DE10025615A1 - Valve has positioning drive arrangement with drive element and rolling element moving along ramp when drive element moves relative to sealing plate. - Google Patents
Valve has positioning drive arrangement with drive element and rolling element moving along ramp when drive element moves relative to sealing plate.Info
- Publication number
- DE10025615A1 DE10025615A1 DE2000125615 DE10025615A DE10025615A1 DE 10025615 A1 DE10025615 A1 DE 10025615A1 DE 2000125615 DE2000125615 DE 2000125615 DE 10025615 A DE10025615 A DE 10025615A DE 10025615 A1 DE10025615 A1 DE 10025615A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sealing plate
- valve
- ramp
- ramps
- closed position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/184—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams
- F16K3/186—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams by means of cams of wedge from
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Check Valves (AREA)
Abstract
Description
Diese Erfindung betrifft Ventilstrukturen und insbesondere Absperrventilstrukturen, die durch eine geringe Vibration und geringen Stoß, eine lange Betriebslebensdauer und eine geringe Teilchenerzeugung gekennzeichnet sind.This invention relates to valve structures, and more particularly Shutoff valve structures caused by low vibration and low shock, long service life and one low particle generation are characterized.
Herkömmliche Absperrventilstrukturen weisen ein Ventilgehäuse mit einer Fluidleitung und einem Ventilsitz, eine Abdichtungsplatte, die zwischen einer offenen Position und einer geschlossenen Position in der Fluidleitung beweglich ist, und einen Stellantriebsmechanismus zum Bewegen der Abdichtungsplatte zwischen der offenen und der geschlossenen Position auf. Die Abdichtungsplatte greift in den Ventilsitz ein und dichtet die Fluidleitung in der geschlossenen Position ab. Die Abdichtungsplatte kann von der geschlossenen Position in eine zurückgezogene Position bewegt werden und dann geradlinig in die offene Position bewegt werden.Conventional check valve structures have Valve housing with a fluid line and a valve seat, a sealing plate between an open position and a closed position in the fluid line is movable, and an actuator mechanism for Moving the sealing plate between the open and the closed position. The sealing plate engages the valve seat and seals the fluid line in the closed position. The sealing plate can be from the closed position to a retracted position be moved and then straight to the open position be moved.
Absperrventile und verwandte Ventilstrukturen, wie z. B. Schlitzventile, werden in einer breiten Vielfalt von Anwendungen eingesetzt. Verschiedene Anwendungen können Flüssigkeiten, Gase und Vakuum beinhalten. Einige Anwendungen können eine lange Betriebslebensdauer mit häufigem Zyklusdurchlauf zwischen der offenen und der geschlossenen Position und eine geringe Teilchenerzeugung erfordern. Ein Beispiel einer solchen Anwendung ist eine Anlage zur Vakuumbearbeitung von Halbleiterwafern. Wenn die Halbleiterbauelement-Geometrien in der Größe abnehmen und die Schaltkreisdichten zunehmen, werden Halbleiterwafer immer empfindlicher für eine Teilchenverunreinigung. Die Bauteile innerhalb des Vakuumgehäuses der Bearbeitungskammer, wie z. B. Absperrventile in Vakuumleitungen, sind potentielle Quellen für die Teilchenverunreinigung. Ferner kann der Ausfall eines Absperrventils erfordern, daß die gesamte oder ein Teil einer Halbleiterfertigungslinie abgeschaltet wird, was sich nachteilig auf den Durchsatz auswirkt. Folglich sind eine lange Betriebslebensdauer und eine geringe Teilchenerzeugung wichtige Eigenschaften von Absperrventilen.Shut-off valves and related valve structures, such as. B. Slit valves are available in a wide variety of Applications. Different applications can Contain liquids, gases and vacuum. Some Applications can have a long service life frequent cycle cycle between the open and the closed position and low particle generation require. An example of such an application is one Vacuum processing system for semiconductor wafers. If the Semiconductor device geometries decrease in size and the circuit densities increase, semiconductor wafers more and more sensitive to particle contamination. The Components inside the vacuum housing Processing chamber, such as B. shut-off valves in Vacuum lines are potential sources for that Particle contamination. Furthermore, the failure of a Shut-off valve require that all or part of it a semiconductor production line is turned off, which is adversely affects throughput. Hence are one long service life and low Particle generation important properties of Shut-off valves.
Ein weiteres Problem bei Absperrventilen ist das Geräusch, der Stoß und die Vibration, die auftreten können, wenn das Ventil geöffnet oder geschlossen wird. Das Geräusch, der Stoß und die Vibration können dem Betrieb einer empfindlichen Anlage in der Nähe des Absperrventils schaden oder diesen unterbrechen. Es wurde beobachtet, daß der durch den Betrieb von Absperrventilen des Standes der Technik erzeugte Stoß die Holzkohle von der Innenseite von Kryovakuumpumpen losrütteln kann. Folglich ist es erwünscht, das Geräusch, den Stoß und die Vibration, die durch Absperrventile erzeugt werden, zu begrenzen.Another problem with shut-off valves is the noise the shock and vibration that can occur when that Valve is opened or closed. The noise that Shock and vibration can cause an operation damage sensitive equipment near the shut-off valve or interrupt it. It has been observed that the through the operation of the state of the art Technique generated pushing the charcoal from the inside of Shake off cryovacuum pumps. Hence it is desired the noise, the shock and the vibration that generated by shut-off valves.
Ein Absperrventil mit einer geradlinig beweglichen Abdichtungsplatte ist im US-Patent Nr. 4 052 036, herausgegeben am 4. Oktober 1977, von Schertler, offenbart. Die Abdichtungsplatte und eine Gegenplatte werden durch Blattfedern in Richtung eines Stellantriebs vorgespannt. Der Stellantrieb trägt eine Reihe von Kugeln, die in Vertiefungen in der Abdichtungsplatte und der Gegenplatte eingreifen. Wenn die Abdichtungsplatte und die Gegenplatte eine Stopposition erreichen, bewegt sich der Stellantrieb weiter, was die Kugeln aus den Vertiefungen herausdrückt und die Abdichtungsplatte und die Gegenplatte zur geschlossenen Position hin bewegt. Wenn die Kugeln aus den Vertiefungen herausgedrückt werden, ist der Übergang abrupt, was einen mechanischen Stoß für das System verursacht, wodurch eine Teilchenverunreinigung und Verschleiß erzeugt werden.A shut-off valve with a straight movable Sealing plate is described in U.S. Patent No. 4,052,036 issued October 4, 1977 by Schertler. The sealing plate and a counter plate are through Leaf springs biased towards an actuator. The actuator carries a series of balls that are in Wells in the sealing plate and the counter plate intervention. If the sealing plate and the counter plate the actuator moves to a stop position what pushes the balls out of the wells and the sealing plate and the counter plate for closed position. When the balls come out of the Depressions are the transition abruptly what a mechanical shock to the system causing particle contamination and Wear are generated.
Alle bekannten Absperrventilstrukturen des Standes der Technik hatten einen oder mehreren Nachteile, einschließlich der Erzeugung von Geräusch, Vibration und Stoß, einer begrenzten Betriebslebensdauer und einer starken Teilchenerzeugung.All known check valve structures of the prior art Technology had one or more disadvantages, including the generation of noise, vibration and Shock, a limited operating life and one strong particle generation.
Es ist somit Aufgabe der Erfindung, verbesserte Absperrventilstrukturen vorzusehen.It is therefore an object of the invention to improve Shutoff valve structures to be provided.
Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird ein Ventil bereitgestellt. Das Ventil umfaßt ein Ventilgehäuse mit einer Fluidleitung, welches einen Ventilsitz festlegt, eine Abdichtungsplattenanordnung mit einer Abdichtungsplatte mit einer Rampe zum Führen der Abdichtungsplatte zwischen einer zurückgezogenen Position und einer geschlossenen Position, eine Stellantriebsanordnung zum Bewegen der Abdichtungsplatte zwischen der zurückgezogenen Position, in der die Abdichtungsplatte vom Ventilsitz zurückgezogen ist, und der geschlossenen Position, in der sich die Abdichtungsplatte in dichtem Eingriff mit dem Ventilsitz befindet, und eine Vorrichtung zum Vorspannen der Abdichtungsplatte in Richtung der zurückgezogenen Position. Die Stellantriebsanordnung umfaßt ein Stellantriebselement und ein in dem Stellantriebselement montiertes Rollelement. Das Rollelement greift in die Rampe in der Abdichtungsplatte ein und bewegt sich entlang der Rampe, wenn sich das Stellantriebselement relativ zur Abdichtungsplatte bewegt, was bewirkt, daß sich die Abdichtungsplatte zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position bewegt. Die Rampe weist eine Kontur auf, die eine stoßfreie, nicht abrupte Bewegung zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position vorsieht.According to a first aspect of the invention, a valve provided. The valve includes a valve housing a fluid line, which defines a valve seat, a Sealing plate arrangement with a sealing plate with a ramp for guiding the sealing plate between one retracted position and a closed position, an actuator arrangement for moving the Sealing plate between the retracted position, in the sealing plate is withdrawn from the valve seat, and the closed position in which the Sealing plate in tight engagement with the valve seat is located, and a device for biasing the Sealing plate towards the retracted position. The actuator assembly includes an actuator element and a rolling element mounted in the actuator element. The rolling element engages in the ramp in the Sealing plate and moves along the ramp, if the actuator element is relative to Sealing plate moves, which causes the Sealing plate between the retracted position and the closed position. The ramp has one Contour on which is a bumpless, not abrupt movement between the retracted position and the closed position Provides for position.
Bei einem Ausführungsbeispiel umfaßt das Rollelement eine Kugel. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel umfaßt das Rollelement eine Zylinderwalze. Die Abdichtungsplatte kann eine Vielzahl von Rampen aufweisen, und die Stellantriebsanordnung kann eine entsprechende Vielzahl von Rollelementen aufweisen, die jeweils in die Rampen eingreifen.In one embodiment, the rolling element comprises one Bullet. In another embodiment, this includes Roll element a cylinder roller. The sealing plate can have a variety of ramps, and the Actuator arrangement can be a corresponding variety of Have rolling elements, each in the ramps intervention.
Die Kontur der Rampe entlang der Richtung der Rollelementbewegung kann eine konstante Steigung oder eine variable Steigung aufweisen. Die Kontur der Rampe entlang der Richtung der Rollelementbewegung kann nahe der zurückgezogenen Position eine größere Steigung und nahe der geschlossenen Position eine geringere Steigung aufweisen. Die Kontur der Rampe entlang der Richtung der Rollelementbewegung kann einen konvexen Radius aufweisen. Bei noch einem weiteren Ausführungsbeispiel umfaßt die Kontur der Rampe entlang der Richtung der Rollelementbewegung einen linearen Teil. Bei weiteren Ausführungsbeispielen kann die Kontur der Rampe entlang der Richtung der Rollelementbewegung stückweise linear oder stückweise gekrümmt sein. Die Kontur der Rampe senkrecht zur Richtung der Rollelementbewegung weist vorzugsweise eine Form auf, die der Form des Rollelements entspricht, für verringerten Verschleiß und verringerte Teilchenverunreinigung. Vorzugsweise ist der Teil der Rampe, der der geschlossenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, relativ zur Oberfläche der Abdichtungsplatte mit einer Vertiefung versehen. The contour of the ramp along the direction of the Roll element movement can be a constant incline or a have variable incline. Along the contour of the ramp the direction of the rolling element movement can be close to that retracted position a greater slope and near the closed position have a smaller slope. The contour of the ramp along the direction of the Roll element movement can have a convex radius. In yet another embodiment, the Contour the ramp along the direction of the Roll element movement a linear part. With others Embodiments can the contour of the ramp along the Direction of the rolling element movement piecewise linear or be curved piece by piece. The contour of the ramp is vertical points to the direction of the rolling element movement a shape that corresponds to the shape of the rolling element, for reduced wear and reduced Particle contamination. Preferably the part is the Ramp that the closed position of the sealing plate corresponds to, relative to the surface of the sealing plate provided with a recess.
Bei einer Ventilausführung erzeugt die Rampe eine lineare Bewegung des Stellantriebselements relativ zur Abdichtungsplatte. Bei einer anderen Ventilausführung erzeugt die Rampe eine Drehbewegung des Stellantriebselements relativ zur Abdichtungsplatte.With a valve version, the ramp creates a linear one Movement of the actuator element relative to Sealing plate. With a different valve version the ramp generates a rotary movement of the Actuator elements relative to the sealing plate.
Die Abdichtungsplattenanordnung kann ferner eine Gegenplatte mit einer oder mehreren Rampen aufweisen und die Stellantriebsanordnung kann Rollelemente zum Eingreifen in die Gegenplattenrampen aufweisen. Die Abdichtungsplatte und die Gegenplatte befinden sich auf entgegengesetzten Seiten des Stellantriebselements und werden in Richtung der zurückgezogenen Position durch eine oder mehrere Federn vorgespannt. Wenn sich das Stellantriebselement relativ zur Abdichtungsplatte und zur Gegenplatte bewegt, bewegen sich die Rollelemente entlang der Rampen, was bewirkt, daß sich die Abdichtungsplatte zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position bewegt.The sealing plate assembly can also be a Have counter plate with one or more ramps and the actuator assembly can engage rolling elements in the counterplate ramps. The sealing plate and the counter plate are on opposite Sides of the actuator element and are towards the retracted position by one or more springs biased. If the actuator element is relative to Sealing plate and moved to the counter plate, move the rolling elements along the ramps, which causes the sealing plate between the retracted position and the closed position moves.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:Embodiments of the invention are as follows explained in more detail with reference to the drawing. Show it:
Fig. 1 eine Querschnittsseitenansicht eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Absperrventils, welches in der offenen Position dargestellt ist; Figure 1 is a cross-sectional side view of a first embodiment of a shut-off valve according to the invention, which is shown in the open position.
Fig. 2 eine Querschnittsseitenansicht des Ventils von Fig. 1, welches in der zurückgezogenen Position dargestellt ist; Fig. 2 is a cross-sectional side view of the valve of Fig. 1 shown in the retracted position;
Fig. 3 eine Querschnittsseitenansicht des Ventils von Fig. 1, welches in der geschlossenen Position dargestellt ist; Fig. 3 is a cross-sectional side view of the valve of Figure 1, which is shown in the closed position.
Fig. 4 eine Querschnitts-Draufsicht auf das Ventil von Fig. 1; Fig. 4 is a cross-sectional top view of the valve of Fig. 1;
Fig. 5 eine vergrößerte, teilweise Querschnittsansicht des Ventils von Fig. 1, welches in der zurückgezogenen Position dargestellt ist; FIG. 5 is an enlarged, partial cross-sectional view of the valve of FIG. 1 shown in the retracted position;
Fig. 6 eine vergrößerte, teilweise Querschnittsansicht des Ventils von Fig. 1, welches in der geschlossenen Position dargestellt ist; Fig. 6 is an enlarged, partial cross-sectional view of the valve of Figure 1, which is shown in the closed position.
Fig. 7A-7C eine Rampe mit einer gekrümmten Kontur entlang der Bewegungsrichtung und einer gekrümmten Kontur senkrecht zur Richtung der Rollelementbewegung; FIG. 7A-7C a ramp perpendicular with a curved contour along the direction of movement and a curved contour to the direction of rolling movement;
Fig. 8A-8C eine Rampe mit einer gekrümmten Kontur entlang der Bewegungsrichtung und einer ebenen Kontur senkrecht zur Richtung der Rollelementbewegung; FIG. 8A-8C a ramp perpendicular with a curved contour along the direction of movement and a planar contour to the direction of rolling movement;
Fig. 9 eine Rampe mit einer linearen Kontur entlang der Richtung der Rollelementbewegung; Figure 9 is a ramp having a linear contour along the direction of rolling motion.
Fig. 10 eine Rampe mit einer stückweise linearen Kontur entlang der Richtung der Rollelementbewegung; FIG. 10 is a ramp with a piecewise linear contour along the direction of rolling movement;
Fig. 11 eine Querschnittsseitenansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Absperrventils; und FIG. 11 is a cross-sectional side view of a second embodiment of a shut-off valve according to the invention; and
Fig. 12 eine schematische Draufsicht auf das Ventil von Fig. 11. FIG. 12 shows a schematic top view of the valve from FIG. 11.
Ein erstes Ausführungsbeispiel eines Absperrventils, das Merkmale der vorliegenden Erfindung einschließt, ist in Fig. 1-7C dargestellt. Gleiche Elemente in Fig. 1-7C besitzen dieselben Bezugsziffern.A first embodiment of a check valve incorporating features of the present invention is shown in Figs. 1-7C. Like elements in Figures 1-7C have the same reference numerals.
Ein Absperrventil 10 umfaßt ein Ventilgehäuse 12 mit einer Fluidleitung 14 zum Durchlaß eines Gases oder einer Flüssigkeit. Der Gasdruck kann im Fall von Vakuumanwendungen des Absperrventils niedrig sein. Das Ventilgehäuse 12 legt einen Ventilsitz 16 zum Eingriff in eine Abdichtungsplatte fest, wie nachstehend beschrieben. Die Fluidleitung 14 kann im allgemeinen zylindrisch, quadratisch, rechteckig oder von irgendeiner anderen geeigneten Form sein und der Ventilsitz 16 kann die Form einer Oberfläche aufweisen, die die Fluidleitung 14 umgibt.A shut-off valve 10 comprises a valve housing 12 with a fluid line 14 for the passage of a gas or a liquid. The gas pressure can be low in the case of vacuum applications of the shut-off valve. The valve housing 12 defines a valve seat 16 for engagement with a sealing plate, as described below. Fluid line 14 may be generally cylindrical, square, rectangular, or any other suitable shape, and valve seat 16 may be in the form of a surface that surrounds fluid line 14 .
Das Absperrventil 10 umfaßt ferner eine Abdichtungsplattenanordnung 30 und eine Stellantriebsanordnung 32 und kann einen Ventilstellantrieb 34, wie z. B. einen Druckluftzylinder, aufweisen. Unter der Steuerung der Stellantriebsanordnung 32 und des Ventilstellantriebs 34 ist die Abdichtungsplattenanordnung 30 zwischen einer in Fig. 1 gezeigten offenen Position, einer in Fig. 2 und 5 gezeigten zurückgezogenen Position und einer in Fig. 3 und 6 gezeigten geschlossenen Position beweglich. In der offenen Position ist die Abdichtungsplattenanordnung 30 von dem Ventilsitz 16 und der Fluidleitung 14 wegbewegt, um den Durchlaß einer Flüssigkeit oder eines Gases zu gestatten. In der zurückgezogenen Position ist die Abdichtungsplattenanordnung 30 in und in einer Linie mit der Fluidleitung 14 angeordnet, ist jedoch vom Ventilsitz 16 beabstandet. In der geschlossenen Position ist die Abdichtungsplattenanordnung 30 gegenüber der zurückgezogenen Position in dichten Eingriff mit dem Ventilsitz 16 parallelverschoben, wodurch die Fluidleitung 14 abgedichtet wird. Bei einer anderen Ausführung ist der Stellantrieb 34 gegen einen Griff oder eine andere geeignete Vorrichtung zur manuellen Betätigung des Absperrventils ausgetauscht.The check valve 10 further includes a seal plate assembly 30 and an actuator assembly 32 and may include a valve actuator 34 , such as. B. have an air cylinder. Under the control of the actuator assembly 32 and valve actuator 34 , the sealing plate assembly 30 is movable between an open position shown in FIG. 1, a retracted position shown in FIGS. 2 and 5, and a closed position shown in FIGS. 3 and 6. In the open position, the seal plate assembly 30 from the valve seat 16 and the fluid conduit 14 is moved away to permit the passage of a liquid or a gas to. In the retracted position, the sealing plate assembly 30 is arranged in and in line with the fluid line 14 , but is spaced from the valve seat 16 . In the closed position, the sealing plate assembly is parallel shifted 30 from the retracted position in tight engagement with the valve seat 16, thereby sealing the fluid line fourteenth In another embodiment, the actuator 34 is replaced by a handle or another suitable device for manually actuating the shut-off valve.
Die Stellantriebsanordnung 32 umfaßt eine Welle 40, die an einem Ende über eine Wellendichtung 42 mit dem Ventilstellantrieb 34 verbunden ist. Das entgegengesetzte Ende der Welle 40 ist mit einem Stellantriebselement 44 verbunden. Wie am besten in Fig. 5 und 6 gezeigt, ist das Stellantriebselement 44 mit Öffnungen 46 und 48 zum Aufnehmen von Rollelementen, wie z. B. Kugeln 50, versehen. Wie nachstehend beschrieben, wirken die Kugeln 50 mit Rampen auf der Abdichtungsplattenanordnung zusammen bei der Bewegung der Abdichtungsplattenanordnung 30 zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position.The actuator assembly 32 includes a shaft 40 which is connected at one end to the valve actuator 34 via a shaft seal 42 . The opposite end of the shaft 40 is connected to an actuator element 44 . As best shown in FIGS. 5 and 6, the actuator member 44 is provided with openings 46 and 48 for receiving rolling elements, such as. B. balls 50 provided. As will be described below, the balls 50 with ramps on the sealing plate assembly cooperate in moving the sealing plate assembly 30 between the retracted position and the closed position.
Die Abdichtungsplattenanordnung 30 umfaßt eine Abdichtungsplatte 60 und eine Gegenplatte 62, die auf entgegengesetzten Seiten des Stellantriebselements 44 angeordnet sind. Ein Elastomerring 64 ist in einer Nut in der Abdichtungsplatte 60 befestigt zum Erzeugen einer vakuumdichten Abdichtung zwischen dem Ventilsitz 16 und der Abdichtungsplatte 60, wenn das Ventil geschlossen ist. Die Gegenplatte 62 ist vom Ventilgehäuse 12 in der in Fig. 5 gezeigten zurückgezogenen Position beabstandet und steht in der in Fig. 6 gezeigten geschlossenen Position mit dem Ventilgehäuse 12 in Kontakt. Die Abdichtungsplattenanordnung 30 umfaßt ferner eine Blattfeder 70 und eine Blattfeder 72 (Fig. 4). Jede der Blattfedern 70 und 72 ist an einem Ende an der Abdichtungsplatte 60 befestigt und ist am anderen Ende an der Gegenplatte 62 befestigt. Die Blattfedern 70 und 72 spannen die Abdichtungsplatte 60 und die Gegenplatte 62 gegeneinander und in Richtung der zurückgezogenen Position vor. Wenn das Ventil geschlossen wird, werden die Blattfedern 70 und 72 verformt, wie in Fig. 3 gezeigt, wodurch eine Rückstellkraft erzeugt wird, die dazu tendiert, die Abdichtungsplatte 60 und die Gegenplatte 62 in die zurückgezogene Position zurückzubringen. Es ist selbstverständlich, daß Bellville-Federn, Spiralfedern oder irgendwelche anderen geeigneten Federn innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung verwendet werden können.The sealing plate assembly 30 includes a sealing plate 60 and a counter plate 62 which are arranged on opposite sides of the actuator element 44 . An elastomer ring 64 is secured in a groove in the sealing plate 60 to create a vacuum-tight seal between the valve seat 16 and the sealing plate 60 when the valve is closed. The counter plate 62 is spaced from the valve housing 12 in the retracted position shown in FIG. 5 and is in contact with the valve housing 12 in the closed position shown in FIG. 6. The sealing plate assembly 30 further includes a leaf spring 70 and a leaf spring 72 ( FIG. 4). Each of the leaf springs 70 and 72 is attached to the sealing plate 60 at one end and is attached to the counter plate 62 at the other end. The leaf springs 70 and 72 bias the sealing plate 60 and the counter plate 62 against each other and towards the retracted position. When the valve is closed, the leaf springs 70 and 72 are deformed as shown in FIG. 3, creating a restoring force that tends to return the sealing plate 60 and the counter plate 62 to the retracted position. It is understood that Bellville springs, coil springs, or any other suitable springs can be used within the scope of the present invention.
Die Abdichtungsplatte 60 ist mit einer Rampe 80 und einer Rampe 82 versehen. Ebenso ist die Gegenplatte 62 mit einer Rampe 84 und einer Rampe 86 versehen. Jede der Rampen 80, 82, 84 und 86 liegt in Form einer Nut oder Vertiefung in der jeweiligen Platte vor. Die Rampen 80, 82, 84 und 86 sind so angeordnet und geformt, daß sie in die jeweiligen Kugeln 50 eingreifen. Die bevorzugten Rampenausführungen werden nachstehend im einzelnen beschrieben. Jede der Rampen besitzt ein tiefes Ende, das der zurückgezogenen Position der Abdichtungsplatte 60 und der Gegenplatte 62 entspricht, und ein flaches Ende, das der geschlossenen Position der Abdichtungsplatte 60 und der Gegenplatte 62 entspricht.The sealing plate 60 is provided with a ramp 80 and a ramp 82 . The counter plate 62 is also provided with a ramp 84 and a ramp 86 . Each of the ramps 80 , 82 , 84 and 86 is in the form of a groove or depression in the respective plate. The ramps 80 , 82 , 84 and 86 are arranged and shaped so that they engage in the respective balls 50 . The preferred ramp designs are described in detail below. Each of the ramps has a deep end which corresponds to the retracted position of the sealing plate 60 and the counter plate 62 and a flat end which corresponds to the closed position of the sealing plate 60 and the counter plate 62 .
Beim Betrieb bewegt die Welle 40 die Abdichtungsplattenanordnung 30 und die Stellantriebsanordnung 32 von der in Fig. 1 gezeigten offenen Position in die in Fig. 2 und 5 gezeigte zurückgezogene Position. Während dieser Bewegung werden die Abdichtungsplatte 60 und die Gegenplatte 62 durch die Blattfedern 70 und 72 gegen das Stellantriebselement 44 vorgespannt und die Kugeln 50 greifen in die tiefen Enden der jeweiligen Rampen 80, 82, 84 und 86 ein, wie am besten in Fig. 5 dargestellt. Wenn die Abdichtungsplattenanordnung 30 die zurückgezogene Position erreicht, berührt die Abdichtungsplatte 60 das Ventilgehäuse 12 und beendet die Bewegung. Die Welle 40 bewirkt, daß sich das Stellantriebselement 44 weiter bewegt (nach rechts in Fig. 6). Die Bewegung des Stellantriebselements 44 relativ zur Abdichtungsplatte 60 und Gegenplatte 62 bewirkt, daß sich die Kugeln 50 entlang der Rampen 80, 82, 84 und 86 in Richtung der flachen Teile der Rampen bewegen, wodurch die Abdichtungsplatte 60 nach oben zum Ventilsitz 16 hin verschoben wird und die Gegenplatte 62 nach unten verschoben wird. In der in Fig. 6 dargestellten geschlossenen Position befinden sich die Kugeln 50 nahe den rechten Enden der jeweiligen Rampen und halten die Abdichtungsplatte 60 und die Gegenplatte 62 in der geschlossenen Position.In operation, shaft 40 moves seal plate assembly 30 and actuator assembly 32 from the open position shown in FIG. 1 to the retracted position shown in FIGS. 2 and 5. During this movement, the sealing plate 60 and the counter plate 62 are biased against the actuator 44 by the leaf springs 70 and 72 and the balls 50 engage the deep ends of the respective ramps 80 , 82 , 84 and 86 , as best shown in FIG. 5 shown. When the seal plate assembly 30 reaches the retracted position, the seal plate 60 contacts the valve housing 12 and stops moving. The shaft 40 causes the actuator member 44 to move further (to the right in FIG. 6). Movement of actuator member 44 relative to sealing plate 60 and counter plate 62 causes balls 50 to move along ramps 80 , 82 , 84 and 86 towards the flat portions of the ramps, thereby displacing sealing plate 60 upwardly toward valve seat 16 and the counter plate 62 is moved down. In the closed position shown in FIG. 6, the balls 50 are near the right ends of the respective ramps and hold the sealing plate 60 and the counter plate 62 in the closed position.
Ein Beispiel einer Rampe 80 ist in Fig. 7A-7C dargestellt. Die Rampen 82, 84 und 86 können dieselbe Gestalt aufweisen. Wie vorher angegeben, kann die Rampe 80 als Nut oder Vertiefung in der Abdichtungsplatte 60 ausgebildet sein. Die Rampe 80 umfaßt ein tiefes Ende 110, das der zurückgezogenen Position der Abdichtungsplatte 60 entspricht, ein flaches Ende 112, das der geschlossenen Position der Abdichtungsplatte 60 entspricht, und einen Übergang 114, der das tiefe Ende 110 und das flache Ende 112 miteinander verbindet. Die Rampe 80 ist zum Eingreifen in ein Rollelement in Form einer Kugel gestaltet. Das tiefe Ende 110 ist mit einem profilierten Boden ausgebildet, der so geformt ist, daß er der Kugel 50 entspricht (Fig. 5 und 6). Das flache Ende 112 kann in der Bewegungsrichtung der Kugel 50 eben sein und kann in einer Richtung senkrecht zur Bewegungsrichtung der Kugel 50 so profiliert sein, daß es der Form der Kugel 50 entspricht, wie in Fig. 7C dargestellt. Der Übergang 114 kann entlang der Bewegungsrichtung zwischen dem tiefen Ende 110 und dem flachen Ende 112 sanft gekrümmt sein, und kann senkrecht zur Bewegungsrichtung der Kugel 50 so profiliert sein, daß er der Form der Kugel 50 entspricht, wie in Fig. 7C dargestellt. Insbesondere kann der Übergang 114 einen konvexen Radius mit einer lokalen Steigung aufweisen, die nahe dem tiefen Ende 110 größer ist und nahe dem flachen Ende 112 geringer ist. Wenn sich die Kugel 50 entlang der Rampe 80 vom tiefen Ende 110 zum flachen Ende 112 bewegt, bewegt sie sich folglich in Richtung der geschlossenen Position schneller im ersten Teil des Übergangs 114 und verlangsamt sich dann, wenn sie sich der geschlossenen Position nähert. Somit ist die Bewegung der Abdichtungsplatte 60 zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position stoßfrei und nicht abrupt und erzeugt einen geringen oder keinen Stoß und geringe oder keine Vibration. Da die Rampe 80 senkrecht zur Richtung der Kugelbewegung profiliert ist, berührt die Kugel 50 außerdem die Rampe 80 entlang eines Bogens, wenn sie sich vom tiefen Ende 110 zum flachen Ende 112 bewegt, oder umgekehrt. Der Kontakt entlang eines Bogens anstatt an einem Punkt verteilt die Kontaktkraft und verringert dadurch den Verschleiß und die Erzeugung von Teilchen.An example of a ramp 80 is shown in Figures 7A-7C. Ramps 82 , 84 and 86 can have the same shape. As previously indicated, the ramp 80 can be formed as a groove or depression in the sealing plate 60 . The ramp 80 includes a deep end 110 that corresponds to the retracted position of the sealing plate 60 , a flat end 112 that corresponds to the closed position of the sealing plate 60 , and a transition 114 that connects the deep end 110 and the flat end 112 to each other. The ramp 80 is designed to engage a rolling element in the form of a ball. The deep end 110 is formed with a profiled bottom that is shaped to correspond to the ball 50 ( FIGS. 5 and 6). The flat end 112 may be flat in the direction of travel of the ball 50 and may be profiled in a direction perpendicular to the direction of travel of the ball 50 to conform to the shape of the ball 50 , as shown in FIG. 7C. The transition 114 may be gently curved along the direction of travel between the deep end 110 and the flat end 112 , and may be profiled perpendicular to the direction of travel of the ball 50 to conform to the shape of the ball 50 , as shown in FIG. 7C. In particular, the transition 114 may have a convex radius with a local slope that is larger near the deep end 110 and smaller near the flat end 112 . As a result, as the ball 50 moves along the ramp 80 from the deep end 110 to the flat end 112 , it moves faster towards the closed position in the first part of the transition 114 and then slows down as it approaches the closed position. Thus, the movement of the sealing plate 60 between the retracted position and the closed position is smooth and not abrupt and produces little or no shock and little or no vibration. In addition, since ramp 80 is profiled perpendicular to the direction of ball movement, ball 50 contacts ramp 80 along an arc as it moves from deep end 110 to flat end 112 , or vice versa. Contact along an arc rather than at a point distributes the contact force, thereby reducing wear and particle generation.
Die Rampen, die die Abdichtungsplatte 60 und die Gegenplatte 62 zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position führen, können innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung eine Vielfalt von Gestalten aufweisen. Im allgemeinen ist die Rampe so gestaltet, daß sie eine relativ stoßfreie, nicht abrupte Bewegung zu und zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position vorsieht. Die Rampe kann für verringerten Verschleiß und verringerte Teilchenerzeugung senkrecht zur Richtung der Rollelementbewegung profiliert sein, um der Form der Kugel, einer Walze oder eines anderen Rollelements zu entsprechen. Vorzugsweise ist das flache Ende der Rampe, wo das Rollelement in der geschlossenen Position des Ventils ruht, bezüglich der Oberfläche der Abdichtungsplatte mit einer Vertiefung versehen, um zu ermöglichen, daß das flache Ende senkrecht zur Bewegungsrichtung profiliert ist. Folglich werden im Vergleich zu Ventilen des Standes der Technik das Geräusch und der mechanische Stoß verringert, die Teilchenverunreinigung wird verringert und die Betriebslebensdauer des Ventils wird verlängert. The ramps that guide the sealing plate 60 and the counter plate 62 between the retracted position and the closed position may have a variety of shapes within the scope of the invention. In general, the ramp is designed to provide relatively bumpless, non-abrupt movement to and between the retracted position and the closed position. The ramp may be profiled perpendicular to the direction of rolling element movement for reduced wear and particle generation to conform to the shape of the ball, roller, or other rolling element. Preferably, the flat end of the ramp where the rolling element rests in the closed position of the valve is recessed with respect to the surface of the sealing plate to allow the flat end to be profiled perpendicular to the direction of movement. As a result, compared to prior art valves, noise and mechanical shock are reduced, particle contamination is reduced, and the operating life of the valve is increased.
Ein zweites Beispiel einer Rampe ist in Fig. 8A-8C dargestellt. Eine Rampe 120 ist zum Betrieb mit einer Zylinderwalze anstatt einer Kugel gestaltet. Folglich weist die Rampe 120 eine Kontur auf, die der Form der Walze entspricht. Die Rampe 120 umfaßt ein tiefes Ende 130, das der zurückgezogenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, ein flaches Ende 132, das der geschlossenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, und einen Übergang 134 zwischen dem tiefen Ende 130 und dem flachen Ende 132. Die Kontur entlang der Richtung der Walzenbewegung kann dieselbe sein wie die Kontur der Rampe 80, die in Fig. 7A-7C dargestellt ist und vorstehend beschrieben wurde. Die Rampe 120 kann jedoch senkrecht zur Richtung der Walzenbewegung eine ebene Kontur aufweisen, wie in Fig. 8C gezeigt, um die Zylinderwalze aufzunehmen.A second example of a ramp is shown in Figures 8A-8C. A ramp 120 is designed to operate with a cylindrical roller rather than a ball. As a result, the ramp 120 has a contour that corresponds to the shape of the roller. The ramp 120 includes a deep end 130 , which corresponds to the retracted position of the sealing plate, a flat end 132 , which corresponds to the closed position of the sealing plate, and a transition 134 between the deep end 130 and the flat end 132 . The contour along the direction of the roll movement can be the same as the contour of the ramp 80 shown in Figures 7A-7C and described above. However, ramp 120 may have a flat contour perpendicular to the direction of roll movement, as shown in FIG. 8C, to accommodate the cylinder roll.
Ein drittes Beispiel einer Rampe ist in Fig. 9 dargestellt. Eine Rampe 140 umfaßt ein tiefes Ende 150, das der zurückgezogenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, ein flaches Ende 152, das der geschlossenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, und einen Übergang 154 zwischen dem tiefen Ende 150 und dem flachen Ende 152. Bei der Ausführung von Fig. 9 ist die Kontur des Übergangs 154 eine lineare Rampe mit einer konstanten Steigung. Die Rampe 140 kann senkrecht zur Richtung der Rollelementbewegung so profiliert sein, daß sie der Form einer Kugel entspricht, wie in Fig. 7C gezeigt, oder kann so profiliert sein, daß sie der Form einer Zylinderwalze entspricht, wie in Fig. 8C gezeigt. Vorzugsweise ist das flache Ende 152 von der Oberfläche der Abdichtungsplatte mit einer Vertiefung versehen, um zu ermöglichen, daß seine Bodenfläche profiliert ist.A third example of a ramp is shown in FIG. 9. A ramp 140 includes a deep end 150 , which corresponds to the retracted position of the sealing plate, a flat end 152 , which corresponds to the closed position of the sealing plate, and a transition 154 between the deep end 150 and the flat end 152 . In the embodiment of FIG. 9, the contour of the transition 154 is a linear ramp having a constant slope. The ramp 140 may be profiled perpendicular to the direction of rolling element movement to conform to the shape of a ball, as shown in FIG. 7C, or may be profiled to correspond to the shape of a cylindrical roller, as shown in FIG. 8C. Preferably, the flat end 152 is recessed from the surface of the sealing plate to allow its bottom surface to be profiled.
Ein viertes Beispiel einer Rampe ist in Fig. 10 dargestellt. Eine Rampe 160 umfaßt ein tiefes Ende 170, das der zurückgezogenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, ein flaches Ende 172, das der geschlossenen Position der Abdichtungsplatte entspricht, und einen Übergang 174 zwischen dem tiefen Ende 170 und dem flachen Ende 172. Bei der Ausführung von Fig. 10 kann der Übergang 174 zwei oder mehrere lineare und/oder gekrümmte, sich schneidende Konturen aufweisen, wie z. B. die Konturen 180 und 182. Die Kurven 180 und 182 schneiden sich entlang einer Linie 184. Somit kann der Übergang 174 stückweise linear oder stückweise gekrümmt oder eine Mischung aus linear und gekrümmt entlang der Richtung der Rollelementbewegung zwischen dem tiefen Ende 170 und dem flachen Ende 172 sein. Vorzugsweise verursacht die Schnittlinie zwischen den Oberflächen keine abrupte Änderung der Rollelement-Geschwindigkeit oder -Richtung. Senkrecht zur Richtung der Rollelementbewegung kann die Rampe 160 so geformt sein, daß sie einer Kugel entspricht, wie in Fig. 7C gezeigt, oder kann so geformt sein, daß sie einer Zylinderwalze entspricht, wie in Fig. 8C gezeigt.A fourth example of a ramp is shown in FIG. 10. A ramp 160 includes a deep end 170 , which corresponds to the retracted position of the sealing plate, a flat end 172 , which corresponds to the closed position of the sealing plate, and a transition 174 between the deep end 170 and the flat end 172 . In the embodiment of FIG. 10, the transition 174, two or more linear and / or curved, may have to be cut contours such. B. contours 180 and 182 . Curves 180 and 182 intersect along line 184 . Thus, the transition 174 can be piece-wise linear or piece-wise curved or a mixture of linear and curved along the direction of rolling element movement between the deep end 170 and the flat end 172 . Preferably the intersection between the surfaces does not cause an abrupt change in the speed or direction of the rolling element. Perpendicular to the direction of rolling element movement, ramp 160 may be shaped to correspond to a ball, as shown in FIG. 7C, or may be shaped to correspond to a cylindrical roller, as shown in FIG. 8C.
Ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Absperrventils ist in Fig. 11 und 12 gezeigt. Ein Absperrventil 210 umfaßt ein Ventilgehäuse 212 mit einer Fluidleitung 214 und einem Ventilsitz 216. Das Absperrventil 210 umfaßt ferner eine Abdichtungsplattenanordnung 230 und eine Stellantriebsanordnung 232. Die Stellantriebsanordnung 232 umfaßt eine Welle 240, die an einem Ende mit einem Stellantrieb (nicht dargestellt) gekoppelt sein kann und am anderen Ende über ein Verbindungsglied 242 mit einem Stellantriebselement 244 gekoppelt ist. Das Stellantriebselement 244 ist mit Öffnungen 246 zum Aufnehmen von Rollelementen, wie z. B. Kugeln 250, versehen.A second exemplary embodiment of a shut-off valve according to the invention is shown in FIGS. 11 and 12. A shut-off valve 210 includes a valve housing 212 with a fluid line 214 and a valve seat 216 . The check valve 210 further includes a seal plate assembly 230 and an actuator assembly 232 . The actuator assembly 232 includes a shaft 240 which may be coupled to an actuator (not shown) at one end and coupled to an actuator member 244 at the other end via a link 242 . The actuator element 244 is provided with openings 246 for receiving rolling elements, such as. B. balls 250 provided.
Die Abdichtungsplattenanordnung 230 kann eine Abdichtungsplatte 260 und eine Gegenplatte 262 aufweisen. Die Abdichtungsplatte 260 ist mit einem Elastomerring 264 versehen, um einen dichten Eingriff zwischen der Abdichtungsplatte 260 und dem Ventilsitz 216 zu gewährleisten. Die Abdichtungsplatte 260 und die Gegenplatte 262 können in Richtung des Stellantriebselements 244 und in Richtung der zurückgezogenen Position durch Federn (nicht dargestellt) vorgespannt werden. Die Abdichtungsplatte 260 und die Gegenplatte 262 sind mit Rampen 280 versehen, die so angeordnet und geformt sind, daß sie in Kugeln 250 eingreifen. In dem Ausführungsbeispiel von Fig. 11 und 12 sind die Rampen 280 so gestaltet, daß sie eine Drehbewegung des Stellantriebselements 244 relativ zur Abdichtungsplatte 260 erzeugen, wie am besten in Fig. 12 gezeigt. Die Abdichtungsplatte 260 ist in einem Joch 270 montiert, welches die Abdichtungsplatte 260 auf die Drehbewegung als Reaktion auf die geradlinige Bewegung der Welle 240 begrenzt.The sealing plate assembly 230 may include a sealing plate 260 and a counter plate 262 . The sealing plate 260 is provided with an elastomer ring 264 in order to ensure a tight engagement between the sealing plate 260 and the valve seat 216 . The sealing plate 260 and the counter plate 262 can be biased towards the actuator 244 and toward the retracted position by springs (not shown). Sealing plate 260 and mating plate 262 are provided with ramps 280 which are arranged and shaped to engage balls 250 . In the embodiment of FIGS. 11 and 12, the ramps 280 are designed to produce rotational movement of the actuator member 244 relative to the sealing plate 260 , as best shown in FIG. 12. The sealing plate 260 is mounted in a yoke 270 which limits the sealing plate 260 to the rotational movement in response to the linear movement of the shaft 240 .
Beim Betrieb wird die geradlinige Bewegung der Welle 240 in eine Drehbewegung des Stellantriebselements 244 relativ zur Abdichtungsplatte 260 umgewandelt, so daß sich die Kugeln 250 entlang der Rampen 280 bewegen, wodurch bewirkt wird, daß sich die Abdichtungsplatte 260 in Richtung der geschlossenen Position des Ventils oder von dieser weg bewegt. Die gesamte Anordnung, einschließlich der Stellantriebsanordnung 232 und der Abdichtungsplattenanordnung 230, kann zum unteren Teil des Ventilgehäuses 212 bewegt werden, wenn sich das Ventil in der offenen Position befindet. Die Rampen 280 können irgendeine der vorstehend beschriebenen Ausführungen aufweisen.In operation, the linear movement of shaft 240 is converted to rotational movement of actuator 244 relative to sealing plate 260 so that balls 250 move along ramps 280 , causing sealing plate 260 to move toward the valve closed position or moved away from this. The entire assembly, including the actuator assembly 232 and the sealing plate assembly 230 , can be moved to the lower part of the valve housing 212 when the valve is in the open position. Ramps 280 may be of any of the types described above.
Obwohl gezeigt und beschrieben wurde, was derzeit als bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung betrachtet wird, ist es für Fachleute offensichtlich, daß verschiedene Änderungen und Modifikationen darin vorgenommen werden können, ohne vom Schutzbereich der Erfindung, wie durch die beigefügten Ansprüche definiert, abzuweichen.Although what has been shown and described as preferred embodiments of the present invention considered, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications in it can be made without the scope of protection Invention as defined by the appended claims to deviate.
Claims (25)
ein Ventilgehäuse mit einer Fluidleitung, welches einen Ventilsitz festlegt;
eine Abdichtungsplattenanordnung mit einer Abdichtungsplatte mit einer Rampe zum Führen der Abdichtungsplatte zwischen einer zurückgezogenen Position und einer geschlossenen Position, wobei die Rampe eine Kontur aufweist, die eine stoßfreie, nicht abrupte Bewegung zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position vorsieht;
eine Stellantriebsanordnung zum Bewegen der Abdichtungsplatte zwischen der zurückgezogenen Position, in der die Abdichtungsplatte vom Ventilsitz zurückgezogen ist, und der geschlossenen Position, in der sich die Abdichtungsplatte in dichtem Eingriff mit dem Ventilsitz befindet, wobei die Stellantriebsanordnung ein Stellantriebselement und ein Rollelement umfaßt, das in dem Stellantriebselement montiert ist, wobei das Rollelement in die Rampe eingreift und sich entlang der Rampe bewegt, wenn sich das Stellantriebselement relativ zur Abdichtungsplatte bewegt, was bewirkt, daß sich die Abdichtungsplatte zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position bewegt; und
eine Vorrichtung zum Vorspannen der Abdichtungsplatte in Richtung der zurückgezogenen Position.1. Valve, which comprises:
a valve housing with a fluid line, which defines a valve seat;
a seal plate assembly having a seal plate with a ramp for guiding the seal plate between a retracted position and a closed position, the ramp having a contour that provides smooth, non-abrupt movement between the retracted position and the closed position;
an actuator assembly for moving the sealing plate between the retracted position in which the sealing plate is retracted from the valve seat and the closed position in which the sealing plate is in tight engagement with the valve seat, the actuator assembly comprising an actuator member and a rolling member which in the actuator element is mounted, the roller element engaging the ramp and moving along the ramp when the actuator element moves relative to the sealing plate, causing the sealing plate to move between the retracted position and the closed position; and
a device for biasing the sealing plate towards the retracted position.
ein Ventilgehäuse mit einer Fluidleitung, welches einen Ventilsitz festlegt;
eine Abdichtungsplatte mit einer Vielzahl von Abdichtungsplattenrampen;
eine Gegenplatte mit einer Vielzahl von Gegenplattenrampen, wobei die Abdichtungsplattenrampen und die Gegenplattenrampen jeweils die Abdichtungsplatte und die Gegenplatte zwischen einer zurückgezogenen Position und einer geschlossenen Position führen, wobei die Abdichtungsplattenrampen und die Gegenplattenrampen Konturen aufweisen, die eine stoßfreie, nicht abrupte Bewegung zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position vorsehen;
eine Stellantriebsanordnung zum Bewegen der Abdichtungsplatte und der Gegenplatte zwischen einer offenen Position, der zurückgezogenen Position, in der die Abdichtungsplatte vom Ventilsitz zurückgezogen ist, und der geschlossenen Position, in der sich die Abdichtungsplatte in dichtem Eingriff mit dem Ventilsitz befindet, wobei die Stellantriebsanordnung ein Stellantriebselement und Rollelemente umfaßt, die in dem Stellantriebselement montiert sind, wobei die Rollelemente in die Abdichtungsplattenrampen und die Gegenplattenrampen eingreifen und sich entlang der Abdichtungsplattenrampen und Gegenplattenrampen bewegen, wenn sich das Stellantriebselement relativ zur Abdichtungsplatte und Gegenplatte bewegt, was bewirkt, daß sich die Abdichtungsplatte zwischen der zurückgezogenen Position und der geschlossenen Position bewegt; und
eine oder mehrere Federn zum Vorspannen der Abdichtungsplatte und der Gegenplatte in Richtung der zurückgezogenen Position.19. Valve, which includes:
a valve housing with a fluid line, which defines a valve seat;
a sealing plate with a plurality of sealing plate ramps;
a counter plate with a plurality of counter plate ramps, the sealing plate ramps and the counter plate ramps each guiding the sealing plate and the counter plate between a retracted position and a closed position, the sealing plate ramps and the counter plate ramps having contours that provide a smooth, non-abrupt movement between the retracted position and provide for the closed position;
an actuator assembly for moving the sealing plate and the counter plate between an open position, the retracted position in which the sealing plate is retracted from the valve seat, and the closed position in which the sealing plate is in tight engagement with the valve seat, the actuator assembly being an actuator member and rolling elements mounted in the actuator element, the rolling elements engaging the sealing plate ramps and the counter plate ramps and moving along the sealing plate ramps and counter plate ramps when the actuator element moves relative to the sealing plate and counter plate, causing the sealing plate to move between the retracted position and the closed position moves; and
one or more springs for biasing the sealing plate and the counter plate towards the retracted position.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US34293699A | 1999-06-29 | 1999-06-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10025615A1 true DE10025615A1 (en) | 2001-01-18 |
Family
ID=23343931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2000125615 Ceased DE10025615A1 (en) | 1999-06-29 | 2000-05-24 | Valve has positioning drive arrangement with drive element and rolling element moving along ramp when drive element moves relative to sealing plate. |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001021048A (en) |
| DE (1) | DE10025615A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003012323A1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-02-13 | Varian, Inc. | Gate valve with delayed retraction of counter plate |
| EP1762759A3 (en) * | 2005-09-12 | 2008-07-16 | Hubert Bösch | Control mechanism for a vacuum valve |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002323149A (en) * | 2001-04-23 | 2002-11-08 | Smc Corp | Gate valve |
| KR20030050409A (en) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 주식회사 엠지아이 | the rectangular gate valve in mounting formmation |
| US8297591B2 (en) * | 2008-08-29 | 2012-10-30 | Applied Materials, Inc. | Slit valve control |
| CN106286874A (en) * | 2015-05-25 | 2017-01-04 | 北京实力源科技开发有限责任公司 | A kind of push-pull valve |
| KR101784839B1 (en) * | 2015-09-25 | 2017-11-06 | 프리시스 주식회사 | Two-way gate valve |
| CN106763841A (en) * | 2017-03-02 | 2017-05-31 | 北京创世威纳科技有限公司 | A kind of vacuum lock |
-
2000
- 2000-03-16 JP JP2000074322A patent/JP2001021048A/en active Pending
- 2000-05-24 DE DE2000125615 patent/DE10025615A1/en not_active Ceased
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003012323A1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-02-13 | Varian, Inc. | Gate valve with delayed retraction of counter plate |
| US6612546B2 (en) | 2001-08-01 | 2003-09-02 | Varian, Inc. | Gate valve with delayed retraction of counter plate |
| CN100353100C (en) * | 2001-08-01 | 2007-12-05 | 凡利安股份有限公司 | Gate valve with delayed retraction of counter plate |
| EP1762759A3 (en) * | 2005-09-12 | 2008-07-16 | Hubert Bösch | Control mechanism for a vacuum valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001021048A (en) | 2001-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60201409T2 (en) | DISPENSING VALVE WITH DELAYED REMOVAL OF THE COUNTERPLATE | |
| EP2749798B1 (en) | Vacuum slide valve | |
| DE19542015B4 (en) | Pressurized pump | |
| EP0872675A1 (en) | Straight flow valve | |
| DE69224895T2 (en) | Vacuum gate valve | |
| DE69204031T2 (en) | Exhaust gas recirculation valve assembly. | |
| EP2174330B1 (en) | Microswitch | |
| DE10025615A1 (en) | Valve has positioning drive arrangement with drive element and rolling element moving along ramp when drive element moves relative to sealing plate. | |
| WO2013013981A1 (en) | Vacuum valve and closure member for closing a flow path in a gas-tight manner by means of a linear movement | |
| DE2716790A1 (en) | VALVE | |
| WO2020245103A1 (en) | Actuator unit for a valve, valve, valve assembly and adjusting device | |
| WO2017144574A1 (en) | Vacuum valve for closing a flow path with a two-part valve disk | |
| WO2011020672A1 (en) | Valve for interrupting a flow path in a substantially gas-tight manner | |
| DE102020103476B4 (en) | valve drive and valve | |
| WO2012022565A1 (en) | Vacuum valve and closure element for gas-tight sealing of a flow path by means of a linear displacement | |
| DE10003860A1 (en) | Throttle valve for semiconductor vacuum treatment plant has closing mechanism consisting of main shaft, concentric crankshaft, hub connected to main shaft and roller mounted on crankshaft | |
| DE3131162A1 (en) | THROTTLE VALVE WITH ACCURATE ADJUSTMENT OF THE FLOW GAP FOR VACUUM TECHNICAL SYSTEMS | |
| DE3525685A1 (en) | SHUT-OFF ORGAN | |
| CH681384A5 (en) | ||
| DE69617316T2 (en) | Swiveling valve arrangement | |
| EP3924650B1 (en) | Gate valve with sliding guide | |
| WO2017085163A1 (en) | Vacuum-tight angle valve with sliding-block guide drive | |
| CH622326A5 (en) | ||
| EP0258475B1 (en) | Vacuum sliding valve | |
| DE3130653A1 (en) | Vacuum-tight closing valve for high differential pressures and large throughflow openings |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8131 | Rejection |