an insulating layer mutually insulated layers of such Feinstleiter is applied to each other in thin-film or thick-film technology, and the ultrafine conductors of superposed layers are serially plated through the insulating layers.

Die DE 36 10 479 A1 offenbart einen magnetischen Wegsensor zur Erfassung der Lage eines Meßobjekts, das berührungslos längs eines von zwei Wechselstrom gespeisten Erregerspulen magnetisierten weichmagnetischen Kerns bewegbar angeordnet ist und abhängig von seiner Position an einer Stelle des weichmagnetischen Kerns einen virtuellen Luftspalt erzeugt und damit den Streufluß des Systems und die in mindestens einer Sekundärspule erzeugte Spannung beeinflußt.The DE 36 10 479 A1 discloses a magnetic displacement sensor for detecting the position of a test object, which is arranged without contact along a driven by two alternating excitation coils magnetized soft magnetic core and depending on its position at a position of the soft magnetic core generates a virtual air gap and thus the leakage flux of the system and in affects at least one secondary coil generated voltage.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Wegmeßsystem der eingangs genannten Art derart zu verbessern, daß sich ein vergrößerter Längennutzbereich bezüglich der Wegstreckenermittlung erreichen läßt.Of the Invention is based on the object, a position measuring system of the aforementioned To improve the way that an enlarged usable length range in terms of reach the route determination.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Träger ein starres Trägerteil und ein oder mehrere flexible Trägerteile umfaßt, welche an dem starren Trägerteil angeordnet sind.These Task is inventively characterized solved, that the carrier a rigid support member and one or more flexible support parts includes which on the rigid support part are arranged.

Durch die flexible Ausbildung des Trägers läßt sich dessen Gestalt variieren und insbesondere so variieren, daß der Träger mit dem darauf angeordneten induktiven Element krümmbar ist, d.h. in eine nichtebene Gestalt bringbar ist. Beispielsweise läßt sich dadurch der Träger an Konturen eines Gegenstandes anpassen, um so auch eine Wegstreckenermittlung bei gekrümmten Bahnbewegungen durchführen zu können. Wird beispielsweise dann der Träger an die Bahnkrümmung angepaßt, so läßt sich auch bei einer gekrümmten Bahnbewegung der relative Abstand zwischen dem Träger und dem Geber konstant halten, so daß die Wegstreckenermittlung nicht durch eine Abstandsänderung beeinflußt wird, d.h. das Sensorsignal eine Änderung allein durch die Bewegung quer zu der Abstandsrichtung erfährt und nicht längs der Abstandsrichtung.Due to the flexible design of the carrier, its shape can be varied and in particular vary so that the carrier with the inductive element arranged thereon can be bent, that is, can be brought into a non-planar configuration. For example, this allows the carrier to be adapted to contours of an object so as to be able to carry out a route determination in the case of curved path movements. For example, if the Trä ger adapted to the path curvature, so even with a curved path movement, the relative distance between the carrier and the encoder keep constant, so that the distance determination is not affected by a change in distance, ie the sensor signal a change solely by the movement transverse to the distance direction learns and not along the distance direction.

Durch eine zumindest teilweise flexible Ausbildung des Trägers läßt sich auch der Längennutzbereich bezüglich der Wegstreckenermittlung des Wegmeßsystems vergrößern und zwar bei gleicher Länge eines entsprechenden Meßteils bzw. bei gleichem Nutzbereich läßt sich die Länge des entsprechenden Meßteils verringern: Randbereiche des induktiven Elements beeinflussen das Sensorsignal, so daß sich beispielsweise dort eine nichtmonotone Abhängigkeit einer Kenngröße des induktiven Elements wie Güte oder effektiven Induktivität ergibt. Dies bedeutet für die Anwendung, daß nur ein bestimmter Teilbereich des induktiven Elements für die Wegstreckenermittlung nutzbar ist und die Randbereiche außerhalb davon zwar notwendig sind, um das flächig ausgedehnte induktive Element herzustellen, aber sonst die Länge des Systems vergrößern. Bei einer flexiblen Ausbildung des Trägers lassen sich solche Randbereiche wegbiegen und insbesondere aus dem Meßfeld falten, so daß die Länge des Meßteils längs der Meßrichtung verringerbar ist. Es wird dadurch zwar in gewissem Maße eine Dickenerhöhung verursacht die sich jedoch gering halten läßt, indem beispielsweise die weggebogenen Randteile hinter den Träger gefaltet werden oder gerollt werden.By an at least partially flexible design of the carrier can be also the length utility area in terms of increase the distance determination of the position measuring system and although at the same length a corresponding measuring part or with the same useful range can be the length of the corresponding measuring part reduce: edge areas of the inductive element influence this Sensor signal, so that For example, there is a nonmonotonic dependence of a characteristic of the inductive Elements like goodness or effective inductance results. This means for the application that only a certain portion of the inductive element for the route determination usable is and the border areas outside of which are necessary, however, to the extensively inductive Element, but otherwise increase the length of the system. At a flexible training of the wearer let such edge regions bend away and in particular from the measuring field fold, so that the Length of the measuring part along the measuring direction is reducible. It is thereby to some extent a thickness increase caused but can be kept low by, for example, the bent edge portions are folded or rolled behind the carrier become.

Der Träger umfaßt ein starres Trägerteil und ein oder mehrere flexible Trägerteile umfaßt, welche an dem starren Trägerteil angeordnet sind. Die flexiblen Trägerteile lassen sich dann von dem starren Trägerteil wegbiegen, um so diese aus dem Meßfeld des Sensors zu entfernen. Die Länge des nutzbaren Meßbereichs wird dann durch die Abmessungen des starren Trägerteils bestimmt.Of the carrier comprises a rigid carrier part and one or more flexible support members comprises which on the rigid support part are arranged. The flexible support parts can then be from the rigid support part Bend away, so as to remove them from the measuring field of the sensor. The length the usable measuring range is then determined by the dimensions of the rigid support member.

Vorteilhaft ist es, wenn das mindestens eine induktive Element auf dem Träger aufgedruckt ist. Dadurch läßt sich auf einfache Weise eine flächige Ausdehnung desselben herstellen und entsprechende Leiterbahnen lassen sich auch dünn herstellen, so daß eine Flexibilität des Trägers zumindest in einem Teilbereich mit dem darauf angeordneten induktiven Element sichergestellt ist.Advantageous it is when the at least one inductive element printed on the carrier is. This can be done in a simple way a surface extension make the same and corresponding tracks can be also thin produce, so that a flexibility of the carrier at least in a partial area with the inductive element arranged thereon is ensured.

Eine flexible Ausbildung des Trägers läßt sich auf einfache Weise erreichen, wenn dieser eine flexible Folie umfaßt. Die flexible Folie ist dann eine Platinenfolie, auf welcher das induktive Element angeordnet ist Eine Folie weist eine Biegeflexibilität parallel zu ihrer Oberfläche ihrer Normalenrichtungen auf.A flexible training of the wearer let yourself achieve in a simple manner, if this comprises a flexible film. The flexible film is then a sinker film on which the inductive Element is arranged A foil has a bending flexibility in parallel to their surface their normal directions.

Vorteilhaft ist es, wenn zur Schaffung eines nutzbaren Meßbereichs bezüglich des mindestens einen induktiven Elements ein oder mehrere Randteile des Trägers derart bezüglich eines Meßteils des Trägers angeordnet sind, daß diese außerhalb eines Meßfeldes liegen. Die Längenabmessungen des Meßteils in einer Wegmeßrichtung bestimmen den nutzbaren Wegmeßbereich und auch die äußeren Abmessungen des Sensors, da die Randteile sich von dem Meßteil wegbiegen lassen und damit nicht oder nur wenig zu der Längenausdehnung des Sensors beitragen. Im wesentlichen ist dann die meßbare Wegstrecke durch die Länge des Meßteils bestimmt.Advantageous it is when to create a usable measuring range with respect to the at least one inductive element one or more edge parts of the carrier in such terms a measuring part of the carrier are arranged that this outside a measuring field lie. The length dimensions of the measuring part in a Wegmeßrichtung determine the usable path measuring range and also the outer dimensions the sensor, since the edge parts can bend away from the measuring part and thus not or only slightly to the length of the sensor contribute. Essentially then the measurable distance is through the Length of the measuring part certainly.

Günstigerweise liegen durch das oder die Randteile des Trägers End-Randbereiche des mindestens einen induktiven Elements außerhalb des Meßfeldes. Solche End-Randbereiche wie beispielsweise bei einer dreieckförmigen Flachspule als induktivem Element die Dreiecksspitzen beeinflussen das Sensorsignal, da zum einen dort ein Übergang zwischen einem elektromagnetisch ankoppelbaren oder einem elektromagnetisch nicht ankoppelbaren Bereich stattfindet und da zum anderen an diesen Randbereichen beispielsweise die Wicklungsdichte und auch Leitungsrichtungen sich stärker unterscheiden als von Bereichen außerhalb dieser Randbereiche.conveniently, lie through the edge or the edge portions of the carrier end-edge regions of the at least an inductive element outside of the measuring field. Such end edge areas such as in a triangular flat coil as an inductive element the triangular spikes influence the sensor signal, because there is a transition between an electromagnetically coupled or an electromagnetic non-couplable area takes place and there to another on these edge areas For example, the winding density and line directions itself stronger distinguished from areas outside of these border areas.

Günstig ist es, wenn das Meßteil des Trägers starr ausgebildet ist, da sich dann so auf einfache Weise die Randteile des Trägers wegfalten lassen und sich auch hinter dem Meßteil positionieren lassen, um die Dickenausdehnung durch Wegbiegen der Randteile gering zu halten.Cheap is it, if the measuring part the carrier is rigid is formed, as then in a simple way the edge parts of the carrier let it fold away and also be positioned behind the measuring part, to the thickness expansion by bending away the edge parts low hold.

Vorteilhafterweise sind das oder die Randteile des Trägers flexibel bezüglich des Meßteils angeordnet, um sie so von diesem wegbiegen zu können. Dies läßt sich beispielsweise dadurch erreichen, daß eine Flexfolie auf einem starren Unterträger angeordnet ist, welcher im wesentlichen die Abmessungen des Meßteils aufweist. Diese Flexfolie ist dann mit dem Meßteil verbunden, so daß in diesem Bereich der Träger starr ist. Außerhalb des Unterträgers läßt sich die Meßfolie relativ zu diesem und damit zu dem Meßteil verbiegen. Eine alternative Möglichkeit besteht darin, daß die Randteile selber flexibel an dem Meßteil angeordnet sind, beispielsweise an einer starren Platine flexibel angeordnet sind.advantageously, the edge part (s) of the support are flexible with respect to measuring part arranged so that they can bend away from it. This can be For example, achieve that a flex foil on a rigid subcarrier is arranged, which has the dimensions of the measuring part substantially. This flex foil is then connected to the measuring part, so that in this Range of carriers is rigid. Outside of the subcarrier let yourself the measuring film bend relative to this and thus to the measuring part. An alternative possibility is that the Edge parts are arranged flexibly on the measuring part, for example are arranged flexibly on a rigid board.

Günstig ist es ferner, wenn ein Randteil von dem Meßteil weggebogen oder wegbiegbar an diesem angeordnet ist, um so den nutzbaren Meßbereich im wesentlichen auf das Meßteil einzuschränken.Cheap is it further, when an edge part is bent away or bendable away from the measuring part is arranged at this, so as to the usable measuring range substantially the measuring part limit.

Um die Dickenabmessungen quer zur Meßrichtung gering zuhalten, sind günstigerweise das oder die Randteile hinter dem Träger bezogen auf ein Meßfeld positioniert. Zum einen stören sie dadurch nicht die Messung und zum anderen sind die entsprechenden Dickenabmessungen des Sensors gering gehalten. Insbesondere ist dazu ein Randteil gerollt und insbesondere hinter dem Träger gerollt angeordnet oder ist ein Randteil gefaltet und insbesondere umgefaltet hinter dem Träger angeordnet.To the thickness dimensions across the measuring keep low direction, are conveniently the edge parts or behind the carrier positioned relative to a measuring field. On the one hand they do not disturb the measurement and on the other hand the corresponding thickness dimensions of the sensor are kept small. In particular, an edge part is rolled for this purpose and, in particular, arranged rolled behind the carrier, or an edge part is folded and, in particular, folded behind the carrier.

Bei einer fertigungstechnisch einfach herzustellenden Variante einer Ausführungsform ist das mindestens eine induktive Element eine Printspule, welche auf dem Träger aufgedruckt wird.at a production technology easy to produce variant of a embodiment the at least one inductive element is a print coil which on the carrier is printed.

Zur einfachen Auswertung eines Sensorsignals ist günstigerweise das mindestens eine induktive Element an einen Oszillator gekoppelt und beeinflußt diesen über eine Güte und/oder effektive Induktivität. Die Güte und/oder effektive Induktivität des induktiven Elements ist vorteilhafterweise durch die Größe eines wirksamen Sensorbereichs bestimmt, welcher an den Geber koppelt, und der Sensor ist so ausgebildet, daß die Größe des wirksamen Sensorbereichs abhängig ist von der relativen Position zwischen Geber und Sensor quer zu einer Abstandsrichtung. Dadurch, daß das induktive Element an einen Oszillator gekoppelt ist und über seine Güte und/oder seine effektive Induktivität Kenngrößen des Oszillators wie Amplitude, Phasenlage und Frequenz beeinflußt, läßt sich eine ortsabhängige Ankopplung eines Gebers an das induktive Element auf einfache Weise auswerten, indem die entsprechenden Kenngrößen des Oszillators ausgewertet werden. Das induktive Element ist dabei so an den Oszillator gekoppelt, daß dieser selber beeinflußbar ist. Ein Spezialfall der Kopplung des induktiven Elements an den Oszillator ist, daß das induktive Element selber die Induktivität des Oszillators bildet. Es muß deshalb keine Primärspule mit Energie versorgt werden, so daß sich ein einfacher Aufbau des Wegmeßsystems erreichen läßt. Der Geber läßt sich als passives Element ausbilden, so daß er nicht über Energiezuführungsleitungen mit Strom beaufschlagt werden muß.to simple evaluation of a sensor signal is conveniently the least an inductive element coupled to an oscillator and affects this over a Goodness and / or effective inductance. The goodness and / or effective inductance of the inductive element is advantageously by the size of a effective sensor area which couples to the encoder, and the sensor is configured such that the size of the effective sensor area dependent is transverse to the relative position between encoder and sensor a distance direction. The fact that the inductive element to an oscillator is coupled and about its goodness and / or its effective inductance Characteristics of the Oscillator as amplitude, phase and frequency affects, can be a location-dependent Evaluate the coupling of an encoder to the inductive element in an easy way, by the corresponding characteristics of the Oscillator be evaluated. The inductive element is here so coupled to the oscillator, that this is itself influenced. A special case of coupling the inductive element to the oscillator is that this inductive element itself forms the inductance of the oscillator. It must therefore no primary coil be energized, so that a simple structure of the measuring system reach. Of the Dealer lets himself as a passive element so that it does not have power supply lines must be acted upon with electricity.

Das Sensorsignal ist durch die geometrische Struktur des Sensors bzw. des Gebers bestimmt. In der geometrischen Form des wirksamen Sensorbereichs ist die Information über die relative Position zwischen Geber und Sensor und damit die Weginformation bzw. Positionsinformation der relativen Position zwischen Geber und Sensor enthalten. Der wirksame Sensorbereich wiederum ist durch die Formgebung des Sensors und damit insbesondere durch die Formgebung des induktiven Elements bestimmt. Das erfindungsgemäße Wegmeßsystem läßt sich dadurch einfach ausbilden und kostengünstig herstellen.The Sensor signal is due to the geometric structure of the sensor or determined by the dealer. In the geometric shape of the effective sensor area is the information about the relative position between encoder and sensor and thus the path information or position information of the relative position between encoders and sensor included. The effective sensor area in turn is through the shape of the sensor and thus in particular by the shape of the inductive element determined. The measuring system according to the invention let yourself thus easy to train and inexpensive to produce.

Durch eine entsprechende Formgebung des Sensors läßt sich das Wegmeßsystem universell einsetzen und insbesondere auch in einem Drehgeber einsetzen. Es muß neben dem induktiven Element keine weitere Sekundärspule oder dergleichen vorgesehen werden. Grundsätzlich genügt es, ein einziges induktives Element einzusetzen, welches so ausgebildet ist, daß ein wirksamer Sensorbereich abhängig ist von der relativen Position zwischen Geber und Sensor. Daneben ist es aber auch möglich, weitere induktive Elemente vorzusehen. Auf diese Weise können beispielsweise Differenzmessungen oder Summenmessungen durchgeführt werden, um eine hohe Meßgenauigkeit oder Meßauflösung zu erhalten. Beispielsweise kann es erfindungsgemäß vorgesehen sein, daß mehrere Meßspuren verwendet werden, beispielsweise eine Meßspur für Grobmessungen und eine Meßspur für Feinmessungen. Da eben die Ortsinformation in der Formgebung des wirksamen Sensorbereichs enthalten ist, lassen sich durch Anpassung der Formgebung eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten realisieren.By a corresponding shape of the sensor can be the measuring system use universally and in particular in a rotary encoder use. It must be next to the inductive element no further secondary coil or the like provided become. in principle enough it is to use a single inductive element, which is formed is that one effective sensor range dependent is from the relative position between encoder and sensor. Besides but it is also possible provide additional inductive elements. In this way, for example Differential measurements or summation measurements are carried out to a high accuracy or measuring resolution too receive. For example, it may be provided according to the invention that several measuring tracks be used, for example, a measuring track for coarse measurements and a measuring track for fine measurements. Since just the location information in the shape of the effective sensor area is contained, by adapting the shaping a variety of applications realize.

Eine Meßauflösung ist dabei direkt über die Formgebung des wirksamen Sensorbereichs einstellbar. Es lassen sich dabei problemlos Auflösungen mindestens in der Größenordnung eines Tausendstels der gesamten Wegstrecke, welche Sensor und Geber relativ zueinander einnehmen können, realisieren.A Measuring resolution is doing directly over the shape of the effective sensor range adjustable. Let it easily resolutions at least on the order of magnitude one thousandth of the total distance, which sensor and encoder relative to each other, realize.

Da das Sensorsignal bestimmt ist durch einen wirksamen Sensorbereich und damit das Sensorsignal direkt bestimmt ist durch eine effektive Induktivität des induktiven Elements des Sensors, kann durch bekannte Auswerteschaltungen für induktive Näherungsschalter, bei denen die Annäherung eines metallischen Gegenstands an eine Oszillatorspule beispielsweise über eine Amplitudenänderung oder Frequenzänderung des Oszillators registriert wird, verwendet werden. Es kann somit auf bereits vorhandene Auswerteeinheiten zurückgegriffen werden. Das erfindungsgemäße Wegmeßsystem läßt sich insbesondere mit einem Typ von Auswerteeinheit versehen, unabhängig davon, wie die spezielle Gestaltung des Gebers oder des induktiven Elements ist, da die Auswerteeinheit im wesentlichen nur eine Kenngröße dieses induktiven Elements bestimmt.There the sensor signal is determined by an effective sensor area and that the sensor signal is directly determined by an effective inductance of the inductive element of the sensor, can by known evaluation circuits for inductive proximity switches, where the approach a metallic object to an oscillator coil, for example via a amplitude change or frequency change of the oscillator is registered. It can thus recourse to already existing evaluation units. The measuring system according to the invention can be especially provided with a type of evaluation unit, regardless of what the special design of the encoder or inductive element is, since the evaluation essentially only one characteristic of this inductive element determined.

Der Sensor ist vorzugsweise so ausgebildet, daß ein Überlappungsbereich zwischen einer Projektion einer wirksamen Geberfläche auf den Sensor und einer wirksamen Sensorfläche abhängig ist von der relativen Position zwischen Sensor und Geber quer zu einer Projektionsrichtung. Aus dieser Abhängigkeit läßt sich die relative Position zwischen Sensor und Geber quer zur Projektionsrichtung (quer zur Abstandsrichtung zwischen Sensor und Geber) ermitteln.Of the Sensor is preferably designed so that an overlap area between a projection of an effective donor surface on the sensor and a effective sensor surface dependent is transverse to the relative position between sensor and encoder a projection direction. From this dependence can be the relative position between sensor and encoder transversely to the projection direction (transverse to Distance direction between sensor and encoder).

Insbesondere ist eine Auswerteeinheit vorgesehen, welche eine Kenngröße des Oszillators ermittelt. Ein Geber, welcher metallisch ausgebildet ist und insbesondere elektrisch leitend ist, stellt eine Gegeninduktivität zum induktiven Element des Sensors dar. Die Ankopplung der Induktivität bewirkt eine Änderung der effektiven Induktivität des induktiven Elements auf dem flexiblen Träger. Diese Änderung der effektiven Induktivität läßt sich auf einfache Weise messen. Bei einer Variante einer Ausführungsform ist es vorgesehen, daß als Kenngröße des Oszillators eine Frequenz des Oszillators gemessen wird, an der das induktive Element gekoppelt ist. Die Frequenz eines LC-Schwingkreises ist im wesentlichen umgekehrt proportional zu der Wurzel aus der effektiven Induktivität. Dies läßt sich dann auf einfache Weise ermitteln. Diese Variante ist dabei besonders vorteilhaft, wenn der Geber ein Magnet und insbesondere ein Permanentmagnet ist, da dadurch eine relativ starke Induktivitätsänderung auftreten kann, die sich dementsprechend auf die Frequenz des Schwingkreises auswirkt, insbesondere wenn ein weichmagnetisches Material, das lokal in Sättigung bringbar ist, am Sensor angeordnet ist.In particular, an evaluation unit is available seen, which determines a characteristic of the oscillator. An encoder, which is metallic and in particular is electrically conductive, represents a mutual inductance to the inductive element of the sensor. The coupling of the inductance causes a change in the effective inductance of the inductive element on the flexible support. This change in the effective inductance can be measured easily. In a variant of an embodiment, it is provided that a characteristic of the oscillator is a frequency of the oscillator is measured, at which the inductive element is coupled. The frequency of an LC resonant circuit is substantially inversely proportional to the root of the effective inductance. This can then be determined in a simple manner. This variant is particularly advantageous if the transmitter is a magnet and in particular a permanent magnet, since this may result in a relatively large change in inductance, which accordingly affects the frequency of the resonant circuit, in particular if a magnetically soft material which can be brought into saturation locally, is arranged on the sensor.

Bei einer alternativen Variante wird eine Amplitude des Oszillators ermittelt, an welchen das mindestens eine induktive Element gekoppelt ist. Die Amplitude eines Oszillators und insbesondere Schwingkreises hängt wiederum von der effektiven Induktivität bzw. Güte des induktiven Elements des Sensors ab. Sie läßt sich auf einfache Weise ermitteln. Es ist möglich, Amplitudenänderungen zu ermitteln, die relativ gering sind. Die effektive Induktivität läßt sich auch dann auswerten, wenn der Geber ein nichtmagnetisches Metall ist.at an alternative variant is an amplitude of the oscillator determined to which the at least one inductive element coupled is. The amplitude of an oscillator and in particular resonant circuit hangs again from the effective inductance or quality of the inductive element of the sensor. It can be easily done determine. It is possible, amplitude changes to determine which are relatively small. The effective inductance can be evaluate even if the encoder is a non-magnetic metal is.

Es kann vorgesehen sein, daß die Auswerteeinheit auf einem Träger angeordnet ist, auf welchem das mindestens eine induktive Element sitzt. Es sind dann Auswerteeinheit und induktives Element auf einem Träger integriert, wobei aber für die Flexibilität des Trägers mindestens in einem Teilbereich gesorgt sein muß. Durch diese integrierte Anordnung läßt sich der Sensor einfach und kostengünstig herstellen und entsprechend einfach ist auch der Einbau beispielsweise in ein Gehäuse bei einer Anwendung.It can be provided that the Evaluation unit on a support is arranged, on which the at least one inductive element sitting. There are then evaluation and inductive element on one carrier integrated, but for the flexibility of carrier must be taken care of at least in one area. Through this integrated Arrangement can be the sensor is simple and inexpensive produce and according to the installation is simple, for example in a housing in one application.

Günstigerweise ist die meßbare Wegstrecke durch die Länge eines Meßteils bestimmt, auf welchem das mindestens eine induktive Element so angeordnet ist, daß End-Randbereiche des induktiven Elements außerhalb des Meßteils liegen. Dadurch lassen sich Randeffekte bezüglich wirksamen Sensorflächen in gewissem Sinne eliminieren, da die Randeffekte verursachenden Randbereiche des induktiven Elements aus dem Meßfeld entfernt werden.conveniently, is the measurable one Distance through the length a measuring part determines on which the at least one inductive element is arranged is that end-edge areas of the inductive element outside of the measuring part lie. This allows edge effects with respect to effective sensor surfaces in eliminate certain sense, since the edge effects causing edge areas of the inductive element are removed from the measuring field.

Ganz besonders vorteilhaft ist es, wenn der Geber ein passives Element ist und insbesondere aus einem elektrisch leitenden oder magnetisch leitenden Material hergestellt ist. Ein passiver Geber ist dabei ein solcher Geber, der nicht mit einer Energiequelle verbunden ist, und dennoch eine elektromagnetische Ankopplung an das induktive Element verursacht. Insbesondere müssen dann keine Energieführungsleitungen für den Geber vorgesehen werden, die eventuell auch mit diesem mitbewegt werden müßten.All it is particularly advantageous if the encoder is a passive element is and in particular of an electrically conductive or magnetic conductive material is made. A passive dealer is there such a donor that is not connected to a source of energy, and still an electromagnetic coupling to the inductive Element causes. In particular, then no energy supply lines for the Encoder are provided, which may also be moved with this would have to be.

Bei einer besonders einfachen Variante einer Ausführungsform, welche dadurch auch kostengünstig herstellbar ist, umfaßt der Geber einen Magneten und insbesondere einen Permanentmagneten. Dessen Magnetfeld beeinflußt das induktive Element und diese Beeinflussung wiederum äußert sich in einer Änderung der effektiven Induktivität. Diese Änderung wiederum hängt von dem wirksamen Sensorbereich des induktiven Elements ab, welcher durch das Magnetfeld beaufschlagt ist. Mit einem solchen Geber kann auch durch metallische Wände hindurchgemessen werden. Beispielsweise läßt sich die Position eines mit einem solchen Geber versehenen Kolbens durch eine Wand eines Druckmittelzylinders aus Aluminium hindurch von außen detektieren.at a particularly simple variant of an embodiment which thereby also inexpensive can be produced the encoder a magnet and in particular a permanent magnet. Its magnetic field influences the inductive element and this influencing again manifests itself in a change the effective inductance. This change in turn depends on the effective sensor area of the inductive element, which is acted upon by the magnetic field. With such a donor can also by metallic walls be measured through. For example, the position of a provided with such a donor piston through a wall of a Detecting pressure medium cylinder made of aluminum from the outside.

Günstig ist es dabei, wenn an oder in der Nähe des induktiven Elements weichmagnetisches Material angeordnet ist. Bei dem weichmagnetischen Material handelt es sich beispielsweise um ein Mu-Metall in Folienform, welches eine möglichst hohe Permeabilität und einen möglichst kleinen elektrischen Leitwert aufweist. Durch das Magnetfeld des Gebers läßt sich das weichmagnetische Material lokal in Sättigung bringen, durch diese lokale Sättigung ist ein wirksamer Sensorbereich definiert. Die lokale Sättigung am wirksamen Sensorbereich wiederum bewirkt eine relativ starke Änderung der effektiven Induktivität, die somit leicht ermittelbar ist.Cheap is it when, at or near of the inductive element is arranged soft magnetic material. The soft magnetic material is, for example a Mu metal in foil form, which has the highest possible permeability and a preferably has low electrical conductance. Through the magnetic field of the encoder let yourself locally saturate the soft magnetic material through it is local saturation defines an effective sensor area. The local saturation on the effective sensor area in turn causes a relatively strong change the effective inductance, which is thus easily ascertainable.

Beispielsweise ist dazu das weichmagnetische Material einseitig oder beidseitig auf dem Träger aufgebracht. Es kann auch vorgesehen sein, daß der Träger mit einem weichmagnetischen Material umwickelt ist.For example is the soft magnetic material on one side or on both sides on the carrier applied. It can also be provided that the carrier with a soft magnetic Material is wrapped.

Grundsätzlich ist es so, daß ein wirksamer Sensorbereich, welcher abhängig ist von der Positionierung eines Gebers zu dem Sensor, dadurch eingestellt werden kann, daß das mindestens eine induktive Element derart ausgestaltet ist, daß seine Form längs einer Meßstrecke quer zu der Meßstrecke variiert. Es ist auch alternativ oder zusätzlich möglich, daß das weichmagnetische Material in einer derartigen Form angeordnet ist, daß die Formabmessung zu einer Meßstrecke längs der Meßwegstrecke variiert. Da durch das weichmagnetische Material ein wirksamer Sensorbereich lokal in Sättigung bringbar ist, ist durch die Formgestaltung des weichmagnetischen Materials selber auch ein wirksamer Sensorbereich bestimmt. Außerhalb des weichmagnetischen Materials ist eben die Magnetfeldbeaufschlagung des Sensors anders als an dem weichmagnetischen Material, und damit ist der wirksame Sensorbereich dann durch die Form der Aufbringung des weichmagnetischen Materials bestimmt. Insbesondere ist es vorgesehen, daß das weichmagnetische Material dreieckförmig angeordnet ist. Dadurch ändert sich längs der Meßstrecke die Querabmessung des weichmagnetischen Materials und über die Variation der Querabmessung läßt sich die relative Position zwischen Geber und Sensor bestimmen.Basically, it is such that an effective sensor range, which is dependent on the positioning of a sensor to the sensor, can be adjusted by the fact that the at least one inductive element is designed such that its shape varies along a measuring path transverse to the measuring path. It is also alternatively or additionally possible that the soft magnetic material is arranged in such a form that the shape dimension varies to a measuring path along the Meßwegstrecke. Since an effective sensor area can be locally brought into saturation by the soft magnetic material, the shape of the soft magnetic material itself also makes it an effective sensor determined area. Outside the soft magnetic material, the magnetic field applied to the sensor is different from the soft magnetic material, and thus the effective sensor area is determined by the shape of the soft magnetic material. In particular, it is provided that the soft magnetic material is arranged triangular. As a result, the transverse dimension of the soft magnetic material changes along the measuring path, and the relative position between the encoder and the sensor can be determined by the variation of the transverse dimension.

Günstig ist es, wenn das mindestens eine induktive Element derart ausgebildet ist, daß seine Gestalt quer zu einer Meßwegstrecke längs der Meßwegstrecke variiert. Dies läßt sich auf einfache Weise über die entsprechende Windungsausbildung einer Flachspule erreichen. Durch die Änderung seiner Form quer zu der Meßstrecke variiert der wirksame Sensorbereich. Die Größe des wirksamen Sensorbereichs wiederum ist verantwortlich für das Sensorsignal und dieses Sensorsignal beinhaltet dann die Informationen über die relative Position.Cheap is it, when the at least one inductive element is formed is that his Shape across a Meßwegstrecke along the measurement path varied. This can be in a simple way over achieve the corresponding Windungsausbildung a flat coil. By the change its shape transverse to the measuring section the effective sensor range varies. The size of the effective sensor area turn is responsible for the sensor signal and this sensor signal then contains the information about the relative position.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn eine magnetische Abschirmung für das mindestens eine induktive Element vorgesehen ist in der Art eines "magnetischen Käfigs", so daß Störfelder wie das Erdmagnetfeld die Wegstreckenermittlung nicht beeinflussen. Die magnetische Abschirmung schirmt dabei sowohl das induktive Element als auch den Geber ab.Especially it is advantageous if a magnetic shield for the at least an inductive element is provided in the manner of a "magnetic cage", so that interference fields how the Earth's magnetic field does not affect the route determination. The magnetic shield shields both the inductive element as well as the giver.

Bei dem erfindungsgemäßen Wegmeßsystem ist es möglich, den Sensor so auszubilden, daß über die entsprechende Formgebung ein bestimmter Kennlinienverlauf des Wegmeßsystems für ein Sensorsignal in Abhängigkeit eines Meßwegs einstellbar ist und insbesondere eingestellt ist. Beispielsweise kann ein mindestens annähernd linearer Signalverlauf eingestellt werden, um so eine Meßgröße auf einfache Weise einer bestimmten Wegmeßstrecke zuordnen zu können.at the position measuring system according to the invention Is it possible, Form the sensor so that over the corresponding shaping a certain characteristic curve of the measuring system for a Sensor signal in dependence a measuring path is adjustable and in particular adjusted. For example, can at least approximate be set linear waveform, so as to a measured variable to simple Assign way to a specific distance measurement to be able to.

Zur Überwachung der Funktionsweise des Wegmeßsystems ist es vorteilhaft, wenn von der Auswerteeinheit ein Fehlersignal abzweigbar ist, wobei überprüfbar ist, ob einer oder mehrere Parameter des induktiven Elements in einem Toleranzbereich liegen. Insbesondere wird überprüft, ob die Güte und/oder effektive Induktivität nicht nach oben oder nach unten zu stark von noch tolerablen Werte abweicht. Es läßt sich dann eine Plausibilitätsprüfung durchführen, mit der sich beispielsweise ein Spulenbruch, ein Kurzschluß oder auch ein Fehlen/Wegfahren des Gebers aus dem Meßbereich detektieren lassen.For monitoring the operation of the measuring system it is advantageous if the evaluation unit an error signal is branchable, whereby verifiable, whether one or more parameters of the inductive element in one Tolerance range lie. In particular, it checks whether the quality and / or effective inductance not up or down too much of still tolerable values differs. It can be then carry out a plausibility check with for example, a coil break, a short circuit or else can detect a missing / driving away of the encoder from the measuring range.

Bei einer einfach herstellbaren Variante einer Ausführungsform wird das mindestens eine induktive Element dreieckförmig ausgebildet und insbesondere weist es dreieckförmige Windungen auf. Wird als Meßrichtung die Richtung parallel zu einer Höhenrichtung des Dreiecks gewählt, dann nimmt die Querausdehnung des Dreiecks in einer Richtung linear zu bzw. linear ab, so daß auf diese Weise sich ein variierender wirksamer Sensorbereich geometrisch einstellen läßt.at an easily manufactured variant of an embodiment is the at least an inductive element triangular formed and in particular it has triangular turns. Used as measuring direction the direction parallel to a height direction the triangle chosen, then the transverse extent of the triangle in one direction becomes linear to or linear from, so that on This way, a varying effective sensor area becomes geometric can be adjusted.

Die nachfolgende Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele dient im Zusammenhang mit der Zeichnung der näheren Erläuterung der Erfindung. Es zeigen:The The following description of preferred embodiments is used in conjunction with the drawing of the closer explanation the invention. Show it:

1 Eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines Wegmeßsystems, welches nicht unter die Ansprüche fällt; 1 A schematic representation of an embodiment of a position measuring system, which does not fall under the claims;

2 eine schematische Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels eines Wegmeßsystems, welches nicht unter die Ansprüche fällt; 2 a schematic representation of another embodiment of a measuring system, which does not fall under the claims;

3 schematisch die Anordnung eines nicht unter die Ansprüche fallenden Wegmeßsystems an einem gekrümmten Körper zur Ermittlung von Wegstrecken auf gekrümmten Bahnen; 3 schematically the arrangement of a not falling under the claims distance measuring system on a curved body for determining distances on curved paths;

4 einen Sensor-Träger eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Wegmeßsystems, welcher flexible Randteile aufweist; 4 a sensor carrier of an embodiment of a Wegmeßsystems invention, which has flexible edge portions;

5 den Sensor-Träger gemäß 4, wobei die flexiblen Randteile von einem Meßteil weggeklappt sind; 5 according to the sensor carrier 4 , wherein the flexible edge parts are folded away from a measuring part;

6 einen Sensor-Träger ähnlich dem von 4 mit einem darüber positionierten Geber, wobei ein rechtes Randteil flexibel ausgebildet ist; 6 a sensor carrier similar to that of 4 with an encoder positioned above, wherein a right edge part is flexible;

7 den Verlauf der effektiven Induktivität Ls über der Wegmeßstrecke s bei dem Sensor gemäß 6, und 7 the course of the effective inductance Ls over the path measuring distance s in the sensor according to 6 , and

8 den Verlauf der Abweichung ΔLs der effektiven Induktivität von ihrem Maximalwert bei s = 0 für den Sensor gemäß 6. 8th the course of the deviation .DELTA.Ls of the effective inductance from its maximum value at s = 0 for the sensor according to 6 ,

Bei einem ersten Ausführungsbeispiel eines nicht unter die Ansprüche fallenden Wegmeßsystems, welches in 1 als Ganzes mit 10 bezeichnet ist, ist ein Sensor 12 vorgesehen, welcher einen Träger 14 umfaßt, auf dem ein induktives Element 16 angeordnet ist.In a first embodiment of a not falling under the claims measuring system, which in 1 as a whole with 10 is designated, is a sensor 12 provided, which is a carrier 14 comprises, on which an inductive element 16 is arranged.

Das induktive Element ist durch eine flächig auf dem Träger 14 angeordnete Spule (Flachspule) gebildet, wobei das induktive Element 16 insbesondere auf dem Träger 14 aufgedruckt ist (Printspule).The inductive element is by a surface on the carrier 14 arranged coil (flat coil) is formed, wherein the inductive element 16 especially on the carrier 14 is printed (print coil).

Die Flachspule 16 umfaßt eine Mehrzahl von Windungen 18 und nimmt dadurch einen Flächenbereich 20 auf der entsprechenden Oberfläche des Trägers 14 ein. Bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Windungen 18 im wesentlichen parallel beabstandet spiralförmig angeordnet so daß der Flächenbereich 20 auf den Träger 14 im wesentlichen rechteckförmig ist. Der Windungssinn ist einheitlich.The flat coil 16 includes a plurality of turns 18 and thereby occupies a surface area 20 on the corresponding surface of the carrier 14 one. At the in 1 embodiment shown are the turns 18 spaced substantially parallel spirally arranged so that the surface area 20 on the carrier 14 is substantially rectangular. The sense of winding is uniform.

Es kann aber auch vorgesehen sein, daß die Windungen mäanderförmig mit alternierendem Windungssinn angeordnet sind (in der Zeichnung nicht gezeigt).It But it can also be provided that the turns meander with alternating winding sense are arranged (not shown in the drawing).

Die Flachspule 16 ist in einer Richtung 22 ausgerichtet und eine Länge l der Flachspule 16 definiert im wesentlichen die maximal mögliche Wegstrecke, die mittels des erfindungsgemäßen Wegmeßsystems 10 meßbar ist.The flat coil 16 is in one direction 22 aligned and a length l of the flat coil 16 essentially defines the maximum possible distance, which by means of the measuring system according to the invention 10 is measurable.

Zur Auswertung eines Sensorsignals des Sensors 12 ist eine Auswerteeinheit 24 vorgesehen, welche mit dem Träger 14 verbunden ist, beispielsweise über entsprechende elektrische Verbindungsleitungen, die von Anschlüssen 26a, 26b der Flachspule 16 bzw. in elektrischem Kontakt mit diesen Anschlüssen 26a, 26b stehenden weiteren Anschlüssen zu der Auswerteeinheit 24 führen. (Diese Verbindungsleitungen sind in der Zeichnung nicht gezeigt.)For evaluation of a sensor signal of the sensor 12 is an evaluation unit 24 provided, which with the carrier 14 is connected, for example via corresponding electrical connection lines, the connections 26a . 26b the flat coil 16 or in electrical contact with these terminals 26a . 26b standing further connections to the evaluation 24 to lead. (These connection lines are not shown in the drawing.)

Es kann auch vorgesehen sein, daß die Auswerteeinheit 24 einstückig mit dem Träger 14 für das induktive Element 16 (Flachspule) verbunden ist und der Träger 14 mit dem Sensor 12 und die Auswerteeinheit 24 auf einer Platine integriert sind.It can also be provided that the evaluation unit 24 integral with the carrier 14 for the inductive element 16 (Flat coil) is connected and the carrier 14 with the sensor 12 and the evaluation unit 24 integrated on a circuit board.

Die Auswerteeinheit 24 ist an sich bekannt. Sie weist beispielsweise zwei Spannungsversorgungseingänge 28, 30, einen Signalausgang 32 und fakultativ einen Fehlerausgang 34 auf. In die Auswerteeinheit 24 ist ein Oszillator integriert, an den die Flachspule 16 so gekoppelt ist, daß Kenngrößen des Oszillators wie Frequenz und Güte durch die Flachspule 16 beeinflußt sind. Alternativ dazu kann die Flachspule 16 selber die Induktivität eines Oszillators bilden.The evaluation unit 24 is known per se. It has, for example, two power supply inputs 28 . 30 , a signal output 32 and optionally a fault output 34 on. In the evaluation unit 24 an oscillator is integrated, to which the flat coil 16 is coupled so that characteristics of the oscillator such as frequency and quality through the flat coil 16 are affected. Alternatively, the flat coil 16 itself form the inductance of an oscillator.

über die Flachspule 16 ist beispielsweise ein als Zunge oder als Bügel ausgebildeter Geber 36 aus einem metallischen Material schiebbar. Der Geber 36 ist ein passiver Geber, der direkt elektromagnetisch an die Flachspule 16 koppelt, ohne daß er strombeaufschlagt werden muß. Er ist in einem Abstand oberhalb der Flachspule 16 (in 1 oberhalb der Zeichenebene) an einem Gegenstand angeordnet, dessen relative Positionierung längs der Richtung 22 zu dem Sensor 12 ermittelt werden soll.over the flat coil 16 For example, is designed as a tongue or as a bracket donor 36 slidable from a metallic material. The giver 36 is a passive encoder that is directly electromagnetically connected to the flat coil 16 coupled without it must be energized. He is at a distance above the flat coil 16 (in 1 above the plane of the drawing) on an object whose relative positioning along the direction 22 to the sensor 12 to be determined.

Die Flachspule 16 kann durch einen "magnetischen Käfig" abgeschirmt sein, wobei der Geber 36 und der Sensor 12 innerhalb des magnetischen Käfigs positioniert sind und relativ zueinander innerhalb des Käfigs beweglich sind. Der magnetische Käfig ist beispielsweise durch Ferritfolien oder dergleichen gebildet.The flat coil 16 can be shielded by a "magnetic cage", the encoder 36 and the sensor 12 are positioned within the magnetic cage and are movable relative to each other within the cage. The magnetic cage is formed, for example, by ferrite films or the like.

Das Wegmeßsystem gemäß der ersten Ausführungsform 10 funktioniert wie folgt:
Wird die metallische Zunge 36 in die Nähe der Flachspule 16 gebracht, dann erfolgt eine induktive Kopplung zwischen der Flachspule 16 und dem metallischen Geber 36. Dies hat zur Folge, daß sich die effektive Induktivität der Flachspule 16 und damit deren Güte aufgrund der elektromagnetischen Ankopplung des Gebers 36 ändert. Der Umfang der Änderung ist dabei davon abhängig, welche Fläche der Flachspule 16 durch den Geber 36 überdeckt wird, das heißt wie groß der Überlappungsbereich einer Projektion des Gebers 36 auf den Sensor 12 mit einem wirksamen Sensorbereich und insbesondere einem überdeckten Spulenbereich ist. Ist beispielsweise der Geber 36 außerhalb der Flachspule 16 positioniert, dann ist kein Überlappungsbereich vorhanden und die effektive Induktivität, welche an der Flachspule 16 meßbar ist, entspricht im wesentlichen deren Induktivität ohne induktive Gegenkopplung eines externen Objekts.The measuring system according to the first embodiment 10 works as follows:
Will the metallic tongue 36 near the flat coil 16 brought, then there is an inductive coupling between the flat coil 16 and the metallic dealer 36 , This has the consequence that the effective inductance of the flat coil 16 and thus their quality due to the electromagnetic coupling of the encoder 36 changes. The extent of the change is dependent on which surface of the flat coil 16 by the giver 36 is covered, that is, how large the overlap area of a projection of the encoder 36 on the sensor 12 with an effective sensor area and in particular a covered coil area. For example, is the dealer 36 outside the flat coil 16 positioned, then there is no overlap area and the effective inductance, which at the flat coil 16 is measurable corresponds essentially to their inductance without inductive negative feedback of an external object.

Der maximale Überdeckungsbereich ist dann erreicht, wenn ein Ende 38 des Gebers 36 über einem Ende 40 der Flachspule 16 liegt und der Geber 36 über der Flachspule 16 liegt, d.h. wenn die Projektion des Gebers 36 auf den Sensor 12 einen maximalen Flächenbereich auf dem Sensor 12 bezüglich der Flachspule 16 aufweist.The maximum coverage area is reached when an end 38 the giver 36 over one end 40 the flat coil 16 lies and the giver 36 above the flat coil 16 lies, ie if the projection of the encoder 36 on the sensor 12 a maximum surface area on the sensor 12 with respect to the flat coil 16 having.

Das Sensorsignal, welches durch die Auswerteeinheit 24 ermittelt wird, ist dabei bestimmt durch die effektive Induktivität bzw. Güte der Flachspule 16; ein geeignetes Sensorsignal ist insbesondere die Amplitude eines Schwingkreises des Oszillators, an den die Flachspule 16 gekoppelt ist. Diese Amplitude hängt von der Güte der Flachspule 16 ab und damit wiederum von der relativen Position zwischen Geber 36 und Sensor 12.The sensor signal, which passes through the evaluation unit 24 is determined, is determined by the effective inductance or quality of the flat coil 16 ; a suitable sensor signal is in particular the amplitude of a resonant circuit of the oscillator to which the flat coil 16 is coupled. This amplitude depends on the quality of the flat coil 16 and in turn from the relative position between donors 36 and sensor 12 ,

Die Flachspule 16 kann dabei selber die Schwingkreisinduktivität bilden oder an eine weitere Schwingkreisspule gekoppelt sein, und dadurch die Induktivität des Schwingkreises beeinflussen und damit wiederum dessen effektive Induktivität.The flat coil 16 can itself form the resonant circuit inductance or be coupled to another resonant circuit coil, and thereby influence the inductance of the resonant circuit and thus in turn its effective inductance.

Da nun die effektive Induktivität der Flachspule 16 davon abhängt, wo das Ende 38 des Gebers 36 über der Flachspule 16 steht, läßt sich über die Ermittlung der effektiven Induktivität der Flachspule 16 oder über die Güte eindeutig ermitteln, wo sich das Ende 38 des Gebers 36 befindet. Die relative Positionierung des Endes 38 des Gebers 36 bezüglich des Endes 40 der Flachspule 16 bestimmt der Flächenbereich, mit dem die metallische Zunge 36 an die Flachspule 16 koppeln kann. Dies wiederum ist bestimmt durch die relative Position zwischen dem Geber 36 und dem Sensor 12 bezogen auf die Richtung 22. Auf diese Weise läßt sich also mittels des Wegmeßsystems 10 eine Wegmessung längs der Richtung 22 durchführen. Insbesondere läßt sich zu jedem Zeitpunkt ermitteln, wie der Geber 36 relativ zu dem Sensor 12 positioniert ist.Now the effective inductance of the flat coil 16 it depends on where the end 38 the giver 36 above the flat coil 16 is, can be found on the determination of the effective inductance of the flat coil 16 or determine the goodness clearly where the end 38 the giver 36 located. The re Latative positioning of the end 38 the giver 36 concerning the end 40 the flat coil 16 determines the surface area with which the metallic tongue 36 to the flat coil 16 can couple. This in turn is determined by the relative position between the encoder 36 and the sensor 12 based on the direction 22 , In this way, so can be means of the measuring system 10 a distance measurement along the direction 22 carry out. In particular, it can be determined at any time how the dealer 36 relative to the sensor 12 is positioned.

Die Auswerteeinheit 24 überprüft insbesondere, ob die Güte/effektive Induktivität der Flachspule 16 innerhalb eines Toleranzbereichs liegt. Ist dies nicht der Fall, wird ein Fehlersignal auf den Fehlerausgang 34 gegeben. Beispielsweise läßt sich dadurch auf einfache Weise die Flachspule 16 bezüglich Spulenbruch überwachen.The evaluation unit 24 checks in particular whether the quality / effective inductance of the flat coil 16 within a tolerance range. If this is not the case, an error signal is sent to the error output 34 given. For example, this allows the flat coil in a simple manner 16 monitor coil breakage.

Es ist vorgesehen, daß der Träger 14 mit dem darauf angeordneten induktiven Element 16 zumindest teilweise flexibel ausgebildet ist. Dadurch ergibt sich die Möglichkeit, den Träger 14 auch an nichtebene Konturen anzupassen bzw. den Träger 14 so zu gestalten, daß auch bei einer Bahn eines Gebers, die nicht gerade ist, ein konstanter Abstand zwischen dem Sensor und dem Geber quer zur Bahnrichtung des Gebers herstellbar ist.It is envisaged that the carrier 14 with the inductive element arranged thereon 16 at least partially flexible. This gives the possibility to the wearer 14 also adapt to non-planar contours or the carrier 14 be designed so that even with a trajectory of a transmitter, which is not straight, a constant distance between the sensor and the encoder can be produced transversely to the web direction of the encoder.

Die flexible Ausbildung des Trägers 14 mit dem darauf angeordneten induktiven Element 16 läßt sich beispielsweise dadurch ausbilden, daß der Träger 14 durch eine Flexfolie gebildet ist, auf der das induktive Element 16 als Printspule aufgedruckt ist und die entsprechenden Leiterbahnen der Printspule 16 derart dimensioniert sind, daß sie auch bei einer Verbiegung des Trägers 14 nicht brechen.The flexible training of the wearer 14 with the inductive element arranged thereon 16 can be formed, for example, by the fact that the carrier 14 is formed by a flex foil on which the inductive element 16 is printed as a print coil and the corresponding traces of the print coil 16 are dimensioned so that they also in a bending of the wearer 14 not break.

Bei einem in 2 gezeigten und als Ganzes mit 42 bezeichneten Ausführungsbeispiel, welches nicht unter die Ansprüche fällt, ist wiederum ein flexibler Träger vorgesehen, welcher mit einer Auswerteeinheit 46 verbunden ist. Die Auswerteeinheit 46 ist dabei grundsätzlich gleich ausgebildet wie die oben im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel 10 beschriebene Auswerteeinheit 24.At an in 2 shown and as a whole with 42 designated embodiment, which does not fall under the claims, in turn, a flexible support is provided which with an evaluation unit 46 connected is. The evaluation unit 46 is basically the same design as the above in connection with the first embodiment 10 described evaluation unit 24 ,

Mittels des Trägers 44 ist ein Sensor 48 gebildet, welcher wiederum ein flächig ausgebildetes induktives Element 50 umfaßt, das als Flachspule auf dem Träger 44 angeordnet ist und insbesondere als Printspule auf diesem aufgedruckt ist. Die Flachspule 50 folgt dabei einer Krümmung des flexiblen Trägers 44, wenn dieser so gebogen wird, daß er eine nichtebene Gestalt aufweist.By means of the carrier 44 is a sensor 48 formed, which in turn has a surface trained inductive element 50 comprising, as a flat coil on the support 44 is arranged and in particular as a print coil is printed on this. The flat coil 50 follows a curvature of the flexible support 44 when it is bent so that it has a non-planar shape.

Die Flachspule 50 ist durch dreieckförmige Windungen 52 gebildet, so daß eine Querausdehnung 54 eines Flächenbereichs, welche die Flachspule 50 auf dem Träger 44 einnimmt, in einer Meßrichtung 56 variiert und insbesondere monoton zunimmt bzw. abnimmt. Bei einer dreieckförmigen Ausgestaltung der Flachspule 50 nimmt dabei die Querausdehnung 54 linear zu bzw. linear ab. Die Meßrichtung 56 ist diejenige Richtung, in welcher ein Geber 58 oberhalb des Sensors 48 relativ zu diesem positioniert und insbesondere bewegt wird und ist quer zu einer Abstandsrichtung zwischen dem Geber 58 und dem induktiven Element 50 orientiert.The flat coil 50 is by triangular turns 52 formed so that a transverse dimension 54 a surface area containing the flat coil 50 on the carrier 44 occupies, in a measuring direction 56 varies and in particular monotonically increases or decreases. In a triangular configuration of the flat coil 50 takes the transverse extent 54 linear to or linear from. The measuring direction 56 is the direction in which a giver 58 above the sensor 48 is positioned relative to this and in particular is moved and is transverse to a distance direction between the encoder 58 and the inductive element 50 oriented.

Bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Meßrichtung 56 im wesentlichen senkrecht zu der Querausdehnung 54 und die Meßrichtung 56 ist parallel zu einer Höhenrichtung der Dreiecksstruktur des induktiven Elements 50. Die Querausdehnung 54 ist dann im wesentlichen parallel zu einer Basisrichtung dieser Dreiecksstruktur.At the in 2 embodiment shown is the measuring direction 56 substantially perpendicular to the transverse dimension 54 and the measuring direction 56 is parallel to a height direction of the triangular structure of the inductive element 50 , The transverse extent 54 is then substantially parallel to a base direction of this triangular structure.

Die Windungen 52 der Flachspule 50 verlaufen bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel spiralförmig eben zwischen einem ersten Anschluß 60 und einem zweiten Anschluß 62, welche wiederum elektrisch leitend mit der Auswerteeinheit 46 verbunden sind.The turns 52 the flat coil 50 run at the in 2 shown embodiment spirally just between a first terminal 60 and a second port 62 which in turn is electrically conductive with the evaluation unit 46 are connected.

Bei einer Variante einer Ausführungsform ist auf dem Träger 44 ein weichmagnetisches Material, angedeutet durch das Bezugszeichen 64, aufgebracht.In a variant of an embodiment is on the support 44 a soft magnetic material, indicated by the reference numeral 64 , applied.

Es kann auch vorgesehen sein, daß der Träger 44 mit dem weichmagnetischen Material umwickelt ist.It can also be provided that the carrier 44 is wrapped with the soft magnetic material.

Als weichmagnetisches Material wird beispielsweise ein Mu-Metall eingesetzt.When soft magnetic material, for example, a Mu metal is used.

Der Geber 58 ist durch einen Magneten gebildet und insbesondere durch einen Permanentmagneten. Es kann sich auch um ein Elektromagneten handeln. Das Magnetfeld des Gebers 58 beaufschlagt die Flachspule 50 und verändert deren effektive Induktivität. Es bringt dabei das weichmagnetische Material 64 lokal in Sättigung. Durch diesen Sättigungseffekt verändert sich die effektive Induktivität der Flachspule 50 besonders stark. Durch die Lokalität dieses Sättigungseffekts hervorgerufen durch die lokale Magnetfeldbeaufschlagung und durch die Flächenänderung der Flachspule 50 über die Änderung der Querausdehnung 54 in der Meßrichtung 56 ändert sich damit die effektive Induktivität der Flachspule 50 in Abhängigkeit von der Position des Magnetgebers 58 oberhalb des Sensors 48 längs der Meßrichtung 56.The giver 58 is formed by a magnet and in particular by a permanent magnet. It can also be an electromagnet. The magnetic field of the encoder 58 acts on the flat coil 50 and changes their effective inductance. It brings the soft magnetic material 64 locally in saturation. This saturation effect changes the effective inductance of the flat coil 50 especially strong. Due to the locality of this saturation effect caused by the local magnetic field and by the area change of the flat coil 50 about the change of the transverse extent 54 in the measuring direction 56 This changes the effective inductance of the flat coil 50 depending on the position of the magnetic encoder 58 above the sensor 48 along the measuring direction 56 ,

Es kann dabei alternativ oder zusätzlich vorgesehen sein, daß die Flachspule 50 in ihrer Gestalt längs der Meßrichtung im wesentlichen nicht variiert (vgl. beispielsweise die Flachspule 16 gemäß 1), daß aber das weichmagnetische Material 64 so aufgebracht ist, daß seine Gestalt quer zur Meßrichtung variiert, um so einen sich in Meßrichtung variierenden effektiven Sensorbereich einstellen zu können. Beispielsweise ist dann ein dreieckförmiger Mu-Metallstreifen oder eine entsprechende Ferritbeschichtung auf dem Träger 44 angeordnet. Es ist aber darauf zu achten, daß das weichmagnetische Material 64 auf den Träger 44 die Flexibilität dieses Trägers 44 mit seiner Flachspule 50 nicht behindert bzw. eine entsprechende Verbiegung des Trägers 44 mitmacht.It may be alternatively or additionally provided that the flat coil 50 essentially does not vary in its shape along the measuring direction (cf., for example, the flat coil 16 according to 1 ) but that the soft magnetic material 64 is applied so that its shape varies transversely to the measuring direction, so as to be able to adjust a varying in the measuring direction effective sensor range can. For example, then a triangular mu-metal strip or a corresponding ferrite coating on the carrier 44 arranged. But it is important to ensure that the soft magnetic material 64 on the carrier 44 the flexibility of this vehicle 44 with its flat coil 50 not hindered or a corresponding deflection of the wearer 44 participates.

Aufgrund der relativ starken Feldbeaufschlagung der Flachspule 50 läßt sich die effektive Induktivität einfach messen, da insbesondere Signalhübe in der Größenordnung von 20 % oder mehr auftreten können. Die Induktivität selber läßt sich beispielsweise über eine Frequenzmessung einer Oszillatorfrequenz eines Oszillators, an den die Flachspule 50 gekoppelt ist, bestimmen. Die Frequenz hängt dabei von der Wurzel aus der effektive Induktivität der Flachspule 50 ab.Due to the relatively strong field loading of the flat coil 50 For example, the effective inductance can be easily measured since in particular signal strokes of the order of 20% or more can occur. The inductance itself can be, for example, via a frequency measurement of an oscillator frequency of an oscillator to which the flat coil 50 coupled determine. The frequency depends on the root of the effective inductance of the flat coil 50 from.

Bei entsprechender Ausgestaltung der Flachspule 50 bzw. entsprechender Strukturierung des weichmagnetischen Materials 64 ist die Änderung der Induktivität über der Wegmeßstrecke parallel zur Meßrichtung 56, d.h. über den relativen Abstand zwischen dem Geber 58 und dem Sensor 48 in der Meßrichtung 56, im wesentlichen linear (vgl. die 7 und 8), sofern bei der relativen Bewegung in der Meßrichtung 56 ein konstanter Abstand zwischen dem Geber 58 und dem Sensor 48 erhalten bleibt.With appropriate design of the flat coil 50 or corresponding structuring of the soft magnetic material 64 is the change in the inductance across the Wegmeßstrecke parallel to the measuring direction 56 ie the relative distance between the encoder 58 and the sensor 48 in the measuring direction 56 , essentially linear (cf. 7 and 8th ), provided that the relative movement in the direction of measurement 56 a constant distance between the encoder 58 and the sensor 48 preserved.

Die Funktion des beschriebenen Wegmeßsystems beruht darauf, daß der Geber an einen wirksamen Sensorbereich koppelt, wobei die Größe des wirksamen Sensorbereichs abhängig ist von der relativen Position zwischen Geber und Sensor quer zu einer Abstandsrichtung zwischen diesen. Bei dem ersten Ausführungsbeispiel 10 ist der wirksame Sensorbereich durch den projizierten Überlapp einer Fläche des zungenförmigen metallischen Gebers 36 mit der Flachspule 16 bestimmt. Der wirksame Sensorbereich ist im wesentlichen derjenige Bereich, welcher elektromagnetisch an den Geber 36 koppeln kann und diese Kopplung wiederum ist durch diejenige Fläche des Gebers 36 beeinflußt, welche über der Flachspule 16 steht.The function of the described measuring system is based on the fact that the encoder couples to an effective sensor area, the size of the effective sensor area being dependent on the relative position between the sensor and the sensor transversely to a spacing direction between them. In the first embodiment 10 is the effective sensor area by the projected overlap of a surface of the tongue-shaped metallic encoder 36 with the flat coil 16 certainly. The effective sensor area is essentially that area which is electromagnetically connected to the transmitter 36 can couple and this coupling is in turn by the surface of the encoder 36 which affects over the flat coil 16 stands.

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel 42 variiert der wirksame Sensorbereich über die geometrische Ausgestaltung der Flachspule 50 in Meßrichtung 56. Dadurch variiert in der Meßrichtung 56 die geometrische Fläche des Sensorbereichs, an die der Geber 58 überhaupt koppeln kann. Wenn ein weichmagnetisches Material 64 vorgesehen ist, dann wird der geometrische Effekt noch durch eine elektromagnetische Ankopplung verstärkt, da eben das weichmagnetische Material 64 nur lokal in Sättigung bringbar ist, nämlich im wesentlichen nur in einem Feldbeaufschlagungsbereich des magnetischen Gebers 58 auf die Flachspule 50 außerhalb eines Streufeldbereichs, so daß also die Position des Gebers 58 relativ zur Flachspule 50 deren effektive Induktivität bestimmt.In the second embodiment 42 the effective sensor range varies over the geometric configuration of the flat coil 50 in the direction of measurement 56 , This varies in the measuring direction 56 the geometric area of the sensor area to which the encoder 58 can pair at all. If a soft magnetic material 64 is provided, then the geometric effect is amplified by an electromagnetic coupling, since just the soft magnetic material 64 only locally saturable, namely substantially only in a Feldbeaufschlagungsbereich the magnetic encoder 58 on the flat coil 50 outside a stray field, so that the position of the encoder 58 relative to the flat coil 50 their effective inductance determined.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 ist der geometrische Faktor der elektromagnetischen Kopplung zwischen Geber 36 und Sensor 12 durch einen entsprechenden Flächenbereich des zungenförmigen Gebers 36 bestimmt, während bei dem Ausführungsbeispiel 42 gemäß 2 der geometrische Faktor durch die Ausgestaltung der Flachspule 50 mit variierender Querdehnung 54 bestimmt ist. Das Wegmeßsystem 42 ist deshalb insbesondere dazu geeignet, die Wegstrecke eines Gebers 58 zu erfassen, welcher auf einer gekrümmten Bahn geführt ist.In the embodiment according to 1 is the geometric factor of the electromagnetic coupling between donors 36 and sensor 12 through a corresponding area of the tongue-shaped encoder 36 determined, while in the embodiment 42 according to 2 the geometric factor by the design of the flat coil 50 with varying transverse strain 54 is determined. The measuring system 42 is therefore particularly suitable for the distance traveled by a transmitter 58 to detect which is guided on a curved path.

Dies ist beispielhaft in 3 gezeigt:
Der Geber 58, beispielsweise ein Permanentmagnet, bewegt sich auf einer gekrümmten Bahn 66. Um einen Abstand 68 zwischen dem Sensor 48 und dem Geber 58 konstant zu halten, so daß eine Signaländerung des Sensors 48 (d.h. insbesondere eine Änderung der effektiven Induktivität) alleine durch eine Änderung bezüglich der Meßrichtung 56 zustande kommt, ist der flexible Träger 44 so an die Bahn 66 angepaßt, daß eben dieser Abstand 68 konstant gehalten ist. Beispielsweise ist dazu der Träger 44 auf einem entsprechend geformten Halter 70 angeordnet.This is exemplary in 3 shown:
The giver 58 For example, a permanent magnet moves on a curved path 66 , To a distance 68 between the sensor 48 and the giver 58 keep constant so that a signal change of the sensor 48 (ie in particular a change in the effective inductance) solely by a change in the direction of measurement 56 comes about, is the flexible carrier 44 so to the train 66 adapted that just this distance 68 is kept constant. For example, this is the carrier 44 on a correspondingly shaped holder 70 arranged.

Der wirksame Sensorbereich der Flachspule 50 auf dem Träger 44 variiert in der Meßrichtung 56, so daß auf der Bahn 66 die relative Position des Gebers 58 relativ zu dem Sensor 48 längs der Bahn 66 ermittelbar ist.The effective sensor area of the flat coil 50 on the carrier 44 varies in the measuring direction 56 so on the train 66 the relative position of the encoder 58 relative to the sensor 48 along the track 66 can be determined.

Bei der eben beschriebenen Anwendung wird der Geber 58 auf einer gekrümmten Bahn 66 geführt und der Sensor 48 wird über den Träger 44 an diese gekrümmte Bahn angepaßt. Ein weiterer Anwendungsfail ist, daß über den Sensor 48 selber eine gekrümmte Wegmeßstrecke bereitgestellt ist, wobei eine relative Position eines anderen Objekts relativ hierzu überwacht werden soll.In the application just described, the encoder 58 on a curved path 66 guided and the sensor 48 is about the carrier 44 adapted to this curved path. Another application is that over the sensor 48 itself a curved Wegmeßstrecke is provided, wherein a relative position of another object to be monitored relative thereto.

Beispielsweise kann der Träger 44 ringförmig geschlossen sein und so an einem zylindrischen Objekt angeordnet sein. Die Flachspule 50 ist dann nach außen hin angeordnet.For example, the carrier 44 be closed annular and so be arranged on a cylindrical object. The flat coil 50 is then arranged to the outside.

Durch eine flexible Ausbildung eines Trägers mit einem darauf angeordneten induktiven Element läßt sich der nutzbare Meßbereich eines Wegmeßsystems erfindungsgemäß vergrößern. Bei einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel, welches schematisch in 4 gezeigt ist, umfaßt ein Träger 72 ein Meßteil 74 und an dem Meßteil angeordnete gegenüberliegende Randteile 76 und 78. Diese Randteile 76 und 78 sind dabei flexibel ausgebildet, während das Meßteil 74 starr ist. Dies läßt sich beispielsweise dadurch erreichen, daß der Träger 72 einen Unterträger 80 mit im wesentlichen den Abmessungen des Meßteils 74 umfaßt, auf dem der Träger 72 als Flexfolie ausgebildet angeordnet ist. Das Meßteil 74 und die Randteile 76 und 78 sind dann einstückig durch diese Flexfolie gebildet und das Meßteil 74 ist derjenige Bereich der Flexfolie, welcher mit dem starren Unterträger 80 verbunden ist.By a flexible design of a carrier with an inductive element arranged thereon, the usable measuring range of a position measuring system can be increased according to the invention. In an embodiment of the invention, which is schematically in 4 shown comprises a carrier 72 a measuring part 74 and arranged on the measuring part opposite edge parts 76 and 78 , These edge parts 76 and 78 are flexible while the measuring part 74 is rigid. This can be achieved, for example, that the carrier 72 a subcarrier 80 with substantially the dimensions of the measuring part 74 includes on which the carrier 72 arranged as a flex foil is arranged. The measuring part 74 and the edge parts 76 and 78 are then integrally formed by this flex foil and the measuring part 74 is the area of the flex foil, which with the rigid subcarrier 80 connected is.

Auf dem Träger 72 ist ein induktives Element 82 flächig angeordnet, beispielsweise als Printspule mit dreieckförmigen Windungen, wie anhand des zweiten, nicht unter die Ansprüche fallenden, Ausführungsbeispiels 42 beschrieben. Die Windungen des induktiven Elements 82 sind dabei sowohl auf dem Randteil 76 als auch dem Randteil 78 aufgedruckt, d.h. ein Flächenbereich 84 des induktiven Elements 82 erstreckt sich über das Meßteil 74 auch in die Randteile 76 und 78. Bezüglich einer Meßrichtung 86 endseitig angeordnete Randbereiche 88, 90 des induktiven Elements 82 liegen dabei auf den zugeordneten Randteilen 76 bzw. 78 außerhalb des Meßteils 74.On the carrier 72 is an inductive element 82 arranged flat, for example, as a print coil with triangular turns, as with the second, not covered by the claims, embodiment 42 described. The windings of the inductive element 82 are doing both on the edge part 76 as well as the edge part 78 imprinted, ie a surface area 84 of the inductive element 82 extends over the measuring part 74 also in the edge parts 76 and 78 , With respect to a measuring direction 86 end margins arranged at the end 88 . 90 of the inductive element 82 lie on the assigned edge parts 76 respectively. 78 outside the measuring part 74 ,

Der Randbereich 88 auf dem Randteil 76 ist bei einer dreieckförmigen Flachspule 82 der Bereich, welcher von der Dreiecksspitze bezogen auf die Meßrichtung 86 umfaßt ist und der Randbereich 90, welcher auf dem Randteil 78 angeordnet ist, ist der Bereich der Dreiecksbasis bezogen auf die Meßrichtung 86. Bei diesen Randbereichen 88 und 90 handelt es sich um Endbereiche des induktiven Elements 82, in denen die Verhältnisse von denen im übrigen induktiven Element 82 abweichen. Beispielsweise ist im Bereich der Spitze, d.h. im Randbereich 88 die Dichte von Windungen erhöht. Im Randbereich 90 ist der Winkelverlauf der Windungen anders als beim Rest der Flachspule 82 (vgl. 2; Windungen, welche parallel zur Querausdehnung 54 vorhanden sind, sind beschränkt auf den Randbereich 90). Außerdem findet an den Randbereichen 88 und 90 auch ein Übergang von einem grundsätzlich wirksamen Sensorbereich, auf dem das induktive Element 82 angeordnet ist, zu einem nicht wirksamen Bereich statt, an dem keine elektromagnetische Kopplung zwischen einem Geber und dem Sensor erfolgt.The border area 88 on the edge part 76 is at a triangular flat coil 82 the area which is the triangle peak with respect to the measuring direction 86 is included and the border area 90 which is on the edge part 78 is the area of the triangle base with respect to the measuring direction 86 , In these border areas 88 and 90 these are end regions of the inductive element 82 in which the ratios of those in the other inductive element 82 differ. For example, in the area of the tip, ie in the edge area 88 increases the density of turns. At the edge 90 the angular course of the turns is different than the rest of the flat coil 82 (see. 2 ; Turns, which are parallel to the transverse dimension 54 are present are limited to the edge area 90 ). It also takes place on the edge areas 88 and 90 also a transition from a basically effective sensor area on which the inductive element 82 is placed, to a non-effective area instead, takes place at which no electromagnetic coupling between a transmitter and the sensor.

Ein nutzbarer Längenbereich N (5) läßt sich nun dadurch bilden, daß die flexiblen Randteile 76 und 78 des Trägers 72 von dem Meßteil 74 weggebogen werden, so daß sie außerhalb eines Meßfelds des Sensors 92 liegen, wobei dieses Meßfeld oberhalb des Meßteils 74 mit dem darauf angeordneten Spulenbereich 94 liegt; dieser Spulenbereich 94 umfaßt das induktive Element 82 abzüglich der Randbereiche 88 und 90.A usable length range N ( 5 ) can now be formed by the fact that the flexible edge parts 76 and 78 of the carrier 72 from the measuring part 74 weggebogen so that they outside a measuring field of the sensor 92 lie, with this measuring field above the measuring part 74 with the coil area arranged thereon 94 lies; this coil area 94 includes the inductive element 82 less the border areas 88 and 90 ,

Die Randteile 76 und 78 sind von dem Meßteil 74 dadurch weggebogen, daß sie beispielsweise von ihm weggefaltet sind und hinter dem Unterträger 80 gerollt sind oder gebogen sind, um so die räumlichen Abmessungen des Wegmeßsystems quer zur Meßrichtung nicht wesentlich zu vergrößern.The edge parts 76 and 78 are from the measuring part 74 bent away, for example, that they are folded away from him and behind the sub-carrier 80 are rolled or bent so as not to increase the spatial dimensions of the measuring system transverse to the measuring direction significantly.

Der Nutzbereich N des erfindungsgemäßen Wegmeßsystems erstreckt sich im wesentlichen über die gesamte Länge des Meßteils 74 bezüglich der Meßrichtung 86. Die störenden Randeffekte, hervorgerufen durch die Randbereiche 88 und 90 der Flachspule 82 sind durch das Wegfalten der Randteile 76 und 78 innerhalb des Meßteils 74 und damit innerhalb des Meßfeldes nicht vorhanden. Bezogen auf die Abmessungen des Trägers 72 in der Meßrichtung 86 läßt sich damit erfindungsgemäß ein größerer Nutzbereich (im Ausführungsbeispiel der 5 mit einer Länge N) nutzen, als wenn keine flexiblen, wegfaltbaren Randteile 76, 78 vorhanden sind; im letzteren Falle wäre der Träger um die Länge der Randteile 76 und 78 größer.The useful range N of the position measuring system according to the invention extends essentially over the entire length of the measuring part 74 with respect to the measuring direction 86 , The disturbing edge effects caused by the border areas 88 and 90 the flat coil 82 are by folding away the edge parts 76 and 78 within the measuring part 74 and thus not present within the measuring field. Based on the dimensions of the carrier 72 in the measuring direction 86 can thus be inventively a larger useful range (in the embodiment of 5 with a length N), as if no flexible, fold-away edge parts 76 . 78 available; in the latter case, the carrier would be around the length of the edge parts 76 and 78 greater.

Eine teilweise flexible Ausbildung eines Trägers für das induktive Element, an welches ein Geber koppelt, läßt sich beispielsweise auch dadurch erreichen, daß jeweils an den Enden einer Platine, ein flexibles Randteil angeordnet ist und eine Printspule auf dem Träger, umfassend die Randteile, aufgebracht ist.A partially flexible design of a support for the inductive element, to which couples a donor, can be For example, also achieve that each at the ends of a Board, a flexible edge part is arranged and a print coil on the carrier, comprising the edge parts, is applied.

Zur Vergrößerung des nutzbaren Meßbereichs muß auch das Meßteil 74 nicht unbedingt starr sein, sondern kann selber flexibel ausgebildet sein, um beispielsweise eine Streckenermittlung bei der Bewegung eines Gebers auf einer gekrümmten Hahn erfassen zu können.To increase the usable measuring range and the measuring part must 74 not necessarily be rigid, but can itself be designed to be flexible, for example, to detect a distance determination during the movement of a sensor on a curved cock can.

In 6 ist ein Träger 96 gezeigt, welcher an einem seitlichen Ende ein Randteil 98 aufweist, welches an einer Kante 100 faltbar ist, so daß ein Meßteil 102 des Trägers im wesentlichen durch diese Kante 100 begrenzt ist. Auf dem Träger 96 ist eine aufgedruckte Flachspule 104 angeordnet, welche dreieckförmig ausgebildet ist entsprechend der Flachspule 50 in 2. Ein basisseitiger Randbereich 106 dieser Flachspule liegt im Randteil 98 und ist somit von dem Meßteil 102 wegfaltbar.In 6 is a carrier 96 shown, which at one lateral end a peripheral part 98 which is on an edge 100 is foldable, so that a measuring part 102 the carrier substantially by this edge 100 is limited. On the carrier 96 is a printed flat coil 104 arranged, which is triangular in shape corresponding to the flat coil 50 in 2 , A base-side edge area 106 This flat coil is located in the edge part 98 and is thus of the measuring part 102 wegfaltbar.

In 7 ist die gemessene effektive Induktivität Ls der Flachspule 104 über der Wegstrecke s gezeigt. Der Nullpunkt der Wegstreckenermittlung (s = 0) liegt dabei außerhalb einer Spitze 108 der Flachspule, wobei die Meßrichtung 110 parallel zu einer Längskante des Trägers 96 verläuft. Als Geber ist ein Permanentmagnet 111 eingesetzt, welcher in einem konstanten Abstand zu dem Träger 96 in der Meßrichtung 110 über die Flachspule 104 geführt wird.In 7 is the measured effective inductance Ls of the flat coil 104 shown over the distance s. The zero point of the route determination (s = 0) lies outside a peak 108 the flat coil, wherein the measuring direction 110 parallel to a longitudinal edge of the carrier 96 runs. As a donor is a permanent magnet 111 used, which at a constant distance from the carrier 96 in the measuring direction 110 over the flat coil 104 to be led.

Die unterbrochene Kurve 112 in 7 zeigt den Verlauf dieser effektiven Induktivität Ls, wenn das Randteil 98 nicht weggefaltet ist, d.h. das Meßteil 102 und das Randteil 98 im wesentlichen in einer Ebene liegen.The broken curve 112 in 7 shows the course of this effective inductance Ls when the edge part 98 not folded away, ie the measuring part 102 and the edge part 98 lie essentially in one plane.

Ausgehend von dem Nullpunkt s = 0 nimmt die effektive Induktivität zu größeren Wegstrecken hin (zu größeren Querausdehnungen der Flachspule 104 hin) näherungsweise linear ab (in diesem Bereich fällt die durchbrochene Kurve 112 mit der durchgezogenen zusammen). Sie erreicht ein Minimum 114.Starting from the zero point s = 0, the effective inductance increases to longer distances (to larger transverse dimensions of the flat coil 104 out) approximately linearly (in this area the broken curve falls 112 with the solid one together). It reaches a minimum 114 ,

Das Wegmeßsystem gemäß 6 weist also einen Monotoniebereich 116 auf, in welchem sich eineindeutig eine Wegstrecke s einer effektiven Induktivität Ls zuordnen läßt.The measuring system according to 6 thus has a monotone range 116 on, in which one way a distance s can be assigned to an effective inductance Ls.

Durch Wegfalten des Randbereichs 106 erhält man eine gemessene effektive Induktivität Ls, welche in 7 durchgezogen dargestellt ist. Dieser entsprechende Kurvenverlauf 118 ist also streng monoton, d.h. im Gegensatz zum Kurvenverlauf 112 läßt sich ein eindeutiger Wert s zu jedem Ls zuordnen.By folding away the edge area 106 one obtains a measured effective inductance Ls, which in 7 is shown pulled through. This corresponding curve 118 is therefore strictly monotone, ie in contrast to the curve 112 a unique value s can be assigned to each Ls.

Ist also das Randteil 98 weggefaltet, so ist der nutzbare Megbereich durch die Länge N gegeben, wobei N in der Nähe der Kante 100 liegt; ist das Randteil 98 nicht weggefaltet, so ist der Wegbereich von N bis zum Ende 120 des Trägers 96 nicht nutzbar. Das erfindungsgemäße Wegmeßsystem erlaubt es daher, die Längenabmessung des Trägers 96 bei gleichem Nutzbereich gering zu halten bzw. bei gleicher Länge einen höheren Nutzbereich zu erzielen.So it's the edge part 98 folded away, the usable Meg range is given by the length N, where N is near the edge 100 lies; is the edge part 98 not folded away, so is the path range from N to the end 120 of the carrier 96 not usable. The measuring system according to the invention therefore allows the length dimension of the carrier 96 to keep low for the same useful range or to achieve a higher useful range for the same length.

Der Punkt, welcher den Nutzbereich N definiert, liegt etwas vor der Faltkante 100, da der Geber 111 eine endliche Ausdehnung aufweist und bei Überfahren eines Endes 122 über die Kante 100 nur noch teilweise in dem Meßfeld oberhalb des Meßteils 102 liegt. Der Punkt N ist also dadurch definiert, daß bei ihm gerade noch das Magnetfeld des Gebers 111 das Meßfeld vollständig beaufschlägt.The point which defines the useful area N lies somewhat in front of the folding edge 100 because the giver 111 has a finite extent and when crossing one end 122 over the edge 100 only partially in the measuring field above the measuring part 102 lies. The point N is thus defined by the fact that with him just the magnetic field of the encoder 111 fully charged the measuring field.

Zum Vergleich ist in 8 noch die Abweichung ΔLs der effektiven Induktivität Ls vom Wert der effektiven Induktivität Ls bei s = 0 gezeigt. Auch hier erkennt man denselben Kurvenverlauf wie in 7, wobei wiederum in durchbrochener Linie der Verlauf bei nicht weggefaltetem Randteil 98 gezeigt ist und in durchgezogener Linie der Verlauf bei von dem Meßfeld weggefaltetem Randteil 98.For comparison, in 8th nor the deviation .DELTA.Ls of the effective inductance Ls from the value of the effective inductance Ls at s = 0 shown. Again, you can see the same curve as in 7 , again in a broken line, the course in not folded away edge part 98 is shown and in solid line the course in folded away from the measuring field edge part 98 ,

Claims (34)

Wegmeßsystem mit einem Geber (36; 58) und mit einem Sensor (12; 48), welcher mindestens ein induktives Element (16; 50; 82) umfaßt, an das der Geber (36; 58) elektromagnetisch koppelt, wobei Sensor (12; 48; 92) und Geber (36; 58) relativ zueinander positionierbar sind, das mindestens eine induktive Element (16; 50) flächig ausgedehnt auf einem Träger (14; 44; 72) angeordnet ist und der Träger (14; 44; 72) mit dem mindestens einen induktiven Element (16; 50; 82) zumindest teilweise flexibel ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (72) einstarres Trägerteil (74) und ein oder mehrere flexible Trägerteile (76, 78) umfaßt, welche an dem starren Trägerteil (74) angeordnet sind.Position measuring system with a transmitter ( 36 ; 58 ) and with a sensor ( 12 ; 48 ), which has at least one inductive element ( 16 ; 50 ; 82 ) to which the donor ( 36 ; 58 ) is electromagnetically coupled, whereby sensor ( 12 ; 48 ; 92 ) and donors ( 36 ; 58 ) are positionable relative to each other, the at least one inductive element ( 16 ; 50 ) stretched flat on a support ( 14 ; 44 ; 72 ) and the carrier ( 14 ; 44 ; 72 ) with the at least one inductive element ( 16 ; 50 ; 82 ) is at least partially flexible, characterized in that the carrier ( 72 ) one-step carrier part ( 74 ) and one or more flexible support parts ( 76 . 78 ), which on the rigid support part ( 74 ) are arranged. Wegmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine induktive Element (16; 50; 82) auf dem Träger (14; 44; 72) aufgedruckt ist.Position measuring system according to claim 1, characterized in that the at least one inductive element ( 16 ; 50 ; 82 ) on the support ( 14 ; 44 ; 72 ) is printed. Wegmeßsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (14; 44; 72) eine flexible Folie umfaßt.Position measuring system according to claim 1 or 2, characterized in that the carrier ( 14 ; 44 ; 72 ) comprises a flexible film. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Schaffung eines nutzbaren Meßbereichs (N) bezüglich des mindestens einen induktiven Elements (82) ein oder mehrere Randteile (76, 78) des Trägers (72) derart bezüglich eines Meßteils (74) des Trägers angeordnet sind, daß diese außerhalb eines Meßfeldes liegen.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that in order to create a usable measuring range (N) with respect to the at least one inductive element ( 82 ) one or more edge parts ( 76 . 78 ) of the carrier ( 72 ) with respect to a measuring part ( 74 ) of the carrier are arranged so that they lie outside a measuring field. Wegmeßsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die meßbare Wegstrecke im wesentlichen durch die Länge des Meßteils (74) bestimmt ist.Position measuring system according to Claim 4, characterized in that the measurable distance is essentially determined by the length of the measuring part ( 74 ) is determined. Wegmeßsystem nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß durch das oder die Randteile (76, 78) des Trägers (72) End-Randbereiche (88, 90) des mindestens einen induktiven Elements (82) außerhalb des Meßfeldes liegen.Position measuring system according to claim 4 or 5, characterized in that by the edge part or parts ( 76 . 78 ) of the carrier ( 72 ) End margins ( 88 . 90 ) of the at least one inductive element ( 82 ) are outside the measuring field. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßteil (74) des Trägers (72) starr ausgebildet ist.Position measuring system according to one of Claims 4 to 6, characterized in that the measuring part ( 74 ) of the carrier ( 72 ) is rigid. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das oder die Randteile (76, 78) des Trägers (72) flexibel bezüglich des Meßteils (74) angeordnet sind.Position measuring system according to one of Claims 4 to 7, characterized in that the edge part (s) ( 76 . 78 ) of the carrier ( 72 ) flexible with respect to the measuring part ( 74 ) are arranged. Wegmeßsystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Randteil (76; 78) als Flexfolie ausgebildet ist, welche an dem Meßteil (74) angeordnet ist.Position measuring system according to claim 8, characterized in that a peripheral part ( 76 ; 78 ) is formed as a flex foil, which on the measuring part ( 74 ) is arranged. Wegmeßsystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Randteil (76; 78) von dem Meßteil (74) weggebogen oder wegbiegbar an diesem angeordnet ist.Position measuring system according to claim 8 or 9, characterized in that a peripheral part ( 76 ; 78 ) of the measuring part ( 74 ) is bent away or bent away at this is arranged. Wegmeßsystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das oder die Randteile (76, 78) hinter dem Träger (72) bezogen auf ein Meßfeld positioniert sind.Position measuring system according to claim 10, characterized characterized in that the edge part (s) ( 76 . 78 ) behind the carrier ( 72 ) are positioned relative to a measuring field. Wegmeßsystem nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Randteil (76; 78) gerollt ist.Position measuring system according to claim 10 or 11, characterized in that a peripheral part ( 76 ; 78 ) is rolled. Wegmeßsystem nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Randteil (76; 78) gefaltet ist.Position measuring system according to claim 10 or 11, characterized in that a peripheral part ( 76 ; 78 ) is folded. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine induktive Element (16; 50; 82) eine Printspule ist.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one inductive element ( 16 ; 50 ; 82 ) is a print coil. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine induktive Element (16; 50; 82) an einen Oszillator gekoppelt ist und über eine Güte und/oder effektive Induktivität diesen beeinflußt.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one inductive element ( 16 ; 50 ; 82 ) is coupled to an oscillator and influenced by a quality and / or effective inductance this. Wegmeßsystem nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Güte und/oder effektive Induktivität des mindestens einen induktiven Elements (16; 50; 82) bestimmt ist durch die Größe eines wirksamen Sensorbereichs, an den der Geber (36; 58) koppelt, und daß der Sensor (12; 48) so ausgebildet ist, daß die Größe des wirksamen Sensorbereichs abhängig ist von der relativen Position zwischen Geber (36; 58) quer zu einer Abstandsrichtung.Position measuring system according to claim 15, characterized in that the quality and / or effective inductance of the at least one inductive element ( 16 ; 50 ; 82 ) is determined by the size of an effective sensor area to which the encoder ( 36 ; 58 ) and that the sensor ( 12 ; 48 ) is formed so that the size of the effective sensor area is dependent on the relative position between donors ( 36 ; 58 ) across a distance direction. Wegmeßsystem nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (12; 48) so ausgebildet ist, daß ein Überlappungsbereich zwischen einer Projektion einer wirksamen Geberfläche auf den Sensor mit einer wirksamen Sensorfläche abhängig ist von der relativen Position zwischen Sensor und Geber quer zur Projektionsrichtung.Position measuring system according to Claim 16, characterized in that the sensor ( 12 ; 48 ) is formed so that an overlap region between a projection of an effective donor surface on the sensor with an effective sensor surface is dependent on the relative position between the sensor and encoder transversely to the projection direction. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß eine Auswerteeinheit (24; 46) vorgesehen ist, welch eine Kenngröße des Oszillators ermittelt.Position measuring system according to one of claims 15 to 17, characterized in that an evaluation unit ( 24 ; 46 ), which determines a characteristic of the oscillator. Wegmeßsystem nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß eine Frequenz des Oszillators ermittelt wird.measuring system according to claim 18, characterized in that a frequency of the oscillator is determined becomes. Wegmeßsystem nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß eine Amplitude des Oszillators ermittelt wird.measuring system according to claim 18 or 19, characterized in that an amplitude of the oscillator is determined. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (24; 46) auf einem Träger angeordnet ist, auf welchem das induktive Element sitzt.Position measuring system according to one of Claims 18 to 20, characterized in that the evaluation unit ( 24 ; 46 ) is disposed on a support on which the inductive element is seated. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die meßbare Wegstrecke durch die Länge eines Meßteils (74) bestimmt ist, auf welchem das mindestens eine induktive Element (82) so angeordnet ist, daß End-Randbereiche (88, 90) des mindestens einen induktiven Elements (82) außerhalb des Meßteils (74) liegen.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the measurable distance is determined by the length of a measuring part ( 74 ) is determined on which the at least one inductive element ( 82 ) is arranged so that end edge regions ( 88 . 90 ) of the at least one inductive element ( 82 ) outside the measuring part ( 74 ) lie. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Geber (36; 58) ein passives Element ist.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the encoder ( 36 ; 58 ) is a passive element. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Geber (58) einen Magneten umfaßt.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the encoder ( 58 ) comprises a magnet. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an dem mindestens einen induktiven Element (50; 82) oder in der Nähe des mindestens einen induktiven Elements (50; 82) ein weichmagnetisches Material (64) angeordnet ist.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that on the at least one inductive element ( 50 ; 82 ) or in the vicinity of the at least one inductive element ( 50 ; 82 ) a soft magnetic material ( 64 ) is arranged. Wegmeßsystem nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das weichmagnetische Material (64) derart angeordnet ist, daß es an einem wirksamen Sensorbereich lokal in Sättigung bringbar ist.Position measuring system according to claim 25, characterized in that the soft magnetic material ( 64 ) is arranged such that it is locally saturable at an effective sensor area. Wegmeßsystem nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, daß das weichmagnetische Material (64) auf einem Träger (72), auf welchem das mindestens eine induktive Element (82) sitzt, aufgebracht ist.Position measuring system according to claim 25 or 26, characterized in that the soft magnetic material ( 64 ) on a support ( 72 ) on which the at least one inductive element ( 82 ) is sitting, is applied. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 25 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß ein Träger (72), auf welchem das mindestens eine induktive Element (82) sitzt, mit einem weichmagnetischen Material (64) umwickelt ist.Position measuring system according to one of claims 25 to 27, characterized in that a carrier ( 72 ) on which the at least one inductive element ( 82 ), with a soft magnetic material ( 64 ) is wrapped. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine induktive Element (50; 82) derart ausgebildet ist, daß seine Gestalt quer zu einer Wegmeßstrecke (56; 86) längs der Wegmeßstrecke (56; 86) variiert.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one inductive element ( 50 ; 82 ) is designed such that its shape transversely to a Wegmeßstrecke ( 56 ; 86 ) along the Wegmeßstrecke ( 56 ; 86 ) varies. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine magnetische Abschirmung für das Wegmeßsystem vorgesehen ist.measuring system according to one of the preceding claims, characterized that one magnetic shielding for the measuring system is provided. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (12; 48) so ausgebildet ist, daß über die entsprechende Formgebung ein bestimmter Kennlinienverlauf des Wegmeßsystem für ein Sensorsignal in Abhängigkeit eines Meßweges (s) eingestellt ist.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor ( 12 ; 48 ) is designed so that a certain characteristic curve of the measuring system for a sensor signal in response to a measuring path (s) is set via the corresponding shaping. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 18 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß von der Auswerteeinheit (24) ein Fehlersignal abzweigbar ist, wobei durch die Auswerteeinheit (24) überprüfbar ist, ob ein oder mehrere Parameter des induktiven Elements (16) innerhalb eines Toleranzintervalls liegen.Position measuring system according to one of the claims 18 to 31, characterized in that the evaluation unit ( 24 ) an error signal can be branched off, wherein by the evaluation unit ( 24 ) it is possible to check whether one or more parameters of the inductive element ( 16 ) lie within a tolerance interval. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine induktive Element (50; 82) dreieckförmig ausgebildet ist.Position measuring system according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one inductive element ( 50 ; 82 ) is triangular in shape. Wegmeßsystem nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine induktive Element (50; 82) dreieckförmige Windungen aufweist.Position measuring system according to Claim 33, characterized in that the at least one inductive element ( 50 ; 82 ) has triangular turns.
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