DE10035108A1 - Non-volatile ferroelectric memory has cell arrays in matrix with number of pulldown read amplifiers formed between cell arrays and pullup read amplifier - Google Patents

Non-volatile ferroelectric memory has cell arrays in matrix with number of pulldown read amplifiers formed between cell arrays and pullup read amplifier

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Abstract

The memory has a number of cell arrays in a matrix with a number of pulldown read amplifiers (121, 122,..;141, 142,..) formed between cell arrays arranged in the vertical direction so that they corresp. to them to perform pulldown amplification of data in a corresp. cell array and a pullup read amplifier (131, 132,..) commonly used by an upper and a lower cell array to perform selective pullup amplification of a data value in the upper or lower cell array. .

Description

Die Erfindung betrifft einen nichtflüchtigen ferroelektri­ schen Speicher, spezieller einen nichtflüchtigen ferroelek­ trischen Speicher, bei dem das Layout durch gemeinsame Nut­ zung eines Leseverstärkers wirkungsvoll verkleinerbar ist. Ein nichtflüchtiger ferroelektrischer Speicher, nämlich ein ferroelektrischer Direktzugriffsspeicher (FRAM) verfügt im Allgemeinen über eine Datenverarbeitungsgeschwindigkeit, die so hoch wie die eines dynamischen Direktzugriffsspeichers (DRAM) ist, und er hält Daten selbst dann aufrecht, wenn die Spannung abgeschaltet ist. Aus diesem Grund haben nicht­ flüchtige ferroelektrische Speicher als Speicher der nächs­ ten Generation viel Aufmerksamkeit auf sich gezogen. The invention relates to a non-volatile ferroelectric memory, more specifically a non-volatile ferroelek trical memory, in which the layout through common groove tion of a sense amplifier can be effectively reduced. A non-volatile ferroelectric memory, namely a ferroelectric random access memory (FRAM) has in Generally about a data processing speed that as high as that of a dynamic random access memory (DRAM), and it maintains data even when the Voltage is switched off. Because of this, do not have volatile ferroelectric memory as memory of the next a lot of attention.  

FRAMs und DRAMs sind Speicher mit beinahe gleichen Struktu­ ren, und sie enthalten einen ferroelektrischen Kondensator mit der Eigenschaft hoher Restpolarisation. Dies ermöglicht es, dass Daten selbst dann nicht gelöscht werden, wenn ein elektrisches Feld weggenommen wird.FRAMs and DRAMs are memories with almost the same structure ren, and they contain a ferroelectric capacitor with the property of high residual polarization. this makes possible that data is not deleted even if a electric field is removed.

Fig. 1 zeigt die Hystereseschleife eines üblichen Ferroelek­ trikums. Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, bleiben Daten, die durch die durch ein elektrisches Feld induzierte Polari­ sation gespeichert wurden, selbst beim Wegnehmen des elek­ trischen Felds in gewissem Ausmaß (Zustände d und a) wegen des Vorliegens von Restpolarisation (oder spontaner Polari­ sation) ohne Löschung erhalten. Fig. 1 shows the hysteresis loop of a conventional Ferroelek trikums. As shown in Fig. 1, data stored by the electric field induced polarization remains to some extent even when the electric field is removed (states d and a) due to the presence of residual polarization (or spontaneous polarity) sation) received without deletion.

Dieser Effekt lässt sich dadurch als Speicherzelle eines Speichers verwenden, dass die Zustände d und a den logischen Werten 1 bzw. 0 gleichgesetzt werden.This effect can be used as a memory cell Memory that states d and a are logical Values 1 and 0 are equated.

Wenn nachfolgend der Kürze halber von einem Speicher die Re­ de ist, ist darunter ein nichtflüchtiger ferroelektrischer Speicher zu verstehen.If, for the sake of brevity, the Re de is, including a non-volatile ferroelectric Understand memory.

Nun wird ein bekannter Speicher unter Bezugnahme auf die beigefügten Fig. 2 und 6 beschrieben. Fig. 2 zeigt eine Ein­ heitszelle dieses Speichers.A known memory will now be described with reference to the accompanying Figs. 2 and 6. Fig. 2 shows a unit cell of this memory.

Wie es in Fig. 2 dargestellt ist, beinhaltet der bekannte Speicher eine in einer Richtung ausgebildete Bitleitung B/L; eine die Bitleitung schneidende Wortleitung W/L; eine in der Richtung der Wortleitung verlaufende und von dieser beab­ standete Plattenleitung P/L; einen Transistor T1, dessen Gate mit der Wortleitung verbunden ist und dessen Source mit der Bitleitung verbunden ist; und einen ferroelektrischen Kondensator FC1, dessen erster Anschluss mit dem Drain des Transistors T1 verbunden ist und dessen zweiter Anschluss mit der Plattenleitung P/L verbunden ist.As shown in Fig. 2, the known memory includes a unidirectional bit line B / L; a word line W / L intersecting the bit line; a plate line P / L extending in the direction of the word line and spaced therefrom; a transistor T1 whose gate is connected to the word line and whose source is connected to the bit line; and a ferroelectric capacitor FC1, the first terminal of which is connected to the drain of the transistor T1 and the second terminal of which is connected to the plate line P / L.

Nachfolgend wird ein Daten-Eingabe/Ausgabe-Vorgang bei die­ sem bekannten Speicher beschrieben.Below is a data input / output process at the sem known memory described.

Fig. 3a ist ein zeitbezogenes Diagramm zum Veranschaulichen des Betriebs im Schreibmodus dieses Speichers, und Fig. 3b ist ein entsprechendes Diagramm für den Lesemodus. Figure 3a is a timing diagram illustrating the operation in the write mode of this memory, and Figure 3b is a corresponding diagram for the read mode.

Im Schreibmodus wird ein von außen angelegtes Chipfreigabe­ signal CSBpad vom hohen in den niedrigen Zustand aktiviert. Dabei startet der Schreibmodus, wenn gleichzeitig ein Schreibfreigabesignal WEBpad vom hohen in den niedrigen Zu­ stand angelegt wird.In write mode, an externally created chip release signal CSBpad activated from high to low. The write mode starts if at the same time Write enable signal WEBpad from high to low to stand is created.

Anschließend wird, wenn ein Adressendecodiervorgang im Schreibmodus startet, ein an eine entsprechende Wortleitung angelegter Impuls vom niedrigen in den hohen Zustand über­ führt, wodurch eine Zelle ausgewählt wird.Then, when an address decoding process in the Write mode starts, on to a corresponding word line applied pulse from low to high leads, whereby a cell is selected.

An eine entsprechende Plattenleitung werden in einer Perio­ de, in der die Wortleitung auf hohem Zustand gehalten wird, ein hohes Signal in einer bestimmten Periode und ein niedri­ ges Signal in einer bestimmten Periode sequenziell angelegt.A Perio de, in which the word line is kept high, a high signal in a certain period and a low The signal is applied sequentially in a certain period.

Um den logischen Wert 1 oder 0 in die ausgewählte Zelle zu schreiben, wird ein mit dem Schreibfreigabesignal WEBpad synchronisiertes hohes oder niedriges Signal an eine ent­ sprechende Bitleitung angelegt. Anders gesagt, wird ein ho­ hes Signal an die Bitleitung angelegt, und in den ferroelek­ trischen Kondensator wird der logische Wert 1 eingeschrie­ ben, wenn das an die Plattenleitung angelegte Signal in ei­ ner Periode niedrig ist, in der das an die Wortleitung ange­ legte Signal hoch ist. To the logical value 1 or 0 in the selected cell too write, a with the write enable signal WEBpad synchronized high or low signal to an ent speaking bit line. In other words, a ho hes signal applied to the bit line, and in the ferroelek trical capacitor, the logic value 1 is written ben when the signal applied to the plate line in egg ner period is low, in which the word line put signal is high.  

Wenn ein niedriges Signal an die Bitleitung angelegt wird, wird der logische Wert 0 in den ferroelektrischen Kondensa­ tor eingeschrieben, wenn dabei das an die Plattenleitung an­ gelegte Signal hoch ist.When a low signal is applied to the bit line, becomes the logical value 0 in the ferroelectric condensers Tor registered, if this to the plate line placed signal is high.

Nun wird ein Lesevorgang für den in eine durch den obigen Vorgang im Schreibmodus eingespeicherten Datenwert beschrie­ ben.Now a reading for the one in through the above Process described in data mode stored data value ben.

Wenn das von außen zugeführte Chipfreigabesignal CSBpad vom hohen in den niedrigen Zustand aktiviert wird, erhalten alle Bitleitungen durch ein Ausgleichssignal dieselbe niedrige Spannung, bevor eine entsprechende Wortleitung ausgewählt wird.If the chip enable signal CSBpad supplied from the outside of high to low will get everyone Bit lines through a compensation signal the same low Voltage before a corresponding word line is selected becomes.

Dann wird die jeweilige Bitleitung inaktiv und es erfolgt eine Adressendecodierung. In einer entsprechenden Wortlei­ tung wird mittels der decodierten Adresse ein niedriges Sig­ nal in ein hohes Signal überführt, wodurch die entsprechende Zelle ausgewählt wird.Then the respective bit line becomes inactive and it takes place address decoding. In a corresponding wording device is a low Sig by means of the decoded address nal converted into a high signal, causing the corresponding Cell is selected.

An die Plattenleitung der ausgewählten Zelle wird ein hohes Signal angelegt, um den in der Zelle gespeicherten, dem lo­ gischen Wert 1 entsprechenden Datenwert zu zerstören.A high is applied to the plate line of the selected cell Signal applied to the stored in the cell, the lo to destroy the corresponding data value 1.

Wenn in der ferroelektrischen Zelle der logische Wert 0 ge­ speichert ist, wird der entsprechende Datenwert nicht zer­ stört.If the logic value 0 ge in the ferroelectric cell is stored, the corresponding data value is not destroyed disturbs.

Der zerstörte Datenwert und der nicht zerstörte Datenwert werden wegen des oben genannten Prinzips auf Grundlage der Hystereseschleife als verschiedene Werte ausgegeben, so dass ein Leseverstärker den logischen Wert 1 oder 0 erfasst. The destroyed data value and the not destroyed data value are based on the principle mentioned above Hysteresis loop output as different values, so that a sense amplifier detects the logical value 1 or 0.  

Anders gesagt, wird, wenn der Datenwert zerstört ist, der Zustand d in den Zustand f überführt, wie es durch die Hys­ tereseschleife in Fig. 1 dargestellt ist. Wenn der Datenwert nicht zerstört ist, wird der Zustand a in den Zustand f überführt. Demgemäß wird dann, wenn der Datenwert zerstört ist, der logische Wert 1 ausgegeben, wenn der Leseverstärker nach dem Verstreichen einer bestimmten Zeit aktiviert wird, während im Fall eines nicht zerstörten Datenwerts der logi­ sche Wert 0 ausgegeben wird.In other words, if the data value is destroyed, state d is changed to state f, as represented by the hysteresis loop in FIG. 1. If the data value is not destroyed, state a is changed to state f. Accordingly, when the data value is destroyed, the logic value 1 is output when the sense amplifier is activated after a lapse of a certain time, while in the case of a non-destroyed data value, the logic value 0 is output.

Wie oben genannt, wird, nachdem der Leserverstärker einen Datenwert ausgegeben hat, die Plattenleitung vom hohen Zu­ stand in den niedrigen Zustand deaktiviert, während ein ho­ hes Signal an die entsprechende Wortleitung angelegt wird, um den ursprünglichen Datenwert wiederherzustellen.As mentioned above, after the reader amplifier has a Has issued data value, the plate line from the high to stood in the low state disabled while a ho hes signal is applied to the corresponding word line, to restore the original data value.

Fig. 4 ist ein Blockdiagramm des bekannten Speichers. Fig. 4 is a block diagram of the known memory.

Wie es in Fig. 4 dargestellt ist, beinhaltet der bekannte Speicher ein Hauptzellenarray 41; ein Bezugszellenarray 42, das dem unteren Teil des Hauptzellenarrays 41 zugeordnet ist; einen Wortleitungstreiber 43, der auf einer Seite des Hauptzellenarrays ausgebildet ist, um ein Ansteuerungssignal an das Hauptzellenarray 41 und das Bezugszellenarray 42 zu legen; und einen Leseverstärker 44, der im unteren Teil des Bezugszellenarrays 42 ausgebildet ist.As shown in Fig. 4, the known memory includes a main cell array 41 ; a reference cell array 42 associated with the lower part of the main cell array 41 ; a word line driver 43 formed on one side of the main cell array to apply a drive signal to the main cell array 41 and the reference cell array 42 ; and a sense amplifier 44 formed in the lower part of the reference cell array 42 .

Der Wortleitungstreiber 43 legt das Ansteuerungssignal an eine Hauptwortleitung des Hauptzellenarrays 41 und eine Be­ zugswortleitung des Bezugszellenarrays 42 an.The word line driver 43 applies the drive signal to a main word line of the main cell array 41 and a reference word line of the reference cell array 42 .

Der Leseverstärker 44 verfügt über eine Anzahl einzelner Le­ severstärker, und er verstärkt Signale einer Bitleitung und einer inversen Bitleitung. The sense amplifier 44 has a number of individual read amplifiers and it amplifies signals of a bit line and an inverse bit line.

Nun wird die Funktion dieses Speichers unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben, die eine detaillierte Teilansicht zu Fig. 4 ist. Wie es aus der Zeichnung erkennbar ist, verfügt das Hauptzellenarray auf dieselbe Weise wie ein DRAM über eine Struktur mit gefalteter Bitleitung.The operation of this memory will now be described with reference to FIG. 5, which is a detailed partial view of FIG. 4. As can be seen from the drawing, the main cell array has a folded bit line structure in the same way as a DRAM.

Auch das Bezugszellenarray 42 verfügt über eine Struktur mit gefalteter Bitleitung, und es enthält eine Bezugszellen- Wortleitung und eine Bezugszellen-Plattenleitung in Paaren. Die Bezugszellen-Wortleitung und die Bezugszellen-Platten­ leitung als RWL_1 und RPL_1 bzw. RWL_2 und RPL_2 bezeichnet.Reference cell array 42 also has a folded bit line structure, and includes a reference cell word line and a reference cell plate line in pairs. The reference cell word line and the reference cell plate line referred to as RWL_1 and RPL_1 or RWL_2 and RPL_2.

Wenn die Hauptzellen-Wortleitung MWL_N-1 und die Hauptzel­ len-Plattenleitung MPL_N-1 aktiviert werden, werden die Be­ zugszellen-Wortleitung RWL_1 und die Bezugszellen-Platten­ leitung RPL_1 aktiviert. Daher wird der Datenwert in einer Hauptzelle auf die Bitleitung B/L geladen, und ein Datenwert in einer Bezugszelle wird auf die inverse Bitleitung BB/L geladen.When the main cell word line MWL_N-1 and the main cell len plate line MPL_N-1 are activated, the Be pull cell word line RWL_1 and the reference cell plates Line RPL_1 activated. Therefore, the data value is in a Main cell loaded on bit line B / L, and a data value in a reference cell, the inverse bit line BB / L loaded.

Wenn die Hauptzellen-Wortleitung MWL_N und die Hauptzellen- Plattenleitung MPL_N aktiviert werden, werden die Bezugszel­ len-Wortleitung RWL_2 und die Bezugszellen-Plattenleitung RPL_2 aktiviert. Daher wird der Datenwert in einer Hauptzel­ le auf die inverse Bitleitung BB/L geladen, und der Daten­ wert in einer Bezugszelle wird auf die Bitleitung B/L gela­ den.If the main cell word line MWL_N and the main cell Plate line MPL_N are activated, the reference cell len word line RWL_2 and the reference cell plate line RPL_2 activated. Therefore, the data value is in a main cell le loaded onto the inverse bit line BB / L, and the data value in a reference cell is loaded on the bit line B / L the.

Fig. 6 ist eine detaillierte Detailansicht zu Fig. 4, und sie zeigt einen der mehreren Einzelleseverstärker, die den Leseverstärker aufbauen. Fig. 6 is a detailed detailed view of Fig. 4 and shows one of the multiple single sense amplifiers that make up the sense amplifier.

Wie es in Fig. 6 dargestellt ist, verfügt der bekannte Le­ severstärker über die Struktur eines solchen vom Latchtyp. As shown in Fig. 6, the known reading amplifier has the structure of such a latch type.

Anders gesagt, beinhaltet der Leserverstärker zwei PMOS- Transistoren und zwei NMOS-Transistoren, die jeweils über Inverterstruktur vom Latchtyp verfügen. Ein erster PMOS- Transistor MP1 und ein zweiter PMOS-Transistor MP2 sind ein­ ander zugewandt. Der Ausgangsanschluss des ersten PMOS-Tran­ sistors MP1 ist mit dem Gate des zweiten PMOS-Transistors MP2 verbunden, und der Ausgangsanschluss dieses zweiten PMOS-Transistors MP2 ist mit dem Gate des ersten NMOS-Tran­ sistors MP1 verbunden.In other words, the reader amplifier contains two PMOS Transistors and two NMOS transistors, each over Latch type inverter structure. A first PMOS Transistor MP1 and a second PMOS transistor MP2 are one facing others. The output connector of the first PMOS train transistor MP1 is with the gate of the second PMOS transistor MP2 connected, and the output terminal of this second PMOS transistor MP2 is with the gate of the first NMOS train transistor MP1 connected.

An die Eingangsanschlüsse des ersten und zweiten PMOS-Tran­ sistors MP1 und MP2 wird ein Signal SAP gemeinsam angelegt. Dieses Signal SAP ist ein aktives Signal, das den ersten und zweiten PMOS-Transistor MP1 und MP2 aktiviert.To the input connections of the first and second PMOS train A signal SAP is applied jointly to sistors MP1 and MP2. This signal SAP is an active signal that the first and second PMOS transistor MP1 and MP2 activated.

Der erste NMOS-Transistor MN1 ist mit dem Ausgangsanschluss des ersten PMOS-Transistors MP1 in Reihe geschaltet, während de zweite NMOS-Transistor MN2 mit dem Ausgangsanschluss des zweiten NMOS-Transistors MN2 in Reihe geschaltet ist.The first NMOS transistor MN1 is connected to the output terminal of the first PMOS transistor MP1 connected in series while de second NMOS transistor MN2 with the output terminal of second NMOS transistor MN2 is connected in series.

Der Ausgangsanschluss des zweiten NMOS-Transistors MN2 ist mit dem Gate des ersten NMOS-Transistors MN1 verbunden, wäh­ rend der Ausgangsanschluss dieses ersten NMOS-Transistors MN1 mit dem Gate des zweiten NMOS-Transistors MN2 verbunden ist.The output terminal of the second NMOS transistor MN2 is connected to the gate of the first NMOS transistor MN1, wäh rend the output terminal of this first NMOS transistor MN1 connected to the gate of the second NMOS transistor MN2 is.

An die Eingangsanschlüsse des ersten und zweiten NMOS-Tran­ sistors MN1 und MN2 wird ein Signal SAN gemeinsam angelegt. Dieses Signal SAN ist ein aktives Signal, das den ersten und zweiten NMOS-Transistor MN1 und MN2 aktiviert.To the input ports of the first and second NMOS tran A signal SAN is applied to sistors MN1 and MN2 together. This signal SAN is an active signal that the first and second NMOS transistor MN1 and MN2 activated.

Die Ausgangsanschlüsse des ersten PMOS-Transistors MP1 und des ersten NMOS-Transistors MN1 sind gemeinsam mit der Bit­ leitung B_N verbunden, während die Ausgangsanschlüsse des zweiten PMOS-Transistors MP2 und des zweiten NMOS-Transis­ tors MN2 mit der nächsten Bitleitung B_N+1 verbunden sind.The output terminals of the first PMOS transistor MP1 and of the first NMOS transistor MN1 are common to the bit line B_N connected while the output terminals of the second PMOS transistor MP2 and the second NMOS transistor  tors MN2 are connected to the next bit line B_N + 1.

Das Ausgangssignal des Leseverstärkers wird auf die Bitlei­ tungen B_N und B_N+1 gegeben, um in die Hauptzelle bzw. die Bezugszelle eingegeben und ausgegeben zu werden, wodurch Eingabe/Ausgabe-Vorgänge in die Hauptzelle und die Bezugs­ zelle ermöglicht sind.The output signal of the sense amplifier is on the Bitlei lines B_N and B_N + 1 given to enter the main cell and the Reference cell to be input and output, thereby I / O operations in the main cell and the reference cell are enabled.

Das Signal SAP, das Signal SAN sowie die Signale B_N und B_N+1 werden alle für eine Vorabladeperiode, in der der Lese­ verstärker inaktiv ist, auf 1/2 Vcc gehalten. Andererseits wird das Signal SAP auf den hohen Pegel gezogen und das Sig­ nal SAN wird auf den niedrigen Pegel gezogen.The signal SAP, the signal SAN and the signals B_N and B_N + 1 are all for a precharge period in which the read amplifier is inactive, kept at 1/2 Vcc. On the other hand the SAP signal is pulled to the high level and the Sig nal SAN is pulled to the low level.

Fig. 7 zeigt ein System zum Wahrnehmen von Signalen aus ei­ nem oberen Zellenarray und einem unteren Zellenarray unter Verwendung des bekannten Leseverstärkers. Fig. 7 shows a system for sensing signals from an upper cell array and a lower cell array using the known sense amplifier.

Die Bezugszahl 41a bezeichnet das obere Zellenarray, und 41b bezeichnet das untere Zellenarray. Um Daten im oberen Zel­ lenarray zu erfassen, wird ein Steuersignal TSEL auf den ho­ hen Pegel überführt, und ein anderes Steuersignal BSEL wird auf den niedrigen Pegel überführt. Demgemäß wird der Pfad zwischen dem unteren Zellenarray und dem Leseverstärker ge­ sperrt während der Pfad zwischen dem oberen Zellenarray und dem Leseverstärker geöffnet wird. Dann erfasst der Lesever­ stärker das Signal auf der Bitleitung und der inversen Bit­ leitung im oberen Zellenarray.The reference number 41 a denotes the upper cell array, and 41 b denotes the lower cell array. In order to acquire data in the upper cell array, a control signal TSEL is transferred to the high level, and another control signal BSEL is transferred to the low level. Accordingly, the path between the lower cell array and the sense amplifier is blocked while the path between the upper cell array and the sense amplifier is opened. Then the read amplifier detects the signal on the bit line and the inverse bit line in the upper cell array.

Andererseits wird zum Erfassen von Daten im unteren Zellen­ array ein Steuersignal TSEL auf den niedrigen Pegel über­ führt, und ein anderes Steuersignal BSEL wird auf den hohen Pegel überführt. Demgemäß wird der Pfad zwischen dem oberen Zellenarray und dem Leseverstärker gesperrt und der Pfad zwischen dem unteren Zellenarray und dem Leseverstärker wird geöffnet. Der Leseverstärker erfasst das Signal auf der Bit­ leitung und der inversen Bitleitung des unteren Zellenar­ rays.On the other hand, it is used to collect data in lower cells array a control signal TSEL to the low level leads, and another control signal BSEL is on the high Level transferred. Accordingly, the path between the top Cell array and the sense amplifier locked and the path between the lower cell array and the sense amplifier  open. The sense amplifier detects the signal on the bit line and the inverse bit line of the lower cellar rays.

Demgemäß besteht beim bekannten Speicher das Problem, dass Lasten hinsichtlich der Bitleitung und der inversen Bitlei­ tung differieren können, da der Eingangsanschluss der Lese­ verstärkers über ein Schaltbauteil unmittelbar mit den obe­ ren und unteren Bitleitungen verbunden wird. Da dadurch der Verstärkungsvorgang bei verschiedenen Lasten erfolgen kann, kann die Verstärkung instabil werden.Accordingly, there is a problem in the known memory that Bit line and inverse bit line loads can differ because the input connection of the read amplifier via a switching component directly with the above ren and lower bit lines is connected. As a result of this Reinforcement process can take place at different loads, the gain can become unstable.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, einen nichtflüch­ tigen ferroelektrischen Speicher mit verringerter Layoutflä­ che zu schaffen.The invention is based on the object, a non-cursed ferroelectric memory with reduced layout area to create.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, einen nichtflüch­ tigen ferroelektrischen Speicher mit stabiler Verstärkung zu schaffen.Another object of the invention is a non-cursed ferroelectric memory with stable gain create.

Diese Aufgaben sind durch die Speicher gemäß den beigefügten unabhängigen Ansprüchen 1 und 4 gelöst.These tasks are attached by the memory according to the independent claims 1 and 4 solved.

Zusätzliche Merkmale und Aufgaben der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung dargelegt und gehen teilweise aus dieser hervor, ergeben sich aber andererseits auch beim Aus­ üben der Erfindung. Die Aufgaben und andere Vorteile der Er­ findung werden durch die Maßnahmen erzielt, wie sie speziell in der Beschreibung, den Ansprüchen und den beigefügten Zeichnungen dargelegt sind.Additional features and objects of the invention are set forth in the following description and partially go out this emerges, but also arise on the other hand when out practice the invention. The tasks and other advantages of the He are achieved through the measures as they are specific in the description, the claims and the appended Drawings are set out.

Es ist zu beachten, dass sowohl die vorstehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung beispielhaft und erläuternd für die beanspruchte Erfindung sind. It should be noted that both the general above Description as well as the following detailed description exemplary and explanatory of the claimed invention are.  

Die Zeichnungen, die beigefügt sind, um das Verständnis der Erfindung zu fördern, veranschaulichen Ausführungsbeispiele der Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, deren Prinzipien zu erläutern.The drawings that are attached to help understand the To promote the invention, exemplary embodiments illustrate of the invention and together with the description serve to explain their principles.

Fig. 1 zeigt die Hystereseschleife eines üblichen Ferroelek­ trikums; Fig. 1 shows the hysteresis loop of a conventional ferroelectric tricum;

Fig. 2 ist eine schematische Darstellung der Einheitszelle eines bekannten Speichers; Fig. 2 is a schematic illustration of the unit cell of a known memory;

Fig. 3a und 3b sind zeitbezogene Diagramme zum Veranschauli­ chen des Betriebs des bekannten Speichers im Schreib- bzw. Lesemodus; FIGS. 3a and 3b are timing charts for the operation Veranschauli surfaces of the known memory in write or read mode;

Fig. 4 ist ein Blockdiagramm des bekannten Speichers mit ei­ ner Zelle mit 1T/1C-Struktur; Fig. 4 is a block diagram of the known memory with a cell having a 1T / 1C structure;

Fig. 5 ist eine detaillierte Teilansicht zu Fig. 4; Fig. 5 is a detailed partial view of Fig. 4;

Fig. 6 ist eine detaillierte schematische Ansicht eines Le­ severstärkers in Fig. 4; Fig. 6 is a detailed schematic view of a reading amplifier in Fig. 4;

Fig. 7 ist ein Blockdiagramm eines Zellenarrays und eines Leseverstärkers beim bekannten Speicher; Fig. 7 is a block diagram of a cell array and a sense amplifier in the known memory;

Fig. 8 ist ein Blockdiagramm der Einheitszelle eines Spei­ chers gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung; Fig. 8 is a block diagram of the unit cell of a SpeI Chers according to an embodiment of the invention;

Fig. 9 ist ein Schaltbild des Speichers des Ausführungsbei­ spiels; Fig. 9 is a circuit diagram of the memory of the embodiment;

Fig. 10 ist ein zeitbezogenes Diagramm zum Betrieb des Spei­ chers des Ausführungsbeispiels; Fig. 10 is a timing chart for operating the SpeI Chers of the embodiment;

Fig. 11 ist ein Blockdiagramm eines Speichers gemäß dem Aus­ führungsbeispiel; Fig. 11 is a block diagram of a memory management, for example in accordance with the off;

Fig. 12 ist eine vergrößerte Teilansicht zu Fig. 11; Fig. 12 is a partial enlarged view of Fig. 11;

Fig. 13 ist ein Blockdiagramm eines Leseverstärkers im Spei­ cher des Ausführungsbeispiels; Fig. 13 is a block diagram of a sense amplifier in the memory of the embodiment;

Fig. 14 zeigt die Änderung von Signalverläufen am Ausgangs­ knoten des in Fig. 13 dargestellten Leseverstärkers; Fig. 14 shows the change of waveforms at the output node of the sense amplifier shown in Fig. 13;

Fig. 15 ist ein Blockdiagramm eines Pulldown-Leseverstär­ kers im Speicher des Ausführungsbeispiels; und Fig. 15 is a block diagram of a pull-down sense amplifier in the memory of the embodiment; and

Fig. 16 ist ein Blockdiagramm eines Pullup-Leseverstärkers im Speicher gemäß dem Ausführungsbeispiel. Fig. 16 is a block diagram of a pull-sense amplifier in the memory according to the embodiment.

Nun wird im Einzelnen auf die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung Bezug genommen, zu denen Beispiele in den bei­ gefügten Zeichnungen dargestellt sind.Now, the preferred embodiments are described in detail Reference of the invention, examples of which in the attached drawings are shown.

Wie es schematisch in Fig. 8 dargestellt ist, verfügt eine Einheitszelle im Speicher gemäß dem Ausführungsbeispiel über eine erste und eine zweite Teilwortleitung SWL1 und SWL2, die mit einem bestimmten Intervall in Zeilenrichtung ausge­ bildet sind; eine erste und eine zweite Bitleitung B/L1 und B/L2, die die erste und zweite Teilwortleitung SWL1 und SWL2 schneidend ausgebildet sind; einen ersten Transistor T1, dessen Gate mit der ersten Teilwortleitung SWL1 verbunden ist und dessen Drain mit der Bitleitung B/L1 verbunden ist; einen ersten ferroelektrischen Kondensator FC1, der zwischen die Source des ersten Transistors T1 und die zweite Teil­ wortleitung SWL2 geschaltet ist; einen zweiten Transistor T2, dessen Gate mit der zweiten Teilwortleitung SWL2 verbun­ den ist und dessen Drain mit der zweiten Bitleitung B/L2 verbunden ist; und einen zweiten ferroelektrischen Kondensa­ tor FC2, der zwischen die Source des zweiten Transistors T2 und die erste Teilwortleitung SWL1 geschaltet ist.As shown schematically in Fig. 8, a unit cell in the memory according to the embodiment has a first and a second sub-word lines SWL1 and SWL2, which are formed with a certain interval in the row direction; a first and a second bit line B / L1 and B / L2 which intersect the first and second partial word lines SWL1 and SWL2; a first transistor T1, the gate of which is connected to the first partial word line SWL1 and the drain of which is connected to the bit line B / L1; a first ferroelectric capacitor FC1 connected between the source of the first transistor T1 and the second partial word line SWL2; a second transistor T2, the gate of which is connected to the second partial word line SWL2 and the drain of which is connected to the second bit line B / L2; and a second ferroelectric capacitor FC2 connected between the source of the second transistor T2 and the first sub-word line SWL1.

Eine Anzahl von Einheitszellen bildet ein Zellenarray. Hin­ sichtlich der Datenspeicherung beinhaltet eine Einheitszelle ein Paar Teilwortleitungen, eine Bitleitung, einen Transis­ tor 1T und einen ferroelektrischen Kondensator 1C. Hinsicht­ lich der Datenstruktur beinhaltet die Einheitszelle ein Paar Teilwortleitungen, zwei Bitleitungen, zwei Transistoren 2T und zwei ferroelektrische Kondensatoren 2C.A number of unit cells form a cell array. Regarding data storage, a unit cell contains a pair of sub-word lines, a bit line, a transistor 1 T and a ferroelectric capacitor 1 C. Regarding the data structure, the unit cell contains a pair of sub-word lines, two bit lines, two transistors 2 T and two ferroelectric capacitors 2 C .

Nun wird der Betrieb dieses Speichers im Einzelnen beschrie­ ben.The operation of this memory will now be described in detail ben.

Wie es im Schaltbild der Fig. 9 dargestellt ist, ist eine Anzahl von Teilwortleitungspaaren mit jeweils einer ersten und einer zweiten Teilwortleitung SWL1 und SWL2 in Zeilen­ richtung ausgebildet. Die Teilwortleitungspaare schneidend ist eine Anzahl von Bitleitungen B/Ln und B/Ln+1 ausgebil­ det. Zwischen den jeweiligen Bitleitungen sind Leseverstär­ ker SA ausgebildet, die über die Bitleitungen übertragene Daten erfassen und die Daten an eine Datenleitung D/L oder eine inverse Datenleitung D/L übertragen. Dabei sind ferner ein Leseverstärker-Freigabeabschnitt (nicht dargestellt) und ein Auswählschaltabschnitt CS vorhanden. Der Leseverstärker- Freigabeabschnitt gibt ein Leseverstärker-Freigabesignal SEN zum Freigeben der Leseverstärker SA aus, und der Auswähl­ schaltabschnitt CS schaltet in selektiver Weise Bitleitungen und Datenleitungen.As shown in the circuit diagram of FIG. 9, a number of partial word line pairs are formed, each with a first and a second partial word line SWL1 and SWL2 in the row direction. Intersecting the partial word line pairs, a number of bit lines B / Ln and B / Ln + 1 is formed. Read amplifiers SA are formed between the respective bit lines, which sense data transmitted via the bit lines and transmit the data to a data line D / L or an inverse data line D / L. A sense amplifier enable section (not shown) and a select switch section CS are also provided. The sense amplifier enable section outputs a sense amplifier enable signal SEN to enable the sense amplifiers SA, and the select switch section CS selectively switches bit lines and data lines.

Nun wird der Betrieb dieses Speichers unter Bezugnahme auf das in Fig. 10 dargestellte Zeitdiagramm beschrieben. The operation of this memory will now be described with reference to the timing chart shown in FIG. 10.

Eine Periode T0 in Fig. 10 bezeichnet die Periode vor dem Aktivieren der ersten Teilwortleitung SWL1 und der zweiten Teilwortleitung SWL2 auf hoch(H). In dieser Periode T0 wer­ den alle Bitleitungen auf den Schwellenspannungspegel eines NMOS-Transistors vorab aufgeladen.A period T0 in FIG. 10 denotes the period before the activation of the first partial word line SWL1 and the second partial word line SWL2 to high (H). In this period T0 who all the bit lines are pre-charged to the threshold voltage level of an NMOS transistor.

Eine Periode T1 bezeichnet eine Periode, in der die ersten und zweiten Teilwortleitungen SWL1 und SWL2 alle den Pegel H erhalten. In dieser Periode T1 wird der Datenwert im fer­ roelektrischen Kondensator einer Hauptzelle an die Hauptbit­ leitung übertragen, wodurch sich der Bitleitungspegel än­ dert.A period T1 denotes a period in which the first and second sub-word lines SWL1 and SWL2 all the level H received. In this period T1 the data value in the fer Roelectric capacitor of a main cell to the main bit Transfer line, which changes the bit line level different.

Dabei wird im Fall eines ferroelektrischen Kondensators mit dem logischen Wert hoch die Polarität des Ferroelektrikums zerstört, da an die Bitleitung und die Teilwortleitung elek­ trische Felder mit entgegengesetzten Polaritäten angelegt werden, so dass ein großer Strom fließt, wodurch in der Bit­ leitung eine hohe Spannung erzeugt wird.In the case of a ferroelectric capacitor, the logical value high the polarity of the ferroelectric destroyed because of the bit line and the partial word line elec trical fields with opposite polarities so that a large current flows, causing in the bit line a high voltage is generated.

Andererseits wird im Fall eines ferroelektrischen Kondensa­ tors mit dem logischen Wert niedrig die Polarität des Ferro­ elektrikums nicht zerstört, da elektrische Felder derselben Polaritäten an die Bitleitung und die Teilwortleitung ange­ legt werden, so dass ein kleiner Strom fließt, wodurch in der Bitleitung eine relativ niedrige Spannung erzeugt wird.On the other hand, in the case of a ferroelectric condenser with the logical value low the polarity of the ferro Electrical equipment is not destroyed because the electrical fields are the same Polarities indicated on the bit line and the partial word line be placed so that a small current flows, causing in a relatively low voltage is generated on the bit line.

Wenn der Zellendatenwert ausreichend auf die Bitleitung ge­ laden ist, wird das Leseverstärker-Freigabesignal SEN auf hoch überführt, um den Leseverstärker zu aktivieren. Im Er­ gebnis wird der Bitleitungspegel verstärkt.If the cell data is sufficiently on the bit line is loaded, the sense amplifier enable signal SEN transferred high to activate the sense amplifier. In the Er As a result, the bit line level is increased.

Der logische Datenwert H in der zerstörten Zelle kann im Zu­ stand, in dem sich die erste und die zweite Teilwortleitung SWL1 und SWL2 auf hoch befinden, nicht wiederhergestellt werden, jedoch kann er in Perioden T2 und T3 wiederherge­ stellt werden.The logical data value H in the destroyed cell can in the Zu stood, in which the first and the second partial word line SWL1 and SWL2 are high, not restored  but it can be restored in periods T2 and T3 be put.

Anschließend wird die erste Teilwortleitung SWL1, in der ge­ nannten Periode T2, auf niedrig überführt, die zweite Teil­ wortleitung SWL2 wird in den hohen Zustand überführt und der zweite Transistor T2 wird eingeschaltet. Dabei wird, wenn die entsprechende Bitleitung auf hohem Pegel liegt, ein ho­ her Datenwert an eine Elektrode des zweiten ferroelektri­ schen Kondensators FC2 übertragen, so dass der logische Wert 1 wiederhergestellt wird.Then the first sub-word line SWL1 in the ge called period T2, transferred to low, the second part Word line SWL2 is brought into the high state and the second transistor T2 is turned on. It will be when the corresponding bit line is at a high level, a ho forth data value to an electrode of the second ferroelectric capacitor FC2 transferred, so that the logical value 1 is restored.

In der Periode T3 wird die erste Teilwortleitung SWL1 auf hoch überführt, die zweite Teilwortleitung SWL2 wird auf niedrig überführt und der erste Transistor T1 wird einge­ schaltet. Dabei wird der logische Wert 1 wiederhergestellt, wenn die entsprechende Bitleitung hoch ist.The first partial word line SWL1 is opened in the period T3 transferred high, the second sub-word line SWL2 is open transferred low and the first transistor T1 is turned on switches. The logical value 1 is restored, if the corresponding bit line is high.

Gemäß dem in Fig. 11 dargestellten Blockdiagramm verfügt der Speicher des Ausführungsbeispiels über eine Anzahl von in einer Matrix ausgebildeten Zellenarrays 11_1, 11_2, . . ., 11_N; erste Pulldown-Leseverstärker 12_1, 12_2, . . ., 12_N, die zwischen senkrechten Zellenarrays innerhalb der Anzahl der Zellenarrays ausgebildet sind, um eine Pulldown-Verstär­ kung des Bitleitungspegels eines oberen Zellenarrays vorzu­ nehmen; zweite Pulldown-Leseverstärker 14_1, 14_2, . . ., 14_N, um eine Pulldown-Verstärkung des Bitleitungspegels eines unteren Zellenarrays vorzunehmen; und Pullup-Lesever­ stärker 13_1, 13_2, . . ., 13_N, um eine Pullup-Verstärkung des Ausgangssignals der ersten Pulldown-Leseverstärker 12_1, 12_2, . . ., 12_N oder des Ausgangssignals der zweiten Pull­ down-Leseverstärker 14_1, 14_2, . . ., 14_N vorzunehmen.According to the block diagram shown in FIG. 11, the memory of the exemplary embodiment has a number of cell arrays 11_1 , 11_2 , formed in a matrix. . ., 11 _N; first pulldown sense amplifiers 12_1 , 12_2,. . ., 12 _N formed between vertical cell arrays within the number of cell arrays to pull-down the bit line level of an upper cell array; second pulldown sense amplifiers 14_1 , 14_2,. . ., 14 _N to pull down the bit line level of a lower cell array; and pullup read amplifiers 13_1 , 13_2,. . ., 13 _N by a pull-up gain of the output signal of the first pull-down sense amplifiers 12_1 , 12_2,. . ., 12 _N or the output signal of the second pull-down sense amplifiers 14_1 , 14_2,. . ., 14 _N to make.

Die Leseverstärker 15_1 und 15_2 zum Erfassen von Daten in einem Zellenarray an der äußersten Position in senkrechter Richtung verfügen über ein System, in dem der Pullup-Lese­ verstärker und entweder der erste oder der zweite Pulldown- Leseverstärker kombiniert sind.The sense amplifiers 15_1 and 15_2 for acquiring data in a cell array at the outermost position in the vertical direction have a system in which the pull-up sense amplifier and either the first or the second pull-down sense amplifier are combined.

Das heißt, dass von den zwei Pulldown-Leseverstärkern einer mit dem Pullup-Leseverstärker verbunden wird, um die Lese­ verstärker 15_1 und 15_2 zum Erfassen der Daten im äußersten Zellenarray zu bilden.That is, one of the two pulldown sense amplifiers is connected to the pullup sense amplifier to form sense amplifiers 15_1 and 15_2 for acquiring the data in the outermost cell array .

In diesem Fall weisen die ersten Pulldown-Leseverstärker 12_1, 12_2, . . ., 12_N und die zweiten Pulldown-Leseverstär­ ker 14_1, 14_2, . . ., 14_N dasselbe System auf, jedoch mit der Ausnahme, dass der Ausgangsanschluss der ersten Pull­ down-Leseverstärker 12_1, 12_2, . . ., 12_N mit der Bitleitung im oberen Zellenarray verbunden ist, während der Eingangsan­ schluss der zweiten Pulldown-Leseverstärker 14_1, 14_2, . . ., 14_N mit der Bitleitung im unteren Zellenarray verbunden ist. Die Ausgangsanschlüsse der ersten und zweiten Pulldown- Leseverstärker sind gemeinsam mit dem Eingangsanschluss des Pullup-Leseverstärkers 13_1, 13_2, . . ., 13_N verbunden.In this case, the first pulldown sense amplifiers 12_1 , 12_2,. . ., 12 _N and the second pulldown sense amplifiers 14_1 , 14_2,. . ., 14 _N the same system, but with the exception that the output connection of the first pull-down sense amplifiers 12_1 , 12_2,. . ., 12 _N is connected to the bit line in the upper cell array, while the input connection of the second pulldown sense amplifiers 14_1 , 14_2,. . ., 14 _N is connected to the bit line in the lower cell array. The output connections of the first and second pulldown sense amplifiers are common to the input connection of the pullup sense amplifier 13_1 , 13_2,. . ., 13 _N connected.

Indessen werden die ersten Pulldown-Leseverstärker 12_1, 12_2, . . ., 12_N und die Pullup-Leseverstärker 13_1, 13_2, . . ., 13_N gleichzeitig aktiviert, und auch die zweiten Pull­ down-Leseverstärker 14_1, 14_2, . . ., 14_N und die Pullup- Leseverstärker 13_1, 13_2, . . ., 13_N werden gleichzeitig ak­ tiviert.Meanwhile, the first pulldown sense amplifiers 12_1 , 12_2,. . ., 12 _N and the pullup sense amplifiers 13_1 , 13_2,. . ., 13 _N activated simultaneously, and also the second pull-down sense amplifiers 14_1 , 14_2,. . ., 14 _N and the pull-up sense amplifiers 13_1 , 13_2,. . ., 13 _N are activated at the same time.

Wenn jedoch die ersten Pulldown-Leseverstärker und die Pull­ up-Leseverstärker aktiv sind, werden die zweiten Pulldown- Leseverstärker inaktiv gehalten. Im Gegensatz hierzu werden die ersten Pulldown-Leseverstärker inaktiv gehalten, wenn die zweiten Pulldown-Leseverstärker und die Pullup-Lesever­ stärker aktiv sind. However, when the first pulldown sense amplifiers and the pull up sense amplifiers are active, the second pulldown Sense amplifier kept inactive. In contrast to this kept the first pulldown sense amplifiers inactive when the second pulldown sense amplifiers and the pullup sense ver are more active.  

Fig. 12 ist ein Blockdiagramm, das die ersten und zweiten Pulldown-Leseverstärker und einen Pullup-Leseverstärker im Speicher des Ausführungsbeispiels zeigt. Demgemäß sind ein erster Pulldown-Leseverstärker 12_1 und ein Pullup-Lesever­ stärker 13_1 zum Bilden eines vollständigen Leseverstärkers 12a kombiniert, und ein zweiter Pulldown-Leseverstärker 14_1 und der Pullup-Leseverstärker 13_1 sind kombiniert, um einen anderen vollständigen Leseverstärker 14a zu bilden. Hier sei darauf hingewiesen, dass der Pullup-Leseverstärker 13_1 für jeden der Pulldown-Leseverstärker gemeinsam verwendet wird. Fig. 12 is a block diagram showing the first and second pulldown sense amplifiers and a pullup sense amplifier in the memory of the embodiment. Accordingly, a first pull-down sense amplifier 12_1 and a pull-Lesever are combined more 13_1 to form a complete sense amplifier 12 a and a second pull-down sense amplifier 14_1 and the pull-up sense amplifier 13_1 are combined to another full sense amplifier 14 to form a. It should be noted here that the pull-up sense amplifier 13_1 is used in common for each of the pull-down sense amplifiers.

Beim erfindungsgemäßen Speicher mit dem vorstehend genannten System werden, um einen Datenwert im oberen Zellenarray 11_1 zu erfassen und zu verstärken, ein erster Pulldown-Lesever­ stärker 12_1 und ein Pullup-Leseverstärker 13_1 aktiviert, während der zweite Pulldown-Leseverstärker 14_1 nicht akti­ viert wird.In the memory according to the invention with the above-mentioned system, in order to acquire and amplify a data value in the upper cell array 11_1 , a first pulldown sense amplifier 12_1 and a pullup sense amplifier 13_1 are activated, while the second pulldown sense amplifier 14_1 is not activated.

Wenn der erste Pulldown-Leseverstärker 12_1 und der Pullup- Leseverstärker 13_1 aktiviert sind und sich der Bitleitungs­ pegel im oberen Zellenarray 11_1 unter einem Bezugspegel be­ findet, führt der erste Pulldown-Leseverstärker 12_1 eine Pulldown-Verstärkung aus. Wenn sich der Bitleitungspegel im oberen Zellenarray 11_1 über dem Bezugspegel befindet, führt der Pullup-Leseverstärker 13_1 eine Pullup-Verstärkung des Ausgangssignals des ersten Pulldown-Leseverstärkers 12_1 aus.When the first pulldown sense amplifier 12_1 and the pullup sense amplifier 13_1 are activated and the bit line level in the upper cell array 11_1 is below a reference level, the first pulldown sense amplifier 12_1 carries out a pulldown amplification. When the bit line level in the upper cell array 11_1 is above the reference level, the pull-up sense amplifier 13_1 pull-amplifies the output signal of the first pull-down sense amplifier 12_1 .

Um dagegen einen Datenwert im unteren Zellenarray 11_2 zu erfassen und zu verstärken, werden der zweite Pulldown-Lese­ verstärker 14_1 und der Pullup-Leseverstärker 13_1 akti­ viert, und der erste Pulldown-Leseverstärker 12_1 wird nicht aktiviert.On the other hand, in order to acquire and amplify a data value in the lower cell array 11_2 , the second pull- down sense amplifier 14_1 and the pull-up sense amplifier 13_1 are activated, and the first pull-down sense amplifier 12_1 is not activated.

Wenn der zweite Pulldown-Leseverstärker 14_1 und der Pullup- Leseverstärker 13_1 aktiviert sind und sich der Bitleitungs­ pegel im unteren Zellenarray 11_2 unter einem Bezugspegel befindet, führt der zweite Pulldown-Leseverstärker 14_1 eine Pulldown-Verstärkung aus, und wenn sich der Bitleitungspegel über dem Bezugspegel befindet, führt der Pullup-Leseverstär­ ker 13_1 eine Verstärkung des Ausgangssignals des zweiten Pulldown-Leseverstärkers 14_1 aus.When the second pulldown sense amplifier 14_1 and the pullup sense amplifier 13_1 are activated and the bit line level in the lower cell array 11_2 is below a reference level, the second pulldown sense amplifier 14_1 performs a pulldown gain, and when the bit line level is above the reference level is located, the pull-up sense amplifier 13_1 amplifies the output signal of the second pull-down sense amplifier 14_1 .

Nun wird der Leseverstärker an einer äußersten Position, der einen Pulldown-Leseverstärker und einen Pullup-Leseverstär­ ker aufweist, im Speicher des Ausführungsbeispiels im Ein­ zelnen beschrieben, der über erste und zweite Pulldown-Lese­ verstärker sowie Pullup-Leseverstärker verfügt.Now the sense amplifier is in an extreme position, the a pulldown sense amplifier and a pullup sense amplifier ker has in the memory of the embodiment in the zelnen described the first and second pulldown read amplifier and pull-up sense amplifier.

Fig. 13 ist ein Blockdiagramm eines Leseverstärkers zum Er­ fassen von Daten im äußersten Zellenarrays eines Speichers des Ausführungsbeispiels. Fig. 13 is a block diagram of a sense amplifier for detecting data in the outermost cell array of a memory of the embodiment.

Gemäß Fig. 13 verfügt der Leseverstärker im Speicher des Ausführungsbeispiels über einen ersten Transistor T1 zum Schalten eines auf die Bitleitung geladenen Signals; einen zweiten Transistor T2 zum Schalten eines Bezugssignals von einer Bezugssignal-Erzeugungsschaltung (nicht dargestellt); einen dritten Transistor T3 zum Schalten eines über dem ers­ ten Transistor T1 gelieferten Signals von der Bitleitung; einen vierten Transistor T4 zum Schalten eines über den zweiten Transistor T2 gelieferten Bezugssignals; einen fünf­ ten Transistor T5, dessen Gate mit dem Eingangsanschluss des vierten Transistors T4 verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transistors T3 verbunden ist; einen sechsten Transistor T6, dessen Gate mit dem Ein­ gangsanschluss des dritten Transistors T3 verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des vierten Transis­ tors T4 verbunden ist; einen siebten Transistor T7, der zwi­ schen den Ausgangsanschluss des fünften Transistors T5 und eine Datenleitung D/L geschaltet ist und durch ein Spalten­ auswählsignal gesteuert wird; einen achten Transistor T8, der zwischen den Ausgangsanschluss des sechsten Transistors T6 und eine inverse Datenleitung DB/L geschaltet ist und durch das Spaltenauswählsignal gesteuert wird; einen neunten Transistor T9, dessen Source mit einem Masseanschluss GND verbunden ist und dessen Drain mit den Drains des fünften und sechsten Transistors T5 und T6 verbunden ist; einen zehnten Transistor T10, dessen Source mit einem Versorgungs­ spannungsanschluss Vcc verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des zweiten Transistors T2 verbunden ist; einen elften Transistor T11, dessen Source mit dem Ver­ sorgungsspannungsanschluss verbunden ist und dessen Drain sowohl mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transistors T3 als auch dem Gate des zehnten Transistors T10 verbunden ist; und einem zwölften Transistor T12 zum Ausgleichen der Drains des zehnten Transistors T10 und des elften Transistors T11.Referring to FIG. 13, the sense amplifier has the memory of the embodiment has a first transistor T1 for switching a loaded on the bit line signal; a second transistor T2 for switching a reference signal from a reference signal generating circuit (not shown); a third transistor T3 for switching a signal supplied via the first transistor T1 from the bit line; a fourth transistor T4 for switching a reference signal supplied via the second transistor T2; a fifth transistor T5, the gate of which is connected to the input terminal of the fourth transistor T4 and the drain of which is connected to the output terminal of the third transistor T3; a sixth transistor T6, the gate of which is connected to the input terminal of the third transistor T3 and the drain of which is connected to the output terminal of the fourth transistor T4; a seventh transistor T7 connected between the output terminal of the fifth transistor T5 and a data line D / L and controlled by a column select signal; an eighth transistor T8 connected between the output terminal of the sixth transistor T6 and an inverse data line DB / L and controlled by the column select signal; a ninth transistor T9 whose source is connected to a ground terminal GND and whose drain is connected to the drains of the fifth and sixth transistors T5 and T6; a tenth transistor T10 whose source is connected to a supply voltage terminal Vcc and whose drain is connected to the output terminal of the second transistor T2; an eleventh transistor T11 whose source is connected to the supply voltage terminal and whose drain is connected to both the output terminal of the third transistor T3 and the gate of the tenth transistor T10; and a twelfth transistor T12 for balancing the drains of the tenth transistor T10 and the eleventh transistor T11.

Das Gate des elften Transistors T11 ist mit dem Drain des zehnten Transistors T10 verbunden.The gate of the eleventh transistor T11 is connected to the drain of the tenth transistor T10 connected.

Der erste Transistor T1 wird durch ein Bitleitungs-Steuer­ signal BLC gesteuert, und der zweite Transistor T2 wird durch ein Bezugsbitleitungs-Steuersignal RLC gesteuert. Der dritte und der vierte Transistor T3 und T4 werden durch ein Latchfreigabe-Steuersignal LEC gesteuert. Der neunte Tran­ sistor T9 wird durch ein Leseverstärker-Freigabesignal SEN gesteuert. Der zwölfte Transistor T12 wird durch ein Lese­ verstärker-Ausgleichssignal SEQ gesteuert. Bei den in Fig. 14 dargestellten Signalverläufen an Knoten SN3 und SN4 des in Fig. 13 dargestellten Leseverstärkers repräsentiert A ei­ ne Vorabladeperiode, B eine Verstärkungsperiode, C eine Pseudolatchperiode, D eine tatsächliche Latchperiode und E eine Ausgabeperiode. The first transistor T1 is controlled by a bit line control signal BLC, and the second transistor T2 is controlled by a reference bit line control signal RLC. The third and fourth transistors T3 and T4 are controlled by a latch release control signal LEC. The ninth transistor T9 is controlled by a sense amplifier enable signal SEN. The twelfth transistor T12 is controlled by a sense amplifier compensation signal SEQ. In the waveforms shown at FIG. 14 at nodes SN3 and SN4 of the sense amplifier shown in FIG. 13, A represents a precharge period, B an amplification period, C a pseudolatch period, D an actual latch period and E an output period.

Der im detaillierten Blockdiagramm der Fig. 15 dargestellte Pulldown-Leseverstärker im Speicher des Ausführungsbeispiels ist Teil des in Fig. 13 dargestellten Leseverstärkers.The pull-down sense amplifier shown in the detailed block diagram of FIG. 15 in the memory of the embodiment is part of the sense amplifier shown in FIG. 13.

Der Pulldown-Leseverstärker gemäß Fig. 15 verfügt über einen ersten Transistor T1 zum Schalten eines Signals von der Hauptbitleitung; einen zweiten Transistor T2 zum Schalten eines Bezugssignals; einen dritten Transistor T3 zum Schal­ ten des über den ersten Transistor T1 empfangenen Signals von der Hauptbitleitung; einen vierten Transistor T4 zum Schalten eines über den zweiten Transistor T2 empfangenen Bezugssignals; einen fünften Transistor T5, dessen Gate mit dem Eingangsanschluss des vierten Transistors T4 verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transistors T3 verbunden ist; einen sechsten Transistor T6, dessen Gate mit dem Eingangsanschluss des dritten Transis­ tors T3 verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsan­ schluss des vierten Transistors T4 verbunden ist; und einen neunten Transistor T9, dessen Source mit einem Massean­ schluss GND verbunden ist und dessen Drain mit den Drains des fünften und sechsten Transistors T5 und T6 verbunden ist. . The pull-down sense amplifier shown in FIG 15 has a first transistor T1 for switching a signal from the main bit line; a second transistor T2 for switching a reference signal; a third transistor T3 for switching the signal received via the first transistor T1 from the main bit line; a fourth transistor T4 for switching a reference signal received via the second transistor T2; a fifth transistor T5 whose gate is connected to the input terminal of the fourth transistor T4 and whose drain is connected to the output terminal of the third transistor T3; a sixth transistor T6, the gate of which is connected to the input terminal of the third transistor T3 and the drain of which is connected to the output terminal of the fourth transistor T4; and a ninth transistor T9, the source of which is connected to a ground terminal GND and the drain of which is connected to the drains of the fifth and sixth transistors T5 and T6.

Wenn ein an das Gate des neunten Transistors T9 geliefertes Leseverstärker-Freigabesignal auf den hohen Pegel überführt wird, erfolgt durch den fünften Transistor T5, dessen Gate das Bezugssignal empfängt, und den sechsten Transistor T6, dessen Gate das Signal von der Bitleitung empfängt, ein Ver­ stärkungsvorgang.When one supplied to the gate of the ninth transistor T9 Sense amplifier enable signal converted to the high level is done by the fifth transistor T5, whose gate receives the reference signal, and the sixth transistor T6, the gate of which receives the signal from the bit line, a ver fortification process.

Dann wird das Ausgangssignal an Knoten SN3 und SN4 gelie­ fert, und dann wird es auf das Latchfreigabe-Steuersignal LEC hin an Knoten SN1 und SN2 geliefert. Das heißt, dass das Ausgangssignal auf ein Bitleitungs-Steuersignal BLC hin über den ersten und zweiten Transistor T1 und T2 an die Zellen­ bitleitung geliefert wird. Der in Fig. 16 dargestellte Pull­ up-Leseverstärker im Speicher des Ausführungsbeispiels ist Teil des in Fig. 13 dargestellten Leseverstärkers. Das heißt, dass er innerhalb des in Fig. 13 dargestellten Lese­ verstärkers die Teile ausschließlich des in Fig. 15 darge­ stellten Pulldown-Leseverstärkers aufweist.The output signal is then provided to nodes SN3 and SN4 and then is supplied to nodes SN1 and SN2 in response to the latch release control signal LEC. This means that the output signal is supplied to the cell bit line in response to a bit line control signal BLC via the first and second transistors T1 and T2. The pull-up sense amplifier shown in FIG. 16 in the memory of the exemplary embodiment is part of the sense amplifier shown in FIG. 13. That is, within the sense amplifier shown in Fig. 13, it has the parts excluding the pull-down sense amplifier shown in Fig. 15.

Dieser Pullup-Leseverstärker verstärkt das über die Knoten SN3 und SN4 gelieferte Signal von der Bitleitung. Der Knoten SN3 ist der Ausgangsanschluss des dritten Transistors T3, und der Knoten SN4 ist der Ausgangsanschluss des vierten Transistors T4.This pullup sense amplifier amplifies this across the nodes SN3 and SN4 supplied signal from the bit line. The knot SN3 is the output terminal of the third transistor T3, and node SN4 is the fourth output terminal Transistor T4.

Da der dritte und der vierte Transistor T3 und T4 Bauteile im Pullup-Leseverstärker sind, kann gesagt werden, dass der Pullup-Leseverstärker schließlich eine Pullup-Verstärkung des Signals von der Bitleitung ausführt, das über den Pull­ down-Leseverstärker geliefert wird.Because the third and fourth transistors T3 and T4 components in the pullup sense amplifier, it can be said that the Pullup sense amplifier finally a pullup gain of the signal from the bit line that is pulling down sense amplifier is supplied.

Der in Fig. 16 dargestellte Pullup-Leseverstärker verfügt über zwei PMOS-Transistoren T10 und T11, deren Drains mit den Knoten SN3 bzw. SN4 verbunden sind, denen vom Pulldown- Leseverstärker ein Signal von der Bitleitung zugeführt wird, und mit Sources, die mit einem Versorgungsspannungsanschluss Vcc verbunden sind; einen anderen PMOS-Transistor T12 zum Ausgleichen der Drains der PMOS-Transistoren T10 und T11; und zwei NMOS-Transistoren T7 und T8 zum selektiven Übertra­ gen des pullup-verstärkten Signals an eine Datenleitung und eine inverse Datenleitung.The pull-up sense amplifier shown in Fig. 16 has two PMOS transistors T10 and T11, the drains of which are connected to nodes SN3 and SN4, to which a signal is fed from the bit line by the pull-down sense amplifier, and with sources which are connected to a supply voltage terminal Vcc are connected; another PMOS transistor T12 for balancing the drains of the PMOS transistors T10 and T11; and two NMOS transistors T7 and T8 for selectively transferring the pull-up signal to a data line and an inverse data line.

Das heißt, dass dann, wenn der Datenwert auf der Bitleitung über dem Pegel eines Bezugssignals liegt, der Pullup-Lese­ verstärker eine Pullup-Verstärkung des über den dritten und vierten Transistor T3 und T4 im Pulldown-Leseverstärker übertragenen Bitleitungssignals ausführt. Dieser Prozess er­ folgt im Lesemodus.That is, if the data value is on the bit line is above the level of a reference signal, the pull-up read a pullup gain over the third and fourth transistor T3 and T4 in the pulldown sense amplifier transmitted bit line signal executes. This process he  follows in reading mode.

Wenn sich dagegen der Datenwert auf der Datenleitung und der inversen Datenleitung im Schreibmodus über dem Pegel des Be­ zugssignals befindet, wird das Bitleitungssignal durch den Pullup-Leseverstärker pullup-verstärkt, es durchläuft die Knoten SN3 und SN4, und es wird über den dritten und vierten Transistor T3 und T4 sowie den ersten und zweiten Transistor T1 und T2 im Pulldown-Leseverstärker an die Bitleitung ge­ liefert.If, on the other hand, the data value on the data line and the inverse data line in write mode above the level of Be train signal is located, the bit line signal by the Pullup sense amplifier pullup amplified, it goes through the Nodes SN3 and SN4 and it will be over the third and fourth Transistor T3 and T4 and the first and second transistor T1 and T2 in the pulldown sense amplifier to the bit line delivers.

Beim obigen Pullup-Leseverstärker dient der zwölfte Transis­ tor T12 nicht nur zum Ausgleichen der Knoten SN3 und SN4, sondern er verhindert auch, dass der Pullup-Leseverstärker in einen Latchmodus umschaltet, und zwar obwohl ein durch die Knoten SN3 und SN4 induziertes Signal durch den Pull­ down-Leseverstärker verstärkt wird. Demgemäß kann eine Ver­ stärkung immer dann erfolgen, wenn sich das Eingangssignal ändert. Daher kann der zwölfte Transistor T12 während der gesamten Vorabladeperiode und der Verstärkungsperiode des Eingangs-Leseverstärkers im eingeschalteten Zustand gehalten werden.In the pullup sense amplifier above, the twelfth transis is used gate T12 not only for balancing nodes SN3 and SN4, but it also prevents the pullup sense amplifier switches to a latch mode, even though a through the nodes SN3 and SN4 induced signal by the pull down sense amplifier is amplified. Accordingly, a ver Strengthening always take place when the input signal changes. Therefore, the twelfth transistor T12 during the entire precharge period and the amplification period of the Input sense amplifiers held in the on state will.

Wie erläutert, verfügt der erfindungsgemäße nichtflüchtige ferroelektrische Speicher über den Vorteil, dass die Lese­ verstärker jeweils in einen Pulldown-Leseverstärker und ei­ nen Pullup-Leseverstärker unterteilt sind, wobei der Pullup- Leseverstärker von einem oberen und einem unteren Zellenar­ ray, die in vertikaler Richtung angeordnet sind, gemeinsam genutzt wird, was es erlaubt, die durch die Leseverstärker belegte Fläche zu minimieren, um dadurch eine effekte Ver­ ringerung des Layouts zu erleichtern und für Stabilität fol­ gend auf einen Verstärkungsvorgang zu sorgen.As explained, the non-volatile according to the invention ferroelectric memory about the advantage that reading amplifiers each into a pulldown sense amplifier and egg a pull-up sense amplifier are divided, the pull-up Sense amplifiers from an upper and a lower cellar ray arranged in the vertical direction in common is used what is allowed by the sense amplifier to minimize the occupied area in order to achieve an effective ver lightening of the layout and fol for stability to provide a reinforcement process.

Claims (19)

1. Nichtflüchtiger ferroelektrischer Speicher mit einer Anzahl von Zellenarrays in einer Matrix, mit:
  • - einer Anzahl von Pulldown-Leseverstärkern (12_1, 12_2, . . ., 12_N und 14_1, 14_2, . . ., 14_N), die zwischen in vertika­ ler Richtung angeordneten Zellenarrays so ausgebildet sind, dass sie diesen entsprechen, um eine Pulldown-Verstärkung von Daten in einem entsprechenden Zellenarray auszuführen; und
  • - einem Pullup-Leseverstärker (13_1, 13_2, . . ., 13_N), der von einem oberen und einem unteren Zellenarray gemeinsam ge­ nutzt wird, um eine selektive Pullup-Verstärkung eines Da­ tenwerts im oberen Zellenarray oder eines solchen im unteren Zellenarray auszuführen.
1. Non-volatile ferroelectric memory with a number of cell arrays in a matrix, with:
  • - A number of pulldown sense amplifiers ( 12_1 , 12_2 , ... , 12 _N and 14_1 , 14_2 , ... , 14 _N), which are formed between cell arrays arranged in the vertical direction so that they correspond to them by one Perform pulldown amplification of data in an appropriate cell array; and
  • - A pull-up sense amplifier ( 13_1 , 13_2 , ... , 13 _N) which is shared by an upper and a lower cell array in order to carry out a selective pull-up amplification of a data value in the upper cell array or one in the lower cell array .
2. Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Leseverstärker zum Erfassen eines Datenwerts in einem Zellenarray an der äußersten Position eine Kombination aus einem Pulldown-Leseverstärker und einem Pullup-Leseverstär­ ker aufweist.2. Memory according to claim 1, characterized in that the sense amplifier for acquiring a data value in one Cell array at the outermost position a combination of a pulldown sense amplifier and a pullup sense amplifier ker has. 3. Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass hinsichtlich ein den Zellenarrays entsprechenden Pulldown- Leseverstärker derjenige Pulldown-Leseverstärker (12_1) und der Pullup-Leseverstärker (13_1), die beide einem oberen Zellenarray (11_1) entsprechen, gleichzeitig aktiviert wer­ den oder ein Pulldown-Leseverstärker (14_1) und der Pullup- Leseverstärker (13_1), die beide einem unteren Zellenarray (11_2) entsprechen, gleichzeitig aktiviert werden.3. Memory according to claim 1, characterized in that with respect to a pulldown sense amplifier corresponding to the cell arrays, that pulldown sense amplifier ( 12_1 ) and the pullup sense amplifier ( 13_1 ), both of which correspond to an upper cell array ( 11_1 ), are activated simultaneously or a pulldown sense amplifier ( 14_1 ) and the pullup sense amplifier ( 13_1 ), both of which correspond to a lower cell array ( 11_2 ), are activated simultaneously. 4. Nichtflüchtiger ferroelektrischer Speicher mit:
  • - einem ersten und einem zweiten Zellenarray (11_1, 11_2), die in vertikaler Richtung angeordnet sind;
  • - einem ersten und einem zweiten Teilwortleitungstreiber zum Liefern eines Ansteuerungssignals an das entsprechende Zel­ lenarray;
  • - einem ersten Pulldown-Leseverstärker (12_1) zum selektiven Ausführen einer Pulldown-Verstärkung eines Datenwerts im ersten Zellenarray;
  • - einem zweiten Pulldown-Leseverstärker (14_1) zum selekti­ ven Ausführen einer Pulldown-Verstärkung eines Datenwerts im zweiten Zellenarray (11_2); und
  • - einem Pullup-Leseverstärker (13_1), der vom ersten und zweiten Zellenarray gemeinsam genutzt wird, um eine selekti­ ve Pullup-Verstärkung eines Datenwerts in jedem der Zellen­ arrays auszuführen.
4. Non-volatile ferroelectric memory with:
  • - a first and a second cell array ( 11_1 , 11_2 ) which are arranged in the vertical direction;
  • - A first and a second sub-word line driver for supplying a drive signal to the corresponding cell lenarray;
  • - a first pulldown sense amplifier ( 12_1 ) for selectively performing pulldown amplification of a data value in the first cell array;
  • - a second pulldown sense amplifier ( 14_1 ) for selectively performing pulldown amplification of a data value in the second cell array ( 11_2 ); and
  • - A pull-up sense amplifier ( 13_1 ), which is shared by the first and second cell arrays in order to carry out a selective pull-up amplification of a data value in each of the cell arrays.
5. Speicher nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste oder zweite Pulldown-Leseverstärker (12_1, 14_1) gleichzeitig mit dem Pullup-Leseverstärker (13_l) aktiviert wird.5. A memory according to claim 4, characterized in that the first or second pull-down sense amplifier (12_1, 14_1) is activated simultaneously with the pull-sense amplifier (13_l). 6. Speicher nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass dann, wenn der erste Pulldown-Leseverstärker (12_1) und der Pullup-Leseverstärker (13_1) aktiviert sind und sich der Bitleitungspegel des ersten Zellenarrays (11_1) über einem Bezugspegel befindet, der erste Pulldown-Leseverstärker eine Pulldown-Verstärkung ausführt, und dann, wenn sich der Bit­ leitungspegel unter dem Bezugspegel befindet, der Pullup- Leseverstärker eine Pullup-Verstärkung des Ausgangssignals des ersten Pulldown-Leseverstärkers ausführt.6. The memory of claim 4, characterized in that when the first pulldown sense amplifier ( 12_1 ) and the pullup sense amplifier ( 13_1 ) are activated and the bit line level of the first cell array ( 11_1 ) is above a reference level, the first pulldown Sense amplifier pull-down amplifies, and when the bit line level is below the reference level, the pull-up sense amplifier pull-up the output signal of the first pull-down sense amplifier. 7. Speicher nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Zustand, in dem der zweite Pulldown-Leseverstärker (14_1) und der Pullup-Leseverstärker (13_1) aktiviert sind und der Bitleitungspegel des zweiten Zellenarrays (11_2) über einem Bezugspegel liegt, der Pullup-Leseverstärker eine Pullup-Verstärkung des Ausgangssignals des zweiten Pulldown- Leseverstärkers ausführt, und dann, wenn der Bitleitungspe­ gel unter dem Bezugspegel liegt, der zweite Pulldown-Lese­ verstärker eine Pulldown-Verstärkung ausführt.7. The memory according to claim 4, characterized in that in a state in which the second pulldown sense amplifier ( 14_1 ) and the pullup sense amplifier ( 13_1 ) are activated and the bit line level of the second cell array ( 11_2 ) is above a reference level which Pull-up sense amplifier pull-up amplifies the output of the second pull-down sense amplifier, and when the bit line level is below the reference level, the second pull-down sense amplifier performs pull-down gain. 8. Speicher nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Pullup-Leseverstärker (13_1) eine Pullup-Verstärkung eines über den Pulldown-Leseverstärker (12_1, 14_1) empfangenen Bitleitungssignals ausführt.8. Memory according to one of claims 6 or 7, characterized in that the pull-up sense amplifier ( 13_1 ) carries out a pull-up amplification of a bit line signal received via the pull-down sense amplifier ( 12_1 , 14_1 ). 9. Speicher nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine Anzahl erster und zweiter Zellenarrays (11_1, 11_2) in einer Matrix ausgebildet ist.9. Memory according to claim 4, characterized in that a number of first and second cell arrays ( 11_1 , 11_2 ) is formed in a matrix. 10. Speicher nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Leseverstärker zum Erfassen eines Datenwerts im Zellen­ array an der äußersten Position unter der Anzahl erster und zweiter Zellenarrays eine Kombination aus dem ersten und zweiten Pulldown-Leseverstärker (12_1, 14_1) und dem Pullup- Leseverstärker (13_1) aufweist.10. The memory as claimed in claim 9, characterized in that the sense amplifier for detecting a data value in the cell array at the outermost position among the number of first and second cell arrays is a combination of the first and second pull-down sense amplifiers ( 12_1 , 14_1 ) and the pull-up Sense amplifier ( 13_1 ). 11. Speicher nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Pulldown-Leseverstärker (12_1, 14_1) dasselbe System aufweisen.11. The memory according to claim 4, characterized in that the first and the second pull-down sense amplifier ( 12_1 , 14_1 ) have the same system. 12. Speicher nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Leseverstärker zum Erfassen eines Datenwerts im Zellen­ array an der äußersten Position Folgendes aufweist:
  • - einen ersten Transistor (T1) zum Schalten eines Signals von einer Hauptbitleitung;
  • - einen zweiten Transistor (T2) zum Schalten eines Bezugs­ signals;
  • - einen dritten Transistor (T3), der durch ein Latchfreiga­ be-Steuersignal LEC gesteuert wird, um das Signal vom ersten Transistor zu schalten;
  • - einen vierten Transistor (T4), der durch das Latchfreiga­ be-Steuersignal gesteuert wird, um das Signal vom zweiten Transistor zu schalten;
  • - einen fünften Transistor (T5), dessen Gate mit dem Ein­ gangsanschluss des vierten Transistors verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transis­ tors verbunden ist;
  • - einen sechsten Transistor (T6), dessen Gate mit dem Ein­ gangsanschluss des dritten Transistors verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des vierten Transis­ tors verbunden ist;
  • - einen siebten Transistors (T7), der zwischen dem Ausgangs­ anschluss des fünften Transistors und einer Datenleitung B/L ausgebildet ist und durch ein Spaltenauswählsignal CS ge­ steuert wird;
  • - einen achten Transistor (T8), der zwischen dem Ausgangsan­ schluss des sechsten Transistors und einer inversen Daten­ leitung (DB/L) ausgebildet ist und durch das Spaltensteuer­ signal gesteuert wird;
  • - einen neunten Transistor (T9), dessen Drain mit den Sour­ ces des fünften und sechsten Transistors verbunden ist und dessen Source mit einem Masseanschluss (GND) verbunden ist und der auf ein Leseverstärker-Freigabesignal (SEN) hin ar­ beitet;
  • - einen zehnten Transistor (T10), dessen Source mit einem Versorgungsspannungsanschluss (Vcc) verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transistors ver­ bunden ist;
  • - einen elften Transistor (T11), dessen Source mit dem Ver­ sorgungsspannungsanschluss verbunden ist und dessen Drain gemeinsam mit dem Ausgangsanschluss des vierten Transistors und dem Drain des zehnten Transistors verbunden ist; und
  • - einen zwölften Transistor (T12) zum Ausgleichen der Drains des zehnten und elften Transistors.
12. The memory as claimed in claim 10, characterized in that the sense amplifier for detecting a data value in the cell array has the following at the outermost position:
  • - a first transistor (T1) for switching a signal from a main bit line;
  • - A second transistor (T2) for switching a reference signal;
  • - A third transistor (T3), which is controlled by a Latchfreiga be control signal LEC to switch the signal from the first transistor;
  • - A fourth transistor (T4), which is controlled by the Latchfreiga control signal to switch the signal from the second transistor;
  • - A fifth transistor (T5), the gate of which is connected to the input terminal of the fourth transistor and the drain of which is connected to the output terminal of the third transistor;
  • - A sixth transistor (T6) whose gate is connected to the input terminal of the third transistor and whose drain is connected to the output terminal of the fourth transistor;
  • - A seventh transistor (T7), which is formed between the output terminal of the fifth transistor and a data line B / L and is controlled by a column selection signal CS;
  • - An eighth transistor (T8) which is formed between the output terminal of the sixth transistor and an inverse data line (DB / L) and is controlled by the column control signal;
  • - A ninth transistor (T9), the drain of which is connected to the sources of the fifth and sixth transistor and the source of which is connected to a ground terminal (GND) and which operates in response to a sense amplifier enable signal (SEN);
  • - A tenth transistor (T10), the source of which is connected to a supply voltage terminal (Vcc) and the drain of which is connected to the output terminal of the third transistor;
  • - An eleventh transistor (T11), the source of which is connected to the supply voltage terminal and the drain of which is connected in common to the output terminal of the fourth transistor and the drain of the tenth transistor; and
  • - A twelfth transistor (T12) for balancing the drains of the tenth and eleventh transistors.
13. Speicher nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der zehnte, elfte und zwölfte Transistor (T10, T11 und T12) PMOS-Transistoren sind und die anderen Transistoren NMOS- Transistoren sind.13. The memory according to claim 12, characterized in that the tenth, eleventh and twelfth transistor (T10, T11 and T12) Are PMOS transistors and the other transistors are NMOS Are transistors. 14. Speicher nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte und der vierte Transistor (T3, T4) während des Schreibens von Daten im eingeschalteten Zustand gehalten werden und während des Lesens von Daten im ausgeschalteten Zustand gehalten werden.14. Memory according to claim 12, characterized in that the third and fourth transistor (T3, T4) during the Writing data kept on be turned off and while reading data in the Condition. 15. Speicher nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Pullup-Leseverstärker (13_1) Folgendes aufweist:
  • - einen siebten Transistor (T7), der zwischen dem Ausgangs­ anschluss des fünften Transistors (T5) und einer Datenlei­ tung ausgebildet ist und durch das Spaltenauswählsignal ge­ steuert wird;
  • - einen achten Transistor (T8), der zwischen dem Ausgangsan­ schluss des sechsten Transistors (T6) und einer inversen Da­ tenleitung ausgebildet ist und durch das Spaltensteuersignal gesteuert wird;
  • - einen zehnten Transistor (T10), dessen Source mit dem Ver­ sorgungsspannungsanschluss (Vcc) verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transistors ver­ bunden ist;
  • - einen elften Transistor (T11), dessen Source mit dem Ver­ sorgungsspannungsanschluss verbunden ist und dessen Drain gemeinsam mit dem Ausgangsanschluss des vierten Transistors und dem Gate des zehnten Transistors verbunden ist; und
  • - einen zwölften Transistor (T12) zum Ausgleichen der Drains des zehnten und elften Transistors.
15. The memory according to claim 10, characterized in that the pull-up sense amplifier ( 13_1 ) has the following:
  • - A seventh transistor (T7) which is formed between the output terminal of the fifth transistor (T5) and a data line and is controlled by the column selection signal;
  • - An eighth transistor (T8) which is formed between the output terminal of the sixth transistor (T6) and an inverse data line and is controlled by the column control signal;
  • - A tenth transistor (T10), the source of which is connected to the supply voltage terminal (Vcc) and the drain of which is connected to the output terminal of the third transistor;
  • - An eleventh transistor (T11), the source of which is connected to the supply voltage terminal and the drain of which is connected in common to the output terminal of the fourth transistor and the gate of the tenth transistor; and
  • - A twelfth transistor (T12) for balancing the drains of the tenth and eleventh transistors.
16. Speicher nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Pulldown-Leseverstärker (12_1) Folgendes aufweist:
  • - einen ersten Transistor (T1) zum Schalten des Signals von einer Hauptbitleitung des ersten Zellenarrays (11_1) inner­ halb des ersten und zweiten Zellenarrays (11_1, 12_1);
  • - einen zweiten Transistor (T2) zum Schalten eines Bezugs­ signals;
  • - einen dritten Transistor (T3), der durch ein Latchfreiga­ be-Steuersignal (LEC) gesteuert wird, um das Signal vom ers­ ten Transistor zu schalten;
  • - einen vierten Transistor (T4), der durch das Latchfreiga­ be-Steuersignal gesteuert wird, um das Signal vom zweiten Transistor zu schalten;
  • - einen fünften Transistor (T5), dessen Gate mit dem Ein­ gangsanschluss des vierten Transistors verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des dritten Transis­ tors verbunden ist;
  • - einen sechsten Transistor (T6), dessen Gate mit dem Ein­ gangsanschluss des dritten Transistors verbunden ist und dessen Drain mit dem Ausgangsanschluss des vierten Transis­ tors verbunden ist; und
  • - einen neunten Transistor (T9), dessen Source mit einem Masseanschluss verbunden ist und dessen Drain mit den Drains des fünften und sechsten Transistors verbunden ist.
16. The memory according to claim 10, characterized in that the first pull-down sense amplifier ( 12_1 ) has the following:
  • - a first transistor (T1) for switching the signal from a main bit line of the first cell array ( 11_1 ) within the first and second cell arrays ( 11_1 , 12_1 );
  • - A second transistor (T2) for switching a reference signal;
  • - A third transistor (T3), which is controlled by a latch release control signal (LEC) in order to switch the signal from the first transistor;
  • - A fourth transistor (T4), which is controlled by the Latchfreiga control signal to switch the signal from the second transistor;
  • - A fifth transistor (T5), the gate of which is connected to the input terminal of the fourth transistor and the drain of which is connected to the output terminal of the third transistor;
  • - A sixth transistor (T6) whose gate is connected to the input terminal of the third transistor and whose drain is connected to the output terminal of the fourth transistor; and
  • - A ninth transistor (T9), whose source is connected to a ground connection and whose drain is connected to the drains of the fifth and sixth transistor.
17. Speicher nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Transistoren im ersten Pulldown-Leseverstärker (12_1) NMOS-Transistoren sind.17. The memory according to claim 16, characterized in that the transistors in the first pull-down sense amplifier ( 12_1 ) are NMOS transistors. 18. Speicher nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Drain des fünften Transistors (T5) mit dem Drain des zehnten Transistors (T10) verbunden ist und der Drain des sechsten Transistors (T6) mit dem Drain des elften Transis­ tors (T11) verbunden ist. 18. Memory according to claim 16, characterized in that the drain of the fifth transistor (T5) with the drain of the tenth transistor (T10) is connected and the drain of the sixth transistor (T6) with the drain of the eleventh transistor tors (T11) is connected.   19. Speicher nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Pulldown-Leseverstärker (14_1) dasselbe System wie der erste Pulldown-Leseverstärker (12_1) aufweist und der erste Transistor (T1) das Signal von einer Hauptbitlei­ tung im zweiten Zellenarray (11_2) innerhalb des ersten und zweiten Zellenarrays (11_1, 11_2) schaltet.19. Memory according to claim 10, characterized in that the second pulldown sense amplifier ( 14_1 ) has the same system as the first pulldown sense amplifier ( 12_1 ) and the first transistor (T1) receives the signal from a main bit line in the second cell array ( 11_2 ) switches within the first and second cell arrays ( 11_1 , 11_2 ).
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