DE10106135B4 - Verfahren zur Herstellung von galvanisch abformbaren Negativformen mikrostukturierter Körper,insbesondere Zahnräder - Google Patents
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
DE3537483C1 (de) * | 1985-10-22 | 1986-12-04 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe | Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenfoermiger Mikrostrukturkoerper aus Metall |
DE3842611C1 (de) * | 1988-12-17 | 1990-02-22 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
DE4010669C1 (de) * | 1990-04-03 | 1991-04-11 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
DE4219667A1 (de) * | 1992-06-16 | 1993-12-23 | Kernforschungsz Karlsruhe | Werkzeug und Verfahren zur Herstellung einer mikrostrukturierten Kunststoffschicht |
US5543108A (en) * | 1992-07-11 | 1996-08-06 | Forschungzentrym Karlsruhe Gmbh | Method of making microstructured bodies of plastic material |
WO1998039501A1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-09-11 | INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH | Verfahren zur herstellung und magazinierung mindestens eines metallischen mikrobauteils |
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VOLLMER,H. et al.: Untersuchungen zur Herstellung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit extremer Strukturhöhe durch Abformung mit Kunststoff im Vakuum-Reaktionsgießverfahren. In: KfK Bericht 4267 des Kernforschungszentrums Karlsruhe, Mai 1987 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012206097A1 (de) * | 2012-04-13 | 2013-10-17 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Metallstrukturen durch Abformung und Galvanik |
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