DD295933A5 - DIELECTRIC LONG PASS FILTER FOR THE CLOSE ULTRAVIOLETTE AND VISIBLE SPECTRAL AREA - Google Patents

DIELECTRIC LONG PASS FILTER FOR THE CLOSE ULTRAVIOLETTE AND VISIBLE SPECTRAL AREA Download PDF

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DD295933A5
DD295933A5 DD32037088A DD32037088A DD295933A5 DD 295933 A5 DD295933 A5 DD 295933A5 DD 32037088 A DD32037088 A DD 32037088A DD 32037088 A DD32037088 A DD 32037088A DD 295933 A5 DD295933 A5 DD 295933A5
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DD32037088A
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Peter Pfeifer
Gottfried Wurlitzer
Uwe Schallenberg
Ingrid Huebelt
Gertraud Jacob
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Carl Zeiss Jena Gmbh,De
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Abstract

Die Erfindung findet Anwendung als Spektralteiler oder Kaltlichtspiegel in optischen Systemen. Bei einem Langpaszfilter mit auf transparentem Traeger angeordnetem lo/4-Wechselschichtsystem hoher Schichtenzahl 25 und optisch halb so dicker erster und letzter, hochbrechender Interferenzschicht weisen erfindungsgemaesz die 13 oder 15 Interferenzschichten einer traegernahen ersten Wechselschichtgruppe eine um einen gleichen Faktor von 0,88 bis 0,94 geringere optische Dicke als die entsprechenden Interferenzschichten einer zweiten, dem Umgebungsmedium nahen Wechselschichtgruppe auf. Dadurch wird eine Erhoehung der Transmission auf T95% in Spektralkantennaehe des Durchlaszbereiches bei gleichzeitiger Gewaehrleistung eines breiten Sperrbereiches hoher Reflexion erzielt. Fig. 1{Langpaszfilter; Kaltlichtspiegel, dielektrisch; Interferenzschichten; optische Dicke; UV-VIS-Spektralbereich; Spektralkante; Sperrbereich; Reflexion; Durchlaszbereich; Transmission}The invention finds application as a spectral divider or cold mirror in optical systems. In the case of a long-pas filter with a lo / 4 alternating layer system having a high number of layers 25 and optically half as thick first and last, high-index interference layer, the 13 or 15 interference layers of a first layer group close to the carrier have an equal factor of 0.88 to 0, according to the invention. 94 lower optical thickness than the corresponding interference layers of a second, the surrounding medium near the alternating layer group. This achieves an increase in the transmission to T95% in spectral edges near the passband while at the same time ensuring a wide blocking range of high reflection. Fig. 1 {Langpaszfilter; Cold mirror, dielectric; Interference layers; optical thickness; UV-VIS spectral range; spectral edge; Stop band; Reflection; Durchlaszbereich; Transmission}

Description

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft einen dielektrischen Langpaßfilter für den nahen ultravioletten (UV-) und den sichtbaren (VIS-) Spektralbereich.The invention relates to a dielectric long-pass filter for the near ultraviolet (UV) and the visible (VIS) spectral range.

Derartige Langpaßfilter finden als Spektralleiter oder Kaltlichtspiegel in optischen Systemen wissenschaftlicher Geräte Anwendung.Such long-pass filters are used as spectral guides or cold-light mirrors in optical systems of scientific devices.

Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art

Der Einsatz dielektrischer Wechselschichtsysteme als optische Filter wurde in der Fachliteratur sowohl allgemein als auch für spezielle Fälle beschrieben.The use of dielectric alternating layer systems as optical filters has been described in the literature both generally and for specific cases.

Für die Anwendung als Langpaßfilter, d. h. der kurzwellige Teil der elektromagnetischen Strahlung soll gesperrt und der langwellige Teil durchgelassen werden, sind für den sichtbaren und den nahen UV-Bereich Xo/4-Wechselschichtsystome der Form T/ (0,5 H N 0,5 H)V L bekannt (Mc leod,Thin Film Optical Filters; Adam Hilger Ltd: London 1969, S. 111 ff.). Dabei haben die verwendeten Symbole folgende Bedeutung:For use as a long-pass filter, d. H. the short-wave part of the electromagnetic radiation is to be blocked and the long-wave part transmitted, are known for the visible and the near UV Xo / 4 Wechselschichtsystome the form T / (0.5 HN 0.5 H) VL (Mc leod, Thin Film Optical Filters; Adam Hilger Ltd: London 1969, p. 111 ff.). The symbols used have the following meaning:

T: transparenterTräger, i. allg. Glas;T: transparent support, i. general glass;

L: Umgebungsmedium, i. allg. Luft;L: surrounding medium, i. general air;

0,5 H: hochbrechende Schicht der optischen Dicke λ,,/8;0.5 H: high refractive layer of optical thickness λ ,, / 8;

N: niedrigbrechende Schicht der optischen Dicke λο/4N: low refractive layer of optical thickness λ o / 4

χ: Periodenzahl, die angibt, wie oft die Periode (0,5 H N 0,5 H) im Schichtsystem wiederholt wird;χ: Period number, which indicates how often the period (0.5 H N 0.5 H) is repeated in the shift system;

A0: Schwerpunktwellenlänge des Systems, welche die spektrale Lage des Wechselschichtsystems angibt.A 0 : centroid wavelength of the system indicating the spectral location of the alternating layer system.

Die Höhe und Breite des Sperrbereiches eines solchen Wechselschichtsystems wird vom Brechzahlverhältnis η H/n N und von der Anzahl der Schichten 2 x +1 bestimmt. Um einen breiten Bereich hoher Sperrung, also geringer Transmission zu erzielen, muß das Brechzahlverhältnis und/oder die Schichtenzahl erhöht werden. Das hat aber den Nachteil, daß insbesondere in der Nähe der Spektralkante des Filters eine große Welligkeit im Transmissionsbereich auftritt, d. h. die Transmission in diesem Bereich stark wellenlängenabhängig ist und relativ niedrige Werte annahmen kann. Eine Möglichkeit, die Welligkeit im Durchlaßbereich zu verringern, welche insbesondere im IR-Spektralbereich angewandt wird, besteht darin, die Wechselschichtsysteme aus von der optischen Dicke λ,,/4 abweichenden Schichten aufzubauen (J. S. Seeley, S. D. Smith, Appl. Opt. 51 (1966)81-85).The height and width of the stop band of such a shift layer system is determined by the refractive index ratio η H / n N and the number of layers 2 x +1. In order to achieve a wide range of high blocking, ie low transmission, the refractive index ratio and / or the number of layers must be increased. But this has the disadvantage that, especially in the vicinity of the spectral edge of the filter, a large ripple in the transmission range occurs, d. H. the transmission in this range is strongly wavelength dependent and can assume relatively low values. One way to reduce the ripple in the passband, which is particularly applied in the IR spectral range, is to build the alternating-layer systems of layers differing from the optical thickness λ ,, / 4 (JS Seeley, SD Smith, Appl. Opt. 1966) 81-85).

Derartige Schichtsysteme sind jedoch aufgrund der unterschiedlichen optischen Dicken der einzelnen Schichten nur schwierig herstellbar. Nachteilig macht sich außerdem bemerkbar, daß Wechselschichtsysteme mit von λο/4 abweichenden optischen Dicken keine maximale Breite des Sperrbereiches haben, wie es bei reinen Xo/4-Schichtsystemen der Fall ist (JJ. Vera, Optica Act a 11 (1964)315).However, such layer systems are difficult to produce due to the different optical thicknesses of the individual layers. A disadvantage makes also noticeable that the alternating layer systems of λ ο / 4 different optical thicknesses do not have a maximum width of the stop band, as for pure X o / 4-layer systems is the case (JJ. Vera, Optica Act a 11 (1964) 315 ).

Zur Verringerung der Welligkeit der Transmission im Durchlaßbereich ist es weiterhin möglich, das Schichtsystem aufzuteilen unö je ein λο/4-System geringer Schichtenzahl entweder auf 2 Träger aufzubringen und diese dann miteinander zu verkitten oder einen Träger beidseitig zu beschichten (Mc leod, Thin Film Optical Filters, Adam Hilger Ltd: London 1969, S. 111 ff). Bei genügend dicken Trägern beeinflussen sich die beiden Schichtsysteme nicht und man erhält durch die geringe Schichtenzahl jedes Schichtsystems eine relativ hohe Transmission bei guter Sperrung, wobei für verlustfreie Schichtsysteme die BeziehungTo reduce the ripple of the transmission in the passband, it is also possible to divide the layer system unö ever apply a λο / 4 system low number of layers either on 2 carriers and then cemented together or coat a carrier on both sides (Mc leod, Thin Film Optical Filters, Adam Hilger Ltd: London 1969, p. 111 ff). With sufficiently thick carriers, the two layer systems do not influence each other and, owing to the low number of layers of each layer system, a relatively high transmission with good blocking is obtained, with the relationship for lossless layer systems

1 - R1 · R2 gilt. Dabei bedeuten T1 und T2 die Transmissionswerte und R, und R2 die Reflexionswerte der beiden Schichtsysteme.1 - R 1 · R 2 applies. In this case, T 1 and T 2 denote the transmission values and R 2 and R 2 the reflection values of the two layer systems.

Aus dieser Beziehung ist aber auch ersichtlich, daß Transmissionswerte T > 95% für das beidseitig beschichtete Glas nicht erzielt werden können, weil dann dieTransmission jedes einzelnen Systems T1Zj > 97,6% sein muß. Dieser Wert ist aber in Nähe der Spektralkante nicht realisierbar.However, it can also be seen from this relationship that transmission values T> 95% can not be achieved for the double-sided coated glass because then the transmission of each individual system T 1 Zj must be> 97.6%. However, this value is not realizable in the vicinity of the spectral edge.

Ein weiterer Nachteil dieser Lösung liegt im erhöhten Beschlchtungsaufwand.Another disadvantage of this solution is the increased Beschchtungsaufwand.

Im Falle der Beschichtung von 2 Tragern Ist außerdem das Problem der Verkittung zu lösen, insbesondere dann, wenn die Filter bei hoher Strahlenbelastung zum Einsatz kommen sollen, Die zur Verbesserung des Sperrbereiches von dielektrischen Wechselschichtsystemen vorgeschlagene Kombination mit Farbgläsern (ebenda) besitzt den Nachteil, daß bei hoher Strahlenbelastung infolge der Adsorption in diesen Farbgläsern eine Zerstörung der Filter eintreten kann. Dadurch, daß nur eine begrenzte Anzahl von Farbgläsern verfügbar ist, wird außerdem die Wahl der Lage der Spektralkante der Filter eingeschränkt.In the case of the coating of 2 carriers Is also the problem of bonding to solve, especially when the filters are to be used at high radiation exposure The proposed to improve the blocking range of dielectric alternating layer systems combination with colored glass (ibid) has the disadvantage that At high radiation exposure as a result of the adsorption in these stained glasses destruction of the filter can occur. The fact that only a limited number of colored glass is available, also the choice of the position of the spectral edge of the filter is limited.

Langpaßfilter dieser Art sind aufgrund der Absorptionsverluste im kurzwelligen Spektralbereich auch nicht als Kaltlichtspiegel einsetzbar.Long-pass filters of this type can not be used as cold-light mirrors because of the absorption losses in the short-wave spectral range.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Die Erfindung verfolgt das Ziel, einen dielektrischen Langpaßfilter für den nahen ultravioletten bis sichtbaren Spektralbereich anzugeben, der für möglichst viele Anwendungsfälle einfach und reproduzierbar herstellbar ist und sowohl einen breiten Sperrbereich und eine steile Spektralkante als auch eine hohe Transmission a95% in Nähe der Spektralkante im Durchlaßbereich aufweist.The invention aims to provide a dielectric long-pass filter for the near ultraviolet to visible spectral range which is easy and reproducible for as many applications as possible and both a wide stopband and a steep spectral edge and a high transmission a95% in the vicinity of the spectral edge in the passband having.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei Langpaßfiltern durch ein geeignetes, nur auf einer Seite eines transparenten Tägers aufzubringenden dielektrischen Wechselschichtsystem unter Gewährleistung einer maximalen Breite des Sperrbereiches sowie einer hohen Steilheit und freien Wählbarkeit der Lage der Spektralkante in einem weiten Bereich des UV-VIS-Spektralgebietes die Transmission im Durchlaßbereich insbesondere in Nähe der Spektralkante zu erhöhen. Diese Aufgabe wird durch einen dielektrischen Langpaßfilter für den nahen ultravioletten und sichtbaren Spektralbereich, bestehend aus einem transparenten Träger und einem darauf angeordneten System von mindestens 25 abwechselnd hoch- und niedrigbrechenden nichtmetallischen Interferenzschichten, bei dem die erste, an den Träger angrenzende und die letzte, das Wechselschichtsystem zum Umgebungsmedium hin abschließende Interferenzschicht jeweils eine hochbrechende Schicht ist, deren optische Dicke jeweils halb so groß ist wie die optischen Dicken der dazwischenliegenden Interferenzschichten, wobei die spektrale Lage des Wechselschichtsystems durch eine Schwerpunktwellenlänge A0 charakterisiert wird, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Wechselschichtsystem aus zwei Wechselschichtgruppen aufgebaut ist, von den die trägernahe erste Wechselschichtgruppe 13 oder 15 Interferenzschichten umfaßt und daß ihre erste Interferenzschicht gegenüber der letzten Interferenzschicht der zweiten Wechselschichtgruppe sowie ihre weiteren 12 oder 14 Interferenzschichten gegenüber den verbleibenden, K0ZA dicken Interferenzschichten der zweiten Wechselschichtgruppe jeweils eine um einen gleichen Faktor α im Bereich von 0,88 bis 0,94 geringere optische Dicke aufweisen.The invention is based on the object in long-pass filters by a suitable, applied only on one side of a transparent carrier dielectric alternating layer system, ensuring a maximum width of the stopband and a high slope and free selectability of the position of the spectral edge in a wide range of UV-VIS Spectral region to increase the transmission in the passband, in particular in the vicinity of the spectral edge. This object is achieved by a dielectric long pass filter for the near ultraviolet and visible spectral region, consisting of a transparent support and a system of at least 25 alternating high and low refractive non-metallic interference layers, in which the first, adjacent to the carrier and the last, the Interchangeable layer system to the surrounding medium towards the final interference layer is a high-refractive layer each whose optical thickness is half as large as the optical thicknesses of the intermediate interference layers, the spectral position of the alternating layer system is characterized by a centroid wavelength A 0 , according to the invention solved in that the alternating layer system of two alternating layer groups is constructed, of which the carrier near the first alternating layer group 13 or 15 comprises interference layers and that their first interference layer with respect to the last interference layer de The second alternating layer group and its further 12 or 14 interference layers each have a smaller optical thickness than the remaining, K 0 ZA thick interference layers of the second alternating layer group by an equal factor α in the range from 0.88 to 0.94.

Es wurde gefunden, daß durch die Wahl des Schichtdickenfaktors α im Bereich von 0,88 bis 0,94 und der Schichtenzahl 13 oder 15 für die an den Träger angrenzende erste Wechselschichtgruppe in der Nähe des Spektralkante im Durchlaßbereich eine Erhöhung der Transmission auftritt, wobei durch Änderung des Schichtdickenfaktors und der Schichtenzahl innerhalb des vorgegebenen Bereiches die spektrale Lage dieses Bereiches der sehr hohen Transmission verschoben werden kann. Es können somit in einem Teil des Transmissionsbereiches in der Nähe der Spektralkante Werte von T a 95% erreicht werden. Gleichzeitig ist beim erfindungsgemäßen Langpaßfilter der Sperrbereich für T < 1 % breiter als bei einem üblichen λο/4-Wechselschichtsystem mit vergleichbar hohen Transmissionswerten. Die Anzahl der Interferenzschichten der an das Umgebungsmedium Luft angrenzenden zweiten Wechselschichtgruppe ist in einem größeren Bereich (2:12) frei wählbar und bestimmt die Steilheit der Spektralkante sowie im Zusammenhang mit der Gesamtschichtenzahl die Breite und die Höhe der Sperrung.It has been found that by the choice of the layer thickness factor α in the range of 0.88 to 0.94 and the layer number 13 or 15 for the adjacent to the carrier first alternating layer group in the vicinity of the spectral edge in the passband, an increase in the transmission occurs Changing the layer thickness factor and the number of layers within the specified range, the spectral position of this range of very high transmission can be moved. Thus, in a part of the transmission range in the vicinity of the spectral edge, values of T a 95% can be achieved. At the same time, in the long-pass filter according to the invention, the stop band for T <1% is wider than in a conventional λ o / 4 change-layer system with comparably high transmission values. The number of interference layers of the second alternating layer group adjoining the surrounding medium air is freely selectable over a larger range (2:12) and determines the steepness of the spectral edge and, in connection with the total number of layers, the width and the height of the blocking.

Als Schichtmaterialien sind wegen ihrer guten mechanischen Eigenschaften, wie Härte und Schichthaftung, und ihrer guten chemischen Resistenz die für den nahen UV- und VIS-Spektralbereich gebräuchlichen hochbrechenden Substanzen, wie TiO2, Ta2O6, Nb2O6 und ZrO2, mit Brechzahlen Πη = 2,0... 2,4 und als niedrigbrechende Substanz SiO2 mit Nn = 1,45 vorgesehen. Der erfindungsgemäße Langpaßfilter ist auch als Kaltlichtspiegel einsetzbar, da die Sperrung der kurzwelligen Strahlung ausschließlich durch Reflexion erfolgt.Because of their good mechanical properties, such as hardness and layer adhesion, and their good chemical resistance, the high-index substances used for the near UV and VIS spectral range, such as TiO 2 , Ta 2 O 6 , Nb 2 O 6 and ZrO 2 , are used as layer materials. with refractive indices ηη = 2.0 to 2.4 and provided as a low-refractive index substance SiO 2 with Nn = 1.45. The long-pass filter according to the invention can also be used as a cold-light mirror, since the blocking of the short-wave radiation takes place exclusively by reflection.

Ausführungsbeispielembodiment

Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines AusfUhrungsbeispiels näher erläutert werden. Es zeigenThe invention will be explained in more detail with reference to a AusfUhrungsbeispiels. Show it

Fig. 1: die Spektralkurve eines zum Stand der Technik gehörenden dielektrischen LangpaßfiitorsFig. 1: the spectral curve of a prior art dielectric Langpaßfiitors

geringer Schichtenzahl (17) der Form T / (0,5 H2N10,5 H2)8 / L Fig. 2: die Spektralkurve eines entsprechenden dielektrischen Langpaßfilers mit einer auf 25 erhöhten Schichtenzahlsmall number of layers (17) of the form T / (0.5 H 2 N 1 0.5 H 2 ) 8 / L FIG. 2 shows the spectral curve of a corresponding dielectric long-pass filter with a number of layers increased to 25

gemäß dem Stand der Technik mit dem Aufbau T / (0,5 H2N] 0,5 H2)" / L Fig.3: die Spektralkurve eines erfindungsgemäßen Langpaßfilters mit 35 Interferenzschichtenaccording to the prior art with the structure T / (0.5 H 2 N] 0.5 H 2 ) "/ L FIG. 3 shows the spectral curve of a long-pass filter according to the invention with 35 interference layers

Ein erfindungsgemäßer dielektrischer Langpaßfilter für den UV-VIS-Spektralbereich ist wie folgt aufgebaut:An inventive dielectric long-pass filter for the UV-VIS spectral range is constructed as follows:

1Hl11N1H1N2H211-N2H2N2 m η 1 Hl 11 N 1 H 1 N 2 H 211 -N 2 H 2 N 2 m η

Auf dem Glasträger T mit der Brechzahl nT = 1,52 ist ein Wechselschlchtsystom aus insgesamt m + η = 35 Interferenzschichten angeordnet, wobei die hochbrechenden Schichten (z. B. aus Ta2O6) eine Brechzahl von rin - 2,2 und die niedrigbrechenden Schichten (z.B. aus SiO2) eine Brechzahl von nN = 1,45 haben. Die ersten, an den Träger angrenzenden m - 13 Interferenzschichten weisen erfindungsgemäß alle eine um den FaktorOn the glass carrier T with the refractive index n T = 1.52, an alternating column system consisting of a total of m + η = 35 interference layers is arranged, the high-indexing layers (eg of Ta 2 O 6 ) having a refractive index of rin-2.2 and the low-index layers (eg of SiO 2 ) have a refractive index of n N = 1.45. The first, adjacent to the carrier m - 13 interference layers according to the invention all by one factor

α = —- = —- = 0,88 N1 H2 α = - = - = 0.88 N 1 H 2

geringere optische Dicke (Produkt aus Brechzahl und geometrischer Schichtdicke) als die restlichen π = 22 Interferenzschichten auf, weiche, bezogen auf die Schwerpunktwellenlänge λ0, mit Ausnahme der letzten hochbrechenden Schicht mit einer optischen Dicke λο/8 alle eine optische Dicke von λο/4 besitzen.lower optical thickness (product of refractive index and geometric layer thickness) than the remaining π = 22 interference layers, soft, with respect to the centroid wavelength λ 0 , except the last high-refractive layer with an optical thickness λο / 8 all an optical thickness of λ ο / 4 own.

Ein Vergleich der Spektralkurvo des erfindungsgemäßen dielektrischen Langpaßf'ilter nach dem Stand der Technik macht denA comparison of the spectral curve of the prior art dielectric longpass filter of the present invention does

durch die Erfindung erzielten Effekt deutlich.Clearly achieved by the invention effect.

Gegenüber dem Langpaßfilter mit nur 17 Interferenzschichten (vgl. Fig. 1) zeigt der erfindungsgemäße dielektrischeCompared to the long-pass filter with only 17 interference layers (see Fig. 1) shows the dielectric according to the invention

Langpaßfilter einen um 37% breiteren Sperrbereich und eine größere Kantensteilheit bei gleichguten TransmissionswertenLong pass filter a 37% wider stopband and a greater edge steepness with equally good transmission values

>95% im Durchlaßbereich in Nähe der Spektralkante.> 95% in the passband near the spectral edge.

Um eine 10% höhere Transmission im Durchlaßbereich in Nähe der Spektralkante bei gleichguter Steilheit der Spektralkante und gleicher maximaler Breite des Sperrbereiches zeichnet sich das erfindungsgemäße dielektrische Langpaßfilter gegenüber dem aus 25 Interferenzschichten aufgebauten Langpaßfilter (vgl. Fig. 2) aus.To a 10% higher transmission in the passband in the vicinity of the spectral edge at the same steepness of the spectral edge and the same maximum width of the stopband, the dielectric long-pass filter according to the invention is distinguished from the constructed from 25 interference layers long-pass filter (see Fig. 2).

Claims (1)

Dielektrischer Langpaßfilter für den nahen ultravioletten und sichtbaren Spektralbereich, bestehend aus einem transparenten Träger und einem darauf angeordneten System von mindestens 25 abwechselnd hoch- und niedrigbrechenden nichtmetallischen Interferenzschichten, bei dem die erste, an den Träger angrenzende und die letzte, das Wechselschichtsystem zum Umgebungsmedium hin abschließende Interferenzschicht jeweils eine hochbrechende Schicht ist, deren optische Dicke jeweils halb so groß ist wie die optischen Dicken der dazwischenliegenden Interferenzschichten, wobei die spektrale Lage des Wechselschichtsystems durch eine Schwerpunktwellenlänge K0 charakterisiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Wechselschichtsystem aus zwei Wechselschichtgruppen aufgebaut ist, von denen die trägernahe erste Wechselschichtgruppe 13 oder 15 Interferenzschichten umfaßt und daß ihre erste Interferenzschicht gegenüber der letzten Interferenzschicht der zweiten Wechselschichtgruppe sowie ihre weiteren 12 oder 14 Interferenzschichten gegenüber den verbleibenden, λο/4 dicken Interferenzschichten der zweiten Wechselschichtgruppe jeweils eine um einen gleichen Faktor α im Bereich von 0,88 bis 0,94 geringere optische Dicke aufweisen.Dielectric long-pass filter for the near ultraviolet and visible spectral region, consisting of a transparent support and a system arranged thereon of at least 25 alternately high and low refractive non-metallic interference layers, in which the first, adjacent to the carrier and the last, the alternating layer system towards the surrounding medium final Interference layer is in each case a high-index layer whose optical thickness is in each case half as large as the optical thicknesses of the intermediate interference layers, wherein the spectral position of the alternating layer system is characterized by a centroid wavelength K 0, characterized in that the alternating layer system is composed of two alternating layer groups of in which the first interchangeable layer group close to the carrier comprises 13 or 15 interference layers and that their first interference layer is opposite to the last interference layer of the second interlayer group and their e further 12 or 14 interference layers with respect to the remaining, λ ο / 4 thick interference layers of the second alternating layer group each have a smaller by an equal factor α in the range of 0.88 to 0.94 optical thickness. Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5850309A (en) * 1996-03-27 1998-12-15 Nikon Corporation Mirror for high-intensity ultraviolet light beam

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