DE3130653A1 - Vacuum-tight closing valve for high differential pressures and large throughflow openings - Google Patents

Vacuum-tight closing valve for high differential pressures and large throughflow openings

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DE3130653A1
DE3130653A1 DE19813130653 DE3130653A DE3130653A1 DE 3130653 A1 DE3130653 A1 DE 3130653A1 DE 19813130653 DE19813130653 DE 19813130653 DE 3130653 A DE3130653 A DE 3130653A DE 3130653 A1 DE3130653 A1 DE 3130653A1
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Friedrich Dipl.-Ing. 6463 Freigericht Clemens
Lutz 6450 Hanau Grein
Bruno 6454 Bruchköbel Leibold
Uwe Dr. 6450 Hanau Reimpell
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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Abstract

In a vacuum-tight closing valve for high differential pressures and large throughflow openings, in which one or more sealing plates (60, 61) compress the seals (79, 83) in such a way that vacuum-tight closure of the throughflow openings (64) in the housing (65) is achieved, vacuum-tight resilient elements (78, 82) which maintains the contact pressure are arranged between the sealing plate (61, 62) and the seal (79, 83). <IMAGE>

Description

Vakuumdichte Schließaramtur für hohe Differenzdrücke Vacuum-tight locking device for high differential pressures

und große Durchflußöffnungen Die Erfindung befaßt sich mit vakuumdichten Schließarmaturen für hohe Differenzdrücke und große Durchflußöffnungen, bei welchen eine oder mehrere Dichtplatten, Dichtungen derart zusammen pressen, daß ein vakuumdichtes Schließen der Durchflußöffnungen im Gehäuse erfolgt Derartige Schließarmaturen können Ventile, Ventilklappen, Linear- und Pendelschieber und entsprechende Varianten sind Die Durchflußöffnung ist bei derartigen Armaturen vorzugsweise rund und kann aber je nach Anwendung auch beliebige Konturen aufweisen. and large flow openings. The invention is concerned with vacuum sealing Closing fittings for high differential pressures and large flow openings where Press one or more sealing plates, seals together in such a way that a vacuum-tight Closing the flow openings in the housing takes place. Such closing fittings can Valves, valve flaps, linear and pendulum slides and corresponding variants are The flow opening is preferably round in such fittings, but can also have any contours depending on the application.

Die Dichtungen sind elastische Dichtkörper aus Elastomeren oder Metall, welcher gegen eine härtere Dichtfläche gepresst wird. The seals are elastic sealing bodies made of elastomers or metal, which is pressed against a harder sealing surface.

Zur Vakuumdichtung ist es nötig, den Dichtkörper in gewissen Grenzen zu verformen, um eine genügende Auflagebreite und damit Dichtzone zu erhalten. Je nach. der Elastizität des Dichtkörpers, muß die Dichtkraft gewählt werden.For vacuum sealing it is necessary to adjust the sealing body within certain limits to be deformed in order to obtain a sufficient support width and thus a sealing zone. Ever after. the elasticity of the sealing body, the sealing force must be selected.

Dir Dichtkörper verformen sich aber nicht nur elastisch, bei langzeitiger Anpressung treten auch plastische, bleibende Verformungen auf.Diese sind um so größer, je größer die Verformung beim Anpressen ist. Es ist daher wichtig, die ur die Vakuumdichtung benötigte Kraft genau zu ermitteln und eine Überdimensionierung der Anpreßkraft zu vermeiden.The sealing body is not only deformed elastically over a long period of time Plastic, permanent deformations also occur, which are all the greater the greater the deformation when pressing. It is therefore important to use the vacuum seal to determine the required force exactly and an oversizing of the contact pressure to avoid.

Bei normalen Vakuum-Komponenten und Anlagen wird diese Überdimensionierung der Anpreßkräfte dadurch vermieden, daß Dicht-Scheiben oder Dichtleisten neben der Dichtung do angeordnet werden, daß nach einer gewissen Verformung der Dichtung, der Gegenflansch mit der Dichtfläche auf diesen Scheiben bzw. Leisten aufliegt und dadurch eine Weiterverformung der Dichtung verhindert wird.With normal vacuum components and systems this is overdimensioning the contact pressure avoided that sealing washers or sealing strips in addition to the Seal do be arranged that after a certain deformation of the seal, the mating flange rests with the sealing surface on these disks or strips and this prevents further deformation of the seal.

In vergleichbarer Weise kann auch die - die Dichtung tragende - Nut so ausgebildet sein, daß nach. -entsprechender Verformung die Dichtung in die Nut hineingedrückt ist und dann der Gegenflansch aufliegt.The groove carrying the seal can also be used in a comparable manner be designed so that after. - Corresponding deformation of the seal in the groove is pressed in and then the mating flange rests on it.

Für chemische oder radioaktive Stoffe, sowie beihöheren Temperaturen im Bereich der Dichtung, müssen spezielle Wirkstoffe für den Dichtkörper eingesetzt werden. Diese sind meist schwer verformbar und neigen oft zu plastischer Sachverformung. Bei derartigen Wirkstoffen treten bei Begrenzung der Verformung des Dichtkörpers durch Dicht scheiben, -leisten, oder Nuttiefen, infolge der Nachverformung oder der nicht genau vorausbestirtutibaren elastischen Verformung schon nach verhältnismäßig kurzer Dichtzeit, Undichtigkeiten auf, Im Anfolgenden wird auf die Verhältnisse bei Dichtungen eingegangen, bei denen aus den angegebenen Gründen eine Begrenzung der Verformung der Dichtung durch Aufsetzen der Dichtfläche auf dem Dichtungsflansch nicht durchführbar ist.For chemical or radioactive substances, as well as at higher temperatures In the area of the seal, special active ingredients must be used for the sealing body will. These are usually difficult to deform and often tend to be plastically deformed. In the case of such active substances, the deformation of the sealing body occurs when limiting by sealing washers, strips, or groove depths, as a result of post-deformation or the elastic deformation, which cannot be precisely determined in advance, is already proportionate short sealing time, leaks, the following is based on the conditions received for seals that have a limitation for the reasons given the deformation of the seal by placing the sealing surface on the sealing flange is not feasible.

Fig. 1 zeigt die Anpreßkräfte und ihre Dimensionierung.Fig. 1 shows the pressing forces and their dimensions.

Ist bei Dichtplatte 1 kein Differenzdruck zwischen beiden Seiten vorhanden, so wirkt nur die Dichtkraft PD, die sich aus der Länge der Dichtung und der spezifischen Dichtkraft D ergibt.If there is no differential pressure between the two sides of sealing plate 1, only the sealing force PD, which results from the length of the seal and the specific Sealing force D results.

Bei Dichtplatte 2 kommt noch ein äußerer Druck hinzu.In the case of sealing plate 2, there is also an external pressure.

Damit durch dieDruckkraft PA die nötige Dichtkraft PD nicht unterschritten wird, muß die Anpreßkraft auf die Größe von PD + PA dimensioniert werden.So that the pressure force PA does not fall below the required sealing force PD the contact pressure must be dimensioned to the size of PD + PA.

Bei Dichtplatte 3 tritt nun anstelle der äußeren Druckbelastung, eine innere Druckbelastung ein. Diese erzeugt die Druckkraft Pl.In the case of sealing plate 3, instead of the external pressure load, a internal pressure load. This generates the compressive force Pl.

Können bei einer Schließarmatur innere und äußere Druckkräfte eintreten, so wirken folgende Kräfte auf die Dichtung wirken: Diff.-Druck auf Anpreßkraft die Dichtplatte O PD + PA PA PD PI PD + PA + PI Z. B.If internal and external pressure forces can occur in a closing valve, the following forces act on the seal: Diff. Pressure on contact force the sealing plate O PD + PA PA PD PI PD + PA + PI E.g.

Bei einer Schließarmatur mit einer Durchflußöffnung von ;50 (cm) Durchmesser, einer spezifischen Dichtkraft von 500 (N/cm) und einem Innen- bzw. Außendruck auf die Dichtplatte von 20 (N/cm2) ergibt sich dann eine minimale Dichtkraft 240 (KN) und eine mainale Anpreßkraft von 9,42 (KN>o Die maximale Anpreßkraft beträgt somit das.fast 4-fache der Dichtkraft.For a closing valve with a flow opening of; 50 (cm) diameter, a specific sealing force of 500 (N / cm) and an internal or external pressure the sealing plate of 20 (N / cm2) then results in a minimum sealing force of 240 (KN) and a mainale contact force of 9.42 (KN> o The maximum contact force is thus almost 4 times the sealing force.

Bei einer vierfachen maximalen Anpreßkraft treten nun extreme elastische und auch bleibende plastische Verformungen auf.At four times the maximum contact pressure, extremely elastic ones now occur and also permanent plastic deformations.

Hierdurch ergeben sich große- Auflagebreiten der Dichtung.This results in large contact widths of the seal.

Erfahrungsgemäß genügt dann die minimale Dichtkraft, die bei Belastungsfall Dichtplatte 2 wirkt, nicht mehr, um diese breite Dichtungsauflage ausreichend fest anzupressen, daß eine ausr.eichende Dichtigkeit erreicht wird. Versuche habentgezeigt, daß nur durch wesentliche Erhöhung der minimalen Anpreßkraft -und dadurch Erzielung eines günstigeren Verhältnisses minimaler zu maximaler Anpreßkraft - ausreichende Dichtigkeit und Betriebssicherheit der Armaturen zu erzielen ist.Experience has shown that the minimum sealing force that is required in the event of a load is then sufficient Sealing plate 2 no longer acts sufficiently firmly around this wide sealing support to be pressed so that a sufficient tightness is achieved. Attempts have shown that only by significantly increasing the minimum contact pressure - and thereby achieving it a more favorable ratio of minimum to maximum contact pressure - sufficient Tightness and operational safety of the valves is to be achieved.

Dieses bedingt wiederum entsprechende Vergrößerungen der Verformungen und Verstärkung des gesamten Mechanismus und führt dadurch, besonders bei hohen Differenzdrücken und großen Durchflußöffnungen, zu erheblich überdimensionierten, übermäßig schweren und trotzdem nur begrenzt betriebssicheren aufwendigen Armaturen. Für diese ist in vielen Fällen kein ausreichender Platz im gesamten Verfahrenskreislauf vorhanden, und diese über schweren Armaturen führen daher zu unnötigen Vergrößerungen und Verteuerung der gesamten Anlage.This in turn requires corresponding enlargements of the deformations and reinforcement of the whole mechanism and leads thereby, especially at high Differential pressures and large flow openings, too much oversized, excessively heavy and nevertheless only limited operationally reliable complex fittings. In many cases there is not enough space for these in the entire process cycle present, and these over heavy fittings therefore lead to unnecessary enlargements and increase in the price of the entire system.

Hier wird nun durch die erfindungsgemäße Vorrichtung Abhilfe.This is now remedied by the device according to the invention.

geschaffen und die Möglichkeit geboten, diese Vergrößerung der Anpreßkräfte und damit die Überdimensionierung der Armaturen zu vermeiden, und zwar dadurch, daß zwischen Dichtplatte und Dichtung und/oder-Dichtung und Gehäuse ein vakuumdichtes federndes Glied, welches die Anpreßkraft speichert, angeordnet ist.created and offered the possibility of this increase in the contact pressure and thus avoid overdimensioning the fittings by, that between the sealing plate and seal and / or seal and housing a vacuum-tight resilient member, which stores the pressing force, is arranged.

Die Wirkungsweise dieses Gliedes -zeigt Fig. 2. Die Dichtplatte .4 ist mittels des vakuumdichten federnden Gliedes in Form eines geschlitzten Kreisringes 5 mit der Dichtung 6 verbunden.The mode of operation of this member -shows Fig. 2. The sealing plate .4 is by means of the vacuum-tight resilient member in the form of a slotted circular ring 5 connected to the seal 6.

Die Dichtung 6 besteht aus dem Ringkörper 7, Dichtungskörper 8 und Dichtungsfläche 9, welche sich am Gehäuse befindet. Wird nun durch Bewegung der Dichtplatte 4, wie im linken-Teil der Fig. 2 gezeigt, das vakuumdichte federnde Glied gespannt, so wirkt diese Spannkraft als Dichtkraft auf die Dichtung 6. In dem federnden Glied ist dann die-Dichtkraft gespeichert bis zur Rückbewegung-der Dichtplatte 4. Treten nun Drücke vor oder hinter der Dichtplatte auf, so wirken diese im wesentlichen nur auf die- Dichtplatte und nur in geringem Umfang, entsprechend der Breite b, auf die Dichtung 6.The seal 6 consists of the ring body 7, sealing body 8 and Sealing surface 9, which is located on the housing. Will now by Movement of the sealing plate 4, as shown in the left-hand part of FIG. 2, the vacuum-tight When the resilient member is tensioned, this tensioning force acts as a sealing force on the seal 6. The sealing force is then stored in the resilient member until the return movement Sealing plate 4. If pressures occur in front of or behind the sealing plate, they act this essentially only on the sealing plate and only to a small extent, accordingly the width b, on the seal 6.

Sofern im Vergleich zu dem vorangegegangenen Beispiel -Fig. 1 - die gleichen Dimensionen und zusätzlich eine Breite b von 5 cm angenommen werden, so läßt sich aus der angegebenen Formel - Fig. 2 - die maximale Anpreßkräft zu 300(KN) berechnen, d. h. diese beträgt nur das 1,4-fache der minimalen Anpreßkraft (Dichtkraft).If compared to the previous example -Fig. 1 - the the same dimensions and an additional width b of 5 cm are assumed, so From the given formula - Fig. 2 - the maximum contact pressure is 300 (KN) calculate, d. H. this is only 1.4 times the minimum contact pressure (sealing force).

Je nach Ausbildung der Dichtplatte und des vakuumdichten federnden Gliedes läßt sich also die Differenz von minimaler und maximaler Anpreßkraft auch bei größeren Durchflußöffnungen und hohen Druckdifferenzen minimieren. Es ist daher nicht nötig, die Dichtkraft wesentlich zu erhöhen und damit die gesamte Armatur übermäßig zu vergrößern.Depending on the design of the sealing plate and the vacuum-tight, resilient one Link can also be the difference between the minimum and maximum contact pressure minimize with larger flow openings and high pressure differentials. It is therefore it is not necessary to significantly increase the sealing force and thus the entire valve to enlarge excessively.

Die Erfindung sieht im weiteren vor, daß durch die Bewegung der Dichtplatte die Verformung des vakuumdichten federnden Gliedes-und dadurch die Speicherung der Anpreßkraft erfolgt.The invention also provides that the movement of the sealing plate the deformation of the vacuum-tight resilient member - and thereby the storage of the Contact pressure takes place.

Dieses ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn mehrere Dichtplatten zur Mehrfachabdichtung vorhanden sind. Diese können dann gemeinsam bewegt werden.This is particularly advantageous when there are several sealing plates for multiple sealing are available. These can then be moved together.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wirken die Differenzdrücke direkt auf. die Dichtplatte. Damit die gespeicherte Anpreßkraft sich nicht verändert, muß unabhängig von den Differenzdrücken die Dichtplatte in immer gleicher Lage bleiben. Hierfür sieht die Erfindung vor,.daß die Dichtplatte in der Dichtposition blockiert wird. Nun muß bei längerer Dichtungsdauer mit Nachverformungen und Abnutzen der Dichtung, der Dichtplatte, des Gehäuses und des Bewegungsmechanismus für die Dichtplatte gerechnet werden. Damit hierdurch die Dichtigkeit der Armaturen nicht beeinträchtigt wird, sieht die Erfindung vor, daß der Verformungsweg zur Speicherung der Anpreßkraft im vakuumdichten federnden Glied ein Vielfaches größer ist als der Weg, der durch Nachverformung und Abnutzung der Dichtung, der Dichtplatte, des Gehäuses und des Bewegungsmechanismus für die Dichtplatte eintritt.In the device according to the invention, the differential pressures act directly on. the sealing plate. So that the stored contact pressure does not change, must regardless of the differential pressures, the sealing plate is always in the same position stay. For this purpose, the invention provides. That the sealing plate is blocked in the sealing position will. Now with longer sealing times with post-deformation and wear of the Seal, the sealing plate, the housing and the movement mechanism for the sealing plate be expected. So that this does not affect the tightness of the fittings the invention provides that the deformation path to store the contact pressure in the vacuum-tight resilient member is many times greater than the path that goes through Deformation and wear of the seal, the sealing plate, the housing and the Movement mechanism for the sealing plate enters.

Damit trotzdem die Bewegung der Dichtplatte klein gehalten werden kann, sieht die Erfindung vor, daß das vakuumdichte federnde Glied durch Halter in einer vorgespannten Position gehalten wird. In dieser Position ist dann ein Tei.l. des Spann- bzw. Speicherweges schon erfaßt, und es erfolgt bei der Bewegung der Dichtplatte nur noch ein Nachspannen bis auf die vorgesehene Anpreßkraft.So that the movement of the sealing plate can still be kept small can, the invention provides that the vacuum-tight resilient member by holder is held in a preloaded position. In this position there is a part l. the clamping or storage path has already been recorded, and it takes place when the Sealing plate only needs to be retightened up to the intended contact pressure.

Bei der Ausbildung des vakuumdichten federnden Gliedes kann es vorteilhaft sein, die Vakuumabdichtung von der Federwirkung zu trennen. Die Erfindung sieht hierfür vor, daß das vakuumdichte federnde Glied aus einer elastischen vakuumdichten Zone und zusätzlichen Federgliedern besteht.It can be advantageous in the formation of the vacuum-tight resilient member be to separate the vacuum seal from the spring action. The invention sees for this purpose that the vacuum-tight resilient member consists of an elastic vacuum-tight Zone and additional spring links.

Insbesondere bei Großventilen kann dann durch Verwendung von eingedichteten elastomeren Körpern eine günstige Bauform mit entsprechend großer Elastizität erreicht werden.Particularly in the case of large valves, you can then use sealed-in elastomeric bodies achieved a favorable design with correspondingly great elasticity will.

Die weiteren Figuren zeigenBeispiele für die erfindungsgemäße Vorrichtung, und zwar ist dargestellt Fig. 3 ein Ventil mit vakuumdichten federndem Glied auf der Gehäuseseite, Fig. 4 ein Klappenventil mit vakuumdichten federndem Glied aus einem Elastomer, Fig. 5 ein doppelt dichtender Linearschieber mit Dichtplatten, in welche die vakuumdichten federnden Glieder eingearbeitet sind.The other figures show examples of the device according to the invention, namely, Fig. 3 shows a valve with a vacuum-tight resilient member the housing side, Fig. 4 shows a flap valve with a vacuum-tight resilient member an elastomer, Fig. 5 with a double-sealing linear slide Sealing plates in which the vacuum-tight resilient members are incorporated.

In Fig. 3 befindet sich im Armaturengehäuse 20 die Durchflußöffnung 21, die von der Dichtplatte 22 verschlossen wird. Der Zu-bzw. Abfluß erfolgt durch die Öffnung 23. In die Dichtplatte 22 ist die Spindel 25 starr eingesetzt,und in der -danebenliegenden Führung 26 gleitet ein im Gehäuse befestigter Zapfen 27.In Fig. 3 is in the fitting housing 20, the flow opening 21, which is closed by the sealing plate 22. The to or. Drainage takes place through the opening 23. In the sealing plate 22, the spindle 25 is rigidly inserted, and in The guide 26 lying next to it slides a pin 27 fastened in the housing.

Die Spindelmutter 28 wird von einem nicht gezeichneten Getriebemotor angetrieben und wirkt gegenüber der Spindel 25 selbsthemmend.The spindle nut 28 is driven by a gear motor, not shown driven and has a self-locking effect on the spindle 25.

Die Spindelmutter ist im Gehäuse 20 vakuumdicht drehbar gelagert. Durch Zapfen 27 wird eine verdrehungsfreie Führung der Dichtplatte 22 beim Vorschub durch die Spindel 25 erreicht.The spindle nut is rotatably mounted in the housing 20 in a vacuum-tight manner. A rotation-free guidance of the sealing plate 22 during the advance is provided by the pin 27 reached by the spindle 25.

An.der Dichtplatte 22 befinden sich die Dichtflächen, auf welche die Elastomerdichtkörper 30 wirken. Die Dichtkörper 30 sind in dem Ring 31 vakuumdicht eingesetzt. Der Ring 31 ist mit dem U-förmigen elastischen Ringkörper 32 vakuumdicht verbunden, in gleicher Weise,wie dieser am Gehäuse 22 angebracht ist.On the sealing plate 22 are the sealing surfaces on which the Elastomer sealing body 30 act. The sealing bodies 30 are vacuum-tight in the ring 31 used. The ring 31 is vacuum-tight with the U-shaped elastic ring body 32 connected, in the same way as this is attached to the housing 22.

Das Aufspreizen des elastischen Ringkörpers 32 wird durch die Halte schrauben 35 begrenzt. Von diesen Schrauben werden gleichzeitig die im elastischen Ringkörper liegenden Federn 36 geführt.The spreading of the elastic ring body 32 is by the holding screws 35 limited. Of these screws, those in the elastic are at the same time Annular body lying springs 36 out.

Wird die Dicntpiatte 22 nach unten bewegt, so werden der elastische Ringkörper 32 und damit die Federn 36 zusammengedrückt, bis zwischen Dichtplatte 22 und Dichtkörper 30 die vorgegebene Anpreßkraft erreicht ist. Jetzt wird der Antriebsmotor der Spindelmutter abgeschaltet. Durch Selbsthemmung der Spindel wird die Dichtplatte in dieser Position blockiert.If the Dicntpiatte 22 is moved down, so the elastic Annular body 32 and thus the springs 36 are compressed until between the sealing plate 22 and sealing body 30 the predetermined contact pressure is reached. Now the drive motor becomes the spindle nut switched off. The sealing plate becomes through the self-locking of the spindle blocked in this position.

sehr geringem Maße auf die Breite des Verformungskörpers 43 und damit auf Dichtkörper Der Zusammenpreßweg des Verformungskörpers 43 ist wesentlich- größer als der Weg durch Verformung des Dichtungskörpers 45 und der eintretenden Verformungen und Abnutzungen im Antriebsmechanismus.very little to the width of the deformation body 43 and thus on sealing body The compression path of the deformation body 43 is much greater as the path through deformation of the sealing body 45 and the occurring deformations and wear and tear in the drive mechanism.

Fig. 5 zeigt einen doppelt dichtenden Linearschieber. Die beiden Dichtplatten 60, 61 sind horizontal verschieblich im Fahrrahmen 62 gelagert. Der Fahrrahmen 62 läuft vertikal mittels der Räder 63 außerhalb der Durchflußöffnungen 64 im Gehäuse 65. Der Antrieb für den Fahrrahmen 62 erfolgt durch die Schubstange 67, welche durch einen nicht gezeichneten pneumatischen Zylinder senkrecht verschoben wird und in das Gehäuse 65 vakuumdicht eingeführt.ist. Sie wird im weiteren mittels der Lager 68, 69 im Fahrrahmen 62 senkrecht geführt und ist mit dem Bolzen 69, mit dem am Fahrrahmen 62 gelagerten Rollenhebel 70 gekoppelt. Die Rolle 71 dieses Rollenhebels 70 gleitet auf der Führungsbahn 72 im Gehäuse 65. Die Hubstange 67 trägt im weiteren den Lagerbolzen 74, welcher auf die beiden Kniehebel 75, 76 wirkt, die an den beiden Dichtplatten 60 und 61 gelagert sind.Fig. 5 shows a double-sealing linear slide. The two sealing plates 60, 61 are mounted horizontally displaceably in the traveling frame 62. The traveling frame 62 runs vertically by means of the wheels 63 outside the flow openings 64 in the housing 65. The drive for the traveling frame 62 is carried out by the push rod 67, which by a pneumatic cylinder (not shown) is moved vertically and in the housing 65 is introduced in a vacuum-tight manner. It is further by means of the camp 68, 69 guided vertically in the chassis 62 and is with the bolt 69, with the on Mobile frame 62 mounted roller lever 70 coupled. The role 71 of this roller lever 70 slides on the guide track 72 in the housing 65. The lifting rod 67 also carries the bearing pin 74, which acts on the two toggle levers 75, 76 on the two Sealing plates 60 and 61 are mounted.

Die runde Dichtplatte 60 ist mit Ringnuten'versehen. Durch diese entsteht eine membranartige Feder 78 außen an der Dichtplatte 60.The round sealing plate 60 is provided with ring grooves. Through this arises a membrane-like spring 78 on the outside of the sealing plate 60.

Die Materialstärke und die Zahl der Nuten sind so gewählt, daß bei einem vorgegebenen horizontalen Weg der Dichtplatte 60 der äußere Ring 77, Federzone 78, den in ihm befestigten Dichtkörper 79 gegen die Dichtflächen im Gehäuse 65 mit der vorgegebenen Anpreßkraft andrückt.The material thickness and the number of grooves are chosen so that at a predetermined horizontal path of the sealing plate 60 of the outer ring 77, spring zone 78, the sealing body 79 fastened in it against the sealing surfaces in the housing 65 the specified contact pressure.

Bei Dichtplatte 61 ist eine elastische Ringmembrane 80 vakuumdicht zwischen der Dichtplatte.61 und dem Dichtring 81 eingesetzt.In the case of the sealing plate 61, an elastic ring membrane 80 is vacuum-tight inserted between the sealing plate.61 and the sealing ring 81.

Der Dichtring 81 wird von den Federn 82 mit seiner Dichtfläche auf den Dichtkörper 83 gepreßt.Der Haltering 85 an der Dichtplatte 61 ist über Schrauben 86 mit dem Dichtring 81 verbunden.The sealing ring 81 is opened by the springs 82 with its sealing surface the sealing body 83 is pressed. The retaining ring 85 on the sealing plate 61 is via screws 86 connected to the sealing ring 81.

Treten jetzt Uberdrücke ober- oder unterhalb der Dichtplatte auf, so wirken diese auf die starre Dichtplatte über diese auf die blockierte Spindel 25 und damit auf das Gehäuse 26.If excess pressures now occur above or below the sealing plate, they act on the rigid sealing plate via this on the blocked spindle 25 and thus onto the housing 26.

Sie rufen dadurch nur begrenzte minimale Verformung hervor, die zu keiner wesentlichen Änderung der Anpreßkraft führen. Änderungen der Anpreßkraft werden nur durch den Differenzdruck auf die halbe Projektionsfläche des elastischen Ringkörpers 32 außerhalb des Öffnungsdurchmessers hervorgerufen und können durch entsprechende Gestaltung klein gehalten werden.They cause only limited minimal deformation, which to do not lead to any significant change in the contact pressure. Changes in the contact pressure are only due to the differential pressure on half the projection area of the elastic Ring body 32 caused outside the opening diameter and can through appropriate design can be kept small.

Fig. 4 zeigt ein Klappenventil. Bei diesem ist im Gehäuse 40 eine Drehachse 41 für die Ventilplatte 42 gelagert An dieser befindet sich - vakuumdicht verbunden - ein vakuumdichter Verfor- -mungskörper 43 aus Gummi, auf dem die Dichtfläche 44 vakuumdicht angebracht ist. Diese drückt auf den Dichtkörper 45 der im Gehäuse 40 um die oeffnung 46 liegt.Fig. 4 shows a flap valve. In this case 40 is in the housing Axis of rotation 41 for valve plate 42 is mounted on this - vacuum-tight connected - a vacuum-tight deformation body 43 made of rubber, on which the sealing surface 44 is attached vacuum-tight. This presses on the sealing body 45 in the housing 40 is around the opening 46.

Im Gehäuse 40 ist der Kurbeltrieb, bestehend aus der nach außen führenden Welle 48, dem Kurbelhebel 49, dem Schubzapfen 50, gelagert. Dieser Kurbeltrieb wird außen durch einen nicht.The crank mechanism, consisting of the one leading to the outside, is located in the housing 40 Shaft 48, the crank lever 49, the thrust pin 50, mounted. This crank drive will outside by one not.

gezeichneten Motor angetrieben. Über Schubzapfen 50, Schubstange 52 und Bolzenlagerung 53 wird die Schieberplatte 42 bewegt.Drawn motor driven. Via push pin 50, push rod 52 and bolt bearing 53, the slide plate 42 is moved.

In der gezeichneten Stellung ist der KUrbeltrieb 48 - 50 mit dem Lenker 52 in OT-Stellung gefahren,und dadurch .ist die Schieberplatte 42 in der angepreßten Position blockiert. In dieser Position ist Ver.formungskdrper 43 so zusammengepreßt, daß er über die Dichtfläche 44 auf den Dichtkörper 45 den vorgegebenen Anpreßdruck ausübt. Treten jetzt Uberdrücke unter- oder oberhalb der Dichtplatte 42 auf, so wirken diese nur über Lenker 52 und Kurbeltrieb 48 - 50 auf das Gehäuse 40. Da diese Ubertragung und die Dichtplatte 42 sehr stabil ausgebildet sind, treten keine nennenswerten Positionsänderungen der Dichtplatte 42 und keine Änderung der Anpreßkraft auf. Die Differenzdrücke wirken nur in Diese Schrauben führen die Federn 82 sowie den Dichtring 81 und spannen die Federn 82 vor.In the position shown, the crank mechanism 48 - 50 with the handlebars 52 moved to TDC position, and thereby .is the slide plate 42 in the pressed Position blocked. In this position, the deformation body 43 is compressed in such a way that that he over the sealing surface 44 on the sealing body 45 the predetermined contact pressure exercises. If now overpressures occur below or above the sealing plate 42, so act these only via link 52 and crank mechanism 48 - 50 on the housing 40. Since these Transmission and the sealing plate 42 are very stable, no noteworthy occur Changes in position of the sealing plate 42 and no change in the contact pressure. the Differential pressures are only effective in These screws guide the springs 82 and the sealing ring 81 and preload the springs 82.

Beider Schließbewegung wird der Fahrrahmen 62 mittels der Schubstange 67 im Gehäuse 65 nach unten gefahren. Die Rolle 71 läuft hierbei auf der Führungsbahn 72'und blockiert dadurch ein Verschieben der Schubstange 67 im Fahrrahmen 62 und dadurch eine Bewegung der angewinkelten Kniehebel 75 und 76. Erst wenn der Fahrrahmen 62 in die unterste Position gelangt ist und dadurch die untere Rolle 63 auf den Boden des Gehäuses 65 aufsetzen und gleichzeitig die Rolle 71 über die untere Kante der-Führungsbahn 72 abrollt und dadurch die Bewegung des Rollenhebels 70 freigibt, kann die Schubstange 67 gegenüber dem Fahrrahmen 62 nach unten verschoben werden. Durch diese Bewegung werden die Kniehebel 75 und 76 in die gezeichnete Position gebracht. In dieser Position verriegeln sie sich gegeneinander, nachdem ein Nachaußenbewegen der Dichtplatten 60 und 61 und damit verbundenes Spallnen der Verformungsbereiche 78 und der Federn 72.eingetreten ist. Durch dieses Spannen werden die vorgegebenenAnpreßkräfte gespeichert und wirken auf die Dichtkörper 79 und 83.During the closing movement, the traveling frame 62 is moved by means of the push rod 67 moved down in housing 65. The roller 71 runs on the guideway 72 'and thereby blocks a displacement of the push rod 67 in the traveling frame 62 and thereby a movement of the angled toggle levers 75 and 76. Only when the driving frame 62 has reached the lowest position and thereby the lower roller 63 on the Place the bottom of the housing 65 and at the same time the roller 71 over the lower edge the guide track 72 unrolls, thereby releasing the movement of the roller lever 70, the push rod 67 can be moved downwards relative to the traveling frame 62. As a result of this movement, the toggle levers 75 and 76 are in the position shown brought. In this position they lock against each other after moving outward of the sealing plates 60 and 61 and the associated spalling of the deformation areas 78 and springs 72. This tensioning creates the specified contact pressure stored and act on the sealing bodies 79 and 83.

Sofern jetzt ein Differenzdruck an den Dichtplatten 60, 61 auftritt, wirkt dieser direkt über die Dichtplatten 60 und 61 auf die Kniehebel 75 und 76 und über Schubstange 67,.den Fahrrahmen 62 auf das Gehäuse. Nur der auf den äußeren-Bereich abMitte der elastischen Verformungszonen 78, 80 wirkende Differenzdruck nimmt Einfluß auf die Anpreßkräfte;durch entsprechende -konstruktive Dimensionierung kann dieser Einfluß klein'gehalten-werden.If there is now a differential pressure at the sealing plates 60, 61, this acts directly on the toggle levers 75 and 76 via the sealing plates 60 and 61 and via push rod 67, .the driving frame 62 on the housing. Only the one on the outside area The differential pressure acting from the middle of the elastic deformation zones 78, 80 has an influence on the contact pressure; by appropriate design dimensioning this can Influence to be kept small.

Durch entsprechende Formgebung der Dichtplatten, wie beispielhaft Fig. 5 Dichtplatte 60 zeigt, ist es mRglich, sehr flache Bauarten der Dichtplatten zu erhalten und dadurch auch bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Gesamtbaulänge von Linear- und Pendelschiebern klein zu bemessen. Die angegebene Ausführung'hat den weiteren Vorteil, daß im Bereich der Dichtplatte keine Werkstoffunterbrechungen und damit vakuumdichte Zusammenfügungen nötig sind.By appropriate shaping of the sealing plates, as exemplified Fig. 5 sealing plate 60 shows it is possible to have very flat types of sealing plates to obtain and thereby also the overall length in the device according to the invention to be dimensioned small by linear and pendulum slide valves. The specified version 'has the further advantage that there are no material interruptions in the area of the sealing plate and thus vacuum-tight assemblies are necessary.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf "große Våkuumventile".The present invention relates to "large vacuum valves".

Vorteilhaft sind die erfindungsgemäßen Ideen bei Ventilen ab Nennwerten 400 mm anwendbar.The ideas according to the invention are advantageous for valves from nominal values 400 mm applicable.

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Claims (5)

A n s p r ü c h e 1.) Vakuumdichte Schließarmatur für hohe Differenzdrücke und große Durchflußöffnungen, bei welcher eine oder mehrere Dichtplatten, die Dichtungen derart zusammenpressen, daß ein vakuumdichtes Schließen der Durchflußöffnungen im Gehäuse erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Dichtplatte (42, 60g61 ) und Dichtung (45,79,83) und/oder Dichtung (30) und Gehäuse (20) ein vakuumdichtes, federndes Glied (32+36, 43,78,80+82), welches die Anpreßkraft speichert, angeordnet ist. A n p r e c h e 1.) Vacuum-tight closing fitting for high differential pressures and large flow openings in which one or more sealing plates, the seals compress so that a vacuum-tight closing of the flow openings in the Housing takes place, characterized in that between the sealing plate (42, 60g61) and Seal (45,79,83) and / or seal (30) and housing (20) a vacuum-tight, resilient one Member (32 + 36, 43,78,80 + 82), which stores the contact pressure, is arranged. 2.) Vakuumdichte Schließarmatur nach Anspruch 1 ddk, daß durch die Bewegung der Dichtplatte (22,42,60,61) die Verformung des Vakuumdichten, federnden Gliedes (32+36,43,78,80+82) und dadurch die Speicherung der Anpreßkraft erfolgt.2.) Vacuum-tight closing fitting according to claim 1 ddk that by the Movement of the sealing plate (22,42,60,61) the deformation of the vacuum tight, resilient Link (32 + 36,43,78,80 + 82) and thereby the storage of the contact pressure takes place. 3.) Vakuumdichte Schlleßarmatur nach Anspruch 1 - 2 ddK, daß die Dichtplatte (22,42,60,61) in der Dichtposition blockiert wird.3.) Vacuum-tight closing fitting according to claim 1 - 2 ddK that the sealing plate (22,42,60,61) is blocked in the sealing position. o ) Vacuumdichte Schließarmatur nach Anspruch 1 - 3 ddK ff daß der Verformungsweg zur Speicherung der Anpreßkraft im vakuumdichten, federnden Glied (32+36, 43, 78, 80+82) ein vielfaches größer ist,'als der Weg, der durch Nachverformung und Abnutzung der Dichtung (30,45,79,83), des Dichtplatten 22,42,60,61), des Gehäuses (20,40,65) und d Bewegungsmechanismus (25+28, 48 - 52, 75+76) für di Dichtplatte (22,42,60,61) eintritt.o) Vacuum-tight fitting according to claim 1 - 3 ddK ff that the Deformation path for storing the contact pressure in the vacuum-tight, resilient member (32 + 36, 43, 78, 80 + 82) is many times greater than the path that is caused by post-deformation and wear of the seal (30,45,79,83), the sealing plates 22,42,60,61), the housing (20,40,65) and the movement mechanism (25 + 28, 48 - 52, 75 + 76) for the sealing plate (22,42,60,61) enters. 5.) Vakuumdichte Schließarmatur nach Anspruch 1 - 4 ddk, daß das vakuumdichte, federnde Glied (32+36,80+82) durch in einer vorgespannten Position gehalten wird. Halter (35,85+86) 6.) Vakuumdichte Schließarmatur nach Anspruch 1 - 5 ddK, daß das vakuumdichte, federnde Glied aus einer elastischen, vakuumdichten Zone (32,80) und zusätzlichen Pedergliedern (36,82) besteht.5.) Vacuum-tight closing fitting according to claim 1 - 4 ddk that the vacuum-tight, resilient member (32 + 36, 80 + 82) is held by in a pretensioned position. Holder (35.85 + 86) 6.) Vacuum-tight closing fitting according to claim 1 - 5 ddK that the vacuum-tight, resilient member consists of an elastic, vacuum-tight Zone (32,80) and additional peder links (36,82).
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