DE10012205A1 - Leuchtdiode auf der Basis von löslichen organischen Materialien - Google Patents
Leuchtdiode auf der Basis von löslichen organischen MaterialienInfo
- Publication number
- DE10012205A1 DE10012205A1 DE10012205A DE10012205A DE10012205A1 DE 10012205 A1 DE10012205 A1 DE 10012205A1 DE 10012205 A DE10012205 A DE 10012205A DE 10012205 A DE10012205 A DE 10012205A DE 10012205 A1 DE10012205 A1 DE 10012205A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- dried
- layer
- emitting diode
- vibrated
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Bei einem Verfahren zum Herstellen von Leuchtdioden wird auf ein Substrat (1) wenigstens eine Schicht aus einem optoelektronisch wirksamen Material, etwa eine Emitterschicht, aufgebracht und anschließend getrocknet. Die wenigstens eine Schicht wird in Vibrationen versetzt, bevor sie vollständig getrocknet ist.
Description
Die Erfindung betrifft eine Leuchtdiode auf Basis von lösli
chen organischen Materialien. Leuchtdioden dieser Art werden
beispielsweise für Displays von Mobiltelefonen, elektroni
schen Geräten usw. verwendet. Als optoelektronisch wirksame
Materialien wurden bisher vielfach anorganische Materialien
verwendet. In neuerer Zeit finden jedoch auch organische
Materialien, beispielsweise Polymere, Verwendung. Diese
Materialien werden in einem geeigneten Lösungsmittel auf
gelöst bzw. suspendiert, in dieser Form auf ein Substrat
aufgebracht und getrocknet. Das Auftragen der Schichten
erfolgt heute hauptsächlich nach dem Spin-Coating-Verfahren
oder einem Standard-Druckverfahren, beispielsweise nach dem
Ink-Jet-Verfahren. Bei der zuerst genannten Methode wird eine
Lösung oder Suspension des organischen Materials auf das Sub
strat aufgespritzt, wobei dieses während des Auftragens oder
im Anschluss daran rotiert. Das andere Verfahren arbeitet
nach dem Prinzip eines Tintenstrahldruckers und eignet sich
besonders zum Herstellen von Pixelstrukturen.
Probleme bei diesen und auch bei sonstigen Auftragsverfahren
bereitet die Tatsache, dass sich in den aufgetragenen Schich
ten durch eingeschlossene Luftbläschen so genannte pin-holes
bilden. Lufteinschlüsse in den Ausgangslösungen bzw. Aus
gangssuspensionen lassen sich durch Ausfrieren, Zentrifugie
ren oder durch Ultraschallbehandlung nur unzureichend ent
fernen. Beim Aufbringen der Schichten bilden sich aber neue
Lufteinschlüsse, die sich negativ auf die Lebensdauer der
Leuchtdioden auswirken. Weiterhin ist es bei Auftragsverfah
ren, mit denen kleine Materialmengen pixel- oder linienförmig
appliziert werden, problematisch, eine glatte bzw. homogene
Oberfläche herzustellen. Gleichermaßen ist es schwierig, z. B.
aus Fotolack vorgefertigte Strukturen vollständig und
gleichmäßig mit optoelektronisch wirksamem Material auszu
füllen.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Herstellungsverfahren für
Leuchtdioden auf Basis löslicher organischer Materialien vor
zuschlagen, mit dem sich optoelektronische Schichten auftra
gen lassen, die hinsichtlich der oben geschilderten Nachteile
verbessert sind.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 ge
löst. Bei diesem Verfahren wird die auf einem Substrat auf
gebrachte optoelektronische Schicht in Vibrationen versetzt,
bevor sie vollständig getrocknet ist. Die Vibrationen können
dabei in der optoelektronischen Schicht oder auch unmittel
bar, d. h. direkt, erzeugt werden. Die Vibrationen wirken auf
das organische Material der Schicht in zweifacher Weise. Zum
einen werden beim Auftragsvorgang entstandene oder bereits in
der Ausgangslösung vorhandene Lufteinschlüsse entfernt. Zum
anderen bewirken sie eine Glättung der Oberfläche. Vorzugs
weise wird die optoelektronische Schicht während des Auf
tragens in Vibrationen versetzt. Es kann zweckmäßig sein, die
Vibrationsbehandlung auch noch während des Trocknungsschrit
tes fortzusetzen. Die Vibrationen werden bei einer bevor
zugten Verfahrensvariante durch Ultraschall erzeugt, wobei
das zu beschichtende Substrat direkt oder über ein Medium mit
Ultraschall beaufschlagt wird. Das Medium kann z. B. der Dreh
teller sein, auf dem das Substrat beim Spin-Coating fixiert
ist.
Die Erfindung wird nun anhand zweier Ausführungsbeispiele
näher erläutert. Die beigefügte Zeichnung zeigt in schemati
scher Querschnittsdarstellung eine Leuchtdiode, deren opto
elektronisch wirksame Schicht sich aus einer Vielzahl von
parallelen Streifen zusammensetzt. Auf einem Glassubstrat 1
sind mehrere parallel zueinander angeordnete Bahnen 2 aus ITO
(Indium/Zinnoxid) aufgebracht. Die Bahnen haben eine Breite
von ca. 200 µm bis 300 µm und einen Abstand von ca. 15 µm.
Senkrecht zu diesen Bahnen sind Fotolackstrukturen 3 auf
gebracht, die - von oben gesehen - streifenförmige Flächen
bereiche umgrenzen. In diese Flächenbereiche wird nun z. B.
über ein Ink-Jet-System zunächst ein Material eingebracht,
das eine Elektronentransportschicht bildet. Während diese
Schicht aufgebracht wird und auch noch während des sich
anschließenden Trocknungsschrittes ist das Glassubstrat 1
vorzugsweise großflächig mit einem Ultraschallgeber 4 ge
koppelt. Der Ultraschall überträgt sich über das Glassubstrat
und die ITO-Bahnen 2 auf die Elektronentransportschicht 5.
Darin enthaltene Lufteinschlüsse steigen an die Oberfläche
und werden daher aus der Schicht entfernt. Ohne eine Ultra
schallbeaufschlagung besteht die Gefahr, dass die Luftein
schlüsse dauerhaft in der Schicht eingeschlossen bleiben. Ein
weiterer Effekt der Ultraschallbeaufschlagung ist, dass die
Oberfläche der Elektronentransportschicht geglättet ist. In
der linken Hälfte der Abbildung ist ein Zustand dargestellt,
bei dem die Elektronentransportschicht 5a eine unebene Ober
fläche aufweist. Wird auf eine solche unebene Fläche eine
weitere Schicht aufgetragen, besteht die Gefahr, dass vor
allem in den Randbereichen angeordnete Spalträume 6 zwischen
der Schicht 5a und den Fotolackstrukturen nicht ausgefüllt
werden, so dass erneute Lufteinschlüsse entstehen. Die in der
Abbildung dargestellte Leuchtdiode wird weiter vervollstän
digt, indem auf die Elektronentransportschicht 5 ein weiteres
optoelektronisches Material aufgebracht wird, das eine
Emitterschicht (nicht dargestellt) bildet. Auch bei dieser
Schicht bewirkt die Ultraschallbeaufschlagung ein Entfernen
von Lufteinschlüssen und eine glatte Oberfläche. Schließlich
wird als letzte Schicht ein Metall aufgedampft, das die Ka
thode bildet.
Zur Herstellung einer Leuchtdiode mit großflächiger optoelek
tronischer Beschichtung (nicht dargestellt) wird zunächst auf
ein transparentes Substrat eine ITO-Schicht aufgebracht und
großflächig strukturiert, d. h. es werden rechteckige Schicht
bereiche mit einer oder mehreren Kontaktierungsflächen für
die ITO-Anode hergestellt. Nach dem Strukturieren wird das
Substrat gereinigt und anschließend eine wasserlösliche Elek
tronentransportschicht und nach deren Trocknung ein in Xylol
gelöstes, eine Emitterschicht bildendes Polymer aufgebracht.
Für beide optoelektronisch wirksamen Schichten wird z. B. das
oben erwähnte Spin-Coating angewendet. Bei beiden Auftrags-
und Trocknungsschritten wird das Substrat mit einem Ultra
schallgeber gekoppelt.
Claims (4)
1. Verfahren zum Herstellen von Leuchtdioden, bei dem auf
ein Substrat (1) wenigstens eine Schicht aus einem optoelek
tronisch wirksamen Material, etwa eine Emitterschicht, auf
gebracht und anschließend getrocknet wird, wobei in der
wenigstens einen Schicht Vibrationen erzeugt werden, bevor
sie vollständig getrocknet ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Vibrationen während
des Auftragens des optoelektronisch wirksamen Materials er
zeugt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Vibrationen während
des Trocknens des optoelektronisch wirksamen Materials er
folgen.
4. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Vibrationen durch
Ultraschall erzeugt werden.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10012205A DE10012205A1 (de) | 2000-03-13 | 2000-03-13 | Leuchtdiode auf der Basis von löslichen organischen Materialien |
TW090105686A TW488090B (en) | 2000-03-13 | 2001-03-12 | Light-emitting-diode on the basis of soluable organic material |
JP2001567021A JP2003526889A (ja) | 2000-03-13 | 2001-03-13 | 可溶性の有機材料をベースとした発光ダイオード |
PCT/DE2001/000948 WO2001069653A2 (de) | 2000-03-13 | 2001-03-13 | Leuchtdiode auf der basis von löslichen organischen materialien |
US10/238,680 US6864113B2 (en) | 2000-03-13 | 2002-09-11 | Luminous diode based on soluble organic materials |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10012205A DE10012205A1 (de) | 2000-03-13 | 2000-03-13 | Leuchtdiode auf der Basis von löslichen organischen Materialien |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10012205A1 true DE10012205A1 (de) | 2001-09-27 |
Family
ID=7634562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10012205A Withdrawn DE10012205A1 (de) | 2000-03-13 | 2000-03-13 | Leuchtdiode auf der Basis von löslichen organischen Materialien |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6864113B2 (de) |
JP (1) | JP2003526889A (de) |
DE (1) | DE10012205A1 (de) |
TW (1) | TW488090B (de) |
WO (1) | WO2001069653A2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004103496A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Seiko Epson Corp | 成膜方法、成膜装置、光学素子、有機エレクトロルミネッセンス素子、半導体素子および電子機器 |
JP4910144B2 (ja) * | 2006-11-20 | 2012-04-04 | 国立大学法人富山大学 | 有機el材料薄膜の形成および装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0089221A1 (de) * | 1982-03-15 | 1983-09-21 | EASTMAN KODAK COMPANY (a New Jersey corporation) | Elektrographisches Verfahren zur Herstellung leitender Schaltungsmuster und auf diese Weise hergestellte Leiterplatten |
US5408109A (en) | 1991-02-27 | 1995-04-18 | The Regents Of The University Of California | Visible light emitting diodes fabricated from soluble semiconducting polymers |
US5923119A (en) * | 1996-05-20 | 1999-07-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic thin-film electroluminescent display device, method for driving the same and method for fabricating the same |
JPH1076660A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-03-24 | Canon Inc | インクジェットプリント装置 |
JP3899566B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2007-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el表示装置の製造方法 |
US5858475A (en) * | 1996-12-23 | 1999-01-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Acoustic wave enhanced spin coating method |
US6517213B1 (en) * | 1997-03-31 | 2003-02-11 | Idec Izumi Corporation | Indicator device and illumination device |
EP1029369A4 (de) | 1997-10-17 | 2002-04-03 | Univ California | Tintenstrahl-druckverfahren für die herstellung von organischen halbleiteranordnungen |
JP4366732B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2009-11-18 | ソニー株式会社 | 電気光学装置の製造方法及び電気光学装置用の駆動基板の製造方法 |
-
2000
- 2000-03-13 DE DE10012205A patent/DE10012205A1/de not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-03-12 TW TW090105686A patent/TW488090B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-03-13 WO PCT/DE2001/000948 patent/WO2001069653A2/de active Application Filing
- 2001-03-13 JP JP2001567021A patent/JP2003526889A/ja not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-09-11 US US10/238,680 patent/US6864113B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003526889A (ja) | 2003-09-09 |
TW488090B (en) | 2002-05-21 |
WO2001069653A2 (de) | 2001-09-20 |
US20030059970A1 (en) | 2003-03-27 |
WO2001069653A3 (de) | 2002-03-28 |
US6864113B2 (en) | 2005-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE60119025T2 (de) | Herstellungsverfahren für ein optisches Element | |
DE69927225T2 (de) | Verfahren zur herstellung einer dünnen schicht, anzeigevorrichtung und farbfilter | |
DE60314610T2 (de) | Verfahren zur herstellung von organischen optoelektronischen und elektronischen bauteilen sowie dadurch erhaltene bauteile | |
DE69735689T2 (de) | Farbfilter | |
DE10117663A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Matrixanordnungen auf Basis verschiedenartiger organischer leitfähiger Materialien | |
EP1409251B1 (de) | Kontinuierlicher siebdruck von organischen leuchtdioden | |
DE69925192T2 (de) | Organisches Elektrolumineszenzelement und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE10126860C2 (de) | Organischer Feldeffekt-Transistor, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendung zum Aufbau integrierter Schaltungen | |
DE10352515A1 (de) | Organisches elektrolumineszierendes Display und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE10157945C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines organischen, elektrolumineszierenden Displays sowie ein organisches, elektrolumineszierendes Display | |
DE112005003229T5 (de) | Organische elektrolumineszierende Vorrichtung | |
DE10311097A1 (de) | Organische lichtemittierende Diode (OLED) und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE102020103287A1 (de) | Anordnung von Mikro-Leuchtdioden und deren Herstellverfahren | |
DE10120686A1 (de) | Verfahren zur Erzeugung dünner homogener Schichten mit Hilfe der Siebdrucktechnik, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahren und ihre Verwendung | |
DE10012205A1 (de) | Leuchtdiode auf der Basis von löslichen organischen Materialien | |
DE102004013449B3 (de) | OLED-Display mit Elektroden hoher Leitfähigkeit und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2931293C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallanzeige | |
EP0349882A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von metallischen Schichten | |
DE102010013755A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Strukturen mit negativen Flanken | |
EP1273052A1 (de) | Verfahren zum herstellen von organischen, licht emittierenden dioden | |
DE69837126T2 (de) | Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE102004037524A1 (de) | Display und Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Display | |
DE10123115B4 (de) | Löcherinjektionsschicht einer organischen Leuchtdiode und Verfahren zu deren Herstellung | |
EP1438758A1 (de) | Verfahren zum grossflächigen aufbringen von mechanisch empfindlichen schichten auf ein substrat | |
DE102015115030A1 (de) | Verfahren zum Entfernen einer Schicht von einem Substrat und dessen Verwendung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH & CO.OHG, 93049 REG |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH, 93049 REGENSBURG, |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8130 | Withdrawal |