DE10121729A1 - Produktionsmaschine mit Fähigkeit zur Übermittlung von Produktionsinformationen - Google Patents

Abstract

Produktionsmaschine (1) mit wenigstens einem Signalausgang (4, 5, 6, 7, 9, 31, 33, 35) mit Fähigkeit zur Übermittlung von Produktionszustandsinformationen an ein Produktionssteuerungssystem bzw. Produktionsüberwachungssystem (22, 24, 39). DOLLAR A Signalausgänge (4, 5, 6, 7, 9, 31, 33, 35) der Produktionsmaschine (1) werden abgegriffen und die Zustände der Signalausgänge (4, 5, 6, 7, 9, 31, 33, 35) werden über Datenverbindungen (10, 11, 12, 13, 14) an ein Bedienpult (15) weitergeleitet. DOLLAR A Diese so gewonnenen Produktionszustandsinformationen werden zusammen mit den durch einen Bediener manuell eingegebenen Information über eine Datenverbindung (16, 17, 18, 20, 21) an ein Computersystem (22) zur Auswertung übermittelt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Produktionsmaschine mit wenigstens einem Signalausgang mit Fähigkeit zur Übermittlung von Produk­ tionszustandsinformationen, wobei die Produktionszustandsin­ formationen in Abhängigkeit von an der Produktionsmaschine au­ tomatisch abgegriffenen Ereignissen und von manuellen Eingaben eines Bedieners erzeugbar sind.

Bei üblichen Produktionsmaschinen, die keine Schnittstelle zur Übertragung von Produktionszustandsinformationen an ein Pro­ duktionssteuerungssystem bzw. Produktionsüberwachungssystem aufweisen, sind Produktionszustandsinformationen häufig nur durch Eingaben eines Bedieners über ein Terminal bzw. über ein Tastenfeld erfaßbar. Signalausgänge der Produktionsmaschinen, die potentielle Datenquellen für eine Feststellung des genauen Produktionszustandes der Produktionsmaschine darstellen, wer­ den nur selten oder nur unzureichend genutzt.

Bei diesen bekannten Verfahren ist von Nachteil, daß durch die ausschließliche Erfassung von manuellen Eingaben des Bedieners zur Erzeugung von Produktionszustandsinformationen der Produk­ tionsmaschine sowie durch die unvollständige Nutzung der vor­ handenen Signalausgänge der Produktionsmaschine als Datenquel­ len zur Ermittlung von Produktionszustandsinformationen der Produktionszustand der Produktionsmaschine nur unzureichend erfaßt werden kann.

Manuelle Eingaben des Bedieners geben nur begrenzten Aufschluß über den Produktionszustand der Produktionsmaschine.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Produktionsma­ schine bereitzustellen, bei der sich genauere Produktionsin­ formationen ergeben.

Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand der unabhängigen An­ sprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den jeweiligen abhängigen Ansprüchen.

Die erfindungsgemäße Produktionsmaschine greift alle Signal­ ausgänge der Produktionsmaschine automatisch ab und generiert aus den abgegriffenen Daten der Signalausgänge der Produkti­ onsmaschine Ereignisse, die für die Erzeugung von Produktions­ zustandsinformationen der Produktionsmaschine nutzbar sind. Weiterhin nutzt die Produktionsmaschine manuelle Eingaben ei­ nes Bedieners, die über ein Tastenfeld, über ein Terminal bzw. über ähnliche Eingabemedien tätigbar sind.

Durch das erfindungsgemäße Abgreifen der Signalausgänge der Produktionsmaschine und durch die Zusammenführung der so ge­ wonnenen Informationen mit den manuellen Benutzereingaben kön­ nen sehr genaue und sehr umfassende Informationen über die Be­ triebszustände der Produktionsmaschine gewonnen werden. Das erfindungsgemäße Abgreifen der Signalausgänge und die erfin­ dungsgemäße Zusammenführung der so erzeugten Daten mit den ma­ nuellen Eingaben eines Bedieners sind von der Art der Produk­ tionsmaschine unabhängig. Die erfindungsgemäße Erzeugung von Produktionsinformationen ist sehr einfach und sehr kostengün­ stig für eine Vielzahl von Produktionsmaschinen anwendbar.

Die manuellen Eingaben des Benutzers sind über ein Tastenfeld oder über ein Schalterfeld vorsehbar. Bei einem Tastenfeld er­ folgt die Eingabe von Produktionsinformationen über mehrere mit Beschriftungen versehene Tasten. Bei der Verwendung von Tasten ist es häufig nicht möglich, durch eine Stellung der Tasten eine Information über den jeweiligen Zustand der Taste zu erhalten. Vielmehr werden bei der Verwendung von Tasten häufig elektrische Lichtsignale für die einzelnen Tasten vor­ gesehen, um den jeweiligen Zustand der Taste darzustellen. Bei der Verwendung eines Schalterfeldes ist es möglich, aus der Stellung des Schalters auf den jeweiligen Zustand des entspre­ chenden Schalters zu schließen. Zusätzlich können Lichtsignale zur Darstellung von einzelnen Schaltern zugeordneten Zuständen vorgesehen sein.

Auf dem Markt ist eine Vielzahl von verschiedenen Tastenfel­ dern und Schalterfeldern zur Erzeugung von Produktionsinforma­ tionen aus manuellen Eingaben eines Bedieners erhältlich. Die Erfindung ist sehr vielseitig einsetzbar und sehr einfach an verschiedene Tastenfelder und verschiedene Schalterfelder ad­ aptierbar.

In einer Ausführungsform der Erfindung ist die Produktions­ maschine über eine Datenverbindung mit einem berührungsemp­ findlichen Bildschirm bzw. einem Touchscreen zur manuellen Eingabe von Produktionsinformationen durch einen Bediener ver­ bunden, von dem Ereignisse zur Erzeugung von Produktionsinfor­ mationen abgegriffen werden können.

Die Genauigkeit der erzeugten Produktionsinformationen kann dadurch weiter verbessert werden, da auf diesem berührungsemp­ findlichen Bildschirm die Felder zur manuellen Eingabe benut­ zerdefiniert belegt werden können und zusätzliche Informatio­ nen, beispielsweise Informationen zu produzierten Losen, durch den Benutzer eingebbar sind.

Weiterhin ist es erfindungsgemäß möglich, manuelle Signale des berührungsempfindlichen Bildschirms an die Produktionsmaschine und an Teile der Produktionsmaschine zu übermitteln, um Kompo­ nenten der Produktionsmaschinen wie beispielsweise die Signal­ lampen zu steuern oder zu korrigieren. Dadurch kann die Genau­ igkeit der von der Produktionsmaschine abgreifbaren Signale wesentlich gesteigert werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung werden Sen­ soren der Produktionsmaschine, insbesondere Sensoren zur Be­ stimmung des Befüllzustandes von Pufferzonen, Sensoren zur Druckmessung und Indexer zur Arbeitsfortschrittsmessung für eine Erzeugung von Produktionsinformationen verwendet. Diese Sensoren werden hierbei elektrisch abgegriffen.

Die Erfindung ist sehr vielseitig einsetzbar und sehr einfach an verschiedene Sensoren adaptierbar. Durch die Verwendung von Sensoren für die Erzeugung von Produktionsinformationen kann die Genauigkeit der erzeugten Produktionsinformationen weiter gesteigert werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird die Maschinensteuerung der Produktionsmaschine für eine Erzeugung von Produktionsinformationen verwendet. Erfindungsgemäß sind insbesondere die Signallampen der Produktionsmaschine zur Er­ zeugung von Produktionsinformationen vorgesehen. Dabei werden die Maschinensteuerung der Produktionsmaschine bzw. die Si­ gnallampen der Produktionsmaschine elektrisch abgegriffen. Die Genauigkeit der erzeugten Produktionsinformationen kann so weiter gesteigert werden.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung können das Tastenfeld bzw. das Schalterfeld bzw. der berührungsempfindliche Bild­ schirm und/oder Sensoren der Produktionsmaschine insbesondere Sensoren zur Bestimmung des Befüllzustandes von Pufferzonen, Sensoren zur Druckmessung und Indexer zur Arbeitsfortschritts­ messung und/oder die Maschinensteuerung der Produktionsmaschi­ ne insbesondere die Signallampen der Produktionsmaschine zur Erzeugung von Ereignissen bei einem Verfahren zum Betrieb ei­ ner Produktionsmaschine verwendet werden. Bei diesem Verfahren sind Produktionsinformationen insbesondere bezüglich der Aus­ lastung und/oder bezüglich der Zuverlässigkeit und/oder bezüg­ lich der Verfügbarkeit der Produktionsmaschine erzeugbar.

Hierbei werden in einem Schritt des Aufstellens eines Inter­ pretationszustandsmodells die Übergänge zwischen Zuständen des Interpretationszustandsmodells in Abhängigkeit von den an der Produktionsmaschine abgreifbaren Ergebnissen festgelegt. Des weiteren ist der Schritt des Zuordnens von Zuständen des In­ terpretationszustandsmodells zwischen Zuständen des Auswer­ tungszustandsmodells vorgesehen.

Durch die Verwendung eines Tastenfelds bzw. Schalterfelds bzw. berührungsempfindlichen Bildschirms kann eine besonders feine Aufgliederung des Auswertungszustandsmodells erfolgen, wobei die Zeiträume, in denen sich die Produktionsmaschine in dem betreffenden Auswertungszustand befindet, durch die Einbindung von manuellen Eingaben besonders genau zugeordnet werden kön­ nen.

Durch diese Ausgestaltung der Erfindung können manuell einge­ bare Informationen zur erfindungsgemäßen Zuordnung von Auswer­ tungszuständen verwendet werden, die bei Verwendung lediglich eines Auswertungszustandsmodells alleine nicht mit in die Zu­ ordnung einfließen können.

Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Betrieb ei­ ner Produktionsmaschine, bei dem Produktionsinformationen ins­ besondere bezüglich der Auslastung, bezüglich der Zuverlässig­ keit und/oder der Verfügbarkeit der Produktionsmaschine er­ zeugbar sind.

Es sind Verfahren zum Erzeugen von solchen Produktionsinforma­ tionen denkbar, bei denen einer Produktionsmaschine Auswer­ tungszustände zugeordnet werden. Dabei ist von einem Bediener der Produktionsmaschine zwischen den verschiedenen Auswer­ tungszuständen hin- und herzuschalten. Je nachdem, in welchem Auswertungszustand sich die Produktionsmaschine befindet, wird einem dem Auswertungszustand zugeordneten Zeitkonto ein Zeit­ betrag zugebucht, der dem Zeitraum entspricht, in dem sich die Produktionsmaschine in dem betreffenden Auswertungszustand be­ findet. Am Ende eines Produktionszyklus können die Zählerstän­ de der verschiedenen Zeitkonten abgefragt werden. Die Produk­ tivität der Produktionsmaschine ergibt sich dann als Quotient zwischen dem Betrag des Zeitkontos, das dem Produktionszustand der Produktionsmaschine entspricht und der Gesamtlaufzeit der Produktionsmaschine.

Bei einem solchen Verfahren ist von Nachteil, daß zum Übergang zwischen verschiedenen Auswertungszuständen manuelle Eingaben eines Bedieners der Produktionsmaschine erforderlich sind. Solche manuellen Eingaben werden häufig vergessen oder sogar absichtlich falsch getätigt, um das Produktionsergebnis zu schönen.

Gemäß einer adaptiven Vorgehensweise ist es noch denkbar, daß die Übergänge zwischen verschiedenen Auswertungszuständen in Abhängigkeit von Ereignissen vorgenommen werden, die an der Produktionsmaschine abgegriffen werden. Bei zahlreichen Pro­ duktionsmaschinen sind Zustandslampen vorgesehen, die je nach Betriebszustand der Produktionsmaschine zwischen "Rot", "Grün", "Gelb" und "Rot + Gelb" hin- und herschalten. So ist es denkbar, daß ein Auswertungszustand "Verarbeitung" und ein an­ derer Auswertungszustand "keine Verarbeitung" festgelegt wer­ den, wobei einem Zeitkonto, das dem Auswertungszustand "Verar­ beitung" zugeordnet ist, dann Betriebszeiten der Produktions­ maschine zugebucht werden, wenn sich die Zustandslampe im Zu­ stand "Grün" befindet. Dem anderen Zeitkonto zu dem Auswer­ tungszustand "keine Produktion" werden dann Zeiten zugebucht, wenn sich die Zustandsanzeige in den Zuständen "Rot", "Gelb" oder "Rot + Gelb" befindet.

Bei dieser adaptiven Vorgehensweise ist von Vorteil, daß durch die automatisierte Erfassung von Ereignissen eine bedienerun­ abhängige Zubuchung von Zeiträumen zu den Zeitkonten erfolgen kann. Fehleingaben sind dabei ausgeschlossen. Bei solchen ad­ aptiven Verfahren ist jedoch von Nachteil, daß die sich erge­ benden Produktionsinformationen sehr ungenau sind.

Durch das erfindungsgemäße Vorsehen eines zusätzlichen Inter­ pretationszustandsmodells der Produktionsmaschine können diese Ereignisse vorteilhaft verwendet werden, um Zeiträume, in de­ nen sich die Produktionsmaschine in bestimmten Zuständen be­ findet, genau dem richtigen Auswertungszustand zuzuordnen. Da­ durch wird die Genauigkeit der Erzeugung von Produktionsinfor­ mationen erheblich verbessert.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist den Schritt des Aufstel­ lens eines Interpretationszustandsmodells auf. Dabei werden Übergänge zwischen Zuständen des Interpretationszustandsmo­ dells in Abhängigkeit von den an der Produktionsmaschine ab­ greifbaren Ereignissen festgelegt. Weiterhin ist der Schritt des Zuordnens von Zuständen des Interpretationszustandsmodells zu Zuständen des Auswertungszustandsmodells vorgesehen.

Anders als bei den bekannten Verfahren kann bei der erfin­ dungsgemäßen Vorgehensweise eine besonders feine Aufgliederung des Auswertungszustandsmodells erfolgen, wobei die Zeiträume, in denen sich die Produktionsmaschine in dem betreffenden Aus­ wertungszustand befindet, besonders genau zugeordnet werden können.

Dabei können vorteilhafterweise auch Ereignisse an der Produk­ tionsmaschine, insbesondere an dem Tasten- bzw. Schalterfeld bzw. an dem berührungsempfindlichen Bildschirm und/oder an den Sensoren insbesondere an den Sensoren zur Bestimmung des Be­ füllzustandes von Pufferzonen, an den Sensoren zur Druckmes­ sung und an den Indexern zur Arbeitsfortschrittsmessung und/oder an der Maschinensteuerung der Produktionsmaschine bzw. an den Signallampen abgegriffen und zur erfindungsgemäßen Zuordnung verwendet werden, die bei Verwendung lediglich eines Auswertungszustandsmodells alleine nicht mit in die Zuordnung einfließen können. Durch das erfindungsgemäße Vorsehen eines zusätzlichen Interpretationszustandsmodells der Produktionsma­ schine können diese Ereignisse vorteilhaft verwendet werden, um Zeiträume, in denen sich die Produktionsmaschine in be­ stimmten Zuständen befindet, genau dem richtigen Auswertungs­ zustand zuzuordnen. Dadurch wird die Genauigkeit der Erzeugung von Produktionsinformationen erheblich verbessert.

In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung werden beim Aufstellen des Interpretationszustandsmodells Übergänge zwi­ schen den Zuständen in Abhängigkeit von Eingaben eines Bedie­ ners der Produktionsmaschine festgelegt. Dabei erfolgen die manuellen Eingaben des Bedieners der Produktionsmaschine auf dem Tastenfeld, auf einem Terminal, auf einem Standard- Keyboard oder auf dem berührungsempfindlichen Bildschirm bzw. Touchscreen und werden von dort abgegriffen.

Wenn solche Eingaben als Ereignisse vorgesehen werden, die Übergängen zwischen Zuständen des Interpretationszustandsmo­ dells entsprechen, läßt sich die Genauigkeit der erfindungsge­ mäß erzeugten Produktionsinformationen erheblich steigern. Bei zahlreichen Produktionsmaschinen können nämlich nicht alle Zu­ stände der Produktionsmaschine allein aufgrund von Ereignissen festgelegt werden, die sich an der Produktionsmaschine selbst automatisiert abgreifen lassen. Beispielsweise ist es mit zu­ sätzlichen Eingaben eines Bedieners möglich, zwischen einem Betrieb einer Produktionsmaschine in einer Testphase und einem Betrieb derselben Produktionsmaschine in einer Produktionspha­ se zu unterscheiden. Die manuellen Eingaben des Bedieners sind hierbei durch ein Zustandsmodell beschreibbar und als Ereig­ nisse des Interpretationszustandsmodells nutzbar.

Erfindungsgemäß werden sowohl Bedienereingaben als auch an der Produktionsmaschine automatisch abgegriffene Ereignisse für eine Bestimmung des jeweils aktuellen Betriebszustands der Produktionsmaschine verwendet. Der Betriebszustand ist durch Verwendung der Bedienereingaben sowie der automatisch abge­ griffenen Ereignisse aus dem Interpretationszustandsmodell der Produktionsmaschine herleitbar und genau einem entsprechenden Hauptzustand des Auswertungszustandsmodells zuordenbar. Der jeweils vorliegende Hauptzustand der Produktionsmaschine ist demnach von der Art und der Reihenfolge der aufgetretenen Er­ eignisse der Produktionsmaschine und von deren Interpretation und Priorisierung gemäß dem Hauptzustand des Interpretations­ zustandsmodells abhängig.

Hierdurch kann eine weitere Steigerung der Genauigkeit der er­ zeugten Produktionsinformationen erreicht werden.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung können Signale von Sensoren, insbesondere von Puffersensoren, von Drucksensoren und von Indexern der Produktionsmaschine abge­ griffen werden. Diese Signale können im Interpretationszu­ standsmodell als Ereignisse verwendet werden, um die Genauig­ keit der Zuordnung von Zeiträumen, bei denen sich die Produk­ tionsmaschine in bestimmten Betriebszuständen befindet, zu dem richtigen Auswertungszustand weiter zu verbessern. Hierbei können die Signale der Sensoren diskrete Zustände einnehmen und durch ein Sensorenzustandsmodell beschrieben werden.

Erfindungsgemäß werden die aus den Zuständen der Sensoren er­ zeugten Informationen vorteilhaft verwendet, um Zeiträume, in denen sich Produktionsmaschinen in bestimmten Zuständen befin­ den, genau dem richtigen Auswertungszustand zuzuordnen. Hier­ bei wird eine besonders feine Aufgliederung der Auswertungszu­ stände ermöglicht.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird die Ma­ schinensteuerung insbesondere die Signallampen der Produkti­ onsmaschine zur Erzeugung von Produktionsinformationen abge­ griffen. Hierbei sind die Betriebszustände der Maschinen­ steuerung bzw. der Signallampen durch ein Zustandsmodell bzw. durch ein Signallampenzustandsmodell beschreibbar. Die Zustän­ de der Maschinensteuerung bzw. der Signallampen können als Er­ eignisse im Interpretationszustandsmodell genutzt werden.

Bei vorhandenen Produktionsmaschinen dienen die Signallampen häufig ausschließlich der optischen Kontrolle des Betriebszu­ stands der Produktionsmaschine in der Fertigungslinie. Erfin­ dungsgemäß werden die aus den Zuständen der Signallampen ge­ wonnenen Informationen vorteilhaft verwendet, um Zeiträume, in denen sich Produktionsmaschinen in bestimmten Zuständen befin­ den, genau dem richtigen Auswertungszustand zuzuordnen. Hier­ bei ist eine besonders feine Aufgliederung der Auswertungszu­ stände möglich.

Das erfindungsgemäße Abgreifen von Signalausgängen der Produk­ tionsmaschine und die Einbindung von manuellen Eingaben durch einen Bediener der Produktionsmaschine ist dann besonders vor­ teilhaft, wenn eine ältere Produktionsmaschine bzw. eine älte­ re Fertigungslinie vorliegt, deren Betriebszustände optimal erfaßt werden sollen, die weder eine Online-Verbindung noch eine Schnittstelle zu einem Leitrechner aufweist und für die keine große monetäre Investition in Software und Hardware ge­ tätigt werden soll.

Durch die erfindungsgemäße Gewinnung von Produktionsinforma­ tionen können Auswertungszustände weiter detailliert werden.

Engpässe in der Fertigungslinie können klar identifiziert wer­ den.

Die Auswertung der automatisch von den Maschinenkomponenten abgegriffenen Signalen und der von einem Bediener eingegebenen Informationen werden mit einem speziell entwickelten Algorith­ mus ausgewertet. Hierfür ist erfindungsgemäß das Software- Werkzeug "Online Machine Engineering" bzw. "OME" vorgesehen. Dieses untergliedert sich in das "Production Status Control"- Modul bzw. "PSC"-Modul und in das "Online Machine Engi­ neering"-Modul bzw. "OME"-Modul.

Die von den Maschinenkomponenten der Produktionsmaschine abge­ griffenen Daten und die vom Bediener der Produktionsmaschine eingegebenen Daten werden im Bedienpult zusammengeführt und über eine Datenverbindung an einen Signalkonverter weiterge­ leitet. In dem Signalkonverter können mehrere Produktionsma­ schinen standardisiert zusammengeführt werden, so daß diese über eine Bus-Verbindung an ein Monitoring-System weiterleit­ bar sind.

Die Zustandsmodelle der einzelnen Datenquellen der Produkti­ onsmaschine können nur bedingt Aufschluß über den Produktions­ zustand der Produktionsmaschine geben. Um den Zustand der Pro­ duktionsmaschine korrekt und möglichst vollständig zu erfas­ sen, wird erfindungsgemäß eine Kombination der Datenquellen verwendet. Die Erfindung unterstützt zudem eine parallele Nut­ zung von unterschiedlichen Datenquellen.

Für die Erfassung des Produktionszustandes der Produktionsma­ schine sind die Signallampen besonders geeignet. Diese ent­ sprechen jedoch häufig nicht den Zuständen, die für eine Aus­ wertung gemäß dem Auswertungszustandsmodell erforderlich sind. Zudem geben sie keine Information bei ausgeschalteter Produk­ tionsmaschine.

Erfindungsgemäß wird als Hauptzustandsmodell das Zustandsmo­ dell des Bedienfeldes definiert. Dadurch wird bewirkt, daß über die elektrischen Signale der Maschinenzustand nur dann ermittelt wird, wenn die manuelle Eingabe auf dem Tastenfeld "Betrieb" vorgibt.

Durch die Erfindung können sehr vielfältige Maschinenkompo­ nenten von Produktionsmaschinen für eine Datengewinnung ge­ nutzt werden. Die Erfindung ermöglicht sowohl eine Nutzung von Produktionsmaschinen bzw. Maschinenkomponenten von Produkti­ onsmaschinen, die dem "Semiconductor Equipment and Materials International Equipment Communications Standard/Generic Equip­ ment Model"-Standard bzw. dem "SECS/GEM"-Standard entsprechen, als auch eine Nutzung von Maschinen bzw. Maschinenkomponenten mit herstellereigenen Schnittstellen sowie eine Nutzung von Produktionsmaschinen, die keine Schnittstelle aufweisen.

Erfindungsgemäß können zwischen Maschinenkomponenten der Pro­ duktionsmaschinen und der Software zum Monitoring und zur Ana­ lyse unterschiedliche Verbindungen hergestellt werden.

Die durch die Erfindung unterstützten Parameter sind Betriebs­ zustände, kalkulierte Performanceparameter, wie "Overall Equipment Effectiveness" bzw. "OEE" oder "Meantime Between Failure" bzw. "MTBF", Prozeßparameter, wie Druck oder Tempera­ tur, Produktparameter, wie das Gerät oder das Gehäuse, und zu­ sätzlich weitere Einflußfaktoren, wie der Bediener der Produk­ tionsmaschine oder Schichtparameter.

Durch die verwendete "TFM"-Software wird ein graphisches In­ strument zum Modellieren von Zuständen bereitgestellt, das ei­ ne Darstellung der Informationen heruntergebrochen auf ver­ schiedene Datenquellen ermöglicht.

Gemäß der Erfindung sind Produktionsinformationen vom Anwender in Form von Echtzeitgrafiken und zusammenfassenden Berichten über das Netzwerk in Echtzeit abrufbar. Ebenfalls können Pro­ duktionsinformationen in andere Systeme exportiert werden.

Erfindungsgemäß können Daten beliebiger Datenquellen zusammen­ geführt und frei konfigurierbar interpretiert werden. Dadurch können einzelne Produktionsmaschinen und ganze Fertigungslini­ en miteinander verglichen werden, um diese beispielsweise nach dem "Golden Tool"-Prinzip zu verbessern.

Einzelnen Datenquellen können unterschiedliche Prioritäten zu­ geordnet werden. Beispielsweise können manuelle Eingaben ge­ genüber automatischen Daten bevorzugt werden.

Die erfindungsgemäß erzeugten Produktionsinformationen können für Online-Monitoring sowie für Offline-Reporting genutzt wer­ den.

Die technische Realisierung kann mittels des Softwarepakets "Online Maschine Engineering" bzw. "OME" und mittels des "Pro­ duction Status Control"-Moduls bzw. "PSC"-Moduls erfolgen.

Die Erfindung ist in den Zeichnungen anhand von zwei Ausfüh­ rungsbeispielen näher veranschaulicht.

Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Verdrah­ tungsmaschine bzw. eines ersten Wire Bonders, einer ersten Datenverbindung, einer zweiten Datenverbin­ dung, einer dritten Datenverbindung, einer vierten Datenverbindung, einer fünften Datenverbindung, ei­ nes Bedienpults, einer ersten Steckverbindung, eines Datenübertragungskabels, einer zweiten Steckverbin­ dung, eines ersten Signalkonverters, einer dritten Steckverbindung, einer ersten Bus-Verbindung und ei­ nes Computersystems gemäß einem ersten Ausführungs­ beispiel,

Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung eines ersten Be­ dienpulttastenfelds des in Fig. 1 gezeigten Bedien­ pults gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel,

Fig. 3 zeigt eine schematische perspektivische Darstellung eines zweiten Wire Bonders, einer sechsten Datenver­ bindung, eines zweiten Signalkonverters, einer zwei­ ten Bus-Verbindung, eines Linien-PC, einer siebten Datenverbindung, eines Maschinen-PC, einer achten Datenverbindung und eines berührungsempfindlichen Bildschirms bzw. eines Touchscreens gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 4 zeigt eine schematische Darstellung eines Tasten­ feldzustandsmodells des in Fig. 3 gezeigten zweiten Wire Bonders gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung eines Puffersen­ sorenzustandsmodells des in Fig. 3 gezeigten zwei­ ten Wire Bonders gemäß dem zweiten Ausführungsbei­ spiel,

Fig. 6 zeigt eine schematische Darstellung eines Signallam­ penzustandsmodells des in Fig. 3 gezeigten zweiten Wire Bonders gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 7 zeigt eine schematische Darstellung eines Auswer­ tungszustandsmodell gemäß dem zweiten Ausführungs­ beispiel,

Fig. 8 zeigt eine schematische Darstellung eines ersten Teils eines Interpretationszustandsmodells des in Fig. 3 gezeigten zweiten Wire Bonders gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 9 zeigt eine schematische Darstellung eines zweiten Teils des Interpretationszustandsmodells des in Fig. 3 gezeigten zweiten Wire Bonders gemäß dem zwei­ ten Ausführungsbeispiel.

Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Verdrah­ tungsmaschine bzw. eines ersten Wire Bonders 1, einer ersten Datenverbindung 10, einer zweiten Datenverbindung 11, einer dritten Datenverbindung 12, einer vierten Datenverbindung 13, einer fünften Datenverbindung 14, eines Bedienpults 15, einer ersten Steckverbindung 16, eines Datenübertragungskabels 17, einer zweiten Steckverbindung 18, eines ersten Signalkonver­ ters 19, einer dritten Steckverbindung 20, einer ersten Bus- Verbindung 21 und eines Computersystems 22 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.

Der erste Wire Bonder 1 gliedert sich in einen ersten Arbeits­ bereich 2, in einen ersten Eingangspuffer 3, in einen ersten Eingangspuffersensor 4, in einen Drucksensor 5, in einen Inde­ xer 6, in erste Signallampen 7, in einen ersten Ausgangspuffer 8 und in einen ersten Ausgangspuffersensor 9.

Der erste Wire Bonder 1 ist Teil einer Halbleiterfertigungsli­ nie. Der erste Wire Bonder 1 ist zur Bearbeitung von hier nicht gezeigten Halbleitersubstraten vorgesehen. Hierzu ver­ drahtet der erste Wire Bonder 1 in dem ersten Arbeitsbereich 2 die elektrischen Verbindungen der Module, die durch eine hier nicht gezeigte dem ersten Wire Bonder 1 vorgelagerte Maschine der Halbleiterfertigungslinie auf den Halbleitersubstraten aufgebracht worden sind.

Die Halbleitersubstrate gelangen über den ersten Eingangspuf­ fer 3 in den ersten Arbeitsbereich 2 des ersten Wire Bonders 1. Im ersten Arbeitsbereich 2 erfolgt die Verdrahtung der Ver­ bindungen der Module der Halbleitersubstrate. Nach erfolgter Verdrahtung werden die Halbleitersubstrate im ersten Ausgangs­ puffer 8 abgelegt und danach an eine nächste hier nicht ge­ zeigte Maschine der Halbleiterfertigungslinie weitergegeben.

Zur Ermittlung und zur Kontrolle der Betriebszustände des er­ sten Wire Bonders 1 stehen als Datenquellen der erste Ein­ gangspuffersensor 4, der Drucksensor 5, der Indexer 6, die er­ sten Signallampen 7 und der erste Ausgangspuffersensor 9 zur Verfügung.

Der erste Eingangspuffer 3 und der erste Ausgangspuffer 8 sind jeweils für die Aufnahme einer begrenzten Anzahl von Halblei­ tersubstraten vorgesehen.

Im ersten Eingangspuffer 3 sind Halbleitersubstrate abgelegt, die zur Verarbeitung im ersten Arbeitsbereich 2 des ersten Wi­ re Bonders 1 vorgesehen sind. Der erste Eingangspuffer 3 ist mit dem ersten Eingangspuffersensor 4 ausgestattet, der den Befüllzustand des ersten Eingangspuffers 3 feststellt. Die Si­ gnale des ersten Eingangspuffersensors 4 werden elektrisch ab­ gegriffen und über die erste Datenverbindung 10 an das Bedien­ pult 15 übertragen.

Der Drucksensor 5 gibt den im ersten Arbeitsbereich 2 des er­ sten Wire Bonders 1 herrschenden Druck in Farm von Sensorsi­ gnalen an. Die Signale des Drucksensors 5 werden elektrisch abgegriffen und über die zweite Datenverbindung 11 an das Be­ dienpult 15 übermittelt.

Der Indexer 6 im ersten Arbeitsbereich 2 zeichnet den Arbeits­ fortschritt im ersten Arbeitsbereich 2 des ersten Wire Bonders 1 auf und gibt dies in Form von Signalen, die elektrisch abge­ griffen werden, über die dritte Datenverbindung 12 an das Be­ dienpult 15 weiter.

Die ersten Signallampen 7 weisen eine grüne Leuchte, eine gel­ be Leuchte und eine rote Leuchte auf. Diese signalisieren den technischen Zustand des ersten Wire Bonders 1. Die Zustände der ersten Signallampen 7 sind elektrisch abgreifbar und über die vierte Datenverbindung 13 an das Bedienpult 15 weiterleit­ bar.

Der erste Ausgangspuffer 8 weist den ersten Ausgangspuffersen­ sor 9 auf. Im ersten Ausgangspuffer 8 sind Halbleitersubstrate abgelegt, die im ersten Arbeitsbereich 2 des ersten Wire Bon­ ders 1 verarbeitet wurden und zur Weitergabe an eine hier nicht gezeigte nächste Maschine der Halbleiterfertigungslinie vorgesehen sind. Der erste Ausgangspuffersensor 9 weist den Befüllzustand des ersten Ausgangspuffers 8 aus. Die Signale des ersten Ausgangspuffersensors 9 werden elektrisch abgegrif­ fen und über die fünfte Datenverbindung 14 an das Bedienpult 15 weitergegeben.

Das Bedienpult 15 ist zur Zusammenführung von elektrisch abge­ griffenen Signalen des ersten Eingangspuffersensors 4, des Drucksensors 5, des Indexers 6, der ersten Signallampen 7 und des ersten Ausgangspuffersensors 9 und weiteren hier nicht ge­ zeigten Produktionsmaschinen sowie für eine Aufnahme von manu­ ellen Eingaben durch einen Benutzer vorgesehen.

Das Bedienpult 15 weist ein erstes Bedienpulttastenfeld 25 zur Aufnahme von manuellen Eingaben durch einen Benutzer auf, das in Fig. 2 beschrieben ist.

Die im Bedienpult 15 zusammengeführten Daten werden über eine erste Steckverbindung 16, über ein Datenübertragungskabel 17 und über eine zweite Steckverbindung 18 an den ersten Signal­ konverter 19 weitergeleitet. Die erste Steckverbindung 16, die zweite Steckverbindung 18, die dritte Steckverbindung 20 und alle weiteren Steckverbindungen sind als Steckverbindungen mit 25 Pins bzw. 25 Kontaktstiften vorgesehen.

Erfindungsgemäß sind die weiblichen Teile der Buchsen der Steckverbindungen jeweils kabelseitig bzw. Bus-Verbindungs­ seitig vorgesehen. Auf der Seite des Bedienpults 15 sowie auf der Seite des ersten Signalkonverters 19 ist jeweils der männ­ liche Teil der Buchse der Steckverbindung vorgesehen.

Das Datenübertragungskabel 17 und alle weiteren hier nicht ge­ zeigten Datenübertragungskabel sind als jeweils 25-adrige Ka­ bel vorgesehen.

Die Belegung der 25 Pins bzw. der 25 Kontaktstifte sowie die Belegung der 25 Adern der Datenübertragungskabel entsprechen einander.

Das Bedienpult 15 ist erfindungsgemäß in einem widerstandsfä­ higen Gehäuse vorgesehen und kann flexibel an der Produktions­ maschine angebracht werden. Das Bedienpult 15 weist jeweils einen Eingang und jeweils einen Ausgang auf, der jeweils als 25-Pin- bzw. 25-Kontaktstift-Steckverbinder vorgesehen ist. Die Versorgung des Bedienpults 15 mit einer Spannung von 24 V erfolgt über das Datenübertragungskabel 17 durch den ersten Signalkonverter 19.

Gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel liegt die Spannung zur Versorgung des Bedienpults 15 auf dem 25. Kontaktstift der er­ sten Steckverbindung 16 und der zweiten Steckverbindung 18 und dementsprechend auf der 25. Ader des 25-adrigen Datenübertra­ gungskabels 17 an.

Auf dem Bedienpult 15 werden die jeweils gedrückten Tasten er­ kannt und in ein binäres Signal umgesetzt. Auf dem Bedienpult 15 sind insgesamt 16 Tasten vorhanden, die jeweils den Zustand "An" und "Aus" annehmen können. Diese Zustände werden binär kodiert und als elektrisches Signal über die erste Steckver­ bindung 16, über das Datenübertragungskabel 17 und über die zweite Steckverbindung 18 an den ersten Signalkonverter 19 weitergegeben.

Die elektrischen Signale des ersten Eingangspuffersensors 4, des Drucksensors 4, des Indexers 6, der ersten Signallampen 7 und des ersten Ausgangspuffers 8 werden im ersten Ausführungs­ beispiel mit einer Spannung von 24 V an das Bedienpult 15 übertragen. Bei Produktionsmaschinen und bei Maschinenkompo­ nenten von Produktionsmaschinen, deren elektrische Signale mit einer anderen Spannung übertragen werden, erfolgt im Bedien­ pult 15 eine Umwandlung der Spannung der elektrischen Signale auf 24 V. Durch das Bedienpult 15 wird eine galvanische Sepa­ ration bereitgestellt.

Die elektrischen Signale der Maschinenkomponenten und die elektrisch kodierten manuellen Eingaben werden jeweils ent­ sprechenden Leitungsadern des Datenübertragungskabels und je­ weils entsprechenden Kontaktstiften der Steckverbindungen zu­ geordnet.

Die Leitungsadern und die zugehörigen Kontaktstifte werden im nachfolgenden der besseren Verständlichkeit halber als Pins bezeichnet.

Gemäß der Erfindung werden Signale über die erste Datenverbin­ dung 10, über die zweite Datenverbindung 11, über die dritte Datenverbindung 12, über die vierte Datenverbindung 13 und über die fünfte Datenverbindung 14 an das Bedienpult 15 über­ tragen. Diese dem ersten Wire Bonder 1 sowie allen weiteren hier nicht gezeigten Produktionsmaschinen zugewandte Seite wird im folgenden als Eingangseite bezeichnet.

Sowohl die vom ersten Wire Bonder 1 sowie von allen weiteren hier nicht gezeigten Produktionsmaschinen übertragenen Daten als auch die vom Bediener in das Bedienpult 15 eingegebenen Daten werden vom Bedienpult 15 über die erste Steckverbindung 16, über das Datenübertragungskabel 17 und über die zweite Steckverbindung 18 an den ersten Signalkonverter 19 weiterge­ leitet. Die dem ersten Signalkonverter 19 zugewandte Seite des Bedienpults 15 wird im folgenden als Ausgangsseite bezeichnet.

Gemäß der Erfindung ist die Belegung der 25 Pins der Eingangs­ seite so vorgesehen, daß auf den Pins 1-8 die Hauptsignale durch eine Spannung im Bereich von 0 bis 24 V übertragen wer­ den. Die Pins 9-12, die für manuelle Eingaben vorgesehen sind, sind auf der Eingangsseite nicht belegt. Die Pins 13-18 sind auf der Eingangsseite für die Übermittlung von Maschinenstö­ rungen vorgesehen. Diese werden durch eine Spannung im Bereich von 0 bis 24 V übertragen. Auf den Pins 19-22 sind zusätzliche Signale im Spannungsbereich von 0 bis 24 V für eine Übertra­ gung vorgesehen. Der 23. Pin ist für eine Erdung der Produkti­ onsmaschine verwendbar. Der 24. und der 25. Pin werden auf der Eingangsseite nicht verwendet.

Auf der Ausgangsseite des Bedienpults 15 sind die Pins 1-8 für die Übertragung von Hauptsignalen, die Pins 9-12 für die Über­ tragung von binär kodierten manuellen Eingaben, die Pins 13-18 für Maschinenstörungen und die Pins 19-22 für zusätzliche Si­ gnale vorgesehen. Die anliegende Spannung für die Übertragung der Signale auf den Pins 1-22 beträgt jeweils 24 V. Der 23. Pin wird zur Erdung der Produktionsmaschine verwendet. Der 24. Pin wird nicht verwendet. Der 25. Pin ist für die Spannungs­ versorgung vorgesehen.

Gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist der er­ ste Pin für die Übertragung des Signals der roten Leuchte der ersten Signallampen 7 sowohl auf der Eingangs- als auch auf der Ausgangsseite vorgesehen. Der zweite Pin ist auf der Ein­ gangs- und auf der Ausgangsseite für die Übertragung des Si­ gnals der grünen Leuchte der ersten Signallampen 7 vorgesehen. Der 3. Pin ist auf der Eingangs- sowie auf der Ausgangsseite für die Übertragung des Signals der gelben Leuchte der ersten Signallampen 7 vorgesehen. Durch die auf den Pins 1-3 übertra­ genen Signale sind alle Kombinationen der Zustände der ersten Signallampen 7 darstellbar.

Auf dem 4. Pin wird sowohl auf der Eingangs- als auch auf der Ausgangsseite der Zustand des ersten Eingangspuffers 3 über­ tragen. Hierbei sind die Zustände "Erster Eingangspuffer leer" und "Erster Eingangspuffer nicht leer" verfügbar. Auf dem 5. Pin wird das Signal des ersten Ausgangspuffers 8 übertragen. Hierbei sind die Zustände "Erster Ausgangspuffer voll" und "Erster Ausgangspuffer nicht voll" möglich.

Auf der Eingangsseite sind die Pins 9-12 nicht belegt, auf der Ausgangsseite werden auf den Pins 9-12 die binär kodierten ma­ nuellen Eingaben des ersten Bedienpulttastenfelds 25 übertra­ gen. Insgesamt sind 16 verschiedene Tasten mit jeweils zwei Zuständen kodiert übertragbar.

Auf dem 13. Pin wird das Signal des Drucksensors 5 sowohl auf der Eingangsseite als auch auf der Ausgangsseite übertragen. Hierbei sind die Zustände "kein Druck" und "Druck OK" möglich.

Auf den Pins 19-22 sind zusätzliche Signale übertragbar. Diese sind sowohl auf der Eingangs- als auch auf der Ausgangsseite vorgesehen.

Der 23. Pin wird auf der Eingangs- und auf der Ausgangsseite zur Erdung verwendet.

Die Pins 6-8, 14-18 und 24 werden weder auf der Eingangs- noch auf der Ausgangsseite zur Signal- bzw. Spannungsübertragung verwendet.

Der 25. Pin wird auf der Eingangsseite nicht verwendet. Auf der Ausgangsseite ist der 25. Pin zur Versorgung des Bedien­ pults 15 mit Spannung durch den ersten Signalkonverter 19 vor­ gesehen. Hierbei sind die Zustände "Versorgung" und "keine Versorgung" möglich.

Der erste Signalkonverter 19 stellt die Schnittstelle zwischen den über das Datenübertragungskabel 17 übermittelten Daten des ersten Wire Bonders 1 sowie aller weiteren hier nicht gezeig­ ten Produktionsmaschinen und der ersten Bus-Verbindung 21 zum Computersystem 22 dar. Gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel liegt der erste Signalkonverter 19 als "ET 200" oder als ähn­ lich aufgebautes Bauteil vor.

Am ersten Signalkonverter 19 sind alle elektrischen Verbindun­ gen wie die Stromversorgung, die erste Bus-Verbindung 21, ins­ besondere eine übliche Industriebus-Verbindung und die Daten­ übertragungskabel als Verbindungskanäle mit standardisierten 25-Pin-Verbindungsstücken extern anschließbar. Die Signale des ersten Wire Bonders 1 werden vom Bedienpult 15 in binär ko­ dierter Form übertragen.

Der erste Signalkonverter 19 ist als Box ausgeführt. Er stellt gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel 16 Eingangssteckverbin­ dungen für 16 einzelne Produktionsmaschinen zur Verfügung. In Abhängigkeit der im ersten Signalkonverter 19 installierten Module kann auch eine andere Anzahl von Eingangssteckverbin­ dungen vorgesehen sein.

Für jede anschließbare Produktionsmaschine sind jeweils 16 Da­ tenübertragungskanäle vorgesehen.

Über die erste Bus-Verbindung 21, insbesondere eine übliche Industriebus-Verbindung, können bis zu 32 verschiedene Signal­ konverter an das Computersystem 22 angeschlossen werden.

Durch den ersten Signalkonverter 19 wird sowohl eine Übertra­ gung der Daten der Produktionsmaschinen als auch die Stromver­ sorgung des Bedienpultes 15 sowie eine Erdung vorgenommen.

Durch die interne Verdrahtung des ersten Signalkonverters 19 werden die Anschlüsse der Pins derart vorgesehen, daß auf den Pins 1-16 jeweils die Hauptsignale der Produktionsmaschinen mittels einer Spannung, die im Bereich zwischen 0 und +24 V liegt, übertragen werden. Die Pins 17-23 werden gemäß dem er­ sten Ausführungsbeispiel nicht verwendet, auf dem Pin 24 wird eine Stromversorgung mit 24 V vom ersten Signalkonverter 19 für das Bedienpult 15 bereitgestellt. Der 25. Pin ist zur Er­ dung vorgesehen.

Je eine Produktionsmaschine bzw. je ein Bedienpulttastenfeld wird durch jeweils ein Datenübertragungskabel mit dem ersten Signalkonverter 19 verbunden. Gemäß dem ersten Ausführungsbei­ spiel werden nur Signale verwendet, die eine Spannung von 24 V aufweisen. Für alle Signale wird eine gleichartige Erdung ver­ wendet. Dafür werden gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung alle Signale auf der Seite des Produktionsmaschinen entkoppelt. Die dafür notwendige Spannungsversorgung wird vom ersten Signalkonverter 19 mittels einer bereitgestellten Span­ nung von 24 V vorgesehen. Die Spannungsversorgung des ersten Signalkonverters 19 ist mit einer Spannung von 220 V veran­ schlagt.

Die Daten des ersten Wire Bonders 1 und aller weiteren hier nicht betrachteten Produktionsmaschinen werden über die erste Bus-Verbindung 21 bevorzugterweise über eine übliche Indu­ striebus-Verbindung vom ersten Signalkonverter 19 an das Com­ putersystem 22 übertragen.

Das Computersystem 22 gliedert sich in eine Einheit zur Aus­ wertungszustandsbestimmung 23 und in eine Produktionssteue­ rungseinheit 24.

In der Einheit zur Auswertungszustandsbestimmung 23 werden die Daten aller Übertragungskanäle jeweils einer Produktionsma­ schine erfaßt und dazu verwendet, den Auswertungszustand der Maschine zu ermitteln. Hierbei wird ein spezielles Softwaremo­ dul verwendet. Auf einem Übertragungskanal werden die ver­ schiedenen Zustände der jeweiligen Maschinenkomponenten durch die elektrischen Signale "An", "Aus" oder "Blinkend mit einer bestimmten Frequenz" angegeben.

Verschiedene Übertragungskanäle können miteinander verbunden und als ein Zustandsmodell interpretiert werden. Dementspre­ chend kann die Veränderung eines spezifischen Signals eines Übertragungskanals im Kontext einem Zustandsmodell einer Ma­ schinenkomponente zugeordnet werden.

Beispielsweise weisen die ersten Signallampen 7 drei verschie­ dene Übertragungskanäle auf, und zwar einen Übertragungskanal für die grüne Leuchte der ersten Signallampen 7, einen Über­ tragungskanal für die gelbe Leuchte der ersten Signallampen 7 und einen weiteren Übertragungskanal für die rote Leuchte der ersten Signallampen 7.

Gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel werden diese Informatio­ nen miteinander verknüpft. Im Falle der elektrischen Signale "Rot an", "Grün aus" und "Gelb aus" wird eine Ereignis "1100" gesendet. Hierbei steht die erste "1" für den Kontext und die Zahlenfolge "100" für den gegenwärtigen Betriebszustand der ersten Signallampen 7. Wenn das Eingangssignal der ersten Si­ gnallampen 7 sich ändert auf "Rot aus", "Grün aus" und "Gelb blinkend", so wird dementsprechend ein Ereignis "1002" er­ zeugt.

Auf diese Weise sind durch die Software verschiedene Signale der Übertragungskanäle differenzierbar und unterschiedliche Zusammenhänge darstellbar.

Die mittels der elektrischen Signale übertragenen Zustände der jeweiligen Maschinenkomponenten werden im Interpretationszu­ standsmodell der Produktionsmaschine als Ereignisse genutzt. Dementsprechend sind aus den Betriebszuständen der Maschinen­ komponenten die jeweiligen Betriebszustände der Produktionsma­ schine gemäß dem Auswertungsmodell ermittelbar.

Die in der Einheit zur Auswertungszustandsbestimmung 23 mit­ tels der geeigneten Software bestimmten Produktionsinformatio­ nen der Produktionsmaschinen werden in der Produktionssteue­ rungseinheit 24 zur Überwachung und Steuerung des ersten Wire Bonders 1 sowie weiterer hier nicht gezeigter Maschinen der Halbleiterfertigungslinie verwendet.

Fig. 2 zeigt ein erstes Bedienpulttastenfeld 25 des in Fig. 1 gezeigten Bedienpults 15.

Das erste Bedienpulttastenfeld 25 weist eine erste Taste 26 mit einer ersten Tastenbeschriftung 27 und insgesamt 15 weite­ re Tasten mit einer jeweils entsprechenden Tastenbeschriftung auf. Das erste Bedienpulttastenfeld 25 ist als handelsübliches Tastenfeld vorsehbar, beispielsweise als ein Klingelbrett oder eine Tastenleiste.

Das erste Bedienpulttastenfeld 25 weist im ersten Ausführungs­ beispiel 16 Tasten mit einer jeweils zugehörigen Tastenbe­ schriftung auf. Die der ersten Taste 26 zugehörige erste Ta­ stenbeschriftung 27 weist den Text "PR - Normaler Betrieb" auf.

Die erste Taste 26 und alle weiteren Tasten des ersten Bedien­ pulttastenfelds 25 sind als robuste und zuverlässige Tasten vorgesehen und weisen ein Licht auf, welches durch ein Leuch­ ten die jeweils gewählte Taste signalisiert. Gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel kann zur gleichen Zeit jeweils nur eine Taste ausgewählt werden.

Die Bedeutung jeder Taste kann für jede Produktionsmaschine benutzerdefiniert und separat vergeben werden.

Die Tasten weisen jeweils genügend groß ausgebildete Zwischen­ räume auf. Die Namen der Tastenbeschriftungen können leicht angebracht und ausgewechselt werden.

Auf dem ersten Bedienpulttastenfeld 25 kann ein hier nicht ge­ zeigter Bediener manuelle Eingaben tätigen. Durch diese manu­ ellen Eingaben können ergänzende Informationen erfaßt und wei­ tergeleitet werden, die von den Komponenten der Produktionsma­ schine nicht aufgenommen werden.

Beispielsweise ist durch die manuelle Eingabe der Informatio­ nen "UD - Warten auf Techniker", "UD - Warten auf Zulieferer" oder "UD - Anlage aus" der aus den automatisch abgreifbaren Signalen der Maschinenkomponenten ermittelbare Zustand "Un­ schedule Downtime UD" bzw. "Ungeplante Stillstandzeit UD" weiter detaillierbar.

Fig. 3 zeigt einen zweiten Wire Bonder 28, eine sechste Da­ tenverbindung 36, einen zweiten Signalkonverter 37, eine zwei­ te Bus-Verarbindung 38, einen Linien-PC 39, eine siebte Daten­ verbindung 40, einen Maschinen-PC 41, eine achte Datenverbin­ dung 42 und einen berührungsempfindlichen Bildschirm bzw. ei­ nen Touchscreen 43 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel.

Der zweite Wire Bonder 28 weist einen zweiten Arbeitsbereich 29, einen zweitem Eingangspuffer 30, einen zweiten Eingangs­ puffersensor 31, einen zweiten Ausgangspuffer 32, einen zwei­ ten Ausgangspuffersensor 33, ein zweites Bedienpulttastenfeld 34 und zweite Signallampen 35 auf.

Der zweite Eingangspuffersensor 31, der zweite Ausgangspuffer­ sensor 33, das zweite Bedienpulttastenfeld 34 und die zweit- Signallampen 35 sind mittels einer sechsten Datenverbindung 36 mit dem zweiten Signalkonverter 37 verbunden.

Der zweite Signalkonverter 37 ist über eine siebte Datenver­ bindung 40 mit einem Maschinen-PC 41 verbunden. Der Maschinen- PC 41 ist mit Hilfe einer achten Datenverbindung 42 an einen Touchscreen 43 angeschlossen.

Der zweite Signalkonverter 37 ist mittels einer Busverbindung 38, vorzugsweise einer üblichen Industriebusverbindung, mit einem Linien-PC 39 verbunden.

Der zweite Wire Bonder 28 ist Teil einer Halbleiterfertigungs­ linie. Er ist zur Bearbeitung von hier nicht gezeigten Halb­ leitersubstraten vorgesehen. Der zweite Wire Bonder 28 ent­ spricht hinsichtlich des Aufbaus und der Funktionalität dem in Fig. 1 gezeigten ersten Wire Bonder 1, mit dem Unterschied, daß der zweite Wire Bonder 28 keinen Drucksensor 5 und keinen Indexer 6 beinhaltet.

Zur Ermittlung und zur Kontrolle der Betriebszustände des Wire Bonders 1 stehen als Datenquellen der zweite Eingangspuffer­ sensor 31, der zweite Ausgangspuffersensor 33, das zweite Be­ dienpulttastenfeld 34 und die zweiten Signallampen 35 zur Ver­ fügung.

Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung können sowohl Signale vom zweiten Eingangspuffersensor 31, vom zweiten Ausgangspuf­ fersensor 33, vom zweiten Bedienpulttastenfeld 34 und von den zweiten Signallampen 35 an den Maschinen-PC 41 übertragen und auf dem Touchscreen 43 sichtbar gemacht werden.

In dem zweiten Ausführungsbeispiel können Signale von dem Ma­ schinen-PC 41 über den zweiten Signalkonverter 37 an den zwei­ ten Wire Bonder 28 beispielsweise an die zweiten Signallampen 35 zurückgeleitet werden. So können Maschinenkomponenten bei­ spielsweise die zweiten Signallampen 35 des zweiten Wire Bon­ ders 28 Zustandsänderungen bewirkende Signale erhalten. Bei­ spielsweise kann ein solches Signal ein Umspringen der zweiten Signallampen 35 von "Grün" auf "Gelb" bewirken.

Weiterhin sind Daten des zweiten Wire Bonders 28 über den zweiten Signalkonverter 37 und eine Busverbindung 38 an den Linien-PC 39 übertragbar und auf dem Linien-PC 39 darstellbar.

Auf dem Touchscreen 43 sind die Eingabemöglichkeiten durch den Bediener definierbar. Des weiteren ist auf dem Touchscreen ei­ ne Vielzahl von weiteren Informationen, beispielsweise Infor­ mationen zu produzierten Losen verfügbar.

Fig. 4 zeigt ein Tastenfeldzustandsmodell 44 des in Fig. 3 gezeigten zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel.

Das Tastenfeldzustandsmodell 44 weist die Zustände "Betrieb", "Versuch", "Wartung" und "Betriebsruhe" auf.

Über die Tasten des Tastenfeldes 7 sind durch einen hier nicht gezeigten Bediener dem zweiten Wire Bonder 28 die in Fig. 4 als Rechtecke dargestellten Zustände "Betrieb", "Versuch", "Wartung" und "Betriebsruhe" zuordenbar.

Die Zustände des Tastenfeldzustandsmodells 44 können verschie­ dene Bedeutungen aufweisen. Der Zustand "Betrieb" kann bedeu­ ten, daß der zweite Wire Bonder 28 arbeitet oder daß der zwei­ te Wire Bonder 28 kein Material hat, sowie daß der zweite Wire Bonder 28 eine kleine Störung aufweist. Der Zustand "Versuch" signalisiert, daß der zweite Wire Bonder 28 für Versuchszwecke genutzt wird bzw. daß auf dem zweiten Wire Bonder 28 ein Pro­ belauf durchgeführt wird. Der Zustand "Wartung" sagt aus, daß auf dem zweiten Wire Bonder 28 Reparatur- bzw. Wartungsarbei­ ten vorgenommen werden. Der Zustand "Betriebsruhe" bedeutet, daß der zweite Wire Bonder 28 vorübergehend nicht in Betrieb ist.

Die in Fig. 4 dargestellten Pfeile zwischen den als Rechtec­ ken dargestellten Zuständen signalisieren jeweils einen Zu­ standswechsel. Diese Zustandswechsel werden vom Bediener durch Betätigen von Tasten auf dem zweiten Bedienpulttastenfeld 34 veranlaßt.

Aus jedem der Zustände "Betrieb", "Versuch", "Wartung" und "Betriebsruhe" sind jeweils alle anderen Zustände des Tasten­ feldzustandsmodells 44 direkt erreichbar.

Fig. 5 zeigt ein Puffersensorenzustandsmodell 45 des zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel.

Das Puffersensorenzustandsmodell 45 ist für den zweiten Ein­ gangspuffersensor 31 sowie für den zweiten Ausgangspuffersen­ sor 33 gleich aufgebaut.

Das Puffersensorenzustandsmodell 45 weist die in Fig. 5 als Rechtecke dargestellten Zustände "Voll", "Frei" und "Leer" auf.

Im Betrieb des zweiten Wire Bonders 28 können die Zustände des Puffersensorenzustandsmodells 45 die nachfolgenden Bedeutungen aufweisen.

Der Zustand "Voll" bedeutet, daß der zweite Eingangspuffer 30 bzw. der zweite Ausgangspuffer 32 mit Halbleitersubstraten voll gefüllt ist und keine weiteren Halbleitersubstrate auf­ nehmen kann. Im Zustand "Voll" kann der zweite Wire Bonder 28 sowohl im Produktivbetrieb sein als auch eine Störung aufwei­ sen.

Der Zustand "Frei" sagt aus, daß die Anzahl der im zweiten Eingangspuffer 30 bzw. der im zweiten Ausgangspuffer 32 ent­ haltenen Halbleitersubstrate größer als Null und kleiner als die maximale Aufnahmemenge der Halbleitersubstrate im zweiten Eingangspuffer 30 bzw. im zweiten Ausgangspuffer 32 ist. Im Zustand "Frei" kann der zweite Wire Bonder 28 sowohl im Pro­ duktivbetrieb sein als auch eine Störung aufweisen.

Im Zustand "Leer" des zweiten Wire Bonders 28 ist die Anzahl der im zweiten Eingangspuffer 30 bzw. der im zweiten Ausgangs­ puffer 32 enthaltenen Halbleitersubstrate gleich Null. Im Zu­ stand "Leer" kann die Situation gegeben sein, daß der zweite Wire Bonder 28 eine Störung hat bzw. daß der zweite Wire Bon­ der 28 einen leeren zweiten Eingangspuffer 30 bzw. einen lee­ ren zweiten Ausgangspuffer 32 aufweist, oder daß sich der zweite Wire Bonder 28 im Leerlauf befindet.

Die in Fig. 5 dargestellten Pfeile zwischen den Zuständen des Puffersensorenzustandsmodells "Voll", "Frei" und "Leer" signa­ lisieren die jeweiligen Übergänge zwischen den Zuständen.

Aus dem Zustand "Voll" kann der Zustand "Frei" erreicht wer­ den. Aus dem Zustand "Frei" gelangt man sowohl in den Zustand "Voll" als auch in den Zustand "Leer". Aus dem Zustand "Leer" ist der Zustand "Frei" erreichbar.

Die Bedeutungen der Zustände "Voll", "Frei" und "Leer" sind sowohl für den zweiten Eingangspuffer 30 als auch für den zweiten Ausgangspuffer 32 identisch. Die Auswirkungen der Zu­ stände "Voll", "Frei" und "Leer" auf den Betrieb des zweiten Wire Bonders 28 sind unterschiedlich.

Der Zustand "Leer" des Eingangpuffers 3 stoppt den Produktiv­ betrieb des zweiten Wire Bonders 28. Es können keine Halblei­ tersubstrate in den zweiten Arbeitsbereich 29 des zweiten Wire Bonders 28 gelangen.

Der Zustand "Voll" des zweiten Ausgangspuffers 32 hält den produktiven Betrieb des zweiten Wire Bonders 28 an. Der voll gefüllte zweite Ausgangspuffer 32 blockiert die Produktion im zweiten Arbeitsbereich 29 des zweiten Wire Bonders 28.

Fig. 6 zeigt ein Signallampenzustandsmodell 46 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel.

Das Signallampenzustandsmodell 46 gliedert sich in die in Fig. 6 als Rechtecke dargestellten Zustände "Grün", "Rot", "Gelb", "Aus" und "Rot + Gelb".

Der Zustand "Grün" sagt aus, daß sich der zweite Wire Bonder 28 in Arbeit befindet. Dabei kann der zweite Wire Bonder 28 sowohl im Produktivbetrieb befindlich sein als auch nach einer Unterbrechung den Produktivbetrieb wieder aufnehmen.

Der Zustand "Gelb" bedeutet, daß sich der zweite Wire Bonder 28 im Stillstand bzw. im Leerlauf befindet. Dieser Zustand "Gelb" ist beispielsweise gegeben, wenn der Bediener den zwei­ ten Wire Bonder 28 aus dem Vorgängerzustand "Grün" in den Leerlauf schaltet. Weiterhin ist dieser Zustand "Gelb" gege­ ben, wenn Reparaturen durchgeführt werden und der Vorgängerzu­ stand "Rot" sowie der Nachfolgerzustand "Rot" gegeben ist. Des weiteren ist der Zustand "Gelb" denkbar, wenn ein voller zwei­ ter Ausgangspuffer 32 den zweiten Wire Bonder 28 stoppt.

Der Zustand "Rot" weist auf einen Fehler im Betrieb des zwei­ ten Wire Bonders 28 hin. Dieser Zustand kann vorkommen, wenn im Produktivbetrieb oder im Stillstand eine Störung auftritt.

Der Zustand "Aus" tritt auf, wenn der zweite Wire Bonder 28 durch den Bediener abgeschaltet wird oder wenn die Stromver­ sorgung des zweiten Wire Bonders 28 ausfällt.

Der Zustand "Rot + Gelb" kommt vor, wenn sich der zweite Wire Bonder 28 für den eigentlichen Produktionsprozeß vorbereitet. Dies kann der Fall sein, wenn der zweite Wire Bonder 28 aus dem Leerlauf im Zustand "Gelb" gestartet wird, sowie wenn ein Fehler behoben wird und der Produktivbetrieb des zweiten Wire Bonders 28 neu gestartet wird.

Die Pfeile in Fig. 6 verbinden die als Rechtecke dargestell­ ten Zustände des Signallampenzustandsmodells 8 miteinander. Diese Pfeile signalisieren jeweils einen Zustandsübergang zwi­ schen zwei Zuständen. Pfeile, die zwei gleiche Zustände mit­ einander verbinden und in entgegengesetzte Richtung verlaufen, sind in Fig. 6 zur besseren Übersichtlichkeit als jeweils ein Pfeil mit zwei Spitzen dargestellt.

Die in Fig. 6 mittels Pfeilen dargestellten Zustandsübergänge werden im Betrieb des zweiten Wire Bonders 28 durch die Ma­ schinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 vorgenommen.

Vom Zustand "Grün" ist der Zustand "Rot", der Zustand "Gelb" sowie der Zustand "Aus" erreichbar. Aus dem Zustand "Gelb" ist ein Zustandsübergang in den Zustand "Rot", in den Zustand "Aus" und in den Zustand "Rot + Gelb" möglich. Ausgehend von dem Zustand "Rot" gelangt man entweder in den Zustand "Gelb" oder in den Zustand "Aus". Ausgehend von dem Zustand "Rot + Gelb" ist ein Übergang in den Zustand "Grün" sowie in den Zustand "Aus" möglich. Aus dem Zustand "Aus" ist nur der Zustand "Rot" er­ reichbar.

Fig. 7 zeigt ein Auswertungszustandsmodell 47 gemäß dem zwei­ ten Ausführungsbeispiel.

Das Auswertungszustandsmodell 47 gliedert sich in die Hauptzu­ stände "Versuchszeit EN", "Leerlaufzeit SB", "Produktionszeit PR", "Nicht geplante Zeit NS", "Geplante Stillstandszeit SD" und "Ungeplante Stillstandszeit UD".

Die Hauptzustände des in Fig. 7 gezeigten Auswertungszu­ standsmodells 47 entsprechen dem internationalen Standard "Se­ miconductor Equipment and Materials International E10" bzw. "SEMI E10". Mittels dieses Auswertungszustandsmodells 47 sind sämtliche Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 den Hauptzuständen "Versuchszeit EN", "Leerlaufzeit SB", "Produk­ tionszeit PR", "Nicht geplante Zeit NS", "Geplante Still­ standszeit SD" und "Ungeplante Stillstandszeit UD" zuordenbar.

Auf der genauen Erfassung der Anzahl und der kumulierten Dauer dieser Hauptzustände des Auswertungszustandsmodells 47 basiert die Berechnung von Kennzahlen der Auslastung, der Zuverlässig­ keit und der Verfügbarkeit des zweiten Wire Bonders 28, wie beispielsweise "Meantime Between Failure" bzw. "MTBF", "Total Utilization" bzw. "TU" und "Uptime Utilization" bzw. "UU".

Zwischen den Hauptzuständen des in Fig. 7 gezeigten Auswer­ tungszustandsmodells 47 sind beliebige in Fig. 7 nicht ge­ zeigte Zustandswechsel möglich. Die Hauptzustände sind in wei­ tere Unterzustände detaillierbar.

Unter dem Hauptzustand "Versuchszeit EN" sind alle Betriebszu­ stände des zweiten Wire Bonders 28 zusammenfaßbar, bei denen Versuche oder Probeläufe durchgeführt werden. Unter dem Hauptzustand "Leerlaufzeit SB" sind alle Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 aggregierbar, bei denen sich der zwei­ te Wire Bonder 28 im Leerlauf bzw. in Wartestellung befindet. Der Hauptzustand "Produktionszeit PR" wird für die Erfassung sämtlicher Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 einge­ setzt, bei denen sich der zweite Wire Bonder 28 im produktiven Betrieb befindet und Halbleitersubstrate verdrahtet. Unter dem Hauptzustand "Nicht geplante Zeit NS" werden alle Betriebszu­ stände des zweiten Wire Bonders 28 zusammengefaßt, bei dem sich der zweite Wire Bonder 28 in vorher nicht eingeplanter Betriebsruhe befindet. Unter den Hauptzustand "Geplante Still­ standszeit SD" fallen alle diejenigen Betriebszustände, bei denen Wartungs- und Reparaturarbeiten an dem zweiten Wire Bon­ der 28 durchgeführt werden. Alle Betriebszustände, bei denen eine Störung oder ein Fehler im Produktivbetrieb des zweiten Wire Bonders 28 vorliegt, werden unter dem Hauptzustand "Unge­ plante Stillstandszeit UD" zusammengefaßt.

Die Hauptzustände des Auswertungszustandsmodells 47 des zwei­ ten Wire Bonders 28 sind aus den Zuständen sowie aus den Zu­ standsübergängen des Tastenfeldzustandsmodells 44, des Puffer­ sensorenzustandsmodells 45 und des Signallampenzustandsmodells 46 unter Verwendung eines in Fig. 8 und in Fig. 9 gezeigten Interpretationszustandsmodells bestimmbar.

Jedem Hauptzustand ist ein Zeitkonto zugeordnet. Auf jedem Zeitkonto werden die Zeiträume der Hauptzustände des Auswer­ tungsmodells erfaßt, in denen sich der zweite Wire Bonder 28 bzw. weitere hier nicht gezeigte Produktionsmaschinen jeweils befinden.

Fig. 8 zeigt einen ersten Teil des Interpretationszustandsmo­ dells 48 des zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel.

Fig. 9 zeigt einen zweiten Teil des Interpretationszustands­ modells 54 des zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem zweiten Aus­ führungsbeispiel.

Der erste Teil des Interpretationszustandsmodells 48 sowie der zweite Teil des Interpretationszustandsmodells 54 weisen meh­ rere in Fig. 8 und in Fig. 9 als Rechtecke dargestellte Be­ triebszustände auf.

Jeder Betriebszustand im ersten Teil des Interpretationszu­ standsmodells 48 sowie im zweiten Teil des Interpretationszu­ standsmodells 54 ist einem Hauptzustand des Auswertungszu­ standsmodells 47 gemäß Fig. 7 zugeordnet. Jedem Betriebszu­ stand ist ein Zeitkonto zugeordnet.

Dies ist in Fig. 8 und in Fig. 9 des zweiten Ausführungsbei­ spiels jeweils durch die beiden Buchstaben verdeutlicht, die in der rechten unteren Ecke der Rechtecke enthalten sind, in denen die Betriebszustände dargestellt sind.

Die Buchstaben "EN", "SB", "PR", "NS", "SD" und "UD" der je­ weiligen Betriebszustände entsprechen den Hauptzuständen "Ver­ suchszeit EN", "Leerlaufzeit SB", "Produktionszeit PR", "Nicht geplante Zeit NS", "Geplante Stillstandszeit SD" und "Unge­ plante Stillstandszeit UD" aus dem Auswertungszustandsmodell 47 gemäß Fig. 7.

Die Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 sind durch in Fig. 8 sowie in Fig. 9 als Pfeile dargestellte Zustandsüber­ gänge miteinander verbunden.

Die Übergänge der Betriebszustände im ersten Teil des Inter­ pretationszustandsmodells 48 sowie im zweiten Teil des Inter­ pretationszustandsmodells 54 werden durch die Zustände und durch die Zustandsübergänge des zweiten Bedienpulttastenfelds 34 gemäß dem Tastenfeldzustandsmodell 44, durch die Zustände und durch die Zustandsübergänge des zweiten Eingangspuffersen­ sors 31 und des zweiten Ausgangspuffersensors 33 gemäß dem Puffersensorenzustandsmodell 45 sowie durch die Zustände und durch die Zustandsübergänge der zweiten Signallampen 35 gemäß dem Signallampenzustandsmodell 46 veranlaßt.

Der erste Teil des Interpretationszustandsmodells 48 gliedert sich in einen Betriebszustand Störung Zufuhr UD 49, in einen Betriebszustand Versuche EN 50, in einen Betriebszustand War­ tung SD 51, in einen Betriebszustand Ungeplant NS 52 und in einen ersten temporären Betriebszustand 53.

Der Betriebszustand Störung Zufuhr UD 49 wird aus dem Zustand "Signallampen Aus" erreicht. Dies bedeutet, daß der Betriebs­ zustand Störung Zufuhr UD 49 unmittelbar nach dem Einschalten des zweiten Wire Bonders 28 durch den Bediener erreicht wird.

Der Zustand Störung Zufuhr UD 49 besagt, daß ein Fehler in der Versorgung des zweiten Wire Bonders 28 mit Halbleitersubstra­ ten vorliegt. Dies kann beispielsweise der Fall sein, wenn ein Halbleitersubstrat im zweiten Arbeitsbereich 29 des zweiten Wire Bonders 28 verkantet ist und somit kein Produktivbetrieb im zweiten Arbeitsbereich 29 möglich ist. Die Maschinensteue­ rung des zweiten Wire Bonders 28 geht automatisch in diesen Betriebszustand. Das Vorliegen des Betriebszustands Störung Zufuhr UD 49 bedeutet nicht zwangsläufig, daß tatsächlich eine Störung vorliegt. Es handelt sich um einen Kontrollzustand, in dem der Betriebszustand bestimmt wird.

Ausgehend vom Betriebszustand Störung Zufuhr UD 49 wird der erste temporäre Betriebszustand 53 durch ein beliebiges Signal der zweiten Signallampen 35 als Nachfolgezustand erreicht.

Im Betriebszustand Versuche EN 50 werden durch einen Bediener Wartungs- und Reparaturarbeiten an dem zweiten Wire Bonder 28 vorgenommen. Der Betriebszustand Versuche EN 50 wird durch das Prioritätsereignis "Versuch" aus einem beliebigen Betriebs­ zustand erreicht. Ein Prioritätsereignis hat Vorrang vor allen anderen Ereignissen. Das Prioritätsereignis "Versuch" wird durch einen Bediener aus einem beliebigen Betriebszustand des zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem Interpretationszustandsmo­ dell durch Betätigen der Taste "Versuch" auf dem zweiten Be­ dienpulttastenfeld 34 ausgelöst. Ausgehend vom Betriebszustand Versuche EN 50 wird der erste temporäre Betriebszustand 53 durch das Ereignis "Betrieb" als Nachfolgezustand erreicht. Hierfür wird durch den Bediener im Betriebszustand Versuche EN 50 die Taste "Betrieb" auf dem zweiten Bedienpulttastenfeld 34 betätigt.

Im Betriebszustand Wartung SD 51 werden durch einen Bediener an dem zweiten Wire Bonder 28 regelmäßige und vorsorgende War­ tungsarbeiten ausgeführt. Der Betriebszustand Wartung SD 51 wird durch das Prioritätsereignis "Wartung" erreicht. Dies be­ deutet, daß der Bediener in einem beliebigen Betriebszustand die Taste "Wartung" auf dem zweiten Bedienpulttastenfeld 34 betätigt. Ausgehend vom Betriebszustand Wartung SD 51 wird der erste temporäre Betriebszustand 53 als Nachfolgezustand durch das Ereignis "Betrieb", d. h. durch die Betätigung der Taste "Betrieb" auf dem zweiten Bedienpulttastenfeld 34 erreicht.

Im Betriebszustand Ungeplant NS 52 werden durch einen Bediener vorher nicht geplante Reparaturarbeiten an dem zweiten Wire Bonder 28 unternommen. Der Betriebszustand Ungeplant NS 52 wird durch das Prioritätsereignis "Betriebsruhe" erreicht, das durch Betätigen der Taste "Betriebsruhe" auf dem zweiten Be­ dienpulttastenfeld 34 durch den Bediener ausgelöst wird. Als Nachfolgezustand des Betriebszustands Ungeplant NS 52 wird durch das Ereignis "Betrieb" der erste temporäre Betriebszu­ stand 53 erreicht. Das Ereignis "Betrieb" tritt dann auf, wenn durch den Bediener die Taste "Betrieb" auf dem zweiten Bedien­ pulttastenfeld 34 des zweiten Wire Bonders 28 betätigt wird.

Im ersten temporären Betriebszustand 53 wird in Abhängigkeit von den Zuständen der zweiten Signallampen 35 ein jeweils un­ terschiedlicher Nachfolgezustand erreicht. Dementsprechend be­ wirkt der erste temporäre Betriebszustand 53 eine Verzweigung in Abhängigkeit der jeweils leuchtenden Leuchten der zweiten Signallampen 35.

Der erste temporäre Betriebszustand 53 wird vom Betriebszu­ stand Störung Zufuhr UD 49, vom Betriebszustand Versuche EN 50, vom Betriebszustand Wartung SD 51 und vom Betriebszustand Ungeplant NS 52 erreicht.

Im ersten temporären Betriebszustand 53 wird festgestellt, welche Leuchten der zweiten Signallampen 35 aufleuchten. Im Falle des Aufleuchtens der gelben Leuchte der zweiten Signal­ lampen 35 verzweigt der erste temporäre Betriebszustand 53 an die Stelle 1 im zweiten Teil des Interpretationszustandsmo­ dells 54. Im Falle des Aufleuchtens der grünen Leuchte der zweiten Signallampen 35 oder im Falle des gemeinsamen Auf­ leuchtens der roten und der gelben Leuchte der zweiten Signal­ lampen 35 wird an der Stelle 2 im zweiten Teil des Interpreta­ tionszustandsmodells 54 fortgefahren. Falls die rote Leuchte der zweiten Signallampen 35 aufleuchtet, folgt der Zu­ standsübergang an die Stelle 3 im zweiten Teil des Interpreta­ tionszustandsmodells 54.

Der zweite Teil des Interpretationszustandsmodells 54 weist einen Betriebszustand Leerlauf SB 55, einen Betriebszustand Einstellung SD 56, einen Betriebszustand Start PR 57, einen Betriebszustand Verarbeitung PR 58, einen Betriebszustand Leerlauf kein Material SB 59, einen Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60, einen Betriebszustand Störung UD 61 und eine zweiten temporären Betriebszustand 62 auf.

Die von den jeweiligen Betriebszuständen ausgehenden Pfeile, die auf einen senkrechten Balken zeigen, deuten ein Ausschal­ ten des zweiten Wire Bonders 28 aus dem jeweiligen Betriebszu­ stand an.

Die Pfeile, die von einem eine Zahl aufweisenden waagrechten oder senkrechten Balken ausgehen und die auf einen Betriebszu­ stand zeigen, symbolisieren einen Zustandsübergang vom ersten temporären Betriebszustandes 53 des ersten Teils des Interpre­ tationszustandsmodells 48 gemäß Fig. 8.

Im Betriebszustand Leerlauf SB 55 befindet sich der zweite Wi­ re Bonder 28 im Leerlauf.

Der Betriebszustand Leerlauf SB 55 wird durch einen Zu­ standsübergang mit dem Ereignis "Gelb" aus dem Vorgängerzu­ stand Einstellung SD 56 erreicht. Des weiteren wird der Be­ triebszustand Leerlauf SB 55 durch einen Zustandsübergang mit dem Ereignis "Gelb" aus dem Vorgängerzustand Verarbeitung PR 58 erreicht. Weiterhin wird der Betriebszustand Leerlauf SB 55 durch einen Zustandsübergang vom ersten temporären Betriebszu­ stand 53 mit dem Ereignis "Gelb" vom ersten Teil des Interpre­ tationszustandsmodells 48 erreicht.

Ausgehend vom Betriebszustand Leerlauf SB 55 kann der Be­ triebszustand Einstellung SD 56 durch das Ereignis "Rot" er­ reicht werden. Dementsprechend erfolgt dieser Zustandsübergang beim Aufleuchten der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35. Durch das Aufleuchten der roten sowie der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35 wird als Nachfolgerzustand der Be­ triebszustand Start PR 57 erreicht. Weiterhin ist das Aus­ schalten des zweiten Wire Bonders 28 aus dem Betriebszustand Leerlauf SB 55 möglich. Dies wird durch den Pfeil, der auf den senkrechten Balken deutet, angedeutet.

Der Betriebszustand Einstellung SD 56 sagt aus, daß der zweite Wire Bonder 28 hochgefahren bzw. für den Produktionsprozeß vorbereitet wird.

Der Betriebszustand Einstellung SD 56 wird vom Vorgängerzu­ stand Leerlauf SB 55 erreicht, indem das Ereignis "Rot" auf­ tritt.

Ausgehend vom Betriebszustand Einstellung SD 56 wird der Nach­ folgezustand Leerlauf SB 55 erreicht. Hierbei tritt das Ereig­ nis "Gelb" auf. Dementsprechend leuchtet die gelbe Leuchte der zweiten Signallampen 35. Des weiteren ist aus dem Betriebszu­ stand Einstellung SD 56 ein Ausschalten des zweiten Wire Bon­ ders 28 möglich.

Der Betriebszustand Start PR 57 sagt aus, daß der zweite Wire Bonder 28 den Produktionsprozeß startet.

Der Betriebszustand Start PR 57 wird aus dem Betriebszustand Leerlauf SB 55 durch das Ereignis "Rot + Gelb" erreicht. Deswei­ teren wird der Betriebszustand Start PR 57 aus dem zweiten temporären Betriebszustand 62 durch das Ereignis "Rot + Gelb" erreicht.

Ausgehend vom Betriebszustand Start PR 57 wird als Nachfolge­ zustand der Betriebszustand Verarbeitung PR 58 erreicht. Hier­ bei tritt das Ereignis "Grün" auf. Dies drückt aus, daß die grüne Leuchte der zweiten Signallampen 35 aufleuchtet. Des weiteren ist aus dem Betriebszustand Start PR 57 ein Ausschal­ ten des zweiten Wire Bonders 28 möglich.

Im Betriebszustand Verarbeitung PR 58 befindet sich der zweite Wire Bonder 28 im Produktionsvorgang.

Der Betriebszustand Verarbeitung PR 58 ist vom ersten temporä­ ren Betriebszustand 53 aus durch das Ereignis "Grün" oder durch das Ereignis "Rot + Gelb" erreichbar. Dies ist in Fig. 9 durch den von einem waagerechten Balken ausgehenden, auf den Betriebszustand Verarbeitung PR 58 weisenden und mit der Zahl "2" versehenen Pfeil dargestellt.

Als weiterer Vorgängerzustand des Betriebszustands Verarbei­ tung PR 58 ist der Betriebszustand Start PR 57 möglich. Hier­ bei ist als Ereignis das Leuchten der grünen Leuchte der zwei­ ten Signallampen 35 vorgesehen.

Weiterhin ist als Vorgängerzustand der Betriebszustand Leer­ lauf kein Material SB 59 vorgesehen. Hierbei tritt das Ereig­ nis "Eingangspuffer Frei" oder das Ereignis "Eingangspuffer voll" auf. Dies bedeutet, daß der zweite Eingangspuffersensor 31 meldet, daß zweite Eingangspuffer 30 einen entweder freien oder vollen Befüllzustand aufweist.

Des weiteren kann der Betriebszustand Verarbeitung PR 58 aus dem Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60 erreicht werden. Hierbei tritt entweder das Ereignis "Ausgangspuffer leer" oder das Ereignis "Ausgangspuffer frei" auf. Dies bedeutet, daß der zweite Ausgangspuffersensor 33 signalisiert, daß der zweite Ausgangspuffer 32 entweder einen leeren oder einen freien Be­ füllzustand aufweist.

Als Nachfolgezustände des Betriebszustands Verarbeitung PR 58 sind der Betriebszustand Leerlauf SB 55, der Betriebszustand Leerlauf kein Material SB 59, der Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60 und der Betriebszustand Störung UD 61 möglich.

Bei dem Ereignis "Gelb", d. h. dem Aufleuchten der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35 wird als Nachfolgezustand der Betriebszustand Leerlauf SB 55 erreicht.

Bei dem Ereignis "Eingangspuffer leer" wird als Nachfolgezu­ stand der Betriebszustand Leerlauf kein Material SB 59 er­ reicht. Hierbei meldet der zweite Eingangspuffersensor 31, daß der Eingangspuffer leer ist.

Bei dem Ereignis "Ausgangspuffer voll" gelangt der zweite Wire Bonder 28 in den Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60. Dies bedeutet, daß der zweite Ausgangspuffersensor 33 regi­ striert, daß der zweite Ausgangspuffer 32 voll ist.

Durch das Ereignis "Rot", d. h. durch das Aufleuchten der ro­ ten Leuchte der zweiten Signallampen 35 gelangt der zweite Wi­ re Bonder 28 in den Betriebszustand Störung UD 61. Dies bedeu­ tet, daß ein Fehler im Produktionsprozeß auftritt.

Im Betriebszustand Leerlauf kein Material SB 59 weist der zweite Wire Bonder 28 einen leeren zweiten Eingangspuffer 30 auf und befindet sich demzufolge im Leerlauf.

Der Betriebszustand Leerlauf kein Material SB 59 wird von dem Betriebszustand Verarbeitung PR 58 erreicht. Hierbei tritt das Ereignis "Eingangspuffer leer" auf, also eine Rückmeldung des zweiten Eingangspuffersensors 31, daß der zweite Eingangspuf­ fer 30 leer ist.

Als Nachfolgezustand des Betriebszustands Leerlauf kein Mate­ rial SB 59 ist der Betriebszustand Verarbeitung PR 58 vorgese­ hen. Dieser wird durch die Ereignisse "Eingangspuffer Frei" oder "Eingangspuffer voll" erreicht. Dies bedeutet, daß der zweite Eingangspuffersensor 31 angibt, daß der zweite Ein­ gangspuffer 30 entweder frei oder voll ist.

Des weiteren ist aus dem Betriebszustand Leerlauf kein Materi­ al SB 59 das Ausschalten des zweiten Wire Bonders 28 als Er­ eignis vorgesehen.

Im Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60 ist der zweite Ausgangspuffer 32 des zweiten Wire Bonders 28 voll gefüllt. Demzufolge befindet sich der zweite Wire Bonder 28 im Leer­ lauf.

Der Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60 wird vom Be­ triebszustand Verarbeitung PR 58 durch das Ereignis "Ausgangs­ puffer voll" erreicht. Hier meldet der zweite Ausgangspuffer­ sensor 33, daß der zweite Ausgangspuffer 32 voll belegt ist und keine weiteren Halbleitersubstrate aufnehmen kann.

Als Nachfolgezustand des Betriebszustands Leerlauf blockiert SB 60 ist der Betriebszustand Verarbeitung PR 58 möglich. Die­ ser Zustand wird durch die Ereignisse "Ausgangspuffer leer" und "Ausgangspuffer frei" erreicht, also durch eine Meldung des zweiten Ausgangspuffersensors 33, daß der zweite Ausgangs­ puffer 32 entweder leer oder frei ist.

Weiterhin ist aus dem Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60 ein Abschalten des zweiten Wire Bonders 28 möglich.

Bei Vorliegen des Betriebszustandes Störung UD 61 weist der zweite Wire Bonder 28 eine Störung bzw. einen Fehler im Pro­ duktionsablauf auf.

Der Betriebszustand Verarbeitung PR 58 stellt einen Vorgänger­ zustand des Betriebszustands Störung UD 61 dar. Der Zu­ standsübergang erfolgt durch das Ereignis "Rot", also durch ein Aufleuchten der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35.

Einen weiteren Vorgängerzustand des Betriebszustandes Störung UD 61 stellt der zweite temporäre Betriebszustand 62 dar. Hierbei tritt das Ereignis "Rot" in Erscheinung, also ein Auf­ leuchten der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35.

Außerdem ist als Vorgängerzustand der erste temporäre Be­ triebszustand 53 des ersten Teils des Interpretationszustands­ modells 48 gemäß Fig. 8 vorgesehen. Dies ist durch die Zahl "3" und den von einem Balken ausgehenden und auf den Betriebs­ zustand Störung UD 61 weisenden Pfeil in Fig. 9 kenntlich ge­ macht. Hierbei tritt das Ereignis "Rot" auf. Dementsprechend leuchtet die rote Leuchte der zweiten Signallampen 35 auf.

Als Nachfolgezustand wird durch das Ereignis "Gelb", d. h. durch das Aufleuchten der gelben Lampe der zweiten Signallam­ pen 35 der zweite temporäre Betriebszustand 62 erreicht.

Ebenfalls ist aus dem Betriebszustand Störung UD 61 ein Ab­ schalten des zweiten Wire Bonders 28 vorgesehen.

Im zweiten temporären Betriebszustand 62 wird in Abhängigkeit der aufleuchtenden Leuchten der zweiten Signallampen 35 eine Verzweigung in den Produktionsprozeß oder in einen Fehlerzu­ stand vorgenommen und ein jeweils unterschiedlicher Nachfolge­ zustand erreicht.

Der zweite temporäre Betriebszustand 62 wird von dem Betriebs­ zustand Störung UD 61 durch das Ereignis "Gelb", also dem Auf­ leuchten der gelben Lampe der zweiten Signallampen 35 aufgeru­ fen.

Bei dem Ereignis "Rot", gleichbedeutend mit dem Aufleuchten der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35 wird als Nach­ folgezustand des zweiten temporären Betriebszustands 62 der Betriebszustand Störung UD 61 aufgerufen.

Bei dem Ereignis "Rot + Gelb" wird als Nachfolgezustand des zweiten temporären Betriebszustandes 62 der Betriebszustand Start PR 57 aufgerufen.

Des weiteren ist aus dem zweiten temporären Betriebszustand 62 ein Abschalten des zweiten Wire Bonders 28 vorgesehen.

Nachfolgend ist die Ermittlung der Betriebszustände des zwei­ ten Wire Bonders 28 aus dem Interpretationszustandsmodell un­ ter Verwendung der Zustände des Tastenfeldzustandsmodells 44, des Puffersensorenzustandsmodells 45 und des Signallampenzu­ standsmodells 46 anhand des zweiten Ausführungsbeispiels dar­ gelegt.

Die Zustände des Tastenfeldzustandsmodells 44, des Puffersen­ sorenzustandsmodells 45 und des Signallampenzustandsmodells 46 werden über die sechste Datenverbindung 36 an den zweiten Si­ gnalkonverter 37 weitergeleitet.

Der zweite Signalkonverter 37 überträgt alle Signale in Echt­ zeit über die zweite Busverbindung 38 an den Linien-PC 39. Im Linien-PC 39 werden aus den Zuständen des Tastenfeldzustands­ modells 44, des Puffersensorenzustandsmodells 45 und des Si­ gnallampenzustandsmodells 46 die Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem Interpretationszustandsmodell ermit­ telt.

Die Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 sind den Hauptzuständen des Auswertungszustandsmodells 47 zuordenbar.

Sämtliche Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 gemäß dem Interpretationszustandsmodell werden auf dem Linien-PC 39 in der Ereignishistorie erfaßt.

Sämtliche Zeitbeträge, die den Zeiträumen entsprechen, in de­ nen sich der zweite Wire Bonder 28 in den jeweiligen Betriebs­ zuständen befindet, werden auf das Zeitkonto des jeweiligen Betriebszustands gebucht. Temporäre Betriebszustände werden auf das Zeitkonto des jeweiligen Nachfolgezustands im Inter­ pretationszustandsmodell gebucht.

Aus diesen Informationen sind die kumulierten Zeiten der Be­ triebszustände gemäß dem Interpretationszustandsmodell und der jeweils entsprechenden Hauptzustände gemäß dem Auswertungsmo­ dell ermittelbar. Dementsprechend ist eine präzise Auswertung der Betriebszustände des zweiten Wire Bonders 28 möglich.

Zu Beginn des zweiten Ausführungsbeispiels befindet sich der zweite Wire Bonder 28 in ausgeschaltetem Zustand. Die zweiten Signallampen 35 sind im Zustand "Aus". Weder der zweite Ein­ gangspuffersensor 31, noch der zweite Ausgangspuffersensor 33, noch das zweite Bedienpulttastenfeld 34 geben ein Signal ab.

Der Bediener schaltet den zweiten Wire Bonder 28 ein. Nach dem Einschalten gelangt der zweite Wire Bonder 28 in den Betriebs­ zustand Störung Zufuhr UD 49.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Störung Zufuhr UD 49 gemäß dem Interpreta­ tionszustandsmodell aufweist, wird auf das Zeitkonto des Hauptzustands "Geplante Stillstandszeit SD" gemäß dem Auswer­ tungszustandsmodell 47 gebucht.

Eine hier nicht gezeigte Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 stellt automatisch den technischen Zustand des zweiten Wire Bonders 28 fest, indem sie Sensoren und Aktuato­ ren abfragt und Endpositionen anfährt. Diese Maschinensteue­ rung veranlaßt in Abhängigkeit des jeweiligen technischen Zu­ stands des zweiten Wire Bonders 28 das Aufleuchten der dem je­ weiligen technischen Zustand entsprechenden Leuchten der zwei­ ten Signallampen 35 gemäß dem Signallampenzustandsmodell 46.

Im vorliegenden zweiten Ausführungsbeispiel erkennt die Ma­ schinensteuerung, daß sich der zweite Wire Bonder 28 im Leer­ lauf befindet und veranlaßt demzufolge das Aufleuchten der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35. Durch dieses Auf­ leuchten der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35 wird gemäß dem ersten Teil des Interpretationszustandsmodells 48 ein Zustandsübergang in den ersten temporären Betriebszustand 53 vorgenommen.

Ebenfalls ist ein Zustandsübergang in den ersten temporären Betriebszustand 53 aus dem Betriebszustand Versuche EN 50, aus dem Betriebszustand Wartung SD 51 und aus dem Betriebszustand Ungeplant NS 52 durch ein Betätigen der Taste "Betrieb" auf dem zweiten Bedienpulttastenfeld 34 durch einen Bediener mög­ lich.

Eine hier nicht gezeigte Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 stellt nach dem Betätigen der Taste "Betrieb" auto­ matisch den technischen Zustand des zweiten Wire Bonders 28 fest. Diese Maschinensteuerung veranlaßt in Abhängigkeit des jeweiligen technischen Zustands des zweiten Wire Bonders 28 das Aufleuchten der dem jeweiligen technischen Zustand ent­ sprechenden Leuchten der zweiten Signallampen 35 gemäß dem Si­ gnallampenzustandsmodell 46.

Im ersten temporären Betriebszustand 53 erfolgt in Abhängig­ keit der verschiedenen Zustände gemäß dem Signallampenzu­ standsmodell 46 eine Weiterleitung zu unterschiedlichen Folge­ zuständen.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den ersten temporären Betriebszustand 53 gemäß dem Interpreta­ tionszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbei­ spiel dem nachfolgenden Betriebszustand Leerlauf SB 55 gemäß dem Interpretationszustandsmodell zugeordnet und auf das Zeit­ konto des entsprechenden Hauptzustands "Leerlaufzeit SB" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im zweiten Ausführungsbeispiel ist der Zustand "Gelb" des Si­ gnallampenzustandsmodells 46 vorhanden. Somit verweist das In­ terpretationszustandsmodell auf den mit 1 bezeichneten Folge­ zustand des ersten temporären Betriebszustandes 53. Demzufolge erfolgt vom ersten temporären Betriebszustand 53 beim Ereignis "Gelb" des Signallampenzustandsmodells 46 ein Zustandswechsel zum Betriebszustand Leerlauf SB 55 in Fig. 9.

Im Betriebszustand Leerlauf SB 55 befindet sich der zweite Wi­ re Bonder 28 im Leerlauf.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Leerlauf SB 55 gemäß dem Interpretations­ zustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Leerlauf­ zeit SB" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im zweiten Ausführungsbeispiel tritt an dieser Stelle eine Störung auf, die von der Maschinensteuerung automatisch er­ kannt wird und durch die rote Leuchte der zweiten Signallampen < 18332 00070 552 001000280000000200012000285911822100040 0002010121729 00004 18213BOL<35 angezeigt wird. Dementsprechend wird eine Zustandsänderung zum Betriebszustand Einstellung SD 56 veranlaßt.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Einstellung SD 56 gemäß dem Interpretati­ onszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbei­ spiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Ge­ plante Stillstandszeit SD" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im Betriebszustand Einstellung SD 56 erfolgt ein Bedienerein­ griff. Durch diesen Bedienereingriff wird die Störung des zweiten Wire Bonders 28 behoben. Nach Beendigung des Bedie­ nereingriffs betätigt der Bediener einen entsprechenden Schal­ ter bzw. eine entsprechende Taste des zweiten Wire Bonders 28. Dementsprechend bewirkt die Maschinensteuerung des zweiten Wi­ re Bonders 28 das Aufleuchten der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35. Dadurch wird ein Zustandsübergang in den Be­ triebszustand Leerlauf SB 55 bewirkt.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Leerlauf SB 55 gemäß dem Interpretations­ zustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Leerlauf­ zeit SB" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im Betriebszustand Leerlauf SB 55 startet der Bediener den Produktivbetrieb des zweiten Wire Bonders 28 durch Betätigen eines entsprechenden Schalters bzw. einer entsprechenden Taste des zweiten Wire Bonders 28. Die Maschinensteuerung des zwei­ ten Wire Bonders 28 erkennt dies und signalisiert durch ein Aufleuchten der roten und der gelben Leuchte der zweiten Si­ gnallampen 35, daß sich der zweite Wire Bonder 28 in einem Selbstvorbereitungsmodus auf den Produktionsprozeß befindet, in dem der zweite Wire Bonder 28 beispielsweise den zweiten Eingangspuffersensor 31, den zweiten Ausgangspuffersensor 33 und weitere hier nicht gezeigte Sensoren sowie hier nicht ge­ zeigte Aktuatoren abfragt und Endpositionen anfährt. Nach die­ sem Selbstvorbereitungsmodus erfolgt ein automatischer Zu­ standswechsel in den Betriebszustand Start PR 57.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Start PR 57 gemäß dem Interpretationszu­ standsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Produktions­ zeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im Betriebszustand Start PR 57 nimmt der zweite Wire Bonder 28 den Produktionsprozeß auf. Die Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 erkennt dies automatisch und gibt dies in Form des Aufleuchtens der grünen Leuchte der zweiten Signallampen 35 an. Dieses Ereignis bewirkt einen Zustandswechsel in den Betriebszustand Verarbeitung PR 58.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Verarbeitung PR 58 gemäß dem Interpretati­ onszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbei­ spiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Pro­ duktionszeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 ge­ bucht.

Im Betriebszustand Verarbeitung PR 58 befindet sich der zweite Wire Bonder 28 im Produktionsprozeß.

An dieser Stelle des zweiten Ausführungsbeispiels tritt eine Störung im Produktionsprozeß auf. Diese Störung kann bei­ spielsweise durch ein Verklemmen des Halbleitersubstrats im zweiten Arbeitsbereich 29 des zweiten Wire Bonders 28 und durch eine daraus resultierende Störung eines hier nicht ge­ zeigten Handlingsautomaten verursacht sein. Die Maschinen­ steuerung des zweiten Wire Bonders 28 erkennt diese Störung automatisch und gibt dies in Form des Aufleuchtens der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35 wieder. Dies führt zu ei­ nem Zustandswechsel in den Betriebszustand Störung UD 61.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Störung UD 61 gemäß dem Interpretationszu­ standsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Ungeplante Stillstandzeit UD" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 ge­ bucht.

In dem Betriebszustand Störung UD 61 erfolgt ein Bedienerein­ griff zur Behebung der Störung. Nach dem Bedienereingriff gibt der Bediener den zweiten Wire Bonder 28 durch Betätigen eines entsprechenden Schalters bzw. einer entsprechenden Taste zur Weiterführung des Produktionsprozesses frei. Dies wird von der Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 durch Aufleuch­ ten der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35 signali­ siert. Durch das Aufleuchten der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35 erfolgt ein Zustandswechsel in den zweiten temporären Betriebszustand 62.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den zweiten temporären Betriebszustand 62 gemäß dem Interpre­ tationszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungs­ beispiel dem nachfolgenden Betriebszustand Störung UD 61 gemäß dem Interpretationszustandsmodell zugeordnet und auf das Zeit­ konto des entsprechenden Hauptzustands "Ungeplante Stillstand­ zeit UD" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im zweiten temporären Betriebszustand 62 wird von der Maschi­ nensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 automatisch bei­ spielsweise durch eine Abfrage von hier nicht gezeigten Senso­ ren festgestellt, ob die aufgetretene Störung durch den Bedie­ nereingriff behoben wurde oder ob ein erneuter Bedienerein­ griff notwendig ist. Im zweiten Ausführungsbeispiel signali­ siert die Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 durch das Aufleuchten der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35, daß die Störung nicht vollständig behoben ist und daß ein er­ neuter Bedienereingriff nötig ist. Durch Aufleuchten der roten Leuchte der zweiten Signallampen 35 erfolgt ein Zustandsüber­ gang in den Betriebszustand Störung UD 61.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Störung UD 61 gemäß dem Interpretationszu­ standsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Ungeplante Stillstandzeit UD" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 ge­ bucht.

In diesem Betriebszustand erfolgt ein erneuter Bedienerein­ griff zur Behebung der Störung. Nach dem erneuten Bedienerein­ griff gibt der Bediener in Form einer Betätigung eines Schal­ ters bzw. einer Taste dem zweiten Wire Bonder 28 das Signal zur erneuten Wiederaufnahme des Produktionsprozesses. Dies wird von der Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 in Form des Anschaltens der gelben Leuchte der zweiten Signallam­ pen 35 angezeigt. Dies führt zu einem Zustandswechsel in den zweiten temporären Betriebszustand 62.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den zweiten temporären Betriebszustand 62 gemäß dem Interpre­ tationszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungs­ beispiel dem nachfolgenden Betriebszustand Start PR 57 gemäß dem Interpretationszustandsmodell zugeordnet und auf das Zeit­ konto des entsprechenden Hauptzustands "Produktionszeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Dort wird durch die Maschinensteuerung des zweiten Wire Bon­ ders 28 festgestellt, daß die Störung behoben wurde und daß kein erneuter Bedienereingriff notwendig ist. Dies wird von der Maschinensteuerung des zweiten Wire Bonders 28 durch das Aufleuchten der gelben und der roten Lampe der zweiten Signal­ lampen 35 signalisiert. Dies führt zu einem Zustandswechsel in den Betriebszustand Start PR 57.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Start PR 57 gemäß dem Interpretationszu­ standsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Produktions­ zeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Im Betriebszustand Start PR 57 nimmt der zweite Wire Bonder 28 den Produktionsprozeß erneut auf. Dies wird von der Maschinen­ steuerung des zweiten Wire Bonders 28 automatisch festgestellt und in Form des Aufleuchtens der grünen Leuchte der zweiten Signallampen 35 wiedergegeben. Dadurch wird ein Zustandsüber­ gang in den Betriebszustand Verarbeitung PR 57 veranlaßt.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Verarbeitung PR 57 gemäß dem Interpretati­ onszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbei­ spiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Pro­ duktionszeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 ge­ bucht.

Im Betriebszustand Verarbeitung PR 57 arbeitet der zweite Wire Bonder 28 im Produktionsprozeß. An dieser Stelle des zweiten Ausführungsbeispiels erkennt der zweite Eingangspuffersensor 31 automatisch den Zustand "Leer" des zweiten Eingangspuffers 30. Dies bedeutet, daß im zweiten Eingangspuffer 30 keine Halbleitersubstrate zur Verarbeitung im zweiten Arbeitsbereich 29 des zweiten Wire Bonders 28 vorhanden sind. Dieses Ereignis verursacht einen Zustandswechsel in den Betriebszustand Leer­ lauf kein Material SB 59.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Leerlauf kein Material SB 59 gemäß dem In­ terpretationszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzu­ stands "Leerlaufzeit SB" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

In diesem Betriebszustand befindet sich der zweite Wire Bonder 28 im Leerlauf. Die Signallampen zeigen weiterhin das Leuchten der grünen Leuchte der zweiten Signallampen 35. Im zweiten Ausführungsbeispiel werden nun von der dem zweiten Wire Bonder 28 vorgelagerten Maschine der Halbleiterfertigungslinie mehre­ re Halbleitersubstrate in den zweiten Eingangspuffer 30 des zweiten Wire Bonders 28 befördert. Der zweite Eingangspuffer­ sensor 31 registriert nun, daß der zweite Eingangspuffer 30 mit einer Anzahl von Halbleitersubstraten gefüllt ist. Er gibt demzufolge den Zustand "Frei" des zweiten Eingangspuffers 30 weiter. Dies bewirkt einen Zustandsübergang zum Betriebszu­ stand Verarbeitung PR 58.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Verarbeitung PR 57 gemäß dem Interpretati­ onszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbei­ spiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Pro­ duktionszeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 ge­ bucht.

Im Betriebszustand Verarbeitung PR 58 arbeitet der zweite Wire Bonder 28 im Produktionsprozeß. An dieser Stelle des zweiten Ausführungsbeispiels erkennt der zweite Ausgangspuffersensor 33, daß der zweite Ausgangspuffer 32 voll gefüllt ist und kei­ ne weiteren Halbleitersubstrate aufnehmen kann. Dementspre­ chend erfolgt ein Zustandsübergang in den Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Leerlauf blockiert SB 60 gemäß dem Inter­ pretationszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzu­ stands "Leerlaufzeit SB" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

In diesem Betriebszustand befindet sich der zweite Wire Bonder 28 im Leerlauf. Die zweiten Signallampen 35 zeigen weiterhin das Leuchten der grünen Leuchte. Gemäß dem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel werden mehrere der im zweiten Ausgangspuffer 32 befindlichen Halbleitersubstrate an die dem zweiten Wire Bon­ der 28 nachgelagerten Maschine in der Halbleiterfertigungsli­ nie weitergeleitet. Dementsprechend ist der zweite Ausgangs­ puffer 32 des zweiten Wire Bonders 28 nicht mehr voll gefüllt. Der zweite Ausgangspuffersensor 33 erkennt dies automatisch und zeigt das Ereignis "Frei" des zweiten Ausgangspuffers 32 an. Dies veranlaßt einen Zustandswechsel in den Betriebszu­ stand Verarbeitung PR 58.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Verarbeitung PR 57 gemäß dem Interpretati­ onszustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbei­ spiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Pro­ duktionszeit PR" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 ge­ bucht.

Der zweite Wire Bonder 28 befindet sich im Betriebszustand Verarbeitung PR 58 im Produktivbetrieb. Aus diesem Betriebszu­ stand schaltet der Bediener den zweiten Wire Bonder 28 in den Betriebszustand Leerlauf SB 55. Die Maschinensteuerung erkennt dies und gibt dies in Form des Leuchtens der gelben Leuchte der zweiten Signallampen 35 an.

Der Zeitbetrag des Zeitraums, in dem der zweite Wire Bonder 28 den Betriebszustand Leerlauf SB 55 gemäß dem Interpretations­ zustandsmodell aufweist, wird im zweiten Ausführungsbeispiel auf das Zeitkonto des entsprechenden Hauptzustands "Leerlauf­ zeit SB" gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47 gebucht.

Aus dem Betriebszustand Leerlauf SB 55 schaltet der Bediener den zweiten Wire Bonder 28 aus. Die zweiten Signallampen 35 befinden sich nun im Zustand "Aus".

Mittels der auf die Zeitkonten der Auswertungszustände gebuch­ ten Zeitbeträge ist nun eine Vielzahl von Auswertungen mög­ lich.

So ergibt sich die Gesamtzeit als die Summe der auf die Zeit­ konten der Hauptzustände "Versuchszeit EN", "Leerlaufzeit SB", "Produktionszeit PR", "Nicht geplante Zeit NS", "Geplante Stillstandszeit SD" und "Ungeplante Stillstandszeit UD" ge­ buchten Zeitbeträge gemäß dem Auswertungszustandsmodell 47.

Beispielsweise läßt sich eine Produktivitätskennzahl berechnen durch den Quotienten aus dem auf das Zeitkonto des Hauptzu­ stands "Produktionszeit PR" gebuchten Zeitbetrag und der Ge­ samtzeit.

Bezugszeichenliste

1

erster Wire Bonder

2

erster Arbeitsbereich

3

erster Eingangspuffer

4

erster Eingangspuffersensor

5

Drucksensor

6

Indexer

7

erste Signallampen

8

erster Ausgangspuffer

9

erster Ausgangspuffersensor

10

erste Datenverbindung

11

zweite Datenverbindung

12

dritte Datenverbindung

13

vierte Datenverbindung

14

fünfte Datenverbindung

15

Bedienpult

16

erste Steckverbindung

17

Datenübertragungskabel

18

zweite Steckverbindung

19

erster Signalkonverter

20

dritte Steckverbindung

21

erste Bus-Verbindung

22

Computersystem

23

Einheit zur Auswertungszustandsbestimmung

24

Produktionssteuerungseinheit

25

erstes Bedienpulttastenfeld

26

erste Taste

27

erste Tastenbeschriftung

28

zweiter Wire Bonder

29

zweiter Arbeitsbereich

30

zweiter Eingangspuffer

31

zweiter Eingangspuffersensor

32

zweiter Ausgangspuffer

33

zweiter Ausgangspuffersensor

34

zweites Bedienpulttastenfeld

35

zweite Signallampen

36

sechste Datenverbindung

37

zweiter Signalkonverter

38

zweite Bus-Verbindung

39

Linien-PC

40

siebte Datenverbindung

41

Maschinen-PC

42

achte Datenverbindung

43

Touchscreen

44

Tastenfeldzustandsmodell

45

Puffersensorenzustandsmodell

46

Signallampenzustandsmodell

47

Auswertungszustandsmodell

48

erster Teil des Interpretationszustandsmodells

49

Betriebszustand Störung Zufuhr UD

50

Betriebszustand Versuche EN

51

Betriebszustand Wartung SD

52

Betriebszustand Ungeplant NS

53

erster temporärer Betriebszustand

54

zweiter Teil des Interpretationszustandsmodells

55

Betriebszustand Leerlauf SB

56

Betriebszustand Einstellung SD

57

Betriebszustand Start PR

58

Betriebszustand Verarbeitung PR

59

Betriebszustand Leerlauf kein Material SB

60

Betriebszustand Leerlauf blockiert SB

61

Betriebszustand Störung UD

62

zweiter temporärer Betriebszustand

Claims (9)

1. Produktionsmaschine (1, 28) mit wenigstens einem Signal­ ausgang (4, 5, 6, 7, 9, 31, 33, 35) zur Übermittlung von Produktionszustandsinformationen an ein Produktionssteue­ rungssystem bzw. Produktionsüberwachungssystem (22, 24, 39) wobei Produktionszustandsinformationen in Abhängigkeit von an der Produktionsmaschine (1, 28) automatisch abge­ griffenen Ereignissen und von manuellen Eingaben eines Be­ dieners der Produktionsmaschine (1, 28) erzeugbar sind.

2. Produktionsmaschine (1, 28) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur manuellen Eingabe ein Tasten- bzw. Schalterfeld (25, 34) vorgesehen ist.

3. Produktionsmaschine (1, 28) nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur manuellen Eingabe ein berührungsempfindlicher Bild­ schirm (43) vorgesehen ist.

4. Produktionsmaschine (1, 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Sensoren (4, 5, 6, 9, 31, 33) der Produktionsmaschine (1, 28), insbesondere Sensoren (4, 9, 31, 33) zur Bestimmung des Befüllzustandes von Pufferzonen (3, 8, 30, 32), Senso­ ren zur Druckmessung (5) und Indexer (6) zur Arbeitsfort­ schrittsmessung abgreifbar und Produktionszustandsinforma­ tionen aus diesen Sensoren (4, 5, 6, 9, 31, 33) erzeugbar sind.

5. Produktionsmaschine (1, 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Maschinensteuerung der Produktionsmaschine (1, 28) insbesondere Signallampen (7, 35) der Produktionsmaschine (1, 28) abgreifbar und Produktionszustandsinformationen aus der Maschinensteuerung insbesondere aus den Signallam­ pen (7, 35) erzeugbar sind.

6. Verwendung eines Tasten- bzw. Schalterfelds (25, 34) bzw. eines berührungsempfindlichen Bildschirms (43) und/oder von Sensoren (4, 6, 9, 31, 33) insbesondere von Sensoren (4, 9, 31, 33) zur Bestimmung des Befüllzustandes von Puf­ ferzonen (3, 8, 30, 32), von Sensoren zur Druckmessung (5) und von Indexern (6) zur Arbeitsfortschrittsmessung und/oder einer Maschinensteuerung der Produktionsmaschine (1, 28) insbesondere von Signallampen (7, 35) zur Erzeu­ gung von Ereignissen bei einem Verfahren zum Betrieb einer Produktionsmaschine (1, 28), bei dem Produktionsinforma­ tionen insbesondere bezüglich der Auslastung und/oder be­ züglich der Zuverlässigkeit und/oder bezüglich der Verfüg­ barkeit der Produktionsmaschine (1, 28) erzeugt werden, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Aufstellen eines Auswertungszustandsmodells (47) mit mehreren Auswertungszuständen, wobei jedem Auswertungs­ zustand genau ein Zeitkonto entspricht,
• - Aufstellen eines Interpretationszustandsmodells (48, 54), wobei Übergänge zwischen Zuständen (49, 50, 51, 52, 53, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62) des Interpreta­ tionszustandsmodells (48, 54) in Abhängigkeit von an der Produktionsmaschine (1, 28) abgreifbaren Ereignis­ sen festgelegt werden,
• - Zuordnen von Zuständen (49, 50, 51, 52, 53, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62) des Interpretationszustandsmodells (48, 54) zu Zuständen des Auswertungszustandsmodells (47),

wobei während des Betriebs der Produktionsmaschine (1, 28) das Zeitkonto des momentan vorliegenden Auswertungszu­ stands um einen Betrag erhöht wird, der dem Zeitraum ent­ spricht, in dem sich die Produktionsmaschine (1, 28) in dem betreffenden Auswertungszustand befindet, wobei die von einem Bediener mit Hilfe des Tasten- bzw. Schalter­ felds (25, 34) bzw. mit Hilfe des berührungsempfindlichen Bildschirms (43) erzeugten Signale und/oder die von Senso­ ren (4, 6, 9, 31, 33) abgegriffenen Signale und/oder die von der Maschinensteuerung abgegriffenen Signale zur Er­ zeugung von Ereignissen verwendet werden.

7. Verwendung eines Tasten- bzw. Schalterfelds (25, 34) bzw. eines berührungsempfindlichen Bildschirms (43) bei einem Verfahren zum Betrieb einer Produktionsmaschine (1, 28) nach Anspruch 6, bei dem beim Aufstellen des Interpretationszustandsmodells (48, 54) Übergänge zwischen Zuständen (49, 50, 51, 52, 53, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62) des Interpretationszu­ standsmodells (48, 54) in Abhängigkeit von manuellen Ein­ gaben eines Bedieners der Produktionsmaschine (1, 28) festgelegt werden, wobei die manuellen Eingaben des Bedie­ ners durch ein Zustandsmodell (44) beschreibbar sind und als Ereignisse des Interpretationszustandsmodells (48, 54) verwendet werden.

8. Verwendung von Sensoren (4, 6, 9, 31, 33) insbesondere von Sensoren (4, 9, 31, 33) zur Bestimmung des Befüllzustandes von Pufferzonen (3, 8, 30, 32), von Sensoren zur Druckmes­ sung (5) und von Indexern (6) zur Arbeitsfortschrittsmes­ sung zur Erzeugung von Ereignissen bei einem Verfahren zum Betrieb einer Produktionsmaschine (1, 28) nach Anspruch 6 oder 7, bei dem beim Aufstellen des Interpretationszustandsmodells (48, 54) Übergänge zwischen Zuständen (49, 50, 51, 52, 53, 55, 56, 57, 58, 58, 60, 61, 62) des Interpretationszu­ standsmodells (48, 54) in Abhängigkeit der Signale von Sensoren (4, 6, 9, 31, 33) insbesondere von Sensoren (4, 9, 31, 33) zur Bestimmung des Befüllzustandes von Puffer­ zonen (3, 8, 30, 32), von Sensoren zur Druckmessung (5) und von Indexern (6) zur Arbeitsfortschrittsmessung fest­ gelegt werden, wobei die Signale durch ein Zustandsmodell (45) beschreibbare diskrete Zustände einnehmen können und als Ereignisse des Interpretationszustandsmodells (48, 54) verwendet werden.

9. Verwendung einer Maschinensteuerung der Produktionsmaschi­ ne (1, 28) insbesondere von Signallampen (7, 35) der Pro­ duktionsmaschine (1, 28) zur Erzeugung von Ereignissen bei einem Verfahren zum Betrieb einer Produktionsmaschine (1, 28) nach einem der Ansprüche 6 bis 8, bei dem beim Aufstellen des Interpretationszustandsmodells (48, 54) Übergänge zwischen Zuständen (49, 50, 51, 52, 53, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62) des Interpretationszu­ standsmodells (48, 54) in Abhängigkeit von Betriebszustän­ den der Maschinensteuerung der Produktionsmaschine (1, 28) insbesondere der Signallampen (7, 35) der Produktionsma­ schine (1, 28) festgelegt werden, wobei die Betriebszu­ stände der Maschinensteuerung der Produktionsmaschine (1, 28) insbesondere der Signallampen (7, 35) durch ein Zu­ standsmodell (46) beschreibbar sind und als Ereignisse des Interpretationszustandsmodells (48, 54) verwendet werden.