DE10028335A1 - Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik, Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors und Verwendung des Piezo-Aktors - Google Patents
Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik, Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors und Verwendung des Piezo-AktorsInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik, bei der eine Vielzahl von aufeinanderfolgenden Gleichspannungspulsen verwendet wird, die in ihrer Pulsform dem späteren Betrieb der Piezokeramik, beispielsweise in einem Kraftfahrzeug, entsprechen. Ferner wird die Polarisierung bei erhöhter Temperatur, wie sie auch später im Betrieb der Piezokeramik auftritt, durchgeführt. Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß die Piezokeramik nur noch sehr geringen Setzeffekten ausgesetzt ist, wodurch sich die Länge der Piezokeramik in ihrem Ruhezustand während des Betriebs nicht mehr ändert. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors und die Verwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Polarisieren einer Piezokeramik. Darüber hinaus betrifft die Erfindung die Verwendung eines gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Piezo-Aktors unter den Bedingungen, unter denen die Piezokramik des Piezo-Aktors polarisiert worden ist.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Polarisieren einer
Piezokeramik, wobei, ausgehend von einem Grundkörper aus un
polarisierter Piezokeramik mit wenigstens zwei flächig einan
der gegenüberliegenden Elektroden, eine elektrische Spannung
an die Elektroden angelegt wird. Ferner betrifft die Erfin
dung ein Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors. Dar
über hinaus betrifft die Erfindung die Verwendung des Piezo-
Aktors.
Eine Piezokeramik ist ein Material, das sich aufgrund des
piezoelektrischen Effekts beim Anlegen einer elektrischen
Spannung ausdehnt. Solche Piezokeramiken bilden die Basis für
Piezo-Aktoren, die beim Anlegen einer Spannung einen Verfahr
weg von einigen Mikrometern realisieren. Die Piezokeramik
weist elektrische Dipolmomente auf, die jeweils innerhalb von
Weiss'schen Bezirken, die gegeneinander abgegrenzt sind, eine
Vorzugsrichtung aufweisen. In einem unpolarisierten Grundzu
stand der Piezokeramik sind die Vorzugsrichtungen der einzel
nen Weiss'schen Bezirke ungeordnet, so daß nach außen hin
keine makroskopische elektrische Polarisierung der Piezokera
mik vorliegt.
Um den piezoelektrischen Effekt für Piezo-Aktoren nutzbar zu
machen, muß die Piezokeramik durch das Ausrichten der elek
trischen Dipolmomente polarisiert werden, wonach die elektri
schen Dipolmomente in allen Weiss'schen Bezirken nicht oder
nur sehr wenig von einer durch eine Polarisationsachse vorge
gebenen Vorzugsrichtung abweichen.
Die Piezokeramiken werden als Grundkörper von Piezo-Aktoren
eingesetzt, welche beispielsweise Verwendung in Kraftfahrzeugen
finden. Piezo-Aktoren werden in diesem Bereich vorzugs
weise zur Steuerung der Position von Schließnadeln von Ein
spritzventilen in Kraftstoffeinspritzsystemen verwendet. Bei
dieser Anwendung wird der Piezo-Aktor bei einer Temperatur
von etwa 40 bis 150°C betrieben. Desweiteren erfolgt der Be
trieb des Piezo-Aktors typischerweise bei einer Gleichspan
nung von bis zu 180 Volt, die in Form von kurzen Pulsen, die
mit einer Frequenz zwischen 0,1 und 200 Hertz auftreten, an
den Piezo-Aktor angelegt wird. Da bei diesen Anwendungen der
gewünschte Effekt durch Längenänderungen der Piezokeramik von
typischerweise 40 µm erreicht wird, ist es wichtig, daß der
Keramik-Grundkörper im spannungslosen Zustand (Ruhezustand)
eine konstante Länge (Ruhelänge) aufweist, die sich im Laufe
der Zeit nicht ändert.
Es sind Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik be
kannt, wobei bei einer Temperatur von etwa 25°C ein Span
nungspuls in Form eines Dreieckspulses mit einer Dauer von
500 Sekunden an die Piezokeramik angelegt wird.
Die bekannten Verfahren zum Polarisieren der Piezokeramik ha
ben den Nachteil, daß sie bei einer relativ geringen Tempera
tur durchgeführt werden. Bei einer Temperatur von 25°C weisen
die elektrischen Dipolmomente der Piezokeramik nur eine sehr
eingeschränkte Beweglichkeit auf, wodurch das Ausrichten der
elektrischen Dipolmomente entlang einer durch die von außen
angelegte Spannung vorgegebene Polarisationsachse nur sehr
unvollständig erfolgt. Entsprechend ist eine verlängerte Po
larisierungsdauer, das heißt, ein längeres Anlegen der Pola
risierungsspannung, notwendig.
Desweiteren haben die bekannten Verfahren zum Polarisieren
einer Piezokeramik den Nachteil, daß durch den einmaligen
dreieckförmigen Spannungspuls lediglich ein einmaliges Span
nen und darauffolgendes Entspannen der Piezokeramik erfolgt.
Dies bedeutet, daß bei einem späteren Betrieb der Piezokera
mik mit einer Vielzahl von Spannungs- und Entspannungsvorgängen
Setzeffekte auftreten können, die die Ruhelänge der Pie
zokeramik während des Betriebes verändern.
Dadurch haben die bekannten Verfahren zum Polarisieren einer
Piezokeramik auch den Nachteil, daß sich ein Einbau eines
piezokeramischen Grundkörpers in ein durch die Abmessungen
der Piezokeramik definiertes Gehäuse mit festen Abmessungen
schwierig gestaltet, da sich, wie bereits oben erläutert, die
Abmessung der Piezokeramik während des Betriebs als Piezo-
Aktor noch verändern kann. Zur Erreichung einer hohen Ver
fahrweggenauigkeit ist dann eine Nachbearbeitung des Gehäuses
notwendig.
Im Hinblick auf eine nachfolgende Verwendung der Piezokeramik
in einem Piezo-Aktor für den Kraftfahrzeug-Bereich haben die
bekannten Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik zudem
den Nachteil, daß die Bedingungen, bei denen die Piezokeramik
polarisiert wird (insbesondere die Temperatur und die verwen
dete Pulsform) nicht den Bedingungen beim späteren Betrieb im
Kraftfahrzeug entsprechen. Auch dadurch besteht die Gefahr,
daß sich durch Setzeffekte die geometrische Abmessungen der
Keramik im Ruhezustand während des Betriebes noch weiter än
dern.
Es ist ferner ein Verfahren zur Herstellung eines Piezo-
Aktors bekannt, wobei aus mehreren übereinandergestapelten,
mit Elektroden versehenen Piezokeramiken ein Grundkörper ge
bildet wird, so daß sich die Längenänderungen der einzelnen
Keramiken auf diese Weise addieren. Der Grundkörper wird zwi
schen zwei parallel zu den Elektroden verlaufende Platten un
ter Ausübung einer Druckspannung auf den Grundkörper einge
spannt. Anschließend wird die Piezokeramik mit dem bereits
oben beschriebenen Verfahren polarisiert. Danach wird die
zwischen die Platten eingespannte Piezokeramik so in ein Ge
häuse eingebaut, daß die erste Platte relativ zum Gehäuse fi
xiert ist und daß die zweite Platte relativ zum Gehäuse bewegbar
ist. Anschließend wird die Piezokeramik einem Alte
rungsprozeß unterzogen, der wenigstens eine Stunde dauert.
Nach dem Altern der Piezokeramik wird durch Abtragen von Ma
terial, beispielsweise durch Abschleifen, von der zweiten,
beweglichen Platte und/oder vom Gehäuse erreicht, daß die Au
ßenseite der zweiten Platte mit dem Gehäuse plan ist. Somit
werden die äußeren Abmessungen des Piezo-Aktors definiert,
von wo aus dann durch Anlegen einer Spannung an die Piezoke
ramik die zweite Platte relativ zum Gehäuse um einen Verfahr
weg von zirka 40 µm bewegbar ist. Anschließend erfolgt die
weitere Montage des Piezo-Aktors, beispielsweise im Kraft
fahrzeug.
Das bekannte Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors hat
den Nachteil, daß sich durch Setzeffekte in der Piezokeramik
die zweite, bewegliche Platte gegenüber dem Gehäuse ver
schiebt, so daß daraus ein unerwünschter Offset in der Aus
dehnung des Piezo-Aktors beziehungsweise im Verfahrweg des
Piezo-Aktors resultiert. In Experimenten wurden Setzeffekte
nachgewiesen, die nach 100 Schaltzyklen eine Veränderung der
Ruhelänge der Piezokeramik von 5 bis 7 µm bewirkt haben. We
gen des frühen Zeitpunkts des Polarisierens wirken sich zudem
die nachfolgenden Verfahrensschritte zur Herstellung des Pie
zo-Aktors besonders nachteilig auf die Ruhelänge der Piezoke
ramik aus.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren
zum Polarisieren einer Piezokeramik anzugeben, das nachfol
gende, die Ruhelänge der Piezokeramik verändernde Setzeffekte
weitgehend vermeidet.
Ferner ist es Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren
zur Herstellung eines Piezo-Aktors anzugeben, der stabile äu
ßere Abmessungen auch während seines Betriebs aufweist.
Diese Ziele werden erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum
Polarisieren einer Piezokeramik nach Anspruch 1 und durch ein
Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors nach Anspruch 6
erreicht. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sowie die
Verwendung eines gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren herge
stellten Piezo-Aktors sind den weiteren Ansprüchen zu entneh
men.
Die Erfindung gibt ein Verfahren zum Polarisieren einer Pie
zokeramik an, das von einem Grundkörper aus unpolarisierter
Piezokeramik ausgeht. Dieser Grundkörper weist wenigstens
zwei flächig einander gegenüberliegende Elektroden auf. An
diese Elektroden wird eine Anzahl von Spannungspulsen ange
legt, deren Pulshöhen einer zeitabhängigen Hüllkurve folgen.
Die Anzahl der Spannungspulse beträgt dabei mindestens zwei,
so daß schon während des Polarisierens der Piezokeramik ein
entsprechender Setzeffekt auftreten kann, der die Ruhelänge
der polarisierten Piezokeramik stabilisiert.
Die Hüllkurve wächst in einem ersten Abschnitt während einer
Anstiegszeit von einer minimalen Spannung auf eine maximale
Spannung an. In einem zweiten Abschnitt wird während einer
Haltezeit die maximale Spannung gehalten. Die minimale Span
nung wird dabei so gewählt, daß beim Aufladen der Elektroden
die maximal verträgliche Aufladung der noch unpolarisierten
Piezokeramik nicht überschritten wird. Desweiteren wird die
maximale Spannung so gewählt, daß sie zur Ausbildung einer
dauerhaften Polarisierung geeignet ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Polarisieren einer Piezo
keramik hat den Vorteil, daß durch die Mindestanzahl von zwei
Spannungspulsen während des Polarisierens bereits ein Setzef
fekt eintritt, der die Ruhelänge der polarisierten Piezokera
mik stabilisiert.
Desweiteren ist ein Verfahren besonders vorteilhaft, wobei
die Spannungspulse während einer Pulsanstiegszeit von 0 Volt
auf die jeweilige Pulshöhe ansteigen. Während einer Pulshal
tezeit wird die Pulshöhe gehalten. Während einer Pulsabfall
zeit fällt der Spannungspuls von der jeweiligen Pulshöhe auf
0 Volt ab. Darüber hinaus folgen die Spannungspulse mit einer
konstanten Pulsfrequenz aufeinander und weisen eine Gesamt
pulsdauer von kleiner oder gleich 12 Millisekunden auf.
Diese Spannungspulse haben den Vorteil, daß sie leicht er
zeugbar sind, insbesondere dann, wenn sie eine Trapezform
aufweisen. Durch ihre kurze Dauer von maximal 12 ms können
sie innerhalb einer vertretbaren Zeitspanne mehrmals wieder
holt werden. Diese Zeitspanne ist wesentlich kürzer als die
Dauer des bekannten Verfahrens zum Polarisieren einer Piezo
keramik. Somit wird durch das erfindungsgemäße Verfahren zum
Polarisieren einer Piezokeramik Zeit eingespart.
Ferner ist ein Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik
besonders vorteilhaft, wobei gilt:
50 ms ≦ Pulsanstiegszeit ≦ 1 ms;
0,5 ms ≦ Pulshaltezeit ≦ 10 ms;
50 µs ≦ Pulsabfallzeit ≦ 1 ms;
6 ≦ Zahl der Pulse 80 000;
0,1 Hz ≦ Pulsfrequenz ≦ 200 Hz;
60 s ≦ Anstiegszeit + Haltezeit ≦ 300 s;
0,1 ≦ Anstiegszeit/(Anstiegszeit + Haltezeit) ≧ 0,9.
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0,1 ≦ Anstiegszeit/(Anstiegszeit + Haltezeit) ≧ 0,9.
Ein solches Verfahren hat den Vorteil, daß die Gesamtdauer
(Anstiegszeit + Haltezeit) sehr kurz ist, verglichen mit den
bekannten Zeitdauern zum Polarisieren. Durch die Variation
des Anteils der Anstiegszeit an der Gesamtdauer des Polari
sierungsverfahrens (Anstiegszeit + Haltezeit), kann das Pola
risierungsverfahren an die Beweglichkeit der Domänenwände der
Keramik flexibel angepaßt werden. Die Pulshaltezeit der ein
zelnen Spannungspulse wird dabei so gewählt, daß die Domänen
wände der Weiss'schen Bezirke auch Fehlstellen im Kristallaufbau
der Piezokeramik überwinden können und so die Ein
stellung einer Polarisierungsrichtung nicht behindert wird.
Desweiteren ist ein Verfahren zur Polarisierung einer Piezo
keramik besonders vorteilhaft, das bei einer Temperatur zwi
schen 50°C und 150°C durchgeführt wird. Durch diese hohe Tem
peratur wird erreicht, daß aufgrund der dadurch erhöhten Be
weglichkeit der elektrischen Dipolmomente in der Piezokeramik
ein in der Dauer verkürzter Spannungspuls zum Erreichen einer
Vorzugspolarisierung genügt, beziehungsweise eine verbesserte
und damit stabilere Polarisierung der Piezokeramik erreicht
werden kann.
Desweiteren hat sich durch Experimente ein Verfahren zum Po
larisierung einer Piezokeramik als besonders geeignet heraus
gestellt, wobei die maximale Spannung viermal so groß war,
wie die minimale Spannung.
Darüber hinaus gibt die Erfindung ein Verfahren zur Herstel
lung eines Piezo-Aktors an, das, ausgehend von einem Grund
körper aus einer Piezokeramik, der wenigstens zwei flächig
einander gegenüberliegende Elektroden aufweist, folgende
Schritte umfaßt:
- a) Einspannen des Grundkörpers zwischen zwei parallel zu den Elektroden verlaufende Platten, so daß die Platten eine Druckspannung bis zu 100 MPa auf den Grundkörper ausüben
- b) Einbau des Grundkörpers so in ein Gehäuse, daß die erste Platte relativ zum Gehäuse fixiert ist und daß die zweite Platte relativ zum Gehäuse bewegbar ist
- c) Polarisieren der Piezokeramik gemäß dem oben beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahren
- d) Abtragen von Material von der zweiten Platte und/oder vom Gehäuse, so daß die Außenseite der zweiten Platte mit dem Ge häuse plan ist.
Das Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors hat den Vor
teil, daß das Polarisieren der Piezokeramik zu einem relativ
späten Zeitpunkt erfolgt, wodurch auf den Alterungsprozeß
verzichtet und somit Zeit eingespart werden kann.
Darüber hinaus ist es möglich, das erfindungsgemäße Verfahren
zur Herstellung eines Piezo-Aktors so aufzuteilen, daß das
Polarisieren der Piezokeramik bereits bei dem mit dem Piezo-
Aktor zu beliefernden Kunden durchgeführt wird. Dadurch wird
der Vorteil erreicht, daß bereits durch die kundenspezifische
Anschlußstecker eine feste Polarisierung vorgegeben wird und
somit auf eine Polarisierungscodierung (Pluspol und Minuspol,
die durch das Polarisieren der Piezokeramik festgelegt sind)
verzichtet werden kann.
Das Abtragen von Material von der zweiten Platte beziehungs
weise vom Gehäuse kann beispielsweise durch Schleifen oder
Fräsen erfolgen.
Die Erfindung gibt darüber hinaus die Verwendung eines mit
dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Piezo-Aktors
an, wobei Spannungspulse mit der maximalen Spannung des Ver
fahrens zum Polarisieren der Piezokeramik als Pulshöhe und
mit einer Pulsdauer von maximal 12 ms verwendet werden. Fer
ner wird der Piezo-Aktor bei einer Temperatur verwendet, die
von der Temperatur, bei der das Verfahren zur Polarisierung
der Piezokeramik durchgeführt wurde, um weniger als 20% ab
weicht.
Die erfindungsgemäße Verwendung des Piezo-Aktors hat den Vor
teil, daß die Spannungen und Temperaturen beim Betrieb des
Aktors nur sehr wenig beziehungsweise gar nicht von den Span
nungen und Temperaturen bei der Polarisierung der Piezokera
mik abweichen. Dadurch sind die optimalen Voraussetzungen zur
Aufrechterhaltung einer festen Ruhelänge der Piezokeramik ge
geben. Bei der weiter oben bereits beschriebenen Verwendung
von Piezo-Aktoren im Kraftfahrzeug bei mit dem erfindungsge
mäßen Verfahren hergestellten Piezo-Aktoren eine Veränderung
der Ruhelänge während des Betriebs von weniger als 1 µm ge
messen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei
spielen und den zugehörigen Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt den Verlauf einer beispielhaften Hüllkurve,
der die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Po
larisierung der Piezokeramik angelegten Spannungs
pulse folgen.
Fig. 2 zeigt beispielhaft den zeitlichen Verlauf eines
Spannungspulses, der beim erfindungsgemäßen Verfah
ren zur Polarisierung der Piezokeramik an die Pie
zokeramik angelegt wird.
Fig. 3 zeigt einen beispielhaften Piezo-Aktor während sei
ner Herstellung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
vor dem Polarisieren der Piezokeramik im schemati
schen Querschnitt.
Fig. 4 zeigt den Piezo-Aktor aus Fig. 3 nach dem Polari
sieren der Piezokeramik und nach dem Abtragen von
Material von der zweiten Platte und/oder vom Gehäu
se.
Fig. 1 zeigt die eine Spannung U beschreibende Hüllkurve 5
in Abhängigkeit von der Zeit t. Die Hüllkurve 5 bestimmt da
bei die Pulshöhe UP der zum Polarisieren der Piezokeramik
verwendeten Spannungspulse 4. Während einer Anstiegszeit TA
steigt die Hüllkurve 5 von einer minimalen Spannung UMIN auf
eine maximale Spannung UMAX an. Dieser Anstieg verläuft im
Beispiel aus Fig. 1 linear. Während einer Haltezeit TH wird
die maximale Spannung UMAX von der Hüllkurve 5 gehalten. Die
Gesamtdauer des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Polarisieren
einer Piezokeramik ist dabei durch die Summe aus TA und TH
gegeben. Die Gesamtdauer der Hüllkurve TA + TH beträgt zwischen
60 Sekunden und 300 Sekunden, vorzugsweise 180 Sekun
den.
Die Spannungspulse 4 werden innerhalb der Hüllkurve 5 mit ei
ner Pulsfrequenz FP zwischen 0,1 Hertz und 200 Hertz wieder
holt. Die minimale Spannung UMIN beträgt vorzugsweise 40
Volt. Sie kann aber auch z. B. 20 Volt betragen. Die maximale
Spannung UMAX beträgt vorzugsweise 160 Volt. Sie kann aber
auch z. B. 80 Volt betragen. Die Anstiegszeit TA der Hüllkur
ve 5 hat einen Anteil an der Gesamtdauer des Polarisierungs
vorgangs TA + TH zwischen 10 und 90%.
Fig. 2 zeigt den zeitlichen Verlauf der Spannung U eines
Spannungspulses 4 in Abhängigkeit von der Zeit t. Während ei
ner Pulsanstiegszeit TPA wächst der Spannungspuls 4 von 0
Volt auf die Pulshöhe UP an. Dieses Anwachsen erfolgt im Bei
spiel aus Fig. 2 linear. Die Pulsanstiegszeit TPA kann zwi
schen 50 µs und 1 Millisekunde, vorzugsweise 100 µs lang
sein. Während einer Pulshaltezeit TPH hält der Spannungspuls
4 die Pulshöhe Up. Die Pulshaltezeit TPH kann zwischen 0,5 ms
und 10 Millisekunden variieren und beträgt vorzugsweise 1,5 ms.
Während einer Pulsabfallzeit TPAB fällt der Spannungspuls
4 von der Pulshöhe Up auf 0 Volt ab. Die Pulsabfallzeit TPAB
kann zwischen 50 µs und 1 Millisekunde betragen. Vorzugsweise
beträgt die Pulsabfallzeit TPAB 100 µs.
Der in Fig. 2 dargestellte Spannungspuls 4 hat die Form ei
nes Trapezes, so daß er besonders einfach zu erzeugen ist.
Eine weitere zu bevorzugende Ausführungsform des Spannungs
pulses 4 ist ein symmetrischer Spannungspuls 4, bei dem die
Pulsanstiegszeit TPA genauso groß ist wie die Pulsabfallzeit
TPAB.
Innerhalb der in Fig. 1 dargestellten Hüllkurve können von
dem in Fig. 2 dargestellten Spannungspuls 4 eine Anzahl von
6 bis 80.000 Pulse erfolgen. Vorzugsweise wird zum Polarisieren
der Piezokeramik eine Anzahl N der Spannungspulse von
15.000 verwendet.
Fig. 3 zeigt einen Piezo-Aktor während seiner Herstellung
durch das erfindungsgemäße Verfahren. Er besteht aus einem
Grundkörper 1, welcher ein Körper aus einer Piezokeramik ist.
Diese Piezokeramik weist 67 Gewichtsprozent Pb3O4, zirka 1
Gewichtsprozent Nd2O3, 21 Gewichtsprozent ZrO2 und etwa 11
Gewichtsprozent TiO2 auf. Die Erfindung ist jedoch nicht auf
eine solche Piezokeramik beschränkt, sondern kann mit sämtli
chen Keramiken verwirklicht werden, die geeignete piezoelek
trische Eigenschaften aufweisen.
Der Grundkörper 1 weist erste Elektroden 2 und zweite Elek
troden 3 auf, die kammartig ineinander greifen, wodurch sich
die piezoelektrischen Effekte vieler einander gegenüberste
hender Keramikschichten zwischen jeweils einer ersten Elek
trode 2 und einer zweiten Elektrode 3 aufsummieren. Die er
sten Elektroden 2 und die zweiten Elektroden 3 bestehen aus
einer Mischung von Silber und Palladium im Gewichtsverhältnis
zwischen 90/10 und 70/30. Der Grundkörper 1 ist durch Sintern
hergestellt, weswegen als Elektroden 2, 3 alle bei Sinterbe
dingungen stabilen Metalle beziehungsweise Metallegierungen
geeignet sind.
Der Grundkörper 1 hat die Form eines Quaders mit einer Grund
fläche von 7 × 7 mm. Er weist eine Höhe von 30 mm auf. Die
ersten Elektroden 2 beziehungsweise die zweiten Elektroden 3
sind mit jeweils einer Außenelektrode 9 verbunden, die aus
Silber besteht. Mittels Verbindungsdrähten 11 sind die Au
ßenelektroden 9 mit Kontaktstiften 10 elektrisch verbunden.
Der Grundkörper 1 ist zusammen mit den Kontaktstiften 10 und
den Verbindungsdrähten 11 in eine Vergußmasse 12 eingebettet,
die aus Silikongummi besteht. Der in die Vergußmasse 12 ein
gehüllte Grundkörper 1 wird zwischen zwei Platten 6, 7 einge
spannt. Die erste Platte 6 befindet sich dabei auf der Oberseite
des Grundkörpers 1 in paralleler Ausrichtung zu den
Elektroden 2, 3. Die zweite Platte 7 befindet sich auf der
Unterseite des Grundkörpers 1, ebenfalls in paralleler Aus
richtung zu den Elektroden 2, 3. Zwischen den Platten 6, 7
ist eine Zugfeder 13 angeordnet, die die Form einer Rohrfeder
hat und die die Platten 6, 7 zusammenpreßt, so daß eine
Klemmkraft auf den Grundkörper 1 wirkt.
Beim Anlegen einer Gleichspannung zwischen den Kontaktstiften
10 dehnt sich der Grundkörper 1 aufgrund des piezoelektri
schen Effekts in einer Richtung aus, die senkrecht auf den
Elektroden 2, 3 steht und in der Figur durch einen Pfeil an
der Unterseite der zweiten Platte 7 angedeutet ist. Dabei ar
beitet der keramische Grundkörper 1 gegen die von der Zugfe
der 13 ausgeübte Klemmkraft. Der in Fig. 3 dargestellte Pie
zo-Aktor ist so ausgelegt, daß er sich bei einer Spannung von
etwa 150 Volt unter Ausübung einer Kraft von 1500 N um zirka
40 µm verlängert.
Die in die Vergußmasse 12 eingegossene Anordnung ist schließ
lich in ein Gehäuse 8 eingeschweißt, das so beschaffen ist,
daß es mit der ersten Platte 6 fest verbunden ist, und daß
die zweite Platte 7 relativ zum Gehäuse 8 frei beweglich ist.
Der in Fig. 3 dargestellte Piezo-Aktor befindet sich in ei
nem Zustand, in dem die zweite Platte 7 und das Gehäuse 8 auf
der Unterseite des Piezo-Aktors noch keine gemeinsame ebene
Fläche bilden.
Fig. 4 zeigt den in Fig. 3 dargestellten Piezo-Aktor nach
dem Polarisieren der Keramik und nach dem Erzeugen einer pla
nen Unterseite des Piezo-Aktors. Durch Ausführung des erfin
dungsgemäßen Verfahrens zum Polarisieren der Piezokeramik,
die den Grundkörper 1 des Piezo-Aktors bildet, ist es mög
lich, durch Abtragen von Material von der zweiten Platte 7
beziehungsweise von dem Gehäuse 8 eine plane Unterseite des
Piezo-Aktors herzustellen, die sich auch im weiteren Betrieb
des Piezo-Aktors nicht mehr wesentlich verändert. Die plane
Unterseite gilt für den Fall des spannungslosen Ruhezustands
der Piezokeramik und verändert sich während des erfindungsge
mäßen Betriebs des Piezo-Aktors praktisch nicht mehr.
Die vorliegende Erfindung beschränkt sich nicht auf die dar
gestellten Ausführungsbeispiele, sondern wird in ihrer allge
meinsten Form durch die Patentansprüche 1 und 6 definiert.
Claims (7)
1. Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik,
wobei, ausgehend von einem Grundkörper (1) aus unpolari sierter Piezokeramik mit wenigstens zwei flächig einander gegenüberliegenden Elektroden (2, 3), eine Anzahl (N) von Spannungspulsen (4) an die Elektroden (2, 3) angelegt wird, deren Pulshöhen (UP) einer zeitabhängigen Hüllkurve (5) folgen, die in einem ersten Abschnitt während einer Anstiegszeit (TA) von einer minimalen Spannung (UMIN) auf eine maximale Spannung (UMAX) anwächst und die in einem zweiten Abschnitt während einer Haltezeit (TH) die maxi male Spannung (UMAX) hält,
wobei die minimale Spannung (UMIN) so gewählt wird, daß beim Aufladen der Elektroden (2, 3) die maximal verträg liche Aufladung der noch unpolarisierten Piezokeramik un terschritten wird,
wobei die maximale Spannung (UMAX) so gewählt wird, daß sie zur Ausbildung einer dauerhaften Polarisierung geeig net ist, und
wobei N ≧ 2 ist.
wobei, ausgehend von einem Grundkörper (1) aus unpolari sierter Piezokeramik mit wenigstens zwei flächig einander gegenüberliegenden Elektroden (2, 3), eine Anzahl (N) von Spannungspulsen (4) an die Elektroden (2, 3) angelegt wird, deren Pulshöhen (UP) einer zeitabhängigen Hüllkurve (5) folgen, die in einem ersten Abschnitt während einer Anstiegszeit (TA) von einer minimalen Spannung (UMIN) auf eine maximale Spannung (UMAX) anwächst und die in einem zweiten Abschnitt während einer Haltezeit (TH) die maxi male Spannung (UMAX) hält,
wobei die minimale Spannung (UMIN) so gewählt wird, daß beim Aufladen der Elektroden (2, 3) die maximal verträg liche Aufladung der noch unpolarisierten Piezokeramik un terschritten wird,
wobei die maximale Spannung (UMAX) so gewählt wird, daß sie zur Ausbildung einer dauerhaften Polarisierung geeig net ist, und
wobei N ≧ 2 ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
wobei die Spannungspulse während einer Pulsanstiegszeit
(TPA) von 0 V auf die jeweilige Pulshöhe (Up) ansteigen,
während einer Pulehaltezeit (TPH) die Pulshöhe (Up) hal
ten und während einer Pulsabfallzeit (TPAB) von der je
weiligen Pulshöhe (UP) auf 0 V abfallen, wobei die Puls
dauer TPA + TPH + TPAB ≦ 12 s ist, und wobei die Span
nungspulse (4) mit einer konstanten Pulsfrequenz (Fp)
aufeinanderfolgen.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
wobei gilt:
50 µs ≦ TPA ≦ 1 ms; 0,5 ms ≦ TPH ≦ 10 ms;
50 µs ≦ TPAB 1 ms; 6 ≦ N ≦ 80 000;
0,1 Hz ≦ FP 200 Hz; 60 s ≦ TA + TH 300 s;
0,1 ≦ TA/(TA + TH) ≦ 0,9.
50 µs ≦ TPA ≦ 1 ms; 0,5 ms ≦ TPH ≦ 10 ms;
50 µs ≦ TPAB 1 ms; 6 ≦ N ≦ 80 000;
0,1 Hz ≦ FP 200 Hz; 60 s ≦ TA + TH 300 s;
0,1 ≦ TA/(TA + TH) ≦ 0,9.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3,
das bei einer Temperatur zwischen 50°C und 150°C durch
geführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4,
wobei gilt: UMAX = 4 × UMIN.
6. Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors,
ausgehend von einem Grundkörper (1) aus einer Piezokera
mik, der wenigstens zwei flächig einander gegenüberlie
gende Elektroden (2, 3) aufweist, mit folgenden Schrit
ten:
- a) Einspannen des Grundkörpers (1) zwischen zwei parallel zu den Elektroden (2, 3) verlaufende Platten (6, 7), so daß die Platten eine Druckspannung auf den Grundkörper (1) ausüben
- b) Einbau des Grundkörpers (1) so in ein Gehäuse (8), daß die erste Platte (6) relativ zum Gehäuse (8) fixiert ist und daß die zweite Platte (7) relativ zum Gehäuse (8) be wegbar ist
- c) Polarisieren der Piezokeramik gemäß einem Verfahren nach Anspruch 1 bis 5
- d) Abtragen von Material von der zweiten Platte (7) und/oder vom Gehäuse (8), so daß die Außenseite der zwei ten Platte (7) mit dem Gehäuse (8) plan ist.
7. Verwendung eines gemäß dem Verfahren nach Anspruch 6 her
gestellten Piezo-Aktors mit Spannungspulsen einer Pulshö
he, die der maximalen Pulshöhe (UMAX) entspricht, einer
maximalen Pulsdauer von 12 s und bei einer Temperatur,
die von der Temperatur, bei der das Verfahren zur Polari
sierung der Piezokeramik durchgeführt wurde, um weniger
als 20% abweicht.
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DE10028335A DE10028335B4 (de) | 2000-06-08 | 2000-06-08 | Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik, Verfahren zur Herstellung eines Piezo-Aktors und Verwendung des Piezo-Aktors |
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DE10028335B4 DE10028335B4 (de) | 2004-04-01 |
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---|---|
DE (1) | DE10028335B4 (de) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003065468A2 (de) * | 2002-02-01 | 2003-08-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum vorbehandeln einer piezoelektrischen keramik und verfahren zum justieren eines einspritzventils |
EP1489669A1 (de) * | 2003-06-18 | 2004-12-22 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Vorbehandeln eines elektromechanischen Wandlers, sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
EP1515377A1 (de) * | 2003-09-09 | 2005-03-16 | Delphi Technologies, Inc. | Verfahren um ein Einspritzventil mit einem piezoelektrischen Aktor zu betreiben |
WO2005081332A1 (de) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und vorrichtung zur polarisierung eines piezoelektrischen aktors |
DE102004021955A1 (de) * | 2004-05-04 | 2005-12-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik |
DE102004024122A1 (de) * | 2004-05-14 | 2005-12-08 | Siemens Ag | Verfahren zur Stabilisierung insbesondere der Ruhelänge eines piezoelektrischen Stapelaktors sowie Stapelaktor |
DE102004024120A1 (de) * | 2004-05-14 | 2005-12-08 | Siemens Ag | Verfahren zum Polarisieren eines piezoelektrischen Aktors, insbesondere eines Stapelaktors, sowie Stapelaktor |
WO2009106410A1 (de) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zum polarisieren einer piezokeramik |
DE102012107343A1 (de) * | 2012-08-09 | 2014-02-13 | Epcos Ag | Verfahren zur Polung eines Vielschichtbauelements und Vielschichtbauelement |
FR3009031A1 (fr) * | 2013-07-29 | 2015-01-30 | Continental Automotive France | Procede et dispositif de repolarisation d'un actionneur piezoelectrique d'un injecteur d'un moteur a combustion interne d'un vehicule ayant ete utilise |
DE102015013553A1 (de) | 2015-10-20 | 2017-04-20 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung eines Stellelements |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2928163A (en) * | 1955-08-11 | 1960-03-15 | Clevite Corp | Polarization of titanate ceramics |
US5512796A (en) * | 1990-11-27 | 1996-04-30 | Xaar Limited | Laminate for use in manufacture of ink jet printheads |
DE19756182A1 (de) * | 1997-12-17 | 1999-07-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Polarisieren von piezoelektrischen Bauelementen und piezoelektrisches Bauelement |
-
2000
- 2000-06-08 DE DE10028335A patent/DE10028335B4/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2928163A (en) * | 1955-08-11 | 1960-03-15 | Clevite Corp | Polarization of titanate ceramics |
US5512796A (en) * | 1990-11-27 | 1996-04-30 | Xaar Limited | Laminate for use in manufacture of ink jet printheads |
DE19756182A1 (de) * | 1997-12-17 | 1999-07-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Polarisieren von piezoelektrischen Bauelementen und piezoelektrisches Bauelement |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Jeffe B.: Piezoelectric ceramics, Academic Press, London New York, 1971, S. 263-267 * |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003065468A2 (de) * | 2002-02-01 | 2003-08-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum vorbehandeln einer piezoelektrischen keramik und verfahren zum justieren eines einspritzventils |
WO2003065468A3 (de) * | 2002-02-01 | 2004-04-08 | Siemens Ag | Verfahren zum vorbehandeln einer piezoelektrischen keramik und verfahren zum justieren eines einspritzventils |
US7334329B2 (en) | 2002-02-01 | 2008-02-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for pretreating a piezoelectric ceramic and method for adjusting an injection valve |
EP1489669A1 (de) * | 2003-06-18 | 2004-12-22 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Vorbehandeln eines elektromechanischen Wandlers, sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
EP1515377A1 (de) * | 2003-09-09 | 2005-03-16 | Delphi Technologies, Inc. | Verfahren um ein Einspritzventil mit einem piezoelektrischen Aktor zu betreiben |
WO2005081332A1 (de) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und vorrichtung zur polarisierung eines piezoelektrischen aktors |
US7550903B2 (en) | 2004-02-25 | 2009-06-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and device for polarizing a piezoelectric actuator |
DE102004021955A1 (de) * | 2004-05-04 | 2005-12-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Polarisieren einer Piezokeramik |
DE102004024122A1 (de) * | 2004-05-14 | 2005-12-08 | Siemens Ag | Verfahren zur Stabilisierung insbesondere der Ruhelänge eines piezoelektrischen Stapelaktors sowie Stapelaktor |
DE102004024120A1 (de) * | 2004-05-14 | 2005-12-08 | Siemens Ag | Verfahren zum Polarisieren eines piezoelektrischen Aktors, insbesondere eines Stapelaktors, sowie Stapelaktor |
WO2009106410A1 (de) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zum polarisieren einer piezokeramik |
DE102012107343A1 (de) * | 2012-08-09 | 2014-02-13 | Epcos Ag | Verfahren zur Polung eines Vielschichtbauelements und Vielschichtbauelement |
DE102012107343B4 (de) * | 2012-08-09 | 2018-11-22 | Epcos Ag | Verfahren zur Polung eines Vielschichtbauelements |
FR3009031A1 (fr) * | 2013-07-29 | 2015-01-30 | Continental Automotive France | Procede et dispositif de repolarisation d'un actionneur piezoelectrique d'un injecteur d'un moteur a combustion interne d'un vehicule ayant ete utilise |
US9745930B2 (en) | 2013-07-29 | 2017-08-29 | Continental Automotive France | Method and device for repolarizing a piezoelectric actuator of an injector of an internal combustion engine of a used vehicle |
DE102015013553A1 (de) | 2015-10-20 | 2017-04-20 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung eines Stellelements |
DE102015013553B4 (de) | 2015-10-20 | 2018-03-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung eines Stellelements |
JP2018535546A (ja) * | 2015-10-20 | 2018-11-29 | フィジック インストゥルメント(ピーアイ)ゲーエムベーハー アンド ツェーオー.カーゲー | 電気機械要素を制御する方法 |
JP7018388B2 (ja) | 2015-10-20 | 2022-02-10 | フィジック インストゥルメント(ピーアイ)ゲーエムベーハー アンド ツェーオー.カーゲー | 電気機械要素を制御する方法 |
US11303226B2 (en) | 2015-10-20 | 2022-04-12 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Method for activating an electromechanical element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10028335B4 (de) | 2004-04-01 |
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