DE10104373A1 - Verfahren zur Funktionskontrolle einer Positionsmesseinrichtung und Positionsmesseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Funktionskontrolle einer Positionsmesseinrichtung und Positionsmesseinrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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Abstract
Zur Funktionskontrolle einer inkrementalen Positionsmesseinrichtung wird aus den Abtastsignalen (A, B, C, D) durch Interpolation ein Positionsmesswert (P1) gebildet. Erfindungsgemäß wird in einem zweiten Schritt aus den vorhandenen Abtastsignalen (A, B, C, D) ein weiterer Positionsmesswert (P2) synthetisch gebildet, indem der Interpolationseinheit (6) die Abtastsignale (A, B, C, D) in einer anderen Verknüpfung zugeführt werden. Die beiden Positionsmesswerte (P1, P2) werden miteinander verglichen und in Abhängigkeit des Vergleichsergebnisses wird ein Fehlersignal (R) abgegeben (Figur 1b).
Description
Positionsmesseinrichtungen werden in Form von Winkel- und Längenmess
einrichtungen in der Werkzeugmaschinenindustrie und in anderen Ferti
gungs-, Handhabungs- und Prüfsystemen breit eingesetzt. Für alle Einsatz
fälle gewinnt vermehrt eine hohe Funktionssicherheit an Bedeutung, da ein
Fehlbetrieb erhebliche Schäden hervorrufen kann. Es gibt bereits mehrere
Lösungsvorschläge, um mittels Überwachungstests eine rechtzeitige Fehler
erkennung der Positionsmesseinrichtung zu erhalten und damit Folgeschä
den abzuwenden.
In der DE 28 25 842 C2 und der US 3,725,904 ist ein Verfahren sowie eine
Einrichtung zur Überwachung der Richtigkeit des erfassten Positionsmess
wertes beschrieben. Zur Abtastung einer Codierung bzw. Teilung sind zwei
um einen vorgegebenen Abstand zueinander versetzt angeordnete Abtast
einheiten vorgesehen. Die zwei Positionsmesswerte der beiden Abtastein
heiten werden miteinander verglichen und eine Positionsdifferenz gebildet.
Diese gemessene Differenz der Positionsmesswerte wird mit der durch die
geometrische Anordnung der Abtasteinheiten vorgegebene Solldifferenz
verglichen und in Abhängigkeit des Vergleichsergebnisses wird ein Fehler
signal ausgegeben.
Diese Maßnahme hat den Nachteil, dass eine redundante Abtasteinheit er
forderlich ist, was die Baugröße und den Bauteileaufwand erhöht.
Bei der Positionsmesseinrichtung gemäß der DE 40 09 749 A1 ist zur Funk
tionskontrolle nur eine Abtasteinheit erforderlich. Die Abtasteinheit wird zur
Durchführung des Prüfverfahrens um einen durch Anschläge fest vorgege
benen Weg verfahren und der dabei gemessene Weg wird mit dem durch
die Anschläge vorgegebenen Weg verglichen. Bei einer Abweichung wird
ein Fehlersignal erzeugt.
Der Nachteil dieser Maßnahme ist das Vorsehen von mechanischen An
schlägen und das Vorsehen eines zusätzlichen Antriebs, was die Baugröße
erheblich vergrößert.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Funktionskontrolle
einer Positionsmesseinrichtung anzugeben, das einfach durchführbar ist und
das die Baugröße der Positionsmesseinrichtung nicht bzw. nur unwesentlich
vergrößert.
Diese Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 angegebene Verfahren gelöst.
Die Positionsmesseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist im An
spruch 5 angegeben.
Durch die erfindungsgemäßen Maßnahme kann auf einfache Weise eine
Fehlfunktion der Detektorelemente der Abtasteinheit sowie Fehlfunktionen
der elektrischen Bauteile in den einzelnen Abtastkanälen, insbesondere der
Verstärker und Trigger erkannt werden.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den abhängigen An
sprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher
erläutert.
Es zeigen
Fig. 1a ein erstes Ausführungsbeispiel einer Positi
onsmesseinrichtung in einem ersten Kontroll
zustand,
Fig. 1b die Positionsmesseinrichtung gemäß Fig. 1a
in einem zweiten Kontrollzustand;
Fig. 2a eine weitere Positionsmesseinrichtung in einem
ersten Kontrollzustand und
Fig. 2b die weitere Positionsmesseinrichtung in einem
zweiten Kontrollzustand.
In den Fig. 1a und 1b ist ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung
dargestellt. Die Positionsmesseinrichtung besteht aus einer lichtelektrisch
abtastbaren Teilung 1, die von einer Lichtquelle 2 beleuchtet wird und von
einer Abtasteinheit 3 zur Erzeugung von positionsabhängigen elektrischen
Abtastsignalen A, B, C, D abgetastet wird. Die Teilung 1 ist eine inkremen
tale, also periodische Markierung, so dass das von der Lichtquelle 2 ausge
sandte Licht periodisch moduliert auf gegeneinander versetzt angeordnete
Detektorelemente 3A, 3B, 3C, 3D der Abtasteinheit 3 trifft und analoge si
nusförmige Abtastsignale A = a + sinα; B = a - sinα; C = a + cosα; D = a -
cosα erzeugt werden. In bekannter Weise sind die periodischen Abtastsig
nale A, B, C, D gegeneinander jeweils um 90° phasenverschoben, mit der
Phasenlage A = 0°, B = 180°, C = 90°, D = 270°.
Zur Eliminierung des Gleichlichtanteils a sind die gegenphasigen Abtastsig
nale A, B und C, D jeweils in Differenz geschaltet, wozu Differenzverstärker
4, 5 vorgesehen sind, an deren Ausgang die Differenzsignale E = A - B =
sinα und F = C - D = cosα anstehen. Diese Differenzsignale E und F werden
einer Auswerteeinheit in Form einer Interpolationseinheit 6 zugeführt, welche
aus der Phasenlage der Differenzsignale E, F in bekannter Weise einen ab
soluten Positionsmesswert P1 innerhalb einer Periode der periodischen Dif
ferenzsignale E, F bildet und diesen in einer Vergleichseinrichtung 7 abspei
chert. Dieser Betrieb der Positionsmesseinrichtung ist in Fig. 1a dargestellt.
Der absolute Positionsmesswert P1 wird in der Interpolationseinheit 6 bei
spielsweise nach der Beziehung P1 = arctan E/F berechnet. Die Interpola
tion kann aber auch durch Auslesen von Tabellenwerten erfolgen.
Zur Funktionskontrolle der Positionsmesseinrichtung ist eine Umschaltein
richtung 8 vorgesehen, welche die Abtastsignale A, B, C, D in einer anderen
Verknüpfung an die Interpolationseinheit 6 anlegt. Dieser Zustand ist in Fig.
1b dargestellt. Mittels der Schalter 81, 82, 83, 84 werden die Abtastsignale
A, B, C, D an andere Eingänge der Differenzverstärker 4, 5 gelegt, so dass
vom Differenzverstärker 4 das Differenzsignal F = C - D und vom Differenz
verstärker 5 das Differenzsignal K = B - A gebildet wird. In diesem Zustand
bildet die Interpolationseinheit 6 einen zweiten absoluten Positionsmesswert
P2 innerhalb einer Periode der periodischen Differenzsignale F, K nach der
Beziehung P2 = arctan F/K. Dieser zweite Positionsmesswert P2 ist also
sozusagen ein synthetisch erzeugter Positionsmesswert P2, der nach einer
vom eigentlichen Messbetrieb gemäß Fig. 1a abweichenden Verknüp
fungsregel der Abtastsignale A, B, C, D erzeugt wird. Auch dieser Positi
onsmesswert P2 wird der Vergleichseinrichtung 7 zugeführt und dort abge
speichert.
In der Vergleichseinrichtung 7 werden beide Positionsmesswerte P1 und P2
miteinander verglichen und auf Sollabstand geprüft. Im erläuterten Beispiel
muss bei korrekter Betriebsweise P2 = P1 - T/4 sein, mit T = Signalperiode
der Differenzsignale E, F, K. Wird eine Signalperiode (360°) beispielsweise
in 256 gleiche Teile unterteilt (Interpolationsfaktor = 256), dann muss bei
einem fehlerfreien Betrieb aller Bauelemente, die zur Erzeugung der Abtast
signale A, B, C, D sowie E, F, K beitragen der Vergleich P2 = P1 - 64 erge
ben. Liegt dieses Vergleichsergebnis nicht innerhalb eines vorgegebenen
Toleranzbereiches, wird ein Fehlersignal R abgegeben.
Der Vorteil der Erfindung ist, dass eine Funktionskontrolle im Stillstand, das
heißt ohne Relativbewegung zwischen der Teilung 1 und der Abtasteinheit 3
möglich ist. In die Funktionskontrolle sind alle Bauelemente der einzelnen
Abtastkanäle zur Erzeugung der einzelnen Abtastsignale A, B, C, D, E, F, K
sowie auch die Interpolationseinheit 6 mit einbezogen.
In den Fig. 2a und 2b ist ein zweites Ausführungsbeispiel dargestellt.
Fig. 2a zeigt die Positionsmesseinrichtung im normalen Messbetrieb wie
gemäß Fig. 1a. Die Schalter 81, 82 dienen dazu, um in einem zweiten Zu
stand die Abtastsignale A und D dem ersten Differenzverstärker 4 zuzufüh
ren, so dass an dessen Ausgang das Differenzsignal A - D = G ansteht und
die Abtastsignale C und A dem zweiten Differenzverstärker 5 zuzuführen, so
dass an dessen Ausgang das Differenzsignal C - A = H ansteht. In diesem
Zustand bildet die Interpolationseinheit 6 einen zweiten absoluten Positi
onsmesswert P3 innerhalb einer Periode der periodischen Differenzsignale
G und H nach der Beziehung P3 = arctan G/H. Dieser zweite Positions
messwert ist der synthetisch erzeugte Positionsmesswert P3, der nach einer
vom eigentlichen Messbetrieb abweichenden Verknüpfungsregel der Abtast
signale A, B, C, D erzeugt wird.
In der Vergleichseinrichtung 7 werden beide Positionsmesswerte P1 und P3
miteinander verglichen und auf Sollabstand geprüft. In diesem zweiten Bei
spiel muss bei korrekter Betriebsweise P3 = P1 - T/8 sein, mit T = Signal
periode der Differenzsignale G und H. Wird eine Signalperiode (360°) bei
spielsweise in 256 gleich große Teile unterteilt, dann muss bei einem fehler
freien Betrieb aller Bauelemente, die zur Erzeugung der Abtastsignale A, B,
C, D sowie G und H beitragen der Vergleich P3 = P1-32 ergeben.
Das Verfahren zur Funktionskontrolle erfolgt vorzugsweise während der In
betriebnahme der Positionsmesseinrichtung, es kann aber auch während
des Messbetriebes erfolgen, und zwar in Zeiträumen, in denen von einer
externen Folgeelektronik keine Positionsmesswerte zur Positionierung eines
Maschinenteils angefordert werden. Die erfindungsgemäße Funktionskon
trolle erfolgt vorzugsweise innerhalb der Positionsmesseinrichtung.
Bei allen Ausführungsbeispielen können anstelle analoger Abtastsignale A
bis H auch digitalisierte Abtastsignale zur Funktionskontrolle dienen.
Zur Erläuterung der Funktionsweise der Erfindung ist die Umschalteinrich
tung 8 mit diskreten Schaltern 81 bis 84 dargestellt. In der Praxis wird diese
Umschalteinrichtung 8 als Software Bestandteil der Interpolationseinheit 6
sein.
Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen lichtelektrischen Positions
messeinrichtungen beschränkt, sie ist auch bei magnetischen, induktiven
sowie kapazitiven Längen- sowie Winkelmesseinrichtungen einsetzbar. Die
Erfindung ist nur anhand der Abtastung einer Teilung 1 erörtert. Sie kann
selbstverständlich auch bei mehrspurigen absoluten Positionsmesseinrich
tungen eingesetzt werden, wobei jede Spur eine periodische Teilung dar
stellt und die Abtasteinheiten der einzelnen Teilungsspuren gemäß der Er
findung geprüft werden.
Claims (6)
1. Verfahren zur Funktionskontrolle einer Positionsmesseinrichtung mit
einer relativ zu einer Teilung (1) verschiebbaren Abtasteinheit (3), wobei
die Abtasteinheit (3) mehrere Detektorelemente (3A, 3B, 3C, 3D) besitzt
und an einer momentanen Relativlage zwischen Teilung (1) und Abtast
einheit (3) mehrere Abtastsignale (A, B, C, D) erzeugt, wobei das Ver
fahren folgende Verfahrensschritte aufweist:
- - Bildung eines ersten Positionsmesswertes (P1) aus den Abtastsig nalen (A, B, C, D) nach einer ersten Verknüpfungsregel;
- - Bildung eines zweiten Positionsmesswertes (P2; P3) aus den Ab tastsignalen (A, B, C, D) nach einer zweiten von der ersten abwei chenden Verknüpfungsregel;
- - Vergleich des ersten Positionsmesswertes (P1) mit dem zweiten Positionsmesswert (P1, P2; P1, P3) und
- - Erzeugen eines Fehlersignals (R) in Abhängigkeit des Vergleichs ergebnisses.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtast
einheit (3) vier um jeweils 90° gegeneinander phasenverschobene Ab
tastsignale
A = a + sinα
B = a - sinα
C = a + cosα
D = a - cosα
erzeugt.
A = a + sinα
B = a - sinα
C = a + cosα
D = a - cosα
erzeugt.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste
Positionsmesswert (P1) nach folgender Verknüpfungsregel gebildet
wird:
und dass der zweite Positionsmesswert (P2) nach folgender Verknüp fungsregel gebildet wird:
und dass der zweite Positionsmesswert (P2) nach folgender Verknüp fungsregel gebildet wird:
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste
Positionsmesswert (P1) nach folgender Verknüpfungsregel gebildet
wird:
und dass der zweite Positionsmesswert (P3) nach folgender Verknüp fungsregel gebildet wird:
und dass der zweite Positionsmesswert (P3) nach folgender Verknüp fungsregel gebildet wird:
5. Positionsmesseinrichtung mit
einer relativ zu einer Teilung (1) verschiebbaren Abtasteinheit (3), wobei die Abtasteinheit (3) mehrere Detektorelemente (3A, 3B, 3C, 3D) besitzt, um an einer momentanen Relativlage zwischen Teilung (1) und Abtasteinheit (3) mehrere Abtastsignale (A, B, C, D) zu er zeugen;
einer Auswerteeinheit (6) an der die Abtastsignale (A, B, C, D) anlie gen und die aus den Abtastsignalen (A, B, C, D) einen Positions messwert (P1) nach einer ersten Verknüpfungsregel und einen Po sitionsmesswert (P2; P3) nach einer zweiten Verknüpfungsregel bildet;
einer Vergleichseinrichtung (7), der die nach der ersten und zweiten Verknüpfungsregel gebildeten Positionsmesswerte (P1, P2; P3) zu geführt sind und die beide Positionsmesswerte (P1, P2; P1, P3) vergleicht und in Abhängigkeit des Vergleichsergebnisses ein Feh lersignal (R) erzeugt.
einer relativ zu einer Teilung (1) verschiebbaren Abtasteinheit (3), wobei die Abtasteinheit (3) mehrere Detektorelemente (3A, 3B, 3C, 3D) besitzt, um an einer momentanen Relativlage zwischen Teilung (1) und Abtasteinheit (3) mehrere Abtastsignale (A, B, C, D) zu er zeugen;
einer Auswerteeinheit (6) an der die Abtastsignale (A, B, C, D) anlie gen und die aus den Abtastsignalen (A, B, C, D) einen Positions messwert (P1) nach einer ersten Verknüpfungsregel und einen Po sitionsmesswert (P2; P3) nach einer zweiten Verknüpfungsregel bildet;
einer Vergleichseinrichtung (7), der die nach der ersten und zweiten Verknüpfungsregel gebildeten Positionsmesswerte (P1, P2; P3) zu geführt sind und die beide Positionsmesswerte (P1, P2; P1, P3) vergleicht und in Abhängigkeit des Vergleichsergebnisses ein Feh lersignal (R) erzeugt.
6. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
dass die Auswerteeinheit eine Interpolationseinheit (6) ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10104373A DE10104373B4 (de) | 2000-12-06 | 2001-02-01 | Verfahren zur Funktionskontrolle einer Positionsmesseinrichtung und Positionsmesseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10060572 | 2000-12-06 | ||
DE10060572.9 | 2000-12-06 | ||
DE10104373A DE10104373B4 (de) | 2000-12-06 | 2001-02-01 | Verfahren zur Funktionskontrolle einer Positionsmesseinrichtung und Positionsmesseinrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10104373A1 true DE10104373A1 (de) | 2002-06-13 |
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Family
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---|---|---|---|
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