DE10030718A1 - Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves - Google Patents

Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves

Info

Publication number
DE10030718A1
DE10030718A1 DE10030718A DE10030718A DE10030718A1 DE 10030718 A1 DE10030718 A1 DE 10030718A1 DE 10030718 A DE10030718 A DE 10030718A DE 10030718 A DE10030718 A DE 10030718A DE 10030718 A1 DE10030718 A1 DE 10030718A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sound
sound waves
cleaned
medium
time
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10030718A
Other languages
German (de)
Inventor
Siegfried Oberthuer
Karin Friedel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Technische Universitaet Ilmenau
Original Assignee
Technische Universitaet Ilmenau
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universitaet Ilmenau filed Critical Technische Universitaet Ilmenau
Priority to DE10030718A priority Critical patent/DE10030718A1/en
Publication of DE10030718A1 publication Critical patent/DE10030718A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
    • B08B7/026—Using sound waves
    • B08B7/028—Using ultrasounds

Abstract

The method involves cleaning objects in fields of standing sound waves, preferably ultrasonic waves, whereby the objects to be cleaned are placed in a medium to be subjected to the sound waves. The maxima and minima of the oscillations are displaced in order to homogenize the sound intensity in time and space within the medium exposed to the sound waves. Independent claims are also included for the following: an arrangement for implementing the method.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Reinigen von Gegenständen mit Schallwellen in Feldern stehender Schallwellen, vorzugsweise in Ultraschallfeldern, wobei sich die zu reinigenden Gegenstände in einem zu beschallenden Medium befinden.The invention relates to a method and an apparatus for cleaning Objects with sound waves in fields of standing sound waves, preferably in Ultrasonic fields, with the objects to be cleaned in one sonic medium.

Für vielfältige Anwendungsfälle ist es erforderlich, Verschmutzungen auf Gegenständen zu entfernen. Insbesondere bei Gegenständen, die sich in Flüssigkeiten befinden, werden hierzu häufig Schallwellen verwendet.For a variety of applications, it is necessary to get dirt on Remove objects. Especially for objects that are in If liquids are located, sound waves are often used for this.

Beispielsweise ist die Standzeit und die Meßgenauigkeit von sensorisch wirksamen Strukturen in biologisch aktiven Medien durch mikrobiellen Bewuchs begrenzt. Deshalb sollte ein Sensor vor der Messung rückwirkungsfrei gereinigt werden, ohne das zu bewertende Medium zu verändern. For example, the service life and the measuring accuracy are of sensorically effective ones Structures in biologically active media limited by microbial growth. Therefore, a sensor should be cleaned without reaction before the measurement, without changing the medium to be assessed.  

Eine bekannte Möglichkeit, Biofilme auf Sensoren zu verhindern, bzw. bereits gebildete biologische Strukturen zu entfernen, ist die Einwirkung von Ultraschall mit ausreichender Strahlungsintensität auf die zu reinigende Sensoroberfläche. Die Haftungsraten der Mikroorganismen werden dabei mit durch Ultraschall erzeugten Scherkräften herabgesetzt. Für eine Ablösung bei bereits erfolgter irreversibler Adhäsion werden dabei Scherkraftdichten von bis zu 50 N/m2 erforderlich. Es ist deshalb erforderlich, die Schallwirkung bezüglich der in das Substrat eingebrachten Schallleistung und der biologischen Wirksamkeit möglichst optimal zu gestalten.A known way of preventing biofilms on sensors, or of removing biological structures that have already formed, is the action of ultrasound with sufficient radiation intensity on the sensor surface to be cleaned. The adhesion rates of the microorganisms are reduced with shear forces generated by ultrasound. Shear force densities of up to 50 N / m 2 are required for detachment if irreversible adhesion has already occurred. It is therefore necessary to make the sound effect as optimal as possible with regard to the sound power introduced into the substrate and the biological effectiveness.

Die abgestrahlte Schallleistung nimmt quadratisch mit der Frequenz und der Amplitude der Membranauslenkung zu. Piezomaterial und Ansteuerung begrenzen eine beliebige Leistungserhöhung. Abmessungen der Strahlungsmembran und des Strahlungsraumes sind Parameter für mechanische Resonanzfrequenzen.The radiated sound power increases quadratically with the frequency and the Amplitude of the membrane deflection too. Limit piezo material and control any increase in performance. Dimensions of the radiation membrane and Radiation space are parameters for mechanical resonance frequencies.

Da die Schallausbreitung auf Flächen mit sich ändernder Schallkennimpedanz trifft (z. B. Substrat, Gefäßwände, Medientrennschichten Luft-Wasser) bilden sich zwangsläufig räumliche stehende Wellen im beschallten Medium, an den Gefäßwänden, und auf dem zu reinigenden Substrat.Because the sound propagation hits surfaces with changing acoustic impedance (e.g. substrate, vessel walls, media separation layers air-water) are formed inevitably spatial standing waves in the sonicated medium at the Vessel walls, and on the substrate to be cleaned.

Dabei wird die abgestrahlte Schallwelle mit ihren einfachen und mehrfachen Reflexionen und deren verschiedenen Laufzeiten überlagert. Auch Überlagerungen von reflektierten Wellen untereinander sind möglich.The emitted sound wave with its single and multiple Reflections and their different terms superimposed. Overlays too of reflected waves among each other are possible.

In den Schalldruckmaxima ist die Reinigung maximal, dort bilden und sammeln sich auch abgetragene Materialteilchen, in den Schalldruckminima kann umgekehrt die Reinigungswirkung nur minimal sein. Dieses Phänomen ist auch (flächenhaft) als Chladnische Klangfiguren bekannt.The cleaning is maximum in the sound pressure maxima, form and collect there also removed material particles, in the sound pressure minima can be reversed the cleaning effect should be minimal. This phenomenon is also known as Chladnic sound figures.

Die räumliche Verteilung der Schwingungsbäuche und -knoten ist schwer vorhersagbar, sie hängt ab von
The spatial distribution of the antinodes and nodes is difficult to predict, it depends on

  • - dem konstruktiven Aufbau (Abmessungen, Oberfläche, Material)- the construction (dimensions, surface, material)
  • - Frequenz des Schallsenders- Frequency of the sound transmitter
  • - Schallgeschwindigkeit im flüssigen Medium und dem konstruktiven Aufbau.- Speed of sound in the liquid medium and the construction.

Nach DE 43 OS 660 A1 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung von Kavitationsblasen bestimmter Größe durch Wahl von Frequenz und Amplitude bekannt. Dabei werden durch Resonanzerzeugung Blasen zum Platzen gebracht, bis nur noch eine bestimmte Größe überlebt. Durch Schallinterferenzen mehrerer Generatoren können ortsabhängig damit Bläschenstrukturen verschiedener Größe erzeugt werden.According to DE 43 OS 660 A1 are a method and an apparatus for generating of cavitation bubbles of a certain size by choosing frequency and amplitude known. This causes bubbles to burst by generating resonance until only a certain size survives. Through sound interference from several Generators can use this to create bubble structures of different sizes depending on their location be generated.

Ferner ist in DE 195 41 417 A1 eine Vorrichtung zur Ultraschallbehandlung strömender Medien bekannt, bei der das zu bestrahlende Medium bewegt und gedreht an den feststehenden Schallinterferenzen vorbeigeführt wird, so dass sich eine gleichmäßige Beschallung ergibt. Frequenz, Phase und Interferenzmuster der Schallbestrahlung bleiben dabei konstant.Furthermore, DE 195 41 417 A1 describes a device for ultrasound treatment flowing media known, in which the medium to be irradiated moves and rotated past the fixed sound interference, so that uniform sound results. Frequency, phase and interference pattern of the Sound radiation remains constant.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, mit denen eine ortsunabhägige gleichmäßige Reinigung erzielt wird.The invention has for its object a method and an apparatus Specify the type mentioned, with which a location-independent uniform Cleaning is achieved.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen der Patentansprüche 1 und 7 gelöst.The object is achieved with the characterizing features of Claims 1 and 7 solved.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous refinements are specified in the subclaims.

Mit der erfindungsgemäßen Anordnung werden entweder Schallinterferenzen durch Wahl von Frequenz und Phase einer oder mehrerer Schallquellen kontinuierlich räumlich verschoben, so das sich eine gleichmäßige Beschallung des Raumes ergibt, oder Schallinterferenzen ortsabhängig zeitlich stabil erzeugt um ortsabhängig unterschiedliche Schallleistungen (Scherkräfte, Schalldruck) zu erzeugen.With the arrangement according to the invention, either sound interference is caused Selection of frequency and phase of one or more sound sources continuously  spatially shifted so that there is even sound in the room, or sound interferences generated in a stable manner depending on the location generate different sound powers (shear forces, sound pressure).

Ein Teilchentransport kann durch Verschieben der Interferenzmuster erfolgen.Particles can be transported by shifting the interference pattern.

Bei homogener Bestrahlung eines Objektes wird erfindungsgemäß eine im zeitlichen Mittel gleichmäßige Beschallung ohne örtliche Konzentration von Schwingungsbäuchen und -knoten durch Verschieben des durch Schallmama und -minima gekennzeichneten Schallfeldes gegenüber dem zu beschallenden Objekt (Substrat, Medium) oder des Objektes gegenüber dem Schallfeld erreicht.In the case of homogeneous irradiation of an object, an im time average even sound reinforcement without local concentration of Vibration bellies and knots by moving the sound mama and -minima marked sound field compared to the object to be sonicated (Substrate, medium) or the object in relation to the sound field.

Zur Verschiebung des Schallfeldes bestehen verschieden Möglichkeiten.
There are various options for shifting the sound field.

  • 1. Der Schallsender wird zeitabhängig örtlich verschoben1. The sound transmitter is shifted locally depending on the time
  • 2. Der konstruktive Aufbau, insbesondere reflektierende Flächen werden zeitabhängig geändert.2. The structural design, especially reflective surfaces changed depending on the time.
  • 3. Änderung der Schallgeschwindigkeit im flüssigen Medium, was praktisch schwer realisierbar ist (z. B. Druck, Temperatur, Konzentration).3. Change the speed of sound in the liquid medium, which is practical is difficult to implement (e.g. pressure, temperature, concentration).
  • 4. Die Frequenz des Schallsenders wird zeitabhängig geändert. Dadurch wandern Schalldruckknoten und -bäuche Zeit- und ortsabhängig. An der Geometrie des Schallraumes sind keine Änderungen notwendig4. The frequency of the sound transmitter is changed depending on the time. Thereby hike sound pressure nodes and bellies depending on time and location. At the No changes are necessary to the geometry of the sound space
  • 5. Zwei oder mehr Schallsender strahlen in den Schallraum und auf das Substrat. Stehende Wellen, d. h. ortsfeste Schwingungsbäuche und -knoten werden unterdrückt, indem Phasenlage und/oder Frequenzen der Schallsender gegeneinander zeitabhängig variiert werden. Passive Reflexionen an den Grenzschichten, wie auch schon bei einem Schallsender möglich, ergänzen die aktive und wirkungsvollere Einkopplung der zweiten (oder mehrerer) Schallquellen.5. Two or more sound transmitters radiate into the sound space and onto it Substrate. Standing waves, i. H. stationary antinodes and nodes  are suppressed by the phase position and / or frequencies of the Sound transmitter against each other can be varied depending on the time. passive Reflections at the boundary layers, as with one Sound transmitters possible, complement the active and more effective Coupling the second (or more) sound sources.

Bei inhomogener Bestrahlung eines Objektes lassen sich gewollte inhomogene Schallintensitäten erfindungsgemäß besonders mit mehreren Schallquellen und deren Phasen und Frequenzbeziehungen erreichen.Inhomogeneous irradiation of an object can result in intentional inhomogeneous radiation Sound intensities according to the invention, particularly with several sound sources and whose phases and frequency relationships reach.

Stoffteilchen in den Druckbäuchen können z. B. durch Phasenverschiebung der Schallsender gegeneinander mit den sich verschiebenden Druckbäuchen und -knoten kontrolliert bewegt und transportiert werden.Particles in the pressure bellies can e.g. B. by phase shift of Sound transmitter against each other with the shifting bellies and -nodes are moved and transported in a controlled manner.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.The invention is explained in more detail below using an exemplary embodiment explained.

In der zugehörigen Zeichnung zeigen:In the accompanying drawing:

Fig. 1 die Ankopplung eines Schallsenders an ein Medium und/oder Substrat, Fig. 1, the coupling of a sound transmitter to a medium and / or substrate,

Fig. 2 die direkte Ankopplung eines Schallsenders an ein Substrat, Fig. 2, the direct coupling of a sound transmitter to a substrate,

Fig. 3 zwei Schallsender, die auf einen Schallraum wirken, Fig. 3 shows two sound transmitters which act on a sound space,

Fig. 4 die direkte Ankopplung von zwei Schallsendern an ein Substrat und Fig. 4 shows the direct coupling of two sound transmitters to a substrate and

Fig. 5 einen kaskadierten Schallwandler. Fig. 5 shows a cascaded sound transducer.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, wirkt ein Schallsender auf das Medium und/oder Substrat. Es bilden sich stehende Wellen, deren Schwingungsbäuche und -knoten durch Variation der Frequenz zeitlich und örtlich verschoben werden.As can be seen from FIG. 1, a sound transmitter acts on the medium and / or substrate. Standing waves are formed, the antinodes and nodes of which are shifted in time and location by varying the frequency.

Fig. 2 zeigt eine Ausführung, bei der der Schall direkt oder ohne dazwischenliegendes Medium auf das Substrat wirkt. Schwingungsbäuche und -knoten können dabei durch Variation der Schallfrequenz verschoben werden. Bei der in Fig. 3 dargestellten Anordnung bestrahlen zwei Schallsender das Medium und/oder Substrat. Schwingungsbäuche und -knoten können hier durch
 Fig. 2 shows an embodiment in which the sound acts directly or without an intermediate medium on the substrate. Vibration bellies and nodes can be moved by varying the sound frequency. In the arrangement shown in FIG. 3, two sound transmitters irradiate the medium and / or substrate. Vibration bellies and knots can pass through here

  • - Variation einer Schallfrequenz,- variation of a sound frequency,
  • - Gleichzeitige Variation beider Schallfrequenz (gleich- oder gegenläufig) oder- Simultaneous variation of both sound frequencies (same or opposite) or
  • - Variation der Phasenlage gegeneinander bei gleicher Frequenz beider Schallquellen- Variation of the phase relationship against each other at the same frequency of both sound sources

verschoben werden.be moved.

Fig. 4 erläutert eine Anordnung, bei der zwei Schallsender direkt auf ein zu bestrahlendes Substrat wirken. Schwingungsbäuche und -knoten können durch
 Fig. 4 illustrates an arrangement, act directly on a substrate to be irradiated with the two sound channels. Vibration bellies and knots can through

  • - Variation einer Schallfrequenz, - variation of a sound frequency,  
  • - Gleichzeitige Variation beider Schallfrequenz (gleich- oder gegenläufig) oder- Simultaneous variation of both sound frequencies (same or opposite) or
  • - Variation der Phasenlage gegeneinander bei gleicher Frequenz beider Schallquellen- Variation of the phase relationship against each other at the same frequency of both sound sources

verschoben werden.be moved.

In Fig. 5 ist ein kaskadierter Schallwandler dargestellt. Für jede Kammer einzeln gilt die Betrachtung wie für Fig. 3. Durch die Kaskadierung wird der Schallwandler zwischen den beiden Kammern doppelt genutzt. Die Kaskadierung ist beliebig erweiterbar.In Fig. 5, a cascaded transducers is illustrated. For each chamber, the same considerations apply as for Fig. 3. The cascading means that the sound transducer between the two chambers is used twice. The cascading can be expanded as required.

Claims (11)

1. Verfahren zum Reinigen von Gegenständen mit Schallwellen in Feldern stehender Schallwellen, vorzugsweise in Ultraschallfeldern, wobei sich die zu reinigenden Gegenstände in einem zu beschallenden Medium befinden, dadurch gekennzeichnet, dass zur zeitlichen und örtlichen Homogenisierung der Schallintensität in dem beschallten Medium eine Verschiebung der Schwingungsbäuche und -knoten hervorgerufen wird.1. A method for cleaning objects with sound waves in fields of standing sound waves, preferably in ultrasonic fields, wherein the objects to be cleaned are in a medium to be sonicated, characterized in that for the temporal and local homogenization of the sound intensity in the sonicated medium a displacement of the antinodes and node is caused. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung durch Bewegen von Schallsender und/oder Schallraum und/oder Medium und/oder zu reinigendem Gegenstand erfolgt.2. The method according to claim 1, characterized in that the displacement by moving sound transmitter and / or sound space and / or medium and / or object to be cleaned. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung der Schwingungsbäuche und -knoten durch Änderung der Schallfeldabmessungen erfolgt.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the Displacement of the antinodes and nodes by changing the Sound field dimensions are carried out. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schallfeldabmessungen durch Verschieben der Reflexionswände erfolgt.4. The method according to claim 3, characterized in that the Sound field dimensions by moving the reflection walls. 5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung der Schwingungsbäuche und -knoten durch Einsatz von mindestens zwei Schallquellen, deren Phasenlage und/oder Frequenz sich zeitabhängig gegeneinander verschieben erfolgt. 5. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the Displacement of the antinodes and nodes by using at least two sound sources whose phase and / or frequency are time-dependent move against each other.   6. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich der zu reinigende Gegenstand auf einem Substrat befindet.6. The method according to at least one of the preceding claims, characterized characterized in that the object to be cleaned is on a substrate located. 7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der zu reinigende Gegenstand mit einer schwingende Schallquelle, bestehend aus einem Erregersystem und einer elastischen Aufhängung, gekoppelt ist.7. Device for performing the method according to one of claims 1 to 6, characterized in that the object to be cleaned with a vibrating sound source, consisting of an excitation system and an elastic one Suspension, is coupled. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Erregersystem ein piezoelektrisches Element angeordnet ist.8. The device according to claim 7, characterized in that as an excitation system a piezoelectric element is arranged. 9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Erregersystem eine Magnetspule angeordnet ist.9. The device according to claim 7, characterized in that as an excitation system a solenoid is arranged. 10. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass als elastische Aufhängung eine Membran angeordnet ist.10. The device according to at least one of claims 7 to 9, characterized characterized in that a membrane is arranged as an elastic suspension. 11. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein oder mehrere Schallquelle derart mit dem zu reinigenden Gegenstand gekoppelt sind, dass die Schallabstrahlung gleichzeitig auf der Vorder- und Rückseite der Schallquelle erfolgt und damit gleichzeitig mindestens zwei Schallräume bestrahlt werden, wobei die Schallabstrahlung um 180° phasenverschoben erfolgt.11. The device according to at least one of claims 7 to 10, characterized characterized in that one or more sound sources with the one to be cleaned Are coupled that the sound radiation is simultaneously on the front and rear of the sound source and thus at least two at the same time Sound spaces are irradiated, the sound radiation by 180 ° out of phase.
DE10030718A 2000-06-23 2000-06-23 Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves Withdrawn DE10030718A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10030718A DE10030718A1 (en) 2000-06-23 2000-06-23 Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10030718A DE10030718A1 (en) 2000-06-23 2000-06-23 Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10030718A1 true DE10030718A1 (en) 2002-01-10

Family

ID=7646611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10030718A Withdrawn DE10030718A1 (en) 2000-06-23 2000-06-23 Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10030718A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112742771A (en) * 2020-12-29 2021-05-04 新昌县皇骐电子科技有限公司 Stereo set cleaning device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2523631A1 (en) * 1974-05-31 1975-12-11 Rca Corp METHOD AND DEVICE FOR ULTRASONIC CLEANING
US4120699A (en) * 1974-11-07 1978-10-17 Alvin B. Kennedy, Jr. Method for acoustical cleaning
DE4136897C1 (en) * 1991-11-09 1992-09-03 Martin Walter Ultraschalltechnik Gmbh, 7541 Straubenhardt, De
DE19722423A1 (en) * 1996-05-29 1997-12-11 Steag Micro Tech Gmbh Device for treating substrates in a fluid container with ultrasound
DE29807581U1 (en) * 1998-04-20 1998-07-09 Bandelin Electronic Gmbh & Co Ultrasonic bath
DE19758267A1 (en) * 1997-12-31 1999-07-08 Steag Micro Tech Gmbh Method and device for treating substrates
US6021789A (en) * 1998-11-10 2000-02-08 International Business Machines Corporation Wafer cleaning system with progressive megasonic wave

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2523631A1 (en) * 1974-05-31 1975-12-11 Rca Corp METHOD AND DEVICE FOR ULTRASONIC CLEANING
US4120699A (en) * 1974-11-07 1978-10-17 Alvin B. Kennedy, Jr. Method for acoustical cleaning
DE4136897C1 (en) * 1991-11-09 1992-09-03 Martin Walter Ultraschalltechnik Gmbh, 7541 Straubenhardt, De
DE19722423A1 (en) * 1996-05-29 1997-12-11 Steag Micro Tech Gmbh Device for treating substrates in a fluid container with ultrasound
DE19758267A1 (en) * 1997-12-31 1999-07-08 Steag Micro Tech Gmbh Method and device for treating substrates
DE29807581U1 (en) * 1998-04-20 1998-07-09 Bandelin Electronic Gmbh & Co Ultrasonic bath
US6021789A (en) * 1998-11-10 2000-02-08 International Business Machines Corporation Wafer cleaning system with progressive megasonic wave

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
REITER,Gerald: Forderung nach Umweltschutz. In: Maschinenmarkt, Würzburg 96, 1990, 38, S.136-138, S.141 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112742771A (en) * 2020-12-29 2021-05-04 新昌县皇骐电子科技有限公司 Stereo set cleaning device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0775910B1 (en) Apparatus for testing ferromagnetic materials
DE10148916A1 (en) Ultrasonic head assembly, to break down cells, comprises a piezo element to generate ultrasonic waves which are carried through intermediate elements to a sonotrode for direct delivery into the samples in a micro-titration plate
DE10325307B3 (en) For the mixture of fluids in micro-cavities, in a micro-titration plate, at least one piezo electric sound converter generates an ultrasonic wave to give a wave-induced flow to the fluids
EP3253472A1 (en) Method and device for separating substances from liquids by agglomeration by means of ultrasound and sedimentation
DE3732219A1 (en) APPLICATION OF ELECTROMAGNETIC ULTRASOUND TRANSFORMATION METHODS FOR MONITORING FUEL HEAT AND BUBBLE CONDITIONING IN LIQUID CONTAINING PIPES
DE102008002860A1 (en) Method for non-destructive testing of objects by means of ultrasound
DE10103954A1 (en) Macromolecule analysis method
DE10030718A1 (en) Cleaning objects using sound waves involves displacing maxima and minima of oscillations to homogenize sound intensity in time and space within medium exposed to sound waves
DE2926182A1 (en) Ultrasonic transducer elements arrangement - sandwiches each element between matching and damping sections for coping with irregular surfaces subjected to scanning for defects
DE19706007C1 (en) Process for cleaning thread-like products, in particular wires and profiles
EP1439918B1 (en) Ultrasonic cleaning system for cleaning a plurality of parallel extending, strand-like products, such as for example wires, profiles and pipes
DE19822148C2 (en) Method and device for reducing noise in media carrying pipes
DE19922965C2 (en) Arrangement of micromechanical ultrasonic transducers
DE3511768C2 (en) Electromagnetic transducer
DE102007045136A1 (en) Method for pumping liquids e.g. for acoustic waves propagation, requires use of thin substrate for propagating acoustic surface waves
EP1774979A1 (en) Ultrasonic sanitising device for medical instruments
DE4031639A1 (en) DEVICE AND METHOD FOR UNIFORM POLARIZING OF PIEZOELECTRIC TRANSMITTERS
DE3046061C2 (en) Process for cleaning system components
EP0340624A2 (en) Electroacoustic transducer
Bruneel et al. Electrical coupling effects in an ultrasonic transducer array
WO2020035336A1 (en) Measuring device for determining a fluid variable
Ostrovsky Radiation force in nonlinear, focused beams
EP1019903B1 (en) Device for generating ultrasound fields
DE3933519A1 (en) Ultrasonic cleaner with tub for cleaning liq. - has ultrasonic oscillator(s) surrounded by ring, concentrically secured to plate
DE3321741C2 (en) Process for the non-destructive cleaning and detachment of deposits from carrier materials and device for carrying them out

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee