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US4911616A
(en)
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Micro miniature implantable pump
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US4849071A
(en)
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Method of forming a sealed diaphragm on a substrate
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EP0134614A1
(en)
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Piezo-electrical micropump
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US5786235A
(en)
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Process for depositing a surface-wide layer through a mask and optionally closing said mask
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JP5743478B2
(ja)
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気体感応型の半導体装置
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JP2011080996A5
(xx)
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DE3834189C1
(de)
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Nicht-elektrochemische Herstellung von chemisch selektiven Schichten in Feldeffekttransistoren mit frei hängendem Gate
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EP0341964B1
(en)
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Silicon micro sensor and manufacturing method therefor
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US6420272B1
(en)
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Method for removal of hard mask used to define noble metal electrode
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DE69618917D1
(de)
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Sensor und Herstellunsgverfahren dazu
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CN1027519C
(zh)
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一种硅膜压阻压力传感器的制造方法及其传感器
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DE10023872C1
(de)
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Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Schichten mit Perforation
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DE27798C
(de)
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Anordnung der Sticknadeln für Fadenwechsel an Stickmaschinen
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AT241536B
(de)
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Verfahren zum Herstellen von Bedampfungsoberflächen
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DE19608370A1
(de)
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Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Kanäle mit Anschluß an die Umgebungsatmosphäre
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FR2934683B1
(fr)
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Capteur biologique a transistor a effet de champ.
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DD27798A
(xx)
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