DE10034158A1

DE10034158A1 - Reflexionsmindernde Beschichtung

Info

Publication number: DE10034158A1
Application number: DE10034158A
Authority: DE
Inventors: Ulrike Schulz; Norbert Kaiser; Uwe Schallenberg
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2000-07-10
Filing date: 2000-07-10
Publication date: 2002-02-07
Anticipated expiration: 2020-07-11
Also published as: DE10034158C2; ATE418740T1; EP1307767B1; EP1307767A2; WO2002004374A3; WO2002004374A2; US20020136877A1; US6645608B2; DE50114601D1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine reflexionsvermindernde Beschichtung auf einem Substrat, die aus einem alternierenden Wechselschichtsystem, unterschiedlicher Schichtmaterialien mit jeweils niedrigerem und höherem Brechungsindex gebildet ist. Die Erfindung kann insbesondere auf Oberflächen von Substraten, wie optische Elemente und insbesondere Brillengläser vorteilhaft eingesetzt werden. Aufgabengemäß sollen unterschiedlichste Substrate beschichtet werden und beim Auftragen einer reflexionsvermindernden Beschichtung keine unzulässige Erwärmung des jeweiligen Substrates auftreten. Hierzu wird eine Beschichtung aufgebracht, bei der die Summe der Schichtdicken von Schichten mit jeweils höherem Brechungsindex 5% der Gesamtschichtdicke der Beschichtung ist und die Schichten aus dem Material mit höherem Brechungsindex innerhalb der Schichtfolge des Wechselschichtsystems gleichmäßig verteilt sind.

Description

Die Erfindung betrifft eine reflexionsmindernde Be schichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Mit der erfindungsgemäßen Lösung kann die Reflexion von auf die Oberfläche von Substraten auftreffendem Licht effektiv und in hohem Maße verringert werden, was für viele Anwendungsfälle, insbesondere für viele opti sche Elemente (Linsen, Fenster, Prismen u. a.) oder optoelektronische Elemente und auch für Brillengläser wünschenswert ist. Die Beschichtung kann besonders vorteilhaft zur Reflexionsverminderung im sichtbaren Spektralbereich eingesetzt werden.

Für viele Applikationen und hier sollen Brillengläser explizit genannt werden, ist es ebenfalls erforder lich, eine entsprechende "Antireflexbeschichtung" mit hoher Abriebbeständigkeit zur Verfügung zu stellen. In der Vergangenheit hat sich auch Kunststoff, ins besondere wegen der Herstellungskosten und der im Vergleich zu Gläsern geringeren Dichte als Material für optische Elemente und Brillengläser durchgesetzt.

Kunststoff weist zwar äquivalente optische Eigen schaften gegenüber den bis dato verwendeten Gläsern auf, verfügt aber über eine wesentlich geringere Kratzfestigkeit, so dass bei mechanischen, abrasiv wirkenden Einflüssen die Oberflächen beschädigt und das optische Verhalten entsprechend verschlechtert wird.

Für optische Bauteile und insbesondere Brillengläser sind abriebbeständige und reflexionsvermindernde Oberflächen, die nur durch entsprechende Beschichtun gen erhalten werden können, erforderlich.

Solche Beschichtungen müssen beispielsweise auch bei erforderlichen Reinigungsprozessen eine ausreichende Wischfestigkeit gemäß der Internationalen Norm ISO 9211-02 erfüllen, die mit Baumwolltüchern oder Radiergummi durchgeführt werden.

Insbesondere bei Brillengläsern werden Hartschichten mit einer Dicke von mehreren Mikrometern und darauf eine zusätzliche reflexionsmindernde Beschichtung aufgebracht.

Solche Hartschichten können durch Auftrag von Lack und dem nachfolgenden Aufdampfen einer reflexionsmin dernden Beschichtung, wie von W. Köppen und E. Kamp meyer in DOZ 2(1995); Seiten 22 bis 26 beschrieben, hergestellt werden.

Die Erzeugung von Hartschichten durch Plasmapolymeri sation geht auf J. Bötschi, F. Thieboud zurück und ist in DOZ 10 (1992); Seiten 26 bis 27 und für das Aufdampfen solcher Hartschichten von D. Giessner in NOJ 5 (1995); Seiten 62 bis 64 erwähnt, wobei es sich bei der letztgenannten Veröffentlichung um organisch modifizierte Quarzschichten handelt. Im Nachgang zum Aufbringen solcher Hartschichten ist es wiederum er forderlich, durch bekannte CVD- bzw. PVD-Verfahren die reflexionsmindernde Deckschicht aufzubringen.

Insbesondere an thermoplastische Polymere, wie Poly methylmethacrylat, Polycarbonat und andere solche Kunststoffe, werden die gleichen Anforderungen, wie an andere Substratmaterialien gestellt, wobei bisher entsprechend geeignete Beschichtungen nasschemisch oder durch Aufdampfen bzw. eine Kombination dieser Beschichtungsverfahren erhalten werden. So ist ein nasschemischer Auftrag mit bekannten Lackiertechniken ein zusätzlicher Herstellungsschritt, der vom Verfah rensschritt der Ausbildung der reflexionsmindernden Schicht entkoppelt ist, aufwendig und teuer. Für Prä zisionsoptiken mit sehr unregelmäßig geformten bzw. stark gekrümmten Oberflächen und bei kleinteiligen optischen Elementen sind solche Verfahren ungeeignet. Bei einer reflexionsmindernden Beschichtung, die auf eine relativ Dicke abriebfestere Hartschicht aufge bracht worden ist, tritt eine zusätzliche Welligkeit der spektralen Reflexion des Gesamtschichtsystems, infolge Interferenzwirkung bei unterschiedlichem Bre chungsindize von Substratmaterial und Hartschicht auf.

Für breitbandige reflexionsvermindernde Beschichtun gen, die beispielsweise den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes abdecken, sind zwei bis sechs Ein zelschichten erforderlich. Bei den bekannten Wechsel schichtsystemen kann es zu einer Erwärmung des Sub strates kommen. Es können Temperaturen erreicht wer den, die oberhalb von kritischen Erweichungstempera turen (z. B. 80 bis 110°C bei Acrylaten) des Sub stratmaterials liegen. Die Erwärmung erfolgt dabei im Wesentlichen durch die Verdampfung des hochbrechenden Schichtmaterials.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine reflexions mindernde Beschichtung auf einem Substrat zur Verfü gung zu stellen, die auf beliebigen Substraten aufge bracht werden kann, ohne dass beim Auftragen eine unzulässige Erwärmung auftritt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Be schichtung gemäß Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Aus gestaltungsformen und Weiterbildungen der Erfindung können mit den in den untergeordneten Ansprüchen ge nannten Merkmalen erreicht werden.

Die erfindungsgemäße reflexionsmindernde Beschichtung wird aus einem alternierenden Wechselschichtsystem, unterschiedlicher Schichtmaterialien mit jeweils niedrigerem und höherem Brechungsindex, gebildet. Dabei wird das Schichtsystem so ausgelegt, dass die Summe der Schichtdicken von Schichten mit höherem Brechungsindex ≦ 5%, der Gesamtschichtdicke der Be schichtung beträgt. Diese Schichten sind innerhalb der Schichtfolge des Wechselschichtsystems weitestge hend gleichmäßig verteilt angeordnet. Die gleichmäßi ge Verteilung und Auswahl der Dicken der sehr dünnen höherbrechenden Schichten erfolgt unter Berücksichti gung eines vorgegebenen Wellenlängenbereiches des Lichtes sowie der optischen Eigenschaften der Schicht- und Substratmaterialien.

Das Substrat ist bevorzugt im Wellenlängenbereich, in dem die Reflexion verhindert werden soll, optisch transparent. Durch die Beschichtung wird die Trans parenz erhöht.

Als Substratmaterial können neben den üblicherweise verwendeten optischen Gläsern auch die unterschiedlichsten Kunststoffe, wie z. B. Polycarbonat und Poly methylmethacrylat, aber auch temperaturempfindliche Kristallmaterialien eingesetzt werden, wobei die Be schichtung mit Verfahren für die Substratvorbehand lung und Schichtausbildung, wie sie in DE 197 03 538 A1 und DE 197 52 889 C1 beschrieben sind, aufgebracht werden kann. Mit der Erfindung ist es möglich, die unerwünschte Erwärmung des Substratmaterials aus zuschließen.

Als Schichtmaterialien für die Einzelschichten des Wechselschichtsystems mit höherem Brechungsindex kön nen Oxide oder Fluoride bevorzugt von Elementen der IV. und V. Nebengruppen eingesetzt werden. Beispiele sind Ta₂O₅, ZrO₂, HfO₂, TiO₂ oder auch Indium-Zinn- Oxid (ITO).

Für die Schichten aus Materialien mit entsprechend niedrigerem Brechungsindex können vorteilhaft SiO₂ und MgF₂ eingesetzt werden, wobei insbesondere SiO₂ günstige Eigenschaften als Hartschicht aufweist. Ge nerell besteht die die Grenzschicht zu Luft bildende Schicht aus niedrigbrechendem Material.

Das die Reflexion vermindernde Wechselschichtsystem kann aus Schichten lediglich zweier Materialien mit den entsprechenden Brechungsinizes gebildet sein. Es besteht aber auch die Möglichkeit, ein solches Wech selschichtsystem aus mehreren solcher Materialien auszubilden.

Ein solches Wechselschichtsystem kann auf einen vor gebbaren Wellenlängenbereich des Lichtes abgestimmt werden, wobei Möglichkeiten bestehen, eine Abstimmung für den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes, des Lichtes im nahen Infrarotbereich und auch im UV- Bereich vorzunehmen.

Für das Wechselschichtsystem müssen mindestens fünf, bevorzugt mindestens neun Einzelschichten eingesetzt werden, wobei jedoch die Anzahl der Schichten auch wesentlich größer gewählt werden kann.

Die gesamte Beschichtung kann im sichtbaren Spektral bereich eine Gesamtdicke zwischen 500 und 2500 nm, bevorzugt zwischen 750 bis 2000 nm aufweisen.

Bei Bedarf kann die erfindungsgemäße Beschichtung auf eine auf der Substratoberfläche bereits vorhandener Schicht oder Beschichtung aufgebracht werden.

Wird beispielsweise SiO₂ als Hartschichtkomponente in einem Wechselschichtsystem für eine erfindungsgemäß auf einem optisch transparenten Substrat ausgebildete Beschichtung eingesetzt, bildet das Schichtsystem eine Einheit, die gleichzeitig eine hohe Abrieb festigkeit und eine hohe reflexionsmindernde Wirkung aufweist.

Beispiel 1

Eine Beschichtung für den sichtbaren Spektralbereich im Wellenlängenbereich zwischen λ₁ = 420 nm und λ₂ = 670 nm kann z. B. folgendes Schichtdesign aufwei sen, das mit konstanten Brechzahlen von 1,5 für das Substrat 1,46 für die SiO₂-Schichten, 2,1 für die Ta₂O₅-Schichten und 1,0 für Luft berechnet wurde. Das Reflexionsverhalten im Wellenlängenbereich ist in Fig. 1 grafisch dargestellt.

Substrat PMMA

1. Schicht 210 nm SiO₂
2. Schicht 4 nm Ta₂O₅
3. Schicht 251 nm SiO₂
4. Schicht 6 nm Ta₂O₅
5. Schicht 248 nm SiO₂
6. Schicht 9 nm Ta₂O₅
7. Schicht 237 nm SiO₂
8. Schicht 16 nm Ta₂O₅
9. Schicht 119 nm SiO₂
Luft

Die Gesamtdicke der Schichtfolge beträgt 1100 nm, davon entfallen 1065 nm auf die in der Summe als Hartschicht wirkenden SiO₂-Schichten und lediglich 35 nm auf die für die zusätzliche Antireflexwirkung notwendigen Ta₂O₅-Schichten.

Durch Einbau weiterer Schichtpaare aus SiO₂ und Ta₂O₅ ähnlicher Dicke nach der fünften Schicht kann die Gesamtschichtdicke und damit die mechanische Stabili tät des Schichtsystems erhöht werden. Durch Entfernen der Schichten 4 und 5 bzw. 4 bis 7 kann das Schicht design reduziert werden, ohne dass die Antireflexwir kung verloren geht.

Das entsprechende Reflexionsverhalten dieser Schicht systeme ist in dem in Fig. 2 gezeigten Diagramm ver deutlicht.

Beschichtungen aus SiO₂- und Ta₂O₅-Schichten auf Kunststoffen sind im sichtbaren Spektralbereich z. B. mit folgenden Schichtenzahlen und Gesamtschichtdicken möglich:
7 Schichten: ca. 850 nm
9 Schichten: ca. 1100 nm
11 Schichten: ca. 1300 nm
13 Schichten: ca. 1600 nm
15 Schichten: ca. 1850 nm
17 Schichten: ca. 2100 nm

Beispiel 2

Neben Beschichtungen für den VTS-Bereich sind auch analoge Schichtfolgen für den NIR- und den UV-Bereich möglich, welche sowohl abriebfest sind, wie auch re flexionsmindernd wirken und auf die genannten emp findlichen Substratmaterialien aufgebracht werden können. Für den NIR-Wellenlängenbereich zwischen λ₁ = 700 nm und λ₂ = 1100 nm ist folgende Schichtfol ge mit neun Einzelschichten möglich. Sie wurde mit konstanten Brechzahlen von 1,5 für das Substrat, 1,46 für die SiO₂-Schichten, 2,1 für die Ta₂O₅-Schichten und 1,0 für Luft berechnet.

Substrat Kunststoff

1. Schicht 349 nm SiO₂
2. Schicht 6,5 nm Ta₂O₅
3. Schicht 417 nm SiO₂
4. Schicht 10 nm Ta₂O₅
5. Schicht 412 nm SiO₂
6. Schicht 15 nm Ta₂O₅
7. Schicht 393,5 nm SiO₂
8. Schicht 26,5 nm Ta₂O₅
9. Schicht 197,5 nm SiO₂
Luft

Die Gesamtdicke der Schichtfolge beträgt 1827 nm, davon entfallen 1769 nm auf die in der Summe als Hartschicht wirkenden SiO₂-Schichten und lediglich 58 nm auf die für die Antireflexwirkung notwendigen Ta₂O₅-Schichten.

Das Reflexionsverhalten für diesen Wellenlängenbe reich ist im Diagramm Fig. 3 verdeutlicht worden.

Beispiel 3

Für den UV-Wellenlängenbereich zwischen λ₁ = 290 nm und λ₂ = 470 nm ist folgende Schichtfolge mit neun Einzelschichten möglich. Sie wurde mit konstanten Brechzahlen von 1,5 für das Substrat, 1,46 für die SiO₂-Schichten, 2,1 für die Ta₂O₅-Schichten und 1,0 für Luft berechnet.

Substrat Kunststoff

1. Schicht 147 nm SiO₂
2. Schicht 3 nm Ta₂O₅
3. Schicht 176 nm SiO₂
4. Schicht 4,5 nm Ta₂O₅
5. Schicht 174 nm SiO₂
6. Schicht 6,5 nm Ta₂O₅
7. Schicht 166 nm SiO₂
8. Schicht 11 nm Ta₂O₅
9. Schicht 83,5 nm SiO₂
Luft

Fig. 4 zeigt das entsprechende Reflexionsverhalten diagrammartig.

Die Gesamtdicke der Schichtfolge beträgt 771 nm, da von entfallen 746,5 nm auf die in der Summe als Hart schicht wirkenden SiO₂-Schichten und lediglich 25 nm auf die für die Antireflexwirkung notwendigen Ta₂O₅- Schichten.

Die Güte der Antireflexwirkung ist abhängig von der Brechzahl des niedrigbrechenden Schichtmaterials. Neben dem bisher angeführten SiO₂ mit einer Brechzahl von 1,46 ist als niedrigbrechendes Material z. B. auch MgF₂ mit einer Brechzahl von 1,38 möglich. Auch die hochbrechenden Schichten können aus einem anderen Material, z. B. aus ZrO₂ mit einer Brechzahl von 2,0 bestehen. Bei Verwendung eines Materials mit einer geringeren Brechzahl als SiO₂ kann für die mittlere Restreflexion im Wellenlängenbereich zwischen λ₁ und λ₂, z. B. mit MgF₂ ein Wert kleiner als 0,5% erreicht werden.

Beispiel 4

Eine Beschichtung für den sichtbaren Spektralbereich in dem Wellenlängenbereich zwischen λ₁ = 420 nm und λ₂ = 670 nm unter Verwendung der Materialien MgF₂ und ZrO₂ ist z. B. folgendes Schichtdesign möglich. Es wurde mit konstanten Brechzahlen für 1,5 für das Sub strat, 1,38 für die MgF₂-Schichten, 2,0 für die ZrO₂- Schichten und 1,0 Luft berechnet. Das Reflexionsver halten ist in Fig. 5 dargestellt.

Substrat Kunststoff

1. Schicht 222 nm MgF₂
2. Schicht 7 nm ZrO₂
3. Schicht 256 nm MgF₂
4. Schicht 10 nm ZrO₂
5. Schicht 255 nm MgF₂
6. Schicht 13 nm ZrO₂
7. Schicht 245 nm MgF₂
8. Schicht 20,5 nm ZrO₂
9. Schicht 121 nm MgF₂
Luft

Die Gesamtdicke der Schichtfolie beträgt 1149,5 nm, davon entfallen 1099 nm auf die MgF₂-Schichten und 50,5 nm auf die für die Antireflexwirkung notwendigen ZrO₂-Schichten.

Diese Schichtfolge und das dabei eingesetzte niedrig brechende Material MgF₂ zeigen jedoch nur die prinzi pielle Antireflexwirkung, da eine Hartschicht aus MgF₂ i. a. nicht möglich ist. Das hochbrechende Mate rial kann jedoch in einer Beschichtung durchaus vari ieren und außenseitig eine abriebfestere Deckschicht mit entsprechendem Brechnungsindex aufgebracht wer den. In der Kombination mit SiO₂ als Hartschicht sind dabei außer den schon genannten Ta₂O₅ z. B. für den UV-Bereich ZrO₂ sowie HfO₂ und im VIS- und NIR-Be reich TiO₂ oder ITO (Indium-Zinn-Oxid) möglich. We sentlich für die Verwendung des hochbrechenden Mate rials ist dabei dessen geringe Gesamtdicke unter 1/20 der Gesamtdicke der Schichtfolge, wodurch gesichert ist, dass bei der Herstellung der Beschichtung eine minimale Wärmebelastung des Kunststoffsubstrates auf tritt. Bei Verwendung von Indium-Zinn-Oxid (ITO) kann die Beschichtung zusätzlich antistatisch wirken.

Beispiel 5

Ein Anwendungsbeispiel ist die Entspiegelung von Brillengläsern sowie von optischen Fenstern aus transparenten Kunststoffen (Polycarbonat oder PMMA), z. B. für Anzeigen von Messgeräten und in Fahrzeugen, welche nach der Beschichtung eine Abriebbeständigkeit nach ISO 9211-02-04 (Radiergummitest, 40 Hübe mit einer Kraft von 10 N) aufweisen sollen.

Die zu beschichtenden Substrate werden in einer Be schichtungsanlage mit Plasma-Ionenquelle vor der ei gentlichen Schichtabscheidung 30 Sekunden lang mit Argonionen einer Energie von ca. 100 eV und einer Stromdichte von ca. 0.1 mA/cm² beschossen.

Wenn es sich um Substrate aus PMMA handelt, wird die se Vorbehandlung durch eine Oberflächenmodifizierung von Polymethylmethacrylat, wie sie ausführlich in DE 197 03 538 A1, auf deren Offenbarungsgehalt vollum fänglich Bezug genommen wird, beschrieben ist, er setzt.

Dabei wird zur Erhöhung der Haftfähigkeit und Stabi lität der Beschichtung eine Plasmabehandlung im Vaku um vor dem Aufbringen der Beschichtung durchgeführt. Bei der Plasmabehandlung wird Sauerstoff und ein Was ser enthaltendes Gas zugeführt. Es sollte vorzugswei se ein äquivalenter Anteil von Wasser, der einer re lativen Luftfeuchtigkeit von mindestens 40% ent spricht, eingehalten werden. Das Substratmaterial wird dadurch an der Oberfläche abgetragen und paral lel dazu eine chemische Reaktion eingeleitet, bei der die Oberfläche des Substrates unter Ausbildung einer Polymerschicht verändert wird. Die an der Oberfläche des Substrates ausgebildete Polymerschicht unter scheidet sich in ihrer chemischen Zusammensetzung und dementsprechend auch mit ihren Eigenschaften deutlich vom unbehandelten Substratmaterial. Dieses oberfläch liche Polymermaterial weist einen besonders hohen Anteil von Methylen- und Hydroxylgruppen auf. Bei PMMA als Substrat sind während dieser, die Oberfläche modifizierenden Vorbehandlung die charakteristischen C-O und C=O-Gruppierungen abgebaut worden.

Für die Herstellung der Beschichtung werden abwech selnd Schichten aus SiO₂ und Ta₂O₅ abgeschieden, wobei die wachsende Schicht mit Ar-Ionen einer Energie von 80 eV (SiO₂) und 120 eV (Ta₂O₅) und einer Stromdichte von ca. 0.1 mA/cm² beschossen wird. Durch Abscheidung des in Beispiel 1 angegebenen Schichtsystems wird die Reflexion einer beschichteten Fläche im sichtbaren Spektralbereich von 420 nm bis 670 nm auf < 1% ver ringert. Die Durchlässigkeit für sichtbares Licht (Transmission) wird durch eine beidseitige Beschich tung von 92% auf < 98% erhöht. Das Beschichtungsver fahren mit der Argonionenbehandlung ist umfassend in DE 197 52 889 C1 beschrieben.

Die Beschichtung besteht den Abriebtest nach ISO 9211-02-04 ohne Defektbildung sowie einen Abriebtest mit Stahlwolle. Die Kratzfestigkeit wurde damit ge genüber der des unbeschichteten Substrates wesentlich verbessert. Die Fig. 6 zeigt die gemessene Transmis sion bei einseitiger Beschichtung eines so herge stellten Schichtsystems.

Die Fig. 7 zeigt den Aufbau eines Schichtsystems in einem Prinzipschema.

Claims

1. Reflexionsmindernde Beschichtung auf einem Sub strat, die aus einem alternierenden Wechsel schichtsystem, unterschiedlicher Schichtmateria lien mit jeweils niedrigerem und höherem Bre chungsindex gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Summe der Schichtdicken von Schichten mit höherem Brechungsindex ≦ 5% der Gesamt schichtdicke der Beschichtung ist und die Schichten aus dem Material mit höherem Bre chungsindex innerhalb der Schichtfolge des Wech selschichtsystems gleichmäßig verteilt sind.

2. Reflexionsmindernde Beschichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung auf optisch transparentem Substrat aufgebracht ist.

3. Reflexionsmindernde Beschichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat aus einem Kunststoffmaterial oder einem temperaturempfindlichen Kristallmaterial be steht.

4. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Schichtmaterial mit höherem Brechungsindex ausgewählt aus Oxiden oder Fluoriden der Elemen te der IV. und V. Nebengruppen ist.

5. Reflexionsmindernde Beschichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Schichtmate rial für die Schichten mit höherem Brechungsin dex Ta₂O₅, ZrO₂, HfO₂, TiO₂ oder Indium-Zinn-Oxid ist.

6. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass SiO₂ ein Schichtmaterial für die Schichten mit niedrigerem Brechungsindex ist.

7. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass MgF₂ ein Schichtmaterial für die Schichten mit niedrigerem Brechungsindex ist.

8. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die die Grenzschicht zu Luft bildende Schicht aus einem Material mit niedrigerem Brechungsin dex gebildet ist.

9. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass höher brechende Schichten aus unterschiedlichen Materialien im Schichtsystem angeordnet sind.

10. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Schichtsystem auf einen vorgebbaren Wellen längenbereich des Lichtes abgestimmt ist.

11. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens fünf Einzelschichten das Schichtsystem bilden.

12. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung eine Gesamtdicke zwischen 500 und 2500 nm aufweist.

13. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat ein optisches oder optoelektroni sches Element ist.

14. Reflexionsmindernde Beschichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat ein Brillenglas ist.