DE10114576C2 - Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung - Google Patents
Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer RohrleitungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medi
en in einer Rohrleitung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Das erfindungsgemäße Volumenstrommeßgerät hat verschiedene Anwendungsgebiete. So
dient es insbesondere zur Volumenstrommessung von Flüssigkeiten, Gasen und anderen
Medien (Nahrungsmittel, Arzneistoffe etc.), als Wasserzähler sowie anderen Durchfluß
meßeinrichtungen im Medizin-, Chemie- und Nahrungsmittelbereich, aber auch zur Wärme
mengenmessung sowie für Dosiereinrichtungen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung verwendet dabei einen
Strömungssensor nach dem Staudruckverfahren. Hierzu ist ein Meßrohr vorgesehen, durch
welches das Medium fließt. Diesem Meßrohr ist ein Differenzdrucksensor zugeordnet. Die
bekannten Vorrichtungen sind dabei aufwendig und damit teuer. Ein Austausch des Sensors
ist nicht möglich. Es ist daher notwendig, die gesamte Meßeinrichtung einschließlich Volu
mengebergehäuse auszutauschen. Statische Wärmemeßanordnungen und Verwendung
dieses Prinzips sind damit aufwendig und teuer. Dynamische Meßanordnungen sind einem
Verschleiß unterworfen, weil sie bewegliche Teile besitzen und deswegen wesentlich
störanfälliger sind als statische Wärmemengenzähler. Bedingt durch den mechanischen
Aufbau mit einem Trägermaterial und der nicht mechanisch spannungsfreien Halterung er
geben sich nicht reproduzierbare Beeinflussungen der Drucksensorkennlinie durch das Trägermaterial
bzw. durch die Klebe- und Vergußverfahren. Außerdem lagern sich Luftblasen
am Drucksensor an, welche falsche Meßwerte zur Folge haben.
Die DD 270 758 A1 zeigt einen Volumenstromsensor für Hydrauliksysteme der eingangs
angegebenen Art. Hierfür ist ein rohrförmiger Adapter vorgesehen, dessen Wandung eine
Öffnung aufweist. In diese Öffnung ist ein Einschraubstutzen eingeschraubt, wobei zwischen
dem Adapter und diesem Einschraubstutzen eine Dichtung angeordnet ist. In diesen Ein
schraubstutzen wiederum ist das Gehäuse des Volumenstromsensors hineingesteckt. Zu
diesem Zweck weist das Gehäuse einen umfangsseitigen Anschlagring auf, welcher auf
grund seiner Kegelform an der korrespondierenden Innenkegelmantelfläche des Ein
schraubstutzens anliegt. Gesichert wird das Gehäuse des Volumenstromsensors im Ein
baustutzen mittels einer Überwurfmutter. Die Abdichtung zwischen dem Volumenstromsen
sor und dem Einschraubstutzen erfolgt über zwei umfängliche Dichtungen. Am unteren Ende
weist der Volumenstromsensor eine in das Strömungsmedium ragende Biegezunge sowie
einen Temperatursensor auf. Offensichtlich ist die Biegezunge an das Gehäuse des Volu
menstromsensors angeschraubt. - Der Nachteil dieser bekannten Konstruktion besteht in
dem relativ komplizierten Aufbau, weil zusätzlich ein Einschraubstutzen vorgesehen ist. Au
ßerdem läßt sich die Fixierung des Volumenstromsensors mittels der Überwurfmutter nur mit
speziellen Werkzeugen durchführen. Schließlich besteht aufgrund der Anordnung der Um
fangsdichtungen die Gefahr, daß der Volumenstromsensor sich schräg in der Öffnung befin
det.
Die DE 298 11 345 U1 zeigt eine Meßvorrichtung zur Bestimmung der Durchflußmenge ei
ner durch eine Rohrleitung strömenden Flüssigkeit. Zu diesem Zweck ist an einer Öffnung
der Rohrleitung ein Rohrstutzen angeschweißt. Dieser trägt einen zylinderförmigen Sonden
körper. In einer axialen Bohrung dieses Sondenkörpers ist ein Tauchrohr angeordnet, wel
ches an seinem vorderen Ende eine Sonde trägt, welche als Differenzdruckmeßkopf ausge
bildet ist.
Die DE 196 14 458 C2 zeigt einen Druck- oder Differenzdrucksensor sowie ein Verfahren zu
seiner Herstellung. Zu diesem Zweck ist ein Träger mit etwa rechteckiger Form vorgesehen,
welcher in einem mittleren, etwa quadratischen Bereich eine deutlich geringere Dicke auf
weist, welcher eine Membran eines Druck- oder Differenzdrucksensors bildet. Der übrige
Träger ist im wesentlichen starr. Sowohl der Träger als auch die Membran sind aus Silizium
gebildet. Der Träger mit seiner Membran für den Druck- oder Differenzdrucksensor ist
sandwichartig zwischen einem plattenförmigen Grundkörper und einer Abdeckplatte einge
bettet, wobei diese im Bereich der Membran Öffnungen aufweisen. Um diese Membran her
um verläuft eine Dichtung in Form von O-Ringen.
Die DE 90 10 216 U1 schließlich zeigt eine Meßvorrichtung für strömende Medien in einer
Rohrleitung. Zu diesem Zweck wird zunächst in eine Öffnung der Rohrleitung eine Schraub
aufnahme eingedreht. In diese Schraubaufnahme wiederum wird ein Einschraubelement
eingedreht, welches eine Meßsonde trägt. Zwischen der Schraubaufnahme und dem Ein
schraubelement ist eine Dichtung in Form eines O-Ringes angeordnet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Vorrichtung zur Durchflußmen
genmessung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung der eingangs angegebenen Art
die Anordnung und Fixierung des Sensorgehäuses im Meßrohr zu verbessern.
Die technische Lösung ist gekennzeichnet durch die Merkmale im Kennzeichen des
Anspruchs 1.
Dadurch ist eine Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer
Rohrleitung geschaffen, bei der das Sensorgehäuse auf einfache und zuverlässige Weise in
der im Meßrohr ausgebildeten Öffnung fixiert ist, wobei insbesondere auch ein rasches
Auswechseln des Sensorgehäuses gegen ein anderes Sensorgehäuse möglich ist. Die
Grundidee besteht darin, den Anschlagring des Sensorgehäuses sandwichartig zwischen
einem Dichtelement auf der einen Seite und einem Sicherungsring auf der anderen Seite zu
fixieren. Vor allem ist damit auch eine reproduzierbare Plazierung des Differenzdrucksensors
in Strömungsmedium gewährleistet. Bei dem Dichtelement handelt es sich um einen O-
Ring. Alternativ kann auch ein angespritztes Dichtelement (2 K-Spritzteil) am Gehäuse vor
gesehen sein. Dadurch ist eine einwandfreie Abdichtung zwischen dem Sensorgehäuse und
dem Meßrohr gewährleistet. Zur Montage des Sensorgehäuses wird dieses in die Öffnung
des Meßrohres hineingesteckt, um anschließend in der darüber befindlichen Umfangsnut
der Öffnung den Sicherungsring zu plazieren. Dieser Sicherungsring übergreift den An
schlagring und fixiert somit das Sensorgehäuse. Als Sicherungsring kann beispielsweise ein
Sprengring vorgesehen sein. Dadurch wird ein einfacher Austausch möglich.
Die Weiterbildung gemäß Anspruch 2 schlägt vor, daß das Sensorgehäuse im wesentlichen
zylinderförmig ausgebildet ist. Andere Formen sind selbstverständlich auch denkbar.
Die Weiterbildung gemäß Anspruch 3 hat den Vorteil, daß der Differenzdrucksensor inner
halb des Meßrohres in der richtigen Position ausgerichtet ist.
Die Weiterbildung gemäß Anspruch 4 geht von der Grundidee aus, daß das Sensorgehäuse
als Träger für den Differenzdrucksensor dient. Dieser ragt als Flügel oder als Paddel in das
Innere des Meßrohres.
Die Weiterbildung gemäß Anspruch 5 stellt eine einfache konstruktive Einheit dar, wobei
durch die Einbettung des Trägers im Sensorgehäuse der Differenzdrucksensor sicher ge
halten und fixiert ist.
Vorzugsweise ist der Träger gemäß Anspruch 6 im wesentlichen plattenförmig ausgebildet.
Eine bevorzugte Ausbildung des Trägers in Form von zwei fest miteinander verbundenen
Trägerteilen schlägt Anspruch 7 vor. Die Grundidee besteht darin, den hinteren Bereich des
Trägers insbesondere als Leiterplatte auszubilden. Diese Leiterplatte kann Kontaktbahnen
aufnehmen, außerdem eine vergossene integrierte Schaltung. Der eigentliche Differenz
drucksensor ist dann am vorderen Ende des vorderen Trägerteils befestigt. Dieses vordere
Trägerelement besteht vorzugsweise aus Silizium.
Die Weiterbildung gemäß Anspruch 8 stellt zwei einfache Möglichkeiten dar, um den Druck
sensor sowie die weiteren auf dem Träger befindlichen elektronischen Elemente mit einer
externen Auswerteeinheit über einen Kabelanschluß zu verbinden.
Die Weiterbildung gemäß den Ansprüchen 9 und 10 schlägt eine konstruktive Ausgestaltung
des Differenzdrucksensors vor. Das Grundprinzip besteht darin, in dem Träger, insbesonde
re in dem vorderen Trägerteil aus Silizium, eine Fensteröffnung auszubilden, in welcher der
Differenzdrucksensor integriert ist. Indem die Membran des Differenzdrucksensors von der
einen Seite her von dem Medium angeströmt wird, entsteht dadurch ein Überdruck und be
züglich der Rückseite der Membran eine Druckdifferenz. Der somit zwischen Vorder- und
Rückseite entstehende Differenzdruck ist dabei proportional zum Quadrat der Strömungsge
schwindigkeit. Zum Messen der Auslenkung der Membran können Dehnmeßstreifen, Piezo
elemente oder kapazitive Einrichtungen dienen. Der "Chip" des vorderen Tägerteils ent
spricht somit im Membranbereich einem Silizium-Drucksensorchip.
Eine bevorzugte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchflußmengen
messung schlägt Anspruch 11 vor. Die Grundidee besteht darin, den Differenzdrucksensor-
Chip nicht direkt am hinteren Trägerteil, insbesondere an der Leiterplatte anzubringen, son
dern das vordere Trägerteil im Sinne eines verlängerten Chips auszugestalten. Da somit der
Differenzdrucksensor und damit die Meßstelle einen weiten Abstand zu der Verbindungs
stelle zwischen dem vorderen und dem hinteren Trägerteil aufweist, werden mechanische
Spannungen, welche von dieser Verbindungsstelle ausgehen, auf den Differenzdrucksensor
gemindert und damit die Meßgenauigkeit erhöht. Außerdem befindet sich der Chip direkt im
Medium, d. h. es ist kein Gehäuse um den eigentlichen Meß-Chip vorgesehen. Dadurch kön
nen sich auch keine Luftblasen anlagern, welche ansonsten zu Meßfehlern führen würden.
Schließlich besteht nicht die Gefahr des Verschließens durch Schmutz.
Vorzugsweise beträgt dabei gemäß Anspruch 12 die Gesamtlänge des vorderen Trägerteils
wenigstens das 1,5-fache, insbesondere wenigstens etwa das 2-fache der Länge des Bau
abschnittes des Differenzdrucksensors.
Eine Anwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung
schlägt Anspruch 13 vor. Indem zusätzlich ein Temperatursensor vorgesehen ist, kann die
Vorrichtung als Wärmemengenmesser verwendet werden. Dieser Temperatursensor ist vor
zugsweise ebenfalls auf dem Träger, insbesondere auf dem vorderen Trägerteil angeordnet.
Somit wird mittels dieses Temperatursensors unmittelbar die Temperatur des umströmen
den Mediums gemessen. Durch diese integrierte Temperaturmessung kann somit die Wär
memenge unmittelbar bestimmt werden. Bei dem Temperatursensor kann es sich um einen
Platin-Temperatursensor handeln. Auch ist es gemäß der Weiterbildung in Anspruch 14
möglich, einen temperaturabhängigen Silizium-Temperatursensor direkt im Differenzdurch
flußsensor zu implementieren.
Ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchflußmengenmes
sung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung als Verwendung eines Wärmemengen
messers wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beschrieben. In diesen zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht des Meßrohres mit dem Sensor
gehäuse;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des in der Längsmittellinie aufge
schnittenen Meßrohres der Fig. 1;
Fig. 3a und 3b perspektivische Ansichten des Sensorgehäuses von der Vor
derseite sowie von der Rückseite her;
Fig. 4 den in dem Sensorgehäuse eingebetteten, plattenartigen Trä
ger für den Differenzdrucksensor sowie weiterer elektronischer
Elemente.
Die Meßvorrichtung weist ein Meßrohr 1 auf, welches sich im mittleren Bereich vom Durch
messer her etwas verjüngt, um einen Venturi-Effekt zu erzielen. Dabei befindet sich in den
Fig. 1 und 2 die Einlaufseite links.
Die Wand 2 des Meßrohres 1 besitzt eine Öffnung 3 zur Aufnahme eines Sensorgehäuses
4. Dieses Sensorgehäuse 4 ist im wesentlichen zylinderförmig ausgebildet und weist einen
umfangsseitigen Anschlagring 5 auf. Dazu korrespondierend weist die Öffnung 3 im Meßrohr
1 eine ringförmige Gegenfläche 6 auf. Zwischen der Unterseite des Anschlagrings 5 und der
Wand 2 des Meßrohres 1 befindet sich in einer Ringausnehmung 7 ein Dichtelement 8 in
Form eines O-Ringes. Gehalten wird das Sensorgehäuse 4 in der Öffnung 3 durch einen
Sicherungsring 9, welcher in eine außenumfangsseitige Umfangsnut 10 in der Wand 2 greift.
In dem Sensorgehäuse 4 ist ein plattenförmiger Träger 11 für einen Differenzdrucksensor 12
sowie weiterer elektronischer Elemente eingebettet. Dieser Träger 11 ist in Fig. 4 als sepa
rates Teil alleine dargestellt. Der Träger 11 besteht aus einer hinteren Leiterplatte 13 sowie
aus einem vorderen Trägerteil 14 in Form eines Silizium-Drucksensorchips. In diesem vorde
ren Trägerteil 14 ist ein rechteckiges Fenster 15 ausgespart, in welchem eine Membrane 16
angeordnet ist. Die Rückseite (Fig. 3b) weist Brückenwiderstände des Drucksensors auf.
Außerdem ist auf diesem vorderen Trägerteil 14 ein Platin-Temperatursensor 17 angeord
net. Zwischen dem vorderen Trägerteil 14 und der hinteren Leiterplatte 13 ist im Übergangs
bereich eine vergossene Bondung angeordnet. Die Leiterplatte 13 trägt eine vergossene
integrierte Schaltung 19 sowie Leiterbahnen 20. Das hintere Ende der Leiterplatte 13 ragt
mit seinen Leiterbahnen 20 aus dem Sensorgehäuse 4 heraus und definiert einen Anschluß
21 für eine externe elektronische Auswerteeinheit.
Die Funktionsweise der Meßeinrichtung ist wie folgt:
Der Differenzdrucksensor 12 ragt ins Innere des Meßrohres 1. Dieser wird mit einer entspre chenden Schaltung kalibriert. Dazu trägt auch der zusätzliche Temperatursensor 17 bei, um die Temperaturkompensation durchführen zu können. Die Kalibierung des Differenzdruck sensors 12 kann in einem automatischen System erfolgen. Die Daten werden anschließend in dem entsprechenden Chip auf der Leiterplatte 13 abgelegt. Die Daten können auch in der Elektronik des Gesamtsystems integriert werden, beispielsweise im Wärmemengenzähler µProzessor. Für eine tauschbare Sensoreinheit vor Ort ist es jedoch notwendig, die Kali brierwerte direkt im Sensormodul zu haben. Es ist aber auch möglich, bereits im Sensormo dul einen Prozessor zur Vorverarbeitung des Meßsignals einzubauen.
Der Differenzdrucksensor 12 ragt ins Innere des Meßrohres 1. Dieser wird mit einer entspre chenden Schaltung kalibriert. Dazu trägt auch der zusätzliche Temperatursensor 17 bei, um die Temperaturkompensation durchführen zu können. Die Kalibierung des Differenzdruck sensors 12 kann in einem automatischen System erfolgen. Die Daten werden anschließend in dem entsprechenden Chip auf der Leiterplatte 13 abgelegt. Die Daten können auch in der Elektronik des Gesamtsystems integriert werden, beispielsweise im Wärmemengenzähler µProzessor. Für eine tauschbare Sensoreinheit vor Ort ist es jedoch notwendig, die Kali brierwerte direkt im Sensormodul zu haben. Es ist aber auch möglich, bereits im Sensormo dul einen Prozessor zur Vorverarbeitung des Meßsignals einzubauen.
Durch die Strömung innerhalb des Meßrohres 1 wölbt sich die Membrane 16. Zwischen der
Vorder- und Rückseite entsteht ein Differenzdruck, welcher proportional zum Quadrat der
Strömungsgeschwindigkeit ist. Die Auslenkung der Membrane 16 kann mittels eines Dehn
meßstreifens oder auf andere Art und Weise gemessen werden.
Durch Lösen des Sicherungsringes 9 kann das Sensorgehäuse 4 entnommen und ein ande
rer Sensor auf einfache Weise eingesetzt werden.
1
Meßrohr
2
Wand
3
Öffnung
4
Sensorgehäuse
5
Anschlagring
6
Gegenfläche
7
Ringausnehmung
8
Dichtelement
9
Sicherungsring
10
Umfangsnut
11
Träger
12
Differenzdrucksensor
13
Leiterplatte
14
vorderes Trägerteil
15
Fenster
16
Membran
17
Temperatursensor
18
Bondung
19
integrierte Schaltung
20
Leiterbahn
21
Anschluß
Claims (14)
1. Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung
mit einem Meßrohr (1), durch welches das Medium fließt,
mit einer Öffnung (3) in der Wand (2) des Meßrohres (1),
mit einem modulartigen, in der Öffnung (3) auswechselbar angeordneten sowie einen Differenzdrucksensor (12) tragenden Sensorgehäuse (4), welches umfangsseitig einen Anschlagring (5) aufweist, welcher beim Hineinstecken des Sensorgehäuses (4) in die Öffnung (3) an einer Gegenfläche (6) des Meßrohres (1) anliegt, sowie
mit einem Dichtelement (8),
dadurch gekennzeichnet,
daß das Sensorgehäuse (4) direkt in einer der Öffnung (3) zugeordneten Ausnehmung in der Wand (2) der Meßrohres (1) angeordnet ist,
daß zwischen der Unterseite des Anschlagrings (5) und dem Meßrohr (1) ein Dichtele ment (8) angeordnet ist und
daß oberhalb des Anschlagrings (5) in einer Umfangsnut (10) der Öffnung (3) ein Siche rungsring (9) angeordnet ist, wobei dieser den Anschlagring (5) übergreift.
mit einem Meßrohr (1), durch welches das Medium fließt,
mit einer Öffnung (3) in der Wand (2) des Meßrohres (1),
mit einem modulartigen, in der Öffnung (3) auswechselbar angeordneten sowie einen Differenzdrucksensor (12) tragenden Sensorgehäuse (4), welches umfangsseitig einen Anschlagring (5) aufweist, welcher beim Hineinstecken des Sensorgehäuses (4) in die Öffnung (3) an einer Gegenfläche (6) des Meßrohres (1) anliegt, sowie
mit einem Dichtelement (8),
dadurch gekennzeichnet,
daß das Sensorgehäuse (4) direkt in einer der Öffnung (3) zugeordneten Ausnehmung in der Wand (2) der Meßrohres (1) angeordnet ist,
daß zwischen der Unterseite des Anschlagrings (5) und dem Meßrohr (1) ein Dichtele ment (8) angeordnet ist und
daß oberhalb des Anschlagrings (5) in einer Umfangsnut (10) der Öffnung (3) ein Siche rungsring (9) angeordnet ist, wobei dieser den Anschlagring (5) übergreift.
2. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Sensorgehäuse (4) im wesentlichen zylinderförmig ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Sensorgehäuse (4) drehcodiert in der Öffnung (3) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der an dem Sensorgehäuse (4) angeordnete Differenzdrucksensor (12) flügelartig
in das Meßrohr (1) ragt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Differenzdrucksensor (12) an einem Träger (11) angeordnet ist, welcher mit
seinem hinteren Ende in dem Sensorgehäuse (4) eingebettet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Träger (11) zumindest teilweise im wesentlichen plattenförmig ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Träger (11) aus zwei miteinander verbundenen Teilen gebildet ist, nämlich ei
nem vorderen Trägerteil (14) insbesondere aus Silizium für den Differenzdrucksensor
(12) sowie einem hinteren Trägerteil insbesondere in Form einer Leiterplatte (13).
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß das rückseitige Ende des Trägers (11) aus dem Sensorgehäuse (4) herausgeführt ist und als Anschluß (21) für ein Anschlußkabel dient oder
daß am rückseitigen Ende des Trägers (11) direkt ein Anschlußkabel angelötet ist.
daß das rückseitige Ende des Trägers (11) aus dem Sensorgehäuse (4) herausgeführt ist und als Anschluß (21) für ein Anschlußkabel dient oder
daß am rückseitigen Ende des Trägers (11) direkt ein Anschlußkabel angelötet ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß in dem in das Meßrohr (1) ragenden Träger (11) ein Fenster (15) ausgebildet ist, in
dem der Differenzdrucksensor (12) angeordnet ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Differenzdrucksensor (12) durch eine Membrane (16) gebildet ist, deren Aus
lenkung gemessen wird.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Differenzdrucksensor (12) im Bereich des vorderen, freien Endes des vorderen Trägerteils (14) angeordnet ist und
daß die Gesamtlänge des vorderen Trägerteils (14) größer ist als die Länge des Bauab schnittes des Differenzdrucksensors (12) in Längserstreckung des vorderen Trägerteils (14) gesehen.
daß der Differenzdrucksensor (12) im Bereich des vorderen, freien Endes des vorderen Trägerteils (14) angeordnet ist und
daß die Gesamtlänge des vorderen Trägerteils (14) größer ist als die Länge des Bauab schnittes des Differenzdrucksensors (12) in Längserstreckung des vorderen Trägerteils (14) gesehen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Gesamtlänge des vorderen Trägerteils (14) wenigstens das 1,5-fache, insbe
sondere wenigstens etwa das 2-fache der Länge des Bauabschnittes des Differenz
drucksensors (12) beträgt.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zusätzlich ein Temperatursensor (17) vorgesehen ist und
daß die Vorrichtung als Wärmemengenmesser verwendet wird.
daß zusätzlich ein Temperatursensor (17) vorgesehen ist und
daß die Vorrichtung als Wärmemengenmesser verwendet wird.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Temperatursensor (17) durch einen im vorderen Silizium-Trägerteil (14) imple
mentierten Siliziumsensor gebildet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001114576 DE10114576C2 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE2001114576 DE10114576C2 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10114576A1 DE10114576A1 (de) | 2002-10-02 |
DE10114576C2 true DE10114576C2 (de) | 2003-01-23 |
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ID=7678920
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DE2001114576 Expired - Fee Related DE10114576C2 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Vorrichtung zur Durchflußmengenmessung von fließfähigen Medien in einer Rohrleitung |
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DE (1) | DE10114576C2 (de) |
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DE102012223889A1 (de) | 2012-12-20 | 2014-06-26 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung zur pneumatischen oder hydraulischen Druckmessung |
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- 2001-03-24 DE DE2001114576 patent/DE10114576C2/de not_active Expired - Fee Related
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