DD52181A1 - Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number
DD52181A1
DD52181A1 DD11177965A DD11177965A DD52181A1 DD 52181 A1 DD52181 A1 DD 52181A1 DD 11177965 A DD11177965 A DD 11177965A DD 11177965 A DD11177965 A DD 11177965A DD 52181 A1 DD52181 A1 DD 52181A1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
carrying
production
support
ion beam
thin layers
Prior art date
Application number
DD11177965A
Other languages
English (en)
Inventor
Siegfried Schiller
Ullrich Heisig
Guenther Beister
Original Assignee
Siegfried Schiller
Ullrich Heisig
Guenther Beister
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siegfried Schiller, Ullrich Heisig, Guenther Beister filed Critical Siegfried Schiller
Priority to DD11177965A priority Critical patent/DD52181A1/de
Publication of DD52181A1 publication Critical patent/DD52181A1/de

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/46—Sputtering by ion beam produced by an external ion source

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
DD11177965A 1965-07-03 1965-07-03 Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens DD52181A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD11177965A DD52181A1 (de) 1965-07-03 1965-07-03 Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD11177965A DD52181A1 (de) 1965-07-03 1965-07-03 Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DD52181A1 true DD52181A1 (de) 1966-12-05

Family

ID=249731

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD11177965A DD52181A1 (de) 1965-07-03 1965-07-03 Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD52181A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0019725A1 (de) * 1979-05-18 1980-12-10 International Business Machines Corporation Einen Strahl mit energiereichen Teilchen verwendendes Abscheidungsverfahren
DE102006024068A1 (de) * 2006-05-23 2007-11-29 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Beschichtungsanlage

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0019725A1 (de) * 1979-05-18 1980-12-10 International Business Machines Corporation Einen Strahl mit energiereichen Teilchen verwendendes Abscheidungsverfahren
DE102006024068A1 (de) * 2006-05-23 2007-11-29 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Beschichtungsanlage

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT282974B (de) Verfahren zur Herstellung eines Schichtmaterials
CH434180A (de) Verfahren zur Herstellung eines Schichtstoffes
CH528466A (de) Verfahren zur Herstellung von Phenylessigsäuren
AT289040B (de) Verfahren zur Herstellung eines Trägerkatalysators
AT305281B (de) Verfahren zur Herstellung von neuen 5-Chromenolestern
AT272803B (de) Verfahren zur Materialbearbeitung mittels gebündelter Energiestrahlen
AT284797B (de) Verfahren zur Herstellung eines Trägerkatalysators
CH464520A (de) Verfahren zur Herstellung von Schichtstoffen
CH467246A (de) Verfahren zur Herstellung eines neuen Polypeptids
DD52181A1 (de) Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH498718A (de) Verfahren zur Herstellung eines Verbundkörpers
CH489540A (de) Verfahren zur Herstellung eines Zuckerersatzmittels
AT268222B (de) Verfahren zur Herstellung von ungesättigten Alkoholen
AT265538B (de) Verfahren zur Herstellung eines neuen Polypeptids
AT280984B (de) Verfahren zur Herstellung von neuen Terpenestern
CH475977A (de) Verfahren zur Herstellung eines Chromanderivates
CH468432A (de) Verfahren zur Herstellung eines streichfähigen Polyurethangels
CH445436A (de) Verfahren zur Herstellung eines Schichtstoffes
CH434182A (de) Verfahren zur Herstellung eines Schichtstoffes
CH452878A (de) Verfahren zur Herstellung eines schleifbeständigen Dekorlaminates
AT268532B (de) Verfahren zur Herstellung eines Faserkörpers
AT297920B (de) Verfahren zur Herstellung eines Arzneimittels
CH494074A (de) Verfahren zur Herstellung von Platten mittels Dickenreduzierung
AT267058B (de) Verfahren zur Herstellung eines anticancerös wirksamen Produktes
CH475370A (de) Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf Unterlagen