DE10114666A1 - Differenzdrucksensor - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Differenzdrucksensor, wobei der Sensor eine Membran besitzt und die Membran beidseitig mit Medium beaufschlagbar ist. Die Membran biegt sich aufgrund des resultierenden Differenzdruckes durch. Die Membranoberfläche trägt ein Umsetzungsmittel, das die Durchbiegung der Membran in eine elektrische Spannung umsetzt. Über die Umsetzungsmittel ist eine Beschichtung vorgesehen, durch welche das Medium von dem Umsetzungsmittel getrennt ist.

Description

Die Erfindung betrifft einen Differenzdrucksensor, wie sie im Oberbegriff des unabhängigen Patentanspruches 1 beschrieben ist.

Vorgenannte Differenzdrucksensoren werden im Stand der Technik vielfältig eingesetzt. Zum Beispiel werden sie in Wasch- oder Spülmaschinen eingesetzt, um dort entsprechende Abläufe zu steuern.

Bekannte Differenzdrucksensoren weisen zum Beispiel eine aus Gummi oder anderem elastischen Material bestehende Membran auf, an der eine Stange angeordnet ist, die einen Magneten trägt, der mit einem Hallsensor oder einer Induktionsspule zusammenwirkt. Für das Abgreifen eines Differenzdruckes ist es notwendig, daß das Medium beidseitig an der Membran anliegt, damit die unterschiedlichen Drücke eine entsprechend resultie­ rende Durchbiegung auf der Membran ergeben. Bei der bekannten Vorrichtung müssen daher spezielle Abdichtungsmaßnahmen ergrif­ fen werden, damit die Stange mit dem Magneten aus dem Medien­ kreislauf herausgeführt werden kann. Die Anordnung des an der Stange befestigten Magneten und des Hallsensors beziehungsweise der Induktionsschlaufe befindet sich in der Regel nicht im mediendurchströmten Bereich.

Aufgrund des verhältnismäßig komplexen Aufbaues sind diese bekannten Differenzdrucksensoren auch sensibel auf die Lage­ anordnung des Sensors, das bedeutet, sie können nur in be­ stimmten Betriebsstellungen eingesetzt werden, dadurch ver­ ringert sich aber der Einsatzbereich vorgenannter Differenz­ drucksensoren.

Die Erfindung hat es sich daher zur Aufgabe gemacht, einen Differenzdrucksensor zu entwickeln, dessen Einbau lageunab­ hängig möglich ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe geht die Erfindung aus von einem Differenzdrucksensor, wie eingangs beschrieben, und schlägt vor, daß das Umsetzungsmittel durch eine Beschichtung von dem Medium getrennt ist. Das Umsetzungsmittel, zum Beispiel eine aufgedruckte Schaltung, wird durch die Beschichtung von dem Medium getrennt. Das Umsetzungsmittel befindet sich dabei auf der Oberfläche der Membran. Das Umsetzen der Durchbiegung wird im Bereich der Membran in ein elektrisches Signal (eine elek­ trische Spannung oder einen elektrischen Widerstand) durchge­ führt.

Der erfindungsgemäße Vorschlag benötigt nicht mehr die aufwen­ dige Anordnung von Dichtungen, um eine Stange von der Membran in einen "trockenen" Bereich zu führen, um dort den eigentlich interessierenden Messwert zu erzeugen. Die zusätzlichen Dich­ tungsprobleme werden damit vollkommen eliminiert. Gleichzeitig erreicht die Erfindung, daß durch den integrierten Aufbau des Umsetzungsmittels unmittelbar auf der Membranoberfläche ein lageunabhängiger Einbau des Differenzdrucksensors möglich ist, wodurch sich der Einsatzbereich eines erfindungsgemäßen Dif­ ferenzdrucksensors gegenüber den bekannten Sensoren erheblich erweitert. Die Druckmessung erfolgt bei jeder Lagerung des Sensors.

Es ist vorgesehen, daß der Drucksensor eine Halterung aufweist, die den Anschluß an das das Medium führende System erlaubt. Die Halterung kann entweder unmittelbar an der Membran anschließen, oder aber mittelbar, zum Beispiel durch entsprechende Elemente ausgeführt sein. Dabei ist es möglich, daß die Halterung selbst Teil des das Medium führenden Systems, zum Beispiel einer Rohr­ leitung oder dergleichen, wird oder auch hierzu wiederum ent­ sprechende Bauteile vorgesehen sind.

Erfindungsgemäß wird konstruktiv unterschieden in Drucksenso­ ren, die im wesentlichen aus zwei Elementen oder mindestens aus drei Elementen bestehen. Bei den Drucksensoren, die aus zwei Elementen aufgebaut sind, wird der Sensor an einem topfartigen ersten Teil realisiert, der rückseitig auf dem Boden des Topfes eine weitere, insbesondere ringartige Halterung aufweist.

Bei den aus drei Teilen bestehenden Sensoren ist vorgesehen; daß die Membran als eigenständiges, gegebenenfalls auch fili­ granes Bauteil ausgeführt ist und beidseitig der Membran eine entsprechende, auch ringartige Halterung angeordnet ist.

Insbesondere die zuletzt genannte Ausgestaltung der Erfindung erlaubt es, daß die Membran zumindest teilweise seitlich über zumindest eine Halterung hervorsteht und so einen Anschlußbe­ reich für das Abgreifen des Signales bildet. Erfindungsgemäß ist nicht vorgesehen, daß beide Halterungen identisch ausgebil­ det sein müssen, wenngleich für eine vernünftige Druckmessung der relevante Innenquerschnitt bei den beiden Halterungen be­ ziehungsweise im Anschlußbereich an das Medium vorteilhafter­ weise gleich sein sollte. Die Halterungen können aber unter­ schiedlich breit sein, wodurch es sich ergibt, daß zumindest einseitig ein Überstand möglich ist. Dieser Überstand bildet einen Anschlußbereich für das Abgreifen des Signals, woraus sich ein weiterer Vorteil dieser erfindungsgemäßen Variante ergibt, daß nämlich mit dem durch das Beschichten aufgebrachte Umsetzungsmittel gleichzeitig, im gleichen Arbeitsgang auch die Leitungen so angeordnet werden können, daß das Signal über die Leiter in den medienabgewandten Bereich geführt werden. Zu­ sätzliche Abdichtungen, wie sie zum Beispiel im Stand der Tech­ nik zur Abdichtung der Stange notwendig waren, sind hierbei nicht notwendig. Dies erfolgt mit einer normalen Abdichtung der Membran gegenüber der Halterung. Dabei ist zu beachten, daß hier keine großen Durchmesser der stromleitenden Leiter benö­ tigt werden, im wesentlichen werden nur Spannungen abgegriffen, der Stromfluß kann sehr gering sein. Es interessieren nur die Spannungsänderungen aufgrund der Widerstandsänderungen.

In einer weiteren Variante ist auch vorgesehen, daß der erfin­ dungsgemäße Differenzdrucksensor einstückig ausgebildet ist, wobei aus einem entsprechenden Rohkörper beidseitig Aus­ nehmungen herausgenommen werden, wodurch sich im Querschnitt eine im wesentlichen H-förmige Form ergibt, wobei der Mittel­ bereich, ein Steg, welcher die beiden seitlichen Stützen ver­ bindet, durch die Membran gebildet ist.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß der komplette Drucksensor einschließlich Membran und Halterung in einem entsprechenden Gehäuse eingebaut wird und so die verhältnismäßig filigrane Membran gegenüber dem Anschlußbereich usw. auch mechanisch geschützt ist. Da das Gehäuse selbst nicht mit dem Medium in Berührung kommt, muß hier nicht auf eine hohe Dichtheit Wert gelegt werden.

In einer anderen, ebenfalls auch aus drei Teilen bestehenden, erfindungsgemäßen Realisierung des Drucksensors ist vorgesehen, daß die Membran seitlich von der Halterung rahmenartig eingefasst wird. Auch hier besteht die Halterung gegebenenfalls aus zwei Halterungen, die zwischen sich die Membran festhalten, wobei die Ausbildung so gewählt ist, daß die Membran selbst über die Halterung nicht hervorsteht.

Für die Beschichtung ist in dieser erfindungsgemäßen Verbes­ serung vorgesehen, daß zum Beispiel eine Folienbeschichtung eingesetzt wird und die Folienbeschichtung über den Rand der Membran seitlich hervorsteht. Unterhalb der Folienbeschichtung ist zum Beispiel die Kontaktierung mit der Leiterbahn, die auf der Membranoberfläche aufgetragen ist, vorgesehen, wobei die Folie sowohl die Membranoberfläche, den Leiter, die Leiterbahn, wie auch das Umsetzungsmittel vor dem gegebenenfalls auch agressiven Medium schützt. Neben dem Einsatz einer Kunststoff­ folie, wie Polyimid sind natürlich auch andere, geeignete Kunststofffolien einsetzbar. Diese Folien werden auf die Mem­ branoberfläche auflaminiert und gegebenenfalls der Klebstoff thermisch ausgehärtet. Die einschlägige Folie dichtet das System optimal gegen das Medium ab, die Halterung umfasst die Membran rahmenartig am Rand, wobei die Leitung unterhalb der Folie zwischen Folie und Membran im Seitenbereich herausgeführt wird und so ebenfalls im Außenbereich, im Trockenen, von dem Medium nicht beeinträchtigten Bereich für weitere Anschlußzwecke zur Verfügung steht.

Der hier beschriebene Aufbau ist aber auch in gleicher Weise mit anderen Beschichtungen möglich, da zum Beispiel die Tauch­ beschichtung oder das Sputtering oder auch ein Plasmabe­ schichtungsverfahren.

Das Mittel, welches die Durchbiegung der Membran in ein aus­ wertbares Signal umsetzt, wird bevorzugt in einem Abstand von einer gedachten Linie angeordnet, die das Auslaufende der Run­ dung an der der Membran zugewandten Seite schneidet. Diese spezielle Ausführungsform gewährleistet insbesondere, daß der Funktionsverlauf des Widerstandes in Abhängigkeit vom Druck monoton beziehungsweise linear ermittelt werden kann.

Die Membran des Drucksensors kann aus unterschiedlichsten Materialien hergestellt sein. So sind beispielsweise Ausfüh­ rungsformen möglich aus Metall, Stahl, Keramik, Glas, SiO₂, Al₂O₃, B₂O₃, Na₂O, K₂O, MgO, CaO, BaO, P₂O, PbO. Es ist natür­ lich auch möglich eine Mischung der zuvor genannten Materialien zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Drucksensors zu verwen­ den.

Bevorzugt wird die Membran des Drucksensors Dicken zwischen 5/100 mm bis zu 3,0 mm aufweisen. Diese Werte ergeben sich aus dem Druckeinsatzbereich und dem Material.

In einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung ist das Mittel zur Umsetzung der Durchbiegung der Membran in ein auswertbares Signal ein induktiver, kapazitiver oder resistiver Körper, dessen Iduktivität, Kapazität oder Wider­ stand durch die Durchbiegung verändert wird und dadurch meßbar ist. Denkbar sind beispielsweise Sensoren, die einen piezzo­ elektrischen Effekt aufweisen.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführung kann das Mittel zur Umsetzung der Durchbiegung der Membran in ein auswertbares Signal eine optische Anordnung sein.

In der Zeichnung ist die Erfindung schematisch dargestellt.

Es zeigen:

Fig. 1, 2 und 4 in einem Schnitt verschiedene Varianten des erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors;

Fig. 3 in einer Draufsicht eine weitere Variante des erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors und

Fig. 5 ein Detail der Erfindung.

In Fig. 1 ist eine Variante des erfindungsgemäßen Differenz­ drucksensors 1 gezeigt. Als erstes Teil 5 wird hierbei der untere Teil des Differenzsensors 1 angesehen, welcher die Mem­ bran 2 trägt. Die Membran 2 wird hierbei gebildet von dem Boden 15 des topfartig 5 ausgebildeten ersten Teiles 16. Auf der der Wandung 8 abliegenden Seite des Topfbodens 15 ist das Um­ setzungsmittel 3 angeordnet. Als Umsetzungsmittel 3 ist hierbei zum Beispiel eine Wheatstonesche Brückenschaltung vorgesehen.

Der in Fig. 1 dargestellte Differenzdrucksensor 1 ist dabei aus einem Rohkörper durch eine materialabhebende, insbesondere spanabhebende Bearbeitung gewonnen worden. Der Rohkörper, zum Beispiel ein Keramik- oder Glasstück, wird entsprechend bear­ beitet, indem der Innenraum herausgenommen, abgearbeitet wird, wodurch sich im Boden 15 die Membran 2 ergibt. Hieraus resul­ tiert auch, daß Topfwandung 8 und Topfboden 15 einstückig mit­ einander ausgebildet sind.

Alternativ ist es natürlich auch möglich, daß diese beiden Elemente aus zwei oder mehr Bauteilen bestehen.

Für eine bessere Linearität und verminderte Bruchneigung ist vorgesehen, daß die Topfwandung 8 eine Rundung 7 aufweist, in welcher die Wandung in den Topfbereich 15 der Membran 2 über­ leitet. Die ansonsten im Eckbereich bestehende Kerbwirkung wird durch diese erfindungsgemäße Ausgestaltung vermieden.

Zur Abdeckung und zum Schutz des Umsetzungsmittels 3 ist die Beschichtung 4 vorgesehen, die zum Beispiel durch ein Aufsput­ tern, ein Plasmabeschichtungsverfahren, ein Tauchbeschichtungs­ verfahren oder durch ein Auflaminieren einer Kunststofffolie realisierbar ist. Im Rahmen einer Tauchbeschichtung wird die Membran dabei in eine Lösung mit Polysiloxane geführt. Beim Herausziehen der Membran aus dieser Lösung verbleibt ein Film auf der Oberfläche, welcher hernach in einem Trocknungs- oder Erwärmprozeß fixiert wird. Dabei bildet sich SiO₂, sowie or­ ganische Reste. Es handelt sich hierbei um ein sehr preiswertes und zuverlässiges Verfahren zum Auftragen einer zuverlässigen Oberflächenbeschichtung.

Mit p₁, p₂ sind die jeweils anliegenden Drücke an dem Dif­ ferenzdrucksensor 1 gekennzeichnet, die entgegengesetzten Druckrichtungen kompensieren sich so weit, daß nur der Dif­ ferenzdruck p₁ minus p₂ als Resultierende die Membran 2 durch­ zubiegen vermag. Diese Durchbiegung wird von dem Umsetzungsmit­ tel 3 aufgenommen. Auf der der Wandung 8 abgewandten Seite des ersten Teiles 16 befindet sich ein ringartiges, zweites Teil, die Halterung 6, die eine Anschlußmöglichkeit an das den Druck p₂ führende System erlaubt. Hierzu können weitere Flansche, Dichtungen usw. vorgesehen sein, wie sie zum Beispiel auch auf der Wandung 8 des ersten Teiles 16 anzuordnen sind.

Im Gegensatz zu dem in Fig. 1 gezeigten, im wesentlichen aus zwei Elementen bestehenden Drucksensor 1 ist in Fig. 2 eine aus mindestens drei Elementen bestehende Konstruktion gezeigt. Beidseitig der Membran 2 sind je eine Halterung 9, 10 vorge­ sehen, die in dem gezeigten Beispiel identisch ausgeführt sind. Wiederum befindet sich auf einer Seite, hier in diesem Beispiel liegt der Druck p₂ an, ein Umsetzungsmittel 3, welches von einer Beschichtung 4 gegen das Medium mit dem Druck p₂ abge­ trennt ist. Die Halterungen 9, 10 sind mit der Membran 2 durch jeweilige Klebeschichten 17, verbunden. Eine Klebung 17 wird zum Beispiel auch zwischen der Halterung 6 und dem ersten Teil 16 in Fig. 1 eingesetzt.

In Fig. 3 und 4 sind verschiedene Varianten, insbesondere des Anschlußbereiches 11 beziehungsweise des Abgreifens des elektrischen Signales, welches durch das Umsetzungsmittel 3 erzeugt wird, gezeigt.

In Fig. 3 ist eine plattenartige Membran 2 dargestellt, die hier insbesondere quadratisch, aber auch rechteckig oder auch rund ausgebildete sein kann. Diese wird abgedeckt von einer Halterung 9, die kreisrund ausgebildet ist und so im Eckbereich insbesondere Überstände der Membran 2 aufweist. In diesen Eckbereichen ist der Anschlußbereich 11 gezeigt, der mit den entsprechenden Elementen der Wheatstoneschen Brückenschaltung 12 verbunden sind (hier nicht gezeigt). Die Wheatstonesche Brückenschaltung ist hierbei als Umsetzungsmittel 3 ausgeführt. Günstig ist, daß die Verbindungsleitungen zwischen dem, unter dem Mediendruck stehenden Bereich der Membran 2 im gleichen Arbeitsschritt auch die Membran 2 aufgebracht werden kann und unterhalb der Halterung 9 in den "trockenen" Bereich herausgeführt werden kann.

Eine ähnliche Ausgestaltung ist in Fig. 4 gezeigt, bei welcher die Halterungen 9, 10 rahmenartig die Membran 2 halten. Hierzu sind Absätze 18 an den ringartigen Halterungen 9, 10 vorgesehen, in welchen die Membran 2 anschließt. Hieraus resultiert, daß die Halterung 9, 10 im Schnitt gesehen (jeweils am Rand) L­ artig ausgebildet ist und in der Ausnehmung 18 den Rand der Membran 2 aufnimmt. Auch hier ist das Umsetzungsmittel 3 durch eine Folie 13 beziehungsweise eine Beschichtung 4 abgedeckt. Zusätzlich ist eine Dichtung, insbesondere eine O-Ring-Dichtung 19 vorgesehen. Bei der in Fig. 4 ausgeführten erfindungsgemäßen Variante wird bevorzugterweise ein Folienüberstand 20 der Folie 3 vorgesehen, wobei hierbei je eine Folie 13 beidseitig die Membran 2 einschließt. Diese Folienüberstände 20 werden dabei seitlich herausgeführt (hier links angedeutet) und führen zwischen sich den elektrischen Anschluß 14, an welchem das Signal des Umsetzungsmittels 3, zum Beispiel eine Spannung oder eine Spannungsänderung, abgreifbar ist.

Die beiden Halterungen 9, 10 können dabei im Randbereich eben­ falls miteinander verklebt werden oder aber es ist eine, hier nicht angedeutete, Klemmvorrichtung vorgesehen, welche die Halterungen zusammenklemmt und so die Membran 2 dazwischen festhält. Dabei wirkt die Haltekraft zum Beispiel über die O-Ringe 19 auf die Membran 2.

Ein Vorteil besteht bei der Ausgestaltung nach Fig. 3 oder Fig. 4 insbesondere darin, daß es verhältnismäßig einfach gelingt, die elektrisch relevanten Teile, den Anschluß aus dem "nassen" Bereich nach außen in den "trockenen" Bereich zu führen und dort zur Verfügung zu stellen. Dabei müssen keine zusätzlichen Dichtprobleme wie im Stand der Technik bewältigt werden.

Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, daß die Folienbeschichtung 3, 13 eine Kunststoffolie, insbesondere eine medienresistente Polyimidfolie ist.

In Fig. 5 ist in einer erfindungsgemäßen Weiterentwicklung ein Vorschlag für das Kontaktieren der weiterführenden Leitungen 21 an die Leitung 24, die auf der Membran 2 angeordnet ist, vorge­ schlagen. Es handelt sich hierbei um eine Seitenansicht eines schematisch dargestellten Anschlußbereiches 11. Die Leitung 24 bildet einen elektrischen Kontakt mit dem Umsetzungsmittel 3 (hier nicht dargestellt) und dient zum Beispiel dazu, die Spannungsdifferenz aufgrund der Durchbiegung der Membran im Umsetzungsmittel (zum Beispiel einer Wheatstoneschen Brücke) zum messen. Der erfindungsgemäße Drucksensor erlaubt dabei, daß der sensible Anschlußbereich nicht im Bereich des Mediums, gegebenenfalls auch eines flüssigen Mediums liegt, sondern nach außen herausgeführt ist.

Die Leitung 24 ist dabei ebenfalls auf die Membran 2 zum Bei­ spiel aufgedampft oder aufgesputtert worden. Im Randbereich wird durch eine Klebverbindung 20 der Kontakt zu der weiter­ führenden Leitung 21 hergestellt. Die Klebverbindung 20 besteht dabei aus einem an sich isolierenden Kleber 22, der einen gewissen Anteil an elektrisch leitenden Partikeln 23 aufweist. Die elektrisch leitenden Partikel 23 stellen den Kontakt zwischen der Leitung 24 und der Leitung 21 her. Die Partikel 23' (diese sind ansich auch elektrisch leitend) zum Beispiel haben einen zu geringen Durchmesser, als daß sie die Höhen­ differenz zwischen der Lage der Leitung 21 und der Membran 2 überspannen können und dienen nur als Füllstoff für den Kleb­ stoff, und nehmen an der Weiterleitung der Spannung nicht teil. Hieraus folgt, daß durch ein entsprechende Auswahl der Durch­ messer der Partikel, die gegebenenfalls auch elastisch sein können, den relevanten Höhen (Dicke der Leitung 24 und Abstand der Leitung 21 zur Leitung 24) und dem Anteil der Partikel 23 im Kleber 22 eine partiell elektrisch leitende Verbindung, ansonsten aber eine isolierende Verbindung möglich ist. Hieraus folgt günstigerweise, daß zum Beispiel wie auch in Fig. 3 dar­ gestellt, in einem verhältnismäßig engen Bereich des Anschluß­ bereichs 11 vier Kontakte herzustellen sind, diese im verhält­ nismäßig groben mechanischen Vorgang mit dem entsprechend vor­ bereiteten Kleber 22 eingestrichen werden können und dann die entsprechend, untereinander natürlich isolierten Leitungen 21 darüber positioniert werden, damit sichergestellt ist, daß zwischen den einzelnen Kontakten kein Kurzschluß entsteht und trotzdem die relevante Information, nämlich die Spannung, abge­ griffen wird. Hieraus resultiert eine sehr einfache, aber zuverlässige elektrische Kontaktierung.

Dabei hat es sich ergeben, daß die besten Ergebnisse dann be­ stehen, wenn der Volumenanteil an elektrisch leitenden Par­ tikeln im Kleber circa 3% bis 15%, bevorzugt circa 5% bis 10% beträgt. Es besteht eine ausreichend gute Kontaktierung bei einem ausreichend hohen Kurzschlußschutz. Durch diese vorteil­ hafte Weiterentwicklung des Erfindungsgegenstandes wird eine weitere Rationalisierung bei der Herstellung eines solchen Drucksensors erreicht, wobei die Klebverbindung an sich dauer­ haft ist und die Korrossion im Kontaktbereich auch hemmen hilft.

Die jetzt mit der Anmeldung und später eingereichten Ansprüche sind Versuche zur Formulierung ohne Präjudiz für die Erzielung weitergehenden Schutzes.

Die in den abhängigen Ansprüchen angeführten Rückbeziehungen weisen auf die weitere Ausbildung des Gegenstandes des Haupt­ anspruches durch die Merkmale des jeweiligen Unteranspruches hin. Jedoch sind diese nicht als ein Verzicht auf die Erzielung eines selbständigen, gegenständlichen Schutzes für die Merkmale der rückbezogenen Unteransprüche zu verstehen.

Merkmale, die bislang nur in der Beschreibung offenbart wurden, können im Laufe des Verfahrens als von erfindungswesentlicher Bedeutung, zum Beispiel zur Abgrenzung vom Stand der Technik beansprucht werden.

Claims (27)

1. Differenzdrucksensor, wobei der Sensor eine Membran be­ sitzt und die Membran beidseitig mit Medium beaufschlag­ bar ist, wobei sich die Membran aufgrund der an der Mem­ bran anliegendenden Drücke resultierenden Differenzdruck durchbiegt, wobei die Membranoberfläche ein Umsetzungs­ mittel trägt, das die Durchbiegung der Membran in ein auswertbares Signal, insbesondere eine elektrische Span­ nung oder einen elektrischen Widerstand umsetzt, dadurch gekennzeichnet, daß das Umsetzungsmittel durch eine Be­ schichtung von dem Medium getrennt ist.

2. Differenzdrucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Drucksensor eine Halterung aufweist, die den Anschluß des Drucksensors an das Medium führende System erlaubt.

3. Differenzdrucksensor nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor im wesentlichen zweiteilig ausgebildet ist, wobei ein erstes Teil topfartig ausgebildet ist und der Topfboden die Membran bildet, an die sich auf einer Seite die Topf­ wandung anschließt und einen zweiten, ringartigen Teil, der auf der der Topfwandung abgewandten Unterseite der Membran angeordnet ist und insbesondere eine Halterung bildet.

4. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das aus Topfwandung und Topfboden bestehende erste Teil des Drucksensors einstückig ausgebildet ist.

5. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Teil aus einem Rohkörper durch eine materialabhebende Bearbeitung gewonnen wird.

6. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Innenseite des ersten Teiles eine Rundung vorgesehen ist, die die Wandung in den Topfbodenbereich der Membran überleitet.

7. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mem­ bran plattenartig ausgebildet ist und beidseitig der Membran insbesondere ringartige Halterungen aufweist.

8. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran zumindest teilweise seitlich über zumindest eine Halterung hervorsteht und so einen Anschlußbereich für das Abgreifen des Signals bildet.

9. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung mit der Membran verklebt ist.

10. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran seitlich von der Halterung rahmenartig ein­ gefasst wird.

11. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hal­ terung im Schnitt im wesentlichen Lartig ausgebildet ist und in der Ausnehmung die Membran angeordnet ist.

12. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Klemmvorrichtung vorgesehen ist, welche die Halterungen zusammenklemmen und so die Membran zwischen sich festhal­ ten.

13. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Halterung und Membran eine Abdichtung, insbesondere eine O-Ring-Dichtung vorgesehen ist.

14. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Be­ schichtung eine Folienbeschichtung, insbesondere eine medienresistente Polyimid-Folie vorgesehen ist.

15. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Be­ schichtung, insbesondere die Folienbeschichtung auf bei­ den Seiten der Membran angeordnet ist.

16. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Fo­ lienbeschichtung zumindest teilweise die Membran seit­ lich überragt und in diesem Bereich die Anschlußlei­ tungen zum Abgreifen des Signals geführt sind.

17. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bschichtung in einem Aufsputter-, einem Plasmabeschich­ tungs-, einem Tauchbeschichtungs- und/oder einem Folien­ beschichtungsprozeßschritt aufgebracht wird.

18. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Tauchbeschichtung die Membran in eine Lösung mit Poly­ siloxane geführt wird.

19. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Be­ schichtung aus TiO₂, SiO₂, gegebenenfalls mit organi­ schen Resten ZrO₂, AlO₂ und/oder Al₂O₃ oder einer Mi­ schung der vorgenannten Materialien.

20. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mem­ bran aus Metall, Stahl, Keramik, Glas, SiO₂, Al₂O₃, B₂O₃, Na₂O, K₂O, MgO, CaO, BaO, P₂O. PbO sowie einer Mischung der vorgenannten Materialien besteht.

21. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mem­ bran eine Dicke von 1/10 mm bis zu 3,0 mm aufweist.

22. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Um­ setzungsmittel für die Durchbiegung der Membran ein in­ duktiver, kapazitiver oder resistiver Körper vorgesehen ist, dessen Induktivität, Kapazität oder Widerstand durch die Durchbiegung verändert wird und dadurch meßbar ist.

23. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Umsetzungsmittel eine optische Anordnung dient.

24. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Um­ setzungsmittel eine Wheatstonesche Brückenschaltung dient.

25. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Differenzdrucksensor im Schnitt H-förmig ausgebildet und einstückig ist.

26. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für den Anschluß der zum Umsetzungsmittel führenden Leitung eine Klebverbindung vorgesehen ist, mit einem isolierenden Kleber, in welchen elektrisch leitende Partikel einge­ mischt sind.

27. Differenzdrucksensor nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Volumenanteil an elektrisch leitenden Partikeln im Kleber circa 3% bis 15%, bevorzugt circa 5% bis 10% beträgt.