DE10040192B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom Download PDF

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Abstract

Verfahren zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom, insbesondere einer Strömungsdrossel für Luftlager, mit den Schritten:
a) Bereitstellen eines Drosselkörpers (4),
b) Bohren einer Durchgangsbohrung (44) in den Drosselkörper (4) mittels eines energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei einer vorgegebenen Druckdifferenz,
c) Vergleichen des gemessenen Wertes für den Gasdurchfluß durch die Drossel mit einem vorgegebenen Durchflußwert,
d) Wiederholen der Schritte b) bis d), falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der vorgegebene Durchflußwert.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom sowie eine Vorrichtung zur Herstellung einer derartigen Drossel. Diese Drosseln werden bevorzugt als Strömungsdrosseln in Luftlagern eingesetzt.
  • Die Eigenschaften von Luftlagern werden unter anderem durch den Luftverbrauch bestimmt. Konventionelle Luftlager weisen häufig große Düsen, zumeist Uhrensteine, für den Eintritt der Luft in die Lagerfläche auf. Um bei diesen großen Düsen den Luftverbrauch zu reduzieren, werden dort üblicherweise Vordrosseln eingesetzt. Derartige bekannte Vordrosseln werden in der Regel durch spanende Bearbeitung hergestellt, wobei diese spanende Bearbeitung mehrmals unterbrochen wird, um den Durchfluß der Vordrossel zu messen und um die Vordrossel bis zum Erreichen eines gewünschten Durchflußwerts zu bearbeiten. Durch diese Bearbeitungsweise ergibt sich eine breite Streuung der erzielten Drosselwirkung, so daß die herkömmlich hergestellten Drosseln vor einem Einbau nach Qualitätsgesichtspunkten sortiert werden müssen, wobei ein nicht unerheblicher Teil als Ausschuß aussortiert werden muß.
  • Aus der EP 0 713 745 A1 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen von mit Öffnungen versehenen Komponenten bekannt, wobei ein Laserstrahl durch eine Düse auf die zu bearbeitende Oberfläche fokussiert wird. Durch diese Düse tritt während des Bohrvorgangs Sauerstoff aus, der auf die zu bearbeitende Oberfläche auftrifft, wobei der Rückstaudruck des Sauerstoffs in der Düse gemessen wird und wobei die Laserparameter aufgrund dieses gemessenen Rückstaus während des Bohrvorgangs verändert werden. Aus dem gemessenen Rückstaudruck wird auf die Größe der aktuell hergestellten Bohrung geschlossen. Ein Anwendungsgebiet für dieses Verfahren ist die Herstellung von Kühlbohrungen in Gasturbinenkomponenten. Die Messung des Rückstaudrucks kann mit ausreichender Genauigkeit nur bei der Herstellung von verhältnismäßig großen Bohrungen genutzt werden. Einen exakten Wert für den tatsächlichen Durchfluß durch die erstellte Öffnung liefert dieses Verfahren nicht. Es ist somit zur Herstellung von Vordrosseln für Luftlager gänzlich ungeeignet, da bei diesen ein verhältnismäßig kleiner Durchfluß eingestellt werden muß.
  • Ein weiteres Verfahren zur Herstellung einer mit Öffnungen versehenen Komponente, das ebenfalls zur Herstellung von Kühlöffnungen in Gasturbinenkomponenten verwendet wird, ist aus der EP 0 417 917 A1 bekannt. Bei diesem Verfahren wird zunächst eine erste Öffnung oder eine erste Anzahl von Öffnungen mittels eines Laserbohrers erstellt. Danach wird in einem nächsten Arbeitsschritt der durch diese Öffnung beziehungsweise diese erste Anzahl von Öffnungen hindurchtretende Gasdurchfluß gemessen und mit einem vorgegebenen Wert verglichen. Anschließend werden die Laserparameter in Abhängigkeit des Meßergebnisses zur Herstellung einer weiteren Öffnung beziehungsweise einer weiteren Anzahl von Öffnungen verändert und die weitere Öffnung beziehungsweise die weitere Anzahl von Öffnungen wird gebohrt. Dieses Vorgehen wird wiederholt bis das gewünschte Durchflußergebnis erreicht ist. Bei diesem Verfahren hat jede neue Öffnung beziehungsweise jede Öffnung einer neuen Anzahl von Öffnungen eine individuelle Größe. Durch Verändern der Laserleistung, der Pulsdauer und der Brennweite werden damit unterschiedlich große Öffnungen beispielsweise in der Haut einer Turbinenschaufel erzeugt. Dieses Verfahren ist wegen der zwischen die einzelnen Bearbeitungsschritte eingefügten Meßschritte und Berechnungs- sowie Veränderungsschritte zur Anpassung der Laserparameter verhältnismäßig zeitaufwendig.
  • Die US-A 5,726,411 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines zylindrischen Werkstücks mit einer Vielzahl von Löchern in dessen Umfangswandung mittels eines Lasers, wobei zunächst eine erste Gruppe von Löchern mit einer ersten Querschnittsfläche gebohrt wird, wobei dann der Durchfluß durch diese Löcher gemessen wird und wobei in Abhängigkeit von einem Unterschied dieses gemessenen Durchflusses von einem vorgegebenen Durchflußwert eine zweite Gruppe von Löchern mit einer anderen Querschnittsfläche gebohrt wird.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom, insbesondere einer Strömungsdrossel für Luftlager, sowie eine Vorrichtung zur Herstellung einer entsprechenden Drossel zu schaffen, wobei die Herstellung der Drossel mit höherer Genauigkeit und damit weniger Ausschuß in einem vereinfachten Fertigungsprozeß ermöglicht ist.
  • Die das Verfahren betreffende Aufgabe wird gemäß Anspruch 1 gelöst durch ein Verfahren mit den Schritten:
    • a) Bereitstellen eines Drosselkörpers,
    • b) Bohren einer Durchgangsbohrung in den Drosselkörper mittels eines energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei einer vorgegebenen Druckdifferenz,
    • c) Vergleichen des gemessenen Wertes für den Gasdurchfluß mit einem vorgegebenen Durchflußwert,
    • d) Wiederholen der Schritte b) bis d), falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der vorgegebene Durchflußwert.
  • Durch die Erstellung der Durchgangsbohrungen mittels eines energiereichen Strahls lassen sich sehr kleine hochgenaue Durchgangsbohrungen in den Drosselkörper einbringen, so daß durch das konsekutive Einbringen von Durchgangsbohrungen in den Drosselkörper eine genaue Annäherung an einen für einen vorgegebenen Durchfluß erforderlichen Gesamt-Öffnungsquerschnitt möglich ist. Durch das während des Bohrens durchgeführte gleichzeitige Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel steht während der Bearbeitung der Drossel ständig ein aktueller Wert für den erzielten Gasdurchfluß zur Verfügung und das Bohren weiterer Durchgangsbohrungen kann dann eingestellt werden, wenn ein vorgegebener Durchflußwert erreicht ist.
  • Kern des erfindungsgemäßen Verfahrens ist damit ein durch das nacheinander erfolgende Einbringen weiterer Durchgangsbohrungen realisiertes stufenweises Herantasten an den vorgegebenen Durchflußwert.
  • Im Gegensatz zum Stand der Technik, bei dem der Bohrungsdurchmesser der jeweiligen Bohrungen verändert wird, wird bei der vorliegenden Erfindung lediglich die Anzahl der Bohrungen variiert. Diese Vorgehensweise erlaubt eine schnellere Einbringung der Bohrungen in den Drosselkörper und sorgt gleichzeitig für homogenere Strömungsverhältnisse in den Durchgangsbohrungen.
  • Wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens im Schritt d) die Entscheidung für eine Wiederholung der Schritte b) bis d) getroffen, falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der um einen Toleranzwert verringerte vorgegebene Durchflußwert, so wird erreicht, daß der vorgegebene Durchflußwert ein Maximum darstellt, das von einer gemäß diesem Verfahren hergestellten Drossel nicht überschritten wird.
  • Alternativ wird die Aufgabe gemäß Anspruch 3 gelöst durch ein Verfahren mit den Schritten:
    • a) Bereitstellen eines Drosselkörpers,
    • b) Bohren einer ersten Durchgangsbohrung in den Drosselkörper mittels eines energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei einer vorgegebenen Druckdifferenz,
    • c) Bohren einer weiteren Durchgangsbohrung in den Drosselkörper mittels des energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei vorgegebener Druckdifferenz,
    • d) Vergleichen des im Schritt c) gemessenen Wertes für den Gasdurchfluß durch die Drossel mit einem vorgegebenen Durchflußwert,
    • e) Wiederholen der Schritte c) bis e), falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der vorgegebene Durchflußwert.
  • Wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens im Schritt e) die Entscheidung für eine Wiederholung der Schritte c) bis e) getroffen, falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der um einen Toleranzwert verringerte vorgegebene Durchflußwert, so wird erreicht, daß der vorgegebene Durchflußwert ein Maximum darstellt, das von einer gemäß diesem Verfahren hergestellten Drossel nicht überschritten wird.
  • Vorteilhafterweise ist der energiereiche Strahl ein Laserstrahl. Es sind jedoch auch andere energiereiche Strahlen wie zum Beispiel Elektronenstrahlen einsetzbar.
  • Weisen gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform alle Durchgangsbohrungen im wesentlichen den gleichen Durchmesser auf, so erfolgt das Herantasten an den vorgegebenen Durchflußwert auf lineare Weise, wodurch eine schnelle und genaue Bearbeitung der Drossel möglich ist.
  • Die Durchgangsbohrungen sind bevorzugt Mikrolöcher, welche einen Durchmesser im Bereich von 5 μm bis 60 μm aufweisen. Das Vorsehen derartiger Mikrolöcher gestattet ein Herantasten an den gewünschten Durchflußwert in äußerst kleinen Schritten und damit mit äußerst hoher Genauigkeit. Die Mikrolöcher sind vorzugsweise kegelförmig ausgebildet.
  • Weiter vorzugsweise weisen die Mikrolöcher einen Durchmesser von 30 μm auf.
  • Eine mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellte Drossel für einen Gasstrom, insbesondere eine Strömungsdrossel für Luftlager, umfaßt einen Drosselkörper, der eine Mehrzahl von Durchgangsbohrungen mit im wesentlichen dem gleichen Durchmesser aufweist. Eine derartige Drossel besitzt nicht nur einen sehr genauen Durchflußwert, sondern aufgrund der Mehrzahl von Durchgangsbohrungen auch eine im wesentlichen homogene Verteilung des Durchflusses über den Querschnitt der Drossel.
  • Der die Vorrichtung zur Herstellung einer Drossel betreffende Teil der Aufgabe wird gelöst von einer Vorrichtung zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom, insbesondere einer Strömungsdrossel für Luftlager mit einer Quelle für energiereiche Strahlen, einem Werkstückhalter, wobei der Werkstückhalter zum Einsetzen eines zu bearbeitenden Drosselrohlings ausgebildet ist und wobei der energiereiche Strahl auf einen zu bearbeitenden Abschnitt des in den Werkstückhalter eingesetzten Drosselrohlings fokussierbar ist und wobei der Werkstückhalter einen Luftkanal aufweist, der mit dem Aufnahmeabschnitt für den Drosselrohling in Fluidverbindung steht, einer Luftfördereinrichtung, die über eine mit einem Volumenstrommesser versehene Leitung mit dem Luftkanal im Werkstückhalter in Fluidverbindung steht, und wobei die Quelle für energiereiche Strahlen und/oder der Werkstückhalter in zumindest einer Ebene quer zur Ausbreitungsrichtung der energiereichen Strahlen translatorisch verfahrbar oder um zumindest eine Achse quer zur Ausbreitungsrichtung der energiereichen Strahlen verschwenkbar ist bzw. sind oder wobei der energiereiche Strahl um zumindest eine Achse quer zur Ausbreitungsrichtung der energiereichen Strahlen (L) ablenkbar ist.
  • Vorzugsweise ist die Quelle für energiereiche Strahlen von einer Laserquelle gebildet, sie kann aber auch von jeder anderen Quelle für energiereiche Strahlen, beispielsweise einer Elektronenstrahlquelle, gebildet sein.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Beispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; in dieser zeigt:
  • 1. den schematischen Aufbau einer Vorrichtung zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Drossel nach dem erfindungsgemäßen Verfahren und
  • 2. einen Vertikalschnitt durch einen Werkstückhalter der erfindungsgemäßen Vorrichtung aus 1.
  • In 1 ist der schematische Aufbau einer Vorrichtung zur Herstellung einer Drossel in perspektivischer Ansicht gezeigt. Eine Quelle 1 für energiereiche Strahlen ist im Beispiel von einem Laser gebildet. Der Laser ist mit einem in zwei orthogonal zueinander stehenden Richtungen X, Y translatorisch verfahrbaren Scankopf 2 derart verbunden, daß der vom Laser abgegebene Laserstrahl in den Scankopf 2 eintreten kann. Im Scankopf wird der Laserstrahl in eine Richtung senkrecht oder schräg zu der von den Translationsrichtungen X und Y aufgespannten Ebene trägheitsfrei umgelenkt, wodurch der Laserstrahl in kürzester Zeit neu positioniert werden kann und die Herstellung der Drossel weiter beschleunigt werden kann. Dieser umgelenkte Laserstrahl L tritt aus dem Scankopf 2 an dessen Unterseite aus und ist in Richtung eines unterhalb des Scankopfes angeordneten Werkstückhalters 3 gerichtet. Der Werkstückhalter 3 ist an seiner dem Scankopf 2 zugewandten Oberseite mit einer im gezeigten Beispiel zylindrischen Aufnahme 30 für ein Werkstück, nämlich für einen zu bearbeitenden Drosselrohling 4, versehen.
  • Die Aufnahme 30 ist von einem Bohrungsabschnitt bestimmt, dessen Bohrungsdurchmesser im wesentlichen dem Außendurchmesser des Drosselrohlings 4 entspricht. Der Bohrungsabschnitt 32 der Aufnahme 30 ist an seinem unteren Ende mit einer ringförmigen Stufe 34 versehen und geht dort in einen weiteren Bohrungsabschnitt 36 mit verringertem Durchmesser über. Auf diese Weise bildet die Stufe 34 eine Auflagefläche für den unteren Rand eines eingesetzten Drosselrohlings 4.
  • Vom Bohrungsabschnitt 36 geht eine seitliche Bohrung 38 aus, die zusammen mit den Bohrungsabschnitten 32 und 36 einen Luftkanal 39 bildet. Die Querbohrung 38 ist im Bereich ihrer Mündung in die seitliche Oberfläche des Werkstückhalters 3 mit einer Leitung 5 verbunden, die zu einer Luftfördereinrichtung 6 führt, die im gezeigten Beispiel von einem Kompressor gebildet ist.
  • In die Leitung 5 ist ein Volumenstrommesser 50 integriert, der den durch die Leitung 5 hindurchtretenden Luftvolumenstrom mißt und über eine Anzeigeeinrichtung 52 anzeigt. Anstelle des Kompressors, der Luft durch die Leitung 5 in den Luftkanal 39 des Werkstückhalters 3 fördert, kann auch eine Unterdruckquelle als Luftfördereinrichtung vorgesehen sein, die Luft aus dem Luftkanal 39 des Werkstückhalters 3 durch die Leitung 5 und durch den darin vorgesehenen Volumenstrommesser 50 saugt.
  • Der Drosselrohling 4 ist von einem zylindrischen Werkstück gebildet, das mit einer axialen Sacklochbohrung 40 versehen ist, die im in den Werkstückhalter 3 eingesetzten Zustand zum Scankopf 2 hin offen ist. Die geschlossene Seite des Drosselrohlings 4 bildet eine axiale Stirnwand 42, die auf der Stufe 34 im Werkstückhalter 3 aufliegt.
  • Der Drosselrohling 4 ist abdichtend in den Werkstückhalter 3 eingesetzt und vorzugsweise in diesen eingespannt, so daß im unbearbeiteten Zustand des im Werkstückhalter 3 befindlichen Drosselrohlings 4 keine Luft durch den Luftkanal 39 hindurchtreten kann. Der vom Volumenstrommesser 50 und von der Anzeigeeinrichtung 52 angezeigte Volumenstrom ist daher zunächst gleich 0 (Null) m3/s. Die Orientierung des Drosselrohlings 4 ist dabei nicht von Bedeutung.
  • Nachfolgend wird die Arbeitsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung und damit das erfindungsgemäße Verfahren geschildert.
  • Der Laserstrahl L wird zunächst auf eine erste Position auf der den Boden des Drosselrohlings 4 bildenden Stirnwand 42 fokussiert und es wird hier eine erste Düsenbohrung 44 mittels des Laserstrahls L in die Stirnwand 42 eingebracht. Sobald die Düsenbohrung 44 die Stirnwand 42 vollständig durchdringt, tritt aufgrund des vom Kompressor erzeugten Drucks Luft aus dem Bohrungsabschnitt 36 des Werkstückhalters 3 durch die erste Düsenbohrung 44 in den Sacklochabschnitt 40 des Drosselrohlings 4 ein und strömt von dort an die Umgebung ab. Der Volumenstrommesser 50 stellt in diesem Augenblick einen Luftvolumenstrom fest, der größer als 0 (Null) ist und zeigt diesen auf der Anzeigeeinrichtung 52 an. Im Normalfall wird durch das Erstellen einer ersten Düsenbohrung 44 der Soll-Volumenstrom noch nicht erreicht worden sein, so daß sich der Zeiger 54 der Anzeigeeinrichtung 52 noch im Minus-Bereich der Skala 56 der Anzeigeeinrichtung 52 befindet.
  • Daraufhin wird der Laserstrahl L zu einer zweiten Position abgelenkt, so daß er auf einen anderen Ort auf der den Boden des Drosselrohlings 4 bildenden Stirnseite 42 fokussiert wird, wo in der Folge eine zweite Düsenbohrung 46 erzeugt wird. Sobald die zweite Düsenbohrung 46 die axiale Stirnseite 42 des Drosselrohlings 4 durchdrungen hat, steigt der Volumenstrom in Luftkanal 39 an, was wiederum vom Anzeigeinstrument 52 angezeigt wird.
  • Dieser Vorgang des Ablenkens des Laserstrahls L im Scankopf 2 an einen neuen Ort und des Einbringens einer weiteren Düsenbohrung in die Stirnseite 42 des Drosselrohlings 4 wird solange fortgesetzt, bis nach Einbringen einer letzten Düsenbohrung 48 der Zeiger 54 des Anzeigeinstruments 52 auf der Skala 56 aus dem Minus-Bereich in den Soll-Bereich wechselt, wodurch die Bedienperson die Information erhält, daß der derzeit bearbeitete Drosselrohling 4 den vorgegebenen Durchsatzwert erreicht hat und der Bohrprozeß fertiggestellt ist.
  • Selbstverständlich kann anstelle des in diesem Beispiel beschriebenen Volumenstrommessers mit analoger Anzeige auch ein Volumenstrommesser mit einer digitalen Anzeige vorgesehen sein. Auch kann der Bohrprozeß so weit automatisiert werden, daß die Information des gemessenen Volumenstroms in einer Vergleichseinrichtung mit einem gespeicherten Soll-Volumenstromwert verglichen wird und anhand dieses Vergleichs ein Fortsetzungs-Signal oder ein Stopp-Signal an eine automatische Steuerung für den Laser 1 und den Scankopf 2 weitergeleitet wird.
  • Anstelle des ablenkbaren Laserstrahls kann auch ein in der von den Translationsrichtungen X und Y aufgespannten Ebene translatorisch verfahrbarer oder verschwenkbarer Scankopf 2 oder ein entsprechend translatorisch verfahrbarer oder verschwenkbarer Werkstückhalter 3 vorgesehen sein. Auch können beide, sowohl der Scankopf 2 als auch der Werkstückhalter 3, translatorisch verfahrbar oder verschwenkbar sein.
  • Die Erfindung ist nicht auf das obige Ausführungsbeispiel beschränkt, das lediglich der allgemeinen Erläuterung des Kerngedankens der Erfindung dient. Im Rahmen des Schutzumfangs können das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung vielmehr auch andere als die oben beschriebenen Ausgestaltungsformen annehmen. Sie können hierbei insbesondere Merkmale aufweisen, die eine Kombination aus den jeweiligen Einzelmerkmalen der Ansprüche darstellen.
  • Bezugszeichen in den Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen dienen lediglich dem besseren Verständnis der Erfindung und sollen den Schutzumfang nicht einschränken.
  • 1
    Quelle für energiereiche Strahlen
    2
    Scankopf
    3
    Werkstückhalter
    4
    Drosselrohling
    5
    Leitung
    6
    Luftfördereinrichtung
    30
    Aufnahme
    32
    Bohrungsabschnitt
    34
    Stufe
    36
    weiterer Bohrungsabschnitt
    38
    Querbohrung
    39
    Luftkanal
    40
    Sacklochbohrung
    42
    Stirnwand
    44
    erstes Düsenloch
    46
    zweites Düsenloch
    48
    letztes Düsenloch
    50
    Volumenstrommesser
    52
    Anzeigeeinrichtung
    54
    Zeiger
    56
    Skala
    L
    Laserstrahl
    X
    Translationsrichtung
    Y
    Translationsrichtung

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom, insbesondere einer Strömungsdrossel für Luftlager, mit den Schritten: a) Bereitstellen eines Drosselkörpers (4), b) Bohren einer Durchgangsbohrung (44) in den Drosselkörper (4) mittels eines energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei einer vorgegebenen Druckdifferenz, c) Vergleichen des gemessenen Wertes für den Gasdurchfluß durch die Drossel mit einem vorgegebenen Durchflußwert, d) Wiederholen der Schritte b) bis d), falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der vorgegebene Durchflußwert.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt d) die Entscheidung für eine Wiederholung der Schritte b) bis d) getroffen wird, falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der um einen Toleranzwert verringerte vorgegebene Durchflußwert.
  3. Verfahren zur Herstellung einer Drossel für einen Gasstrom, insbesondere einer Strömungsdrossel für Luftlager, mit den Schritten: a) Bereitstellen eines Drosselkörpers (4), b) Bohren einer ersten Durchgangsbohrung (44) in den Drosselkörper (4) mittels eines energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei einer vorgegebenen Druckdifferenz, c) Bohren einer weiteren Durchgangsbohrung (46) in den Drosselkörper (4) mittels des energiereichen Strahls bei gleichzeitigem Messen des Gasdurchflusses durch die Drossel bei vorgegebener Druckdifferenz, d) Vergleichen des im Schritt c) gemessenen Wertes für den Gasdurchfluß durch die Drossel mit einem vorgegebenen Durchflußwert, e) Wiederholen der Schritte c) bis e), falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der vorgegebene Durchflußwert.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt e) die Entscheidung für eine Wiederholung der Schritte c) bis e) getroffen wird, falls der gemessene Durchflußwert kleiner ist als der um einen Toleranzwert verringerte vorgegebene Durchflußwert.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der energiereiche Strahl ein Laserstrahl ist.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass alle Durchgangsbohrungen im wesentlichen den gleichen Durchmesser aufweisen.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchgangsbohrungen Mikrolöcher sind, welche einen Durchmesser im Bereich von 5 μm bis 60 μm aufweisen.
  8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrolöcher einen Durchmesser aufweisen, der 30 μm beträgt.
  9. Vorrichtung zur Herstellung einer Drossel nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 mit – einer Quelle (1) für energiereiche Strahlen, – einem Werkstückhalter (3), • wobei der Werkstückhalter (3) zum Einsetzen eines zu bearbeitenden Drosselrohlings (4) ausgebildet ist, • wobei der energiereiche Strahl auf einen zu bearbeitenden Abschnitt (42) des in den Werkstückhalter (3) eingesetzten Drosselrohlings (4) fokussierbar ist und • wobei der Werkstückhalter (3) einen Luftkanal (39) aufweist, der mit dem Aufnahmeabschnitt (30) für den Drosselrohling (4) in Fluidverbindung steht, – einer Luftfördereinrichtung (6), die über eine mit einem Volumenstrommesser (50) versehene Leitung (5) mit dem Luftkanal (39) im Werkstückhalter (3) in Fluidverbindung steht, und – wobei die Quelle (1) für energiereiche Strahlen (L) und/oder der Werkstückhalter (3) in zumindest einer Ebene quer zur Ausbreitungsrichtung der energiereichen Strahlen translatorisch verfahrbar oder um zumindest eine Achse quer zur Ausbreitungsrichtung der energiereichen Strahlen (L) verschwenkbar ist bzw. sind oder wobei der energiereiche Strahl um zumindest eine Achse quer zur Ausbreitungsrichtung der energiereichen Strahlen (L) ablenkbar ist.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Quelle (1) für energiereiche Strahlen von einer Laserquelle gebildet ist.
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