DE10012960A1 - Mikromechanisches Bauelement - Google Patents

Mikromechanisches Bauelement

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Abstract

Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere Beschleunigungssensor, mit einer Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) zum federnden Lagern einer Masse (3) über einem Substrat (4), wobei die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) einerseits mit der Masse (3) verbunden ist und andererseits im Substrat (4) verankert ist. Die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) weist mindestens ein Biegefederelement (F2, F3) auf, dessen Beweglichkeit gegenüber dem Substrat (4) zur Veränderung der effektiven Federkonstante die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) veränderbar ist.

Description

STAND DER TECHNIK
Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere Beschleunigungssensor, mit einer Biegefedereinrichtung zum federnden Lagern einer Masse über einem Substrat, wobei die Biegefedereinrichtung einerseits mit der Masse verbunden ist und andererseits im Substrat verankert ist.
Obwohl auf beliebige mikromechanische Bauelemente und Strukturen, insbesondere Sensoren und Aktuatoren, anwend­ bar, werden die vorliegende Erfindung sowie die ihr zugrun­ deliegende Problematik in bezug auf einen in der Technolo­ gie der Silizium-Oberflächenmikromechanik herstellbaren mi­ kromechanischen Beschleunigungssensor erläutert.
Beschleunigungssensoren, und insbesondere mikromechanische Beschleunigungssensoren in der Technologie der Oberflächen- bzw. Volumenmikromechanik, gewinnen immer größere Marktseg­ mente im Kraftfahrzeugausstattungsbereich und ersetzen in zunehmendem Maße die bisher üblichen piezoelektrischen Be­ schleunigungssensoren.
Die bekannten mikromechanischen Beschleunigungssensoren funktionieren üblicherweise derart, daß die federnd gela­ gerte seismische Masseneinrichtung, welche durch eine ex­ terne Beschleunigung in mindestens eine Richtung auslenkbar ist, bei Auslenkung eine Kapazitätsänderung an einer damit verbundenen Differentialkondensatoreinrichtung bewirkt, die ein Maß für die Beschleunigung ist.
Die Empfindlichkeit solcher bekannter mikromechanischer Be­ schleunigungssensoren z. B. für die Meßgröße Beschleunigung wird gegenwärtig im wesentlichen durch die Steifigkeit der Federlagerung der seismischen Masse eingestellt, also durch deren Federkonstante. Durch die zugehörige spezifische in­ tegrierte elektrische Schaltung (ASIC) ist lediglich ein Abgleich in einem relativ kleinen Empfindlichkeitsbereich möglich.
Mikromechanischer Beschleunigungssensoren für maximale Be­ schleunigungen zwischen beispielsweise 2 g und 50 g (g = Erdbeschleunigung) werden derzeit nur durch unterschiedli­ che Federsteifigkeiten eingestellt, wobei die seismischen Massen in der Regel kaum variieren.
Als nachteilhaft bei den bekannten Beschleunigungssensoren hat sich also die Tatsache herausgestellt, daß für ver­ schiedene maximale Beschleunigungen verschiedene Layouts erforderlich sind und ein Abgleich nur in ganz geringem Um­ fang möglich ist.
VORTEILE DER ERFINDUNG
Das erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement mit den Merkmalen des Anspruchs 1 weist den Vorteil auf, daß die Federsteifigkeit beim Vormessen oder Endmessen graduell einstellbar ist, also ein einziges Layout bzw. Design für einen breiten Bereich von Steifigkeiten verwendbar ist.
Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Idee be­ steht darin, daß bei dem mikromechanischen Bauelement eine als Feder ausgebildete mechanisch fixierte oder fixierbare Struktur entarretierbar bzw. arretierbar ist, um die effek­ tive Steifigkeit der Biegefedereinrichtung stufenweise ein­ zustellen. Zwei oder mehr Federelemente gleicher oder un­ terschiedlicher Steifigkeiten werden dazu in Serie und/oder parallel angeordnet und eine gewünschte effektive Federkon­ stante eingestellt.
In den Unteransprüchen finden sich vorteilhafte Weiterbil­ dungen und Verbesserungen des in Anspruch 1 angegebenen mi­ kromechanischen Bauelements.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist die Masse mit ei­ nem ersten Federelement verbunden, welches gegenüber dem Substrat beweglich ist und über einen ersten Verbindungs­ steg mit einem Ende von einem zweiten Federelement verbun­ den ist. Am ersten Verbindungssteg ist eine erste durch­ trennbare Verankerungsstruktur zur durchtrennbaren Veranke­ rung des ersten Verbindungsstegs gegenüber dem Substrat vorgesehen. So läßt sich eine einstellbare Reihenschaltung mindestens zweier Federelemente realisieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die erste durchtrennbare Verankerungsstruktur mindestens einen ersten Trennbereich auf, welcher durch Anlegen von elektri­ schem Strom durchtrennbar ist. Dies ist ein zweckmäßiges Verfahren zum Trennen einer mechanischen Verbindung durch Aufschmelzen vergleichbar mit einer elektrischen Sicherung.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die erste durchtrennbare Verankerungsstruktur zwei erste Trenn­ bereiche auf, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des ersten Verbindungsstegs vorgesehen sind. So läßt sich eine stabile symmetrische Verankerung realisieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist das zweite Federelement über einen zweiten Verbindungssteg mit einem Ende von einem dritten Federelement verbunden. Am zweiten Verbindungssteg ist eine zweite durchtrennbare Ver­ ankerungsstruktur zur durchtrennbaren Verankerung des zwei­ ten Verbindungsstegs gegenüber dem Substrat vorgesehen. Auf diese Weise lassen sich analog weitere Federelemente in Reihe schalten.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die zweite durchtrennbare Verankerungsstruktur mindestens einen zweiten Trennbereich auf, welcher durch Anlegen von elek­ trischem Strom durchtrennbar ist.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die zweite durchtrennbare Verankerungsstruktur zwei zweite Trennbereiche auf, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des zweiten Verbindungsstegs vorgesehen sind.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist der jeweilige erste und/oder zweite Trennbereich eine erste Stromleitung aufweist, welche mit der betreffenden durch­ trennbare Verankerungsstruktur verbunden ist, und eine zweite Stromleitung, welche mit der Biegefedereinrichtung, vorzugsweise mit einer Verankerung davon, verbunden ist. So läßt sich die Trennstromanbindung ohne viel Zusatzaufwand realisieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weisen der erste und zweite Trennbereich bzw. die ersten und zweiten Trennbereiche unterschiedliche erste Stromleitungen auf, so daß sie selektiv durchtrennbar sind.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weisen der erste und zweite Trennbereich bzw. die ersten und zweiten Trennbereiche diegleiche erste Stromleitung und unter­ schiedliche Querschnitte auf, so daß sie selektiv durch­ trennbar sind. Dieser Aufbau erspart das Vorsehen unter­ schiedlicher erster Stromleitungen zur Durchtrennung.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die Masse mit einem ersten Federelement verbunden, welches gegenüber dem Substrat beweglich ist und über einen ersten Verbindungssteg mit einem Ende von einem zweiten Federele­ ment verbunden ist. Am ersten Verbindungssteg ist eine er­ ste steuerbare Verankerungsstruktur zur steuerbaren Veran­ kerung des ersten Verbindungsstegs gegenüber dem Substrat vorgesehen. Eine steuerbare Verankerungsstruktur bringt den Vorteil, daß sie reversibel umschaltbar zwischen den Zu­ ständen arretiert und entarretiert ist. Außerdem ist so prinzipiell eine stufenlose Steuerung der effektiven Feder­ konstante möglich.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die erste steuerbare Verankerungsstruktur mindestens einen er­ sten Trennbereich auf, welcher durch eine Erzeugungsein­ richtung für ein magnetisches oder elektrisches Feld steu­ erbar ist. So läßt sich eine kontaktlose Steuerung errei­ chen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die erste steuerbare Verankerungsstruktur zwei erste Trennbe­ reiche auf, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des ersten Verbindungsstegs vorgesehen sind.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist das zweite Federelement über einen zweiten Verbindungssteg mit einem Ende von einem dritten Federelement verbunden. Am zweiten Verbindungssteg ist eine zweite steuerbare Veranke­ rungsstruktur zur steuerbare Verankerung des zweiten Ver­ bindungsstegs gegenüber dem Substrat vorgesehen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die zweite steuerbare Verankerungsstruktur mindestens einen zweiten Trennbereich auf, welcher durch eine Erzeugungsein­ richtung für ein magnetisches oder elektrisches Feld steu­ erbar ist.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die zweite steuerbare Verankerungsstruktur zwei zweite Trennbe­ reiche auf, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des zweiten Verbindungsstegs vorgesehen sind.
ZEICHNUNGEN
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher er­ läutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Aufsicht auf einen Beschleunigungssensor ge­ mäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 2 eine Aufsicht auf einen Beschleunigungssensor ge­ mäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung.
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder funktionsgleiche Bestandteile.
Fig. 1 zeigt eine Aufsicht auf einen Beschleunigungssensor gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfin­ dung.
In Fig. 1 bezeichnen 1 einen mikromechanischen Beschleuni­ gungssensor, 3 eine seismische Masse, 4 ein Substrat, 10a- f bewegliche Elektroden, welche an der seismischen Masse 3 angebracht sind, 11a-h feste Elektroden, welche fest im Substrat 4 verankert sind, 60 bzw. 600 Verankerungsbereiche im Substrat 4, C1 und C2 Kondensatoranschlüsse, CL1 und CL2 Kondensatoranschlussleitungen, F1, F2, F3 Federelemente der Biegefedereinrichtung, T1 und T2 Trennanschlüsse, T1a, T1b sowie T2a, T2b Trennbereiche, TL1 und TL2 Trennleitungen, V12 einen Verbindungssteg zwischen F1 und F2 und V23 einen Verbindungssteg zwischen F2 und F3. VF bezeichnet einen Verbindungssteg zwischen der seismischen Masse 3 und dem ersten Biegefederelement F1 und VA bezeichnet einen Verbin­ dungssteg zwischen dem dritten Biegefederelement F3 und der Verankerung 600.
Der mikromechanische Beschleunigungssensor 1 gemäß dieser ersten Ausführungsform ist derart aufgebaut, dass seine seismische Masse 3 auf Grund von Beschleunigungen in x- Richtung auslenkbar ist. Dabei ist die seismische Masse 3 über die Biegefedereinrichtung F1, F2, F3 elastisch über dem Substrat 4 aufgehängt. Die Biegefedereinrichtung F1, F2, F3 wiederum ist über die Verankerung 600 im Substrat verankert, aber im gezeigten Zustand auch über Verbindungs­ stege V12 bzw. V23 und die entsprechenden Trennbereiche T1a, T1b bzw. T2a, T2b, welche jeweils mit einer Veranke­ rung 60 verbunden sind.
Bei einer Auslenkung in x-Richtung ist eine Kapazitätsände­ rung der aus den festen Elektroden 11a-h und beweglichen Elektroden 10a-f aufgebauten Differenzialkondensatorein­ richtung an den Anschlüssen C1 und C2 feststellbar, welche ein Maß für die Auslenkung ist.
Bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel sind also drei Federelemente F1, F2, F3 unterschiedlicher Steifigkei­ ten hintereinander, d. h. in Reihenschaltung angeordnet.
Hier ist z. B. das steifere Federelement F1 direkt an der seismischen Masse 3 angebunden, wobei die weicheren Federn F2, F3 durch den jeweiligen Verbindungssteg V12 bzw. V23 angekoppelt sind. Im in Fig. 1 gezeigten Zustand ist al­ lerdings nur das erste Federelement F1 zur Federung wirk­ sam, da, wie gesagt, die anderen beiden Federelemente F2 bzw. F3 über den jeweiligen Verbindungssteg V12 bzw. V23 und eine daran angebrachte Verankerungsstruktur 60; T1a, T1b bzw. 60; T2a, T2b im Substrat verankert sind.
Diese mechanische Verankerung kann sowohl im Epitaxie- Polysilizium für die Elektroden und die seismische Masse 3 als auch im vergrabenen Polysilizium für vergrabene Leiter­ bahnen realisiert sein. Bei dieser Ausführungsform ist sie im Epitaxie-Polysilizium realisiert. Die Einzelheiten die­ ser Prozesse sind im Stand der Technik bekannt und bedürfen hier keiner weiteren Erläuterung.
Über die Trennanschlüsse T1 und T2 lässt sich ein elektri­ scher Strom durch die Trennleitung TL1, die Verankerung 60, den jeweiligen Trennbereich T1a, T1b bzw. T2a, T2b, den be­ treffenden Verbindungssteg V12 bzw. V23 und zurück über die Federelemente F2 bzw. F3 und den Verbindungssteg VA zur Verankerung 600 und die Trennleitung TL2 anlegen. Durch diesen Stromfluss kann die Verankerung des zweiten Feder­ elementes F2 bzw. des dritten Federelementes F3 selektiv durchtrennt werden und somit ein Zustand niedrigerer effek­ tiver Federkonstante der gesamten Biegefedereinrichtung eingestellt werden. Dieser Vorgang ist vergleichbar mit dem Durchbrennen einer elektrischen Einmal-Sicherung bei Über­ last.
Eine geeignete Wahl der Geometrie oder des Schichtaufbaus der Trennbereiche erlaubt die Festlegung der genauen Stelle für die Durchtrennung und bei mehreren Federelementen auch die Selektion des bei einem bestimmten Stromwert zu durch­ trennenden Trennbereichs. Die gezielte Durchtrennung der Strukturen in den Trennbereichen kann allgemein bei dieser Ausführungsform durch unterschiedliche elektrische Widerstände bei einer gemeinsamen Stromzuleitung erfolgen, und nicht nur durch unterschiedliche Querschnitte oder z. B. ge­ trennte elektrische Zuleitungen.
Sind die Strukturen im Epi-Silizium realisiert, kann optio­ nal auf Teilbereiche der Strukturen eine Aluminiumschicht zur lokalen Anpassung des Widerstandes aufgebracht werden.
Bei dem in Fig. 1 gezeigten Beispiel weisen die Trennbe­ reiche T1a und T1b einen kleineren Querschnitt als die Trennbereiche T2a und T2b auf. Daher ist zu erwarten, dass bei einem Stromfluss durch diese Parallelanordnung zuerst die Trennbereiche T1a und T1b bei einem ersten niedrigeren Strom aufschmelzen und erst bei einem zweiten höheren Strom die Trennbereiche T2a und T2b, so dass stufenweise zuerst das zweite Federelement F2 und dann das dritte Federelement F3 aktivierbar ist.
Die Durchtrennung kann sowohl beim elektrischen Vormessen als auch beim elektrischen Endmessen erfolgen. Durch den zeitlichen Verlauf der Strom-Spannungs-Werte bei diesem Vorgang ist die gezielte Durchtrennung überprüfbar. Die eingestellte effektive Federkonstante der Biegefederanord­ nung kann beim Vormessen z. B. über die Resonanzfrequenz und beim Endmessen z. B. über die Empfindlichkeit ermittelt werden.
Fig. 2 zeigt eine Aufsicht auf einen Beschleunigungssensor gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfin­ dung.
In Fig. 2 bezeichnen zusätzlich zu den bereits eingeführten Bezugszeichen T1a', T1b', T2a', T2b' einen jeweiligen steu­ erbaren Trennbereich, T1' und T2' einen jeweiligen modifi­ zierten Trennanschluss und TL1' sowie TL2' modifizierte Trennleitungen.
Bei dieser zweiten Ausführungsform ist im Trennbereich eine Erzeugungseinrichtung für ein magnetisches Feld vorgesehen, wobei die elektrische Feldstärke durch die an T1' und T2' angelegte Spannung steuerbar ist (hier handelt es sich bei TL1' sowie TL2' um entsprechende mehradrige Leitungen). Da­ durch lässt sich die effektive Federkonstante der gesamten Biegefedereinrichtung quasi stufenlos als Funktion des er­ zeugten Magnetfeldes einstellen.
Ansonsten ist die zweite Ausführungsform mit der ersten Ausführungsform identisch.
Obwohl die vorliegende Erfindung vorstehend anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Weise mo­ difizierbar.
Die Erfindung ist insbesondere auf beliebige federnd gela­ gerte mikromechanische Bauelemente anwendbar, und nicht nur auf Beschleunigungssensoren.
Es können z. B. beliebige mikromechanische Grundmaterialien verwendet werden, und nicht nur das exemplarisch angeführte Siliziumsubstrat.
Obwohl im obigen Beispiel die Trennbereiche elektrische Durchschmelzbereiche sind, können die Trennbereiche auch auf andere Weise beeinflußbar sein. So kann das Durchtren­ nen kontaktlos z. B. mittels eines Lasers durchführbar sein.
Ebenfalls kann die kontaktlose Steuerung der effektiven Fe­ derkonstante anstatt durch ein magnetisches Feld durch ein elektrisches Feld realisiert werden.
Auch die Geometrie der Federanordnung ist nicht auf gezeig­ te Reihenschaltung dreier Federelemente beschränkt, sondern kann eine beliebige Reihenschaltung/Parallelschaltung einer Mehrzahl von Federelementen aufweisen, deren effektive Fe­ derkonstante extern beeinflussbar ist.

Claims (16)

1. Mikromechanisches Bauelement, insbesondere Beschleuni­ gungssensor, mit einer Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) zum federnden Lagern einer Masse (3) über einem Substrat (4), wobei die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) einer­ seits mit der Masse (3) verbunden ist und andererseits im Substrat (4) verankert ist; dadurch gekennzeichnet, daß die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) mindestens ein Bie­ gefederelement (F2, F3) aufweist, dessen Beweglichkeit ge­ genüber dem Substrat (4) zur Veränderung der effektiven Fe­ derkonstante der Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) verän­ derbar ist.
2. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse (3) mit einem ersten Feder­ element (F1) verbunden ist, welches gegenüber dem Substrat (4) beweglich ist und über einen ersten Verbindungssteg (V12) mit einem Ende von einem zweiten Federelement (F2) verbunden ist; und daß am ersten Verbindungssteg (V12) eine erste durchtrennbare Verankerungsstruktur (60; T1a, T1b) zur durchtrennbaren Verankerung des ersten Verbindungsstegs (V12) gegenüber dem Substrat (4) vorgesehen ist.
3. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste durchtrennbare Verankerungs­ struktur (60; T1a, T1b) mindestens einen ersten Trennbe­ reich (T1a, T1b) aufweist, welcher durch Anlegen von elek­ trischem Strom durchtrennbar ist.
4. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erste durchtrennbare Verankerungs­ struktur (60; T1a, T1b) zwei erste Trennbereiche (T1a, T1b) aufweist, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des er­ sten Verbindungsstegs (V12) vorgesehen sind.
5. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorherge­ henden Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Federelement (F2) über einen zweiten Verbindungssteg (V23) mit einem Ende von einem dritten Federelement (F3) verbunden ist; und daß am zweiten Verbindungssteg (V23) ei­ ne zweite durchtrennbare Verankerungsstruktur (60; T2a, T2b) zur durchtrennbaren Verankerung des zweiten Verbin­ dungsstegs (V23) gegenüber dem Substrat (4) vorgesehen ist.
6. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite durchtrennbare Verankerungs­ struktur (60; T2a, T2b) mindestens einen zweiten Trennbe­ reich (T2a, T2b) aufweist, welcher durch Anlegen von elek­ trischem Strom durchtrennbar ist.
7. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite durchtrennbare Verankerungs­ struktur (60; T2a, T2b) zwei zweite Trennbereiche (T2a, T2b) aufweist, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des zweiten Verbindungsstegs (V23) vorgesehen sind.
8. Mikromechanisches Bauelement nach einem der Ansprüche 3, 4, 6, 7, dadurch gekennzeichnet, daß der jeweilige erste und/oder zweite Trennbereich (T1a, T1b; T2a, T2b) eine er­ ste Stromleitung (T1L) aufweist, welche mit der betreffen­ den durchtrennbare Verankerungsstruktur (60; T1a, T1b; T2a, T2b) verbunden ist, und eine zweite Stromleitung (TL2), welche mit der Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3), vorzugs­ weise mit einer Verankerung (600) davon, verbunden ist.
9. Mikromechanisches Bauelement nach einem der Ansprüche 3, 4, 6, 7, 8 dadurch gekennzeichnet, daß der erste und zweite Trennbereich (T1a, T1b; T2a, T2b) bzw. die ersten und zweiten Trennbereiche (T1a, T1b; T2a, T2b) unterschied­ liche erste Stromleitungen aufweisen, so daß sie selektiv durchtrennbar sind.
10. Mikromechanisches Bauelement nach einem der Ansprüche 3, 4, 6, 7, 8 dadurch gekennzeichnet, daß der erste und zweite Trennbereich (T1a, T1b; T2a, T2b) bzw. die ersten und zweiten Trennbereiche (T1a, T1b; T2a, T2b) diegleiche erste Stromleitung (TL1) und unterschiedliche Querschnitte aufweisen, so daß sie selektiv durchtrennbar sind.
11. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse (3) mit einem ersten Feder­ element (F1) verbunden ist, welches gegenüber dem Substrat (4) beweglich ist und über einen ersten Verbindungssteg (V12) mit einem Ende von einem zweiten Federelement (F2) verbunden ist; und daß am ersten Verbindungssteg (V12) eine erste steuerbare Verankerungsstruktur (60; T1a', T1b') zur steuerbaren Verankerung des ersten Verbindungsstegs (V12) gegenüber dem Substrat (4) vorgesehen ist.
12. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste steuerbare Verankerungsstruk­ tur (60; T1a', T1b') mindestens einen ersten Trennbereich (T1a', T1b') aufweist, welcher durch eine Erzeugungsein­ richtung für ein magnetisches oder elektrisches Feld steu­ erbar ist.
13. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 12, da­ durch gekennzeichnet, daß die erste steuerbare Veranke­ rungsstruktur (60; T1a', T1b') zwei erste Trennbereiche (T1a', T1b') aufweist, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des ersten Verbindungsstegs (V12) vorgesehen sind.
13. Mikromechanisches Bauelement nach einem der vorherge­ henden Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Federelement (F2) über einen zweiten Verbindungssteg (V23) mit einem Ende von einem dritten Federelement (F3) verbunden ist; und daß am zweiten Verbindungssteg (V23) eine zweite steuerbare Verankerungsstruktur (60; T2a', T2b') zur steuerbare Verankerung des zweiten Verbindungsstegs (V23) gegenüber dem Substrat (4) vorgesehen ist.
14. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite steuerbare Verankerungs­ struktur (60; T2a', T2b') mindestens einen zweiten Trennbe­ reich (T2a, T2b) aufweist, welcher durch eine Erzeugungs­ einrichtung für ein magnetisches oder elektrisches Feld steuerbar ist.
15. Mikromechanisches Bauelement nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite steuerbare Verankerungs­ struktur (60; T2a', T2b') zwei zweite Trennbereiche (T2a, T2b) aufweist, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten des zweiten Verbindungsstegs (V23) vorgesehen sind.
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