DD258058A1

DD258058A1 - METHOD FOR DETERMINING THE POSITION AND / OR ESTABLISHMENT AND DIMENSION OF OPTICALLY EFFECTIVE STRUCTURES

Info

Publication number: DD258058A1
Application number: DD30018087A
Authority: DD
Inventors: Ralf Christoph; Helmut Kramer; Klaus-Juergen Walluks
Original assignee: Univ Schiller Jena
Priority date: 1987-02-25
Filing date: 1987-02-25
Publication date: 1988-07-06

Abstract

Die Erfindung betrifft die Bestimmung der Lage bzw. der Abmessungen optisch wirksamer Strukturen unter Verwendung einer Fotoempfaengeranordnung, auf die die Struktur abgebildet wird. Ein Anwendungsgebiet ist z. B. die Strukturbreitenmessung bei Mustern fuer integrierte Schaltungen. Eine das Rastermass der Fotoempfaengeranordnung unterschreitende Aufloesung bei der Messung wird mit relativ geringem technischen Aufwand dadurch erreicht, dass am Ausgang der relativ zum strukturierten Messobjekt bewegten Fotoempfaengeranordnung eine Komparatorschaltung mit Empfaengerzaehler angeordnet ist und ein Wegmesssystem zur Bestimmung der Aenderung der Relativlage zwischen Messobjekt und Fotoempfaengeranordnung eingesetzt ist. Als Wegmesssystem kann ein Einzelempfaenger der Fotoempfaengeranordnung dienen, auf welchem ein zur Messanordnung gehoerendes Kantenbild abgebildet ist.The invention relates to the determination of the position or the dimensions of optically active structures using a photodetector arrangement, on which the structure is imaged. One application is z. For example, the pattern width measurement in patterns for integrated circuits. A resolution below the grid size of the photoreceptor arrangement is achieved with relatively little technical outlay by arranging a comparator circuit with receiver counter at the output of the photoreceiver arrangement moved relative to the structured object to be measured and using a displacement measuring system for determining the change in the relative position between the test object and photoreceiver arrangement , The path measuring system can be a single receiver of the photoreceptor arrangement, on which an edge image belonging to the measuring arrangement is imaged.

Description

Hierzu 2 Seite ZeichnungenFor this 2 page drawings

Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Lage bzw. der Abmessungen optisch wirksamer Strukturen unter Verwendung von Fotoempfängeranordnungen. Mit Fotoempfängeranordnungen sind hier alle zeilen-und matrixförmig aufgebauten fotoelektrischen Empfänger (z. B. CCD-Zeilen) bezeichnet.The invention relates to a device and a method for determining the position or the dimensions of optically active structures using photoreceiver arrangements. With photoreceiver arrangements, all line and matrix-shaped photoelectric receivers (eg CCD lines) are designated here.

Anwendungsgebiete der Einrichtung und des Verfahrens sind die Lage- und/oder die Abmessungsbestimmungen von ' strichförmigen oder räumlich ausgedehnten optisch wirksamen Strukturen bzw. Meßobjekten, ζ. B. die Strukturbreitenmessung bei Mustern für integrierte Schaltungen.Areas of application of the device and of the method are the positional and / or dimensional determinations of line-shaped or spatially extended optically active structures or test objects, ζ. For example, pattern width measurement in integrated circuit patterns.

-2- 258 Charakteristik des bekannten Standes der Technik-2- 258 characteristic of the known prior art

Es sind Verfahren und Einrichtungen bekannt, bei denen durch Unterscheidung beleuchteter und unbeleuchteter Empfänger mittels Komparator (Binärbildverarbeitung) die Abmessungen von hellen oder dunklen Strukturen oder die Lage von HeII-Dunkel-Übergängen ermittelt werden (CH 643060, DD 203628). Die Auflösung solcher Verfahren und Einrichtungen ist durch das Rastermaß der Fotoempfängeranordnung (z. B. Einzelempfängermittenabstand) begrenzt. Eine darüber hinausgehende Auflösung wird durch Verfahren und Einrichtungen erreicht, bei denen Grauwertverarbeitung durchgeführt wird. Hier wird die Strukturlage oder Abmessung aus den Empfängersignalen mittels Interpolationsverfahren (DE 2436510) oder integralen Verfahren (DD 201 500, DD 217621) bestimmt. Der Nachteil solcher Verfahren und Einrichtungen besteht darin, daß zur Gewinnung der Strukturlage oder-abmessung eine Rechnerauswertung mit vorhergehender Analog-Digital-Wandlung der Empfängersignale oder eine geeignete Kombination analog-rechnender Bauelemente (z. B. Integratoren DD 217 621) notwendig ist. Diese beiden Möglichkeiten sind mit einem relativ großen Aufwand verbunden.Methods and devices are known in which the dimensions of light or dark structures or the position of light-dark transitions are determined by differentiating illuminated and unlit receivers by means of a comparator (binary image processing) (CH 643060, DD 203628). The resolution of such methods and devices is limited by the pitch of the photoreceiver assembly (eg, single receiver center distance). Further resolution is achieved by methods and devices that perform gray level processing. Here, the structure layer or dimension is determined from the receiver signals by means of interpolation method (DE 2436510) or integral method (DD 201 500, DD 217621). The disadvantage of such methods and devices is that a computer evaluation with previous analog-to-digital conversion of the receiver signals or a suitable combination of analog-computing components (eg integrators DD 217 621) is necessary to obtain the structure layer or dimension. These two options are associated with a relatively large effort.

Object of the invention

. Das Ziel der Erfindung besteht darin, bei der Lage und Abmessungsbestimmung eine das Rastermaß der Fotoempfängeranordnung unterschreitende Auflösung mit geringerem Aufwand als bei bekannten technischen Lösungen zu realisieren., The aim of the invention is to realize the position and dimension determination a the pitch of the photoreceptor arrangement below resolution with less effort than in known technical solutions.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Lage und/oder Abmessungen optisch wirksamer Strukturen zu realisieren, ohne daß eine Analog-Digital-Wandlung und Rechnerauswertung oder eine spezielle aufwendige Analogelektronik zur Auswertung benötigt werden.The invention has for its object to provide a device and a method for determining the position and / or dimensions of optically active structures without an analog-to-digital conversion and computer evaluation or a special complex analog electronics are needed for evaluation.

Erfindungsgemäß besteht die Einrichtung aus einer Fotoempfängeranordnung, auf die die zu vermessende optisch wirksame Struktur abgebildet wird, einem Wegmeßsystem zur Bestimmung der Änderung der Relativlage zwischen Meßobjekt und Fotoempfängeranordnung und einer Komparatorsehaltung mit Empfängerzähler zur Auswertung der Empfängersignale der Fotoempfängeranordnung. Die Messung der Relativlage zwischen Meßobjekt und Fotoempfängeranordnung kann mit einem separaten hochauflösenden Wegmeßsystem ausgeführt werden (z. B. Laser-Längenme'ßsystem, inkrementales Wegmeßsystem), oder es wird die Fotoempfängeranordnung selbst als hochauflösendes Wegmeßsystem eingesetzt. Hierbei wird die Ausgangsamplitude eines festgelegten Einzelempfängers ausgewertet. Diese ist ein Maß für die Relativlage, wenn auf diesen Empfänger ein zusätzliches Kantenbild abgebildet wird, das die gleiche Relativbewegung zur Fotoempfängeranordnung ausführt, wie die zu vermessende Struktur. Das heißt, wenn die Empfängeranordnung feststeht und das Meßobjekt bewegt wird, ist diese Kante mit dem Meßobjekt zu bewegen. Wird dagegen mit feststehendem Meßpbjekt gearbeitet und die Relativbewegung wird durch die Empfängeranordnung realisiert, soist dafür eine feststehende Kante zu verwenden.According to the invention, the device consists of a photoreceptor arrangement, onto which the optically active structure to be measured is imaged, a position measuring system for determining the change in the relative position between the object to be measured and the photoreceiver arrangement and a comparator attitude with receiver counter for evaluating the receiver signals of the photoreceiver arrangement. The measurement of the relative position between the object of measurement and the photoreceiver arrangement can be carried out with a separate high-resolution position measuring system (eg laser length measuring system, incremental position measuring system), or the photoreceiver arrangement itself is used as a high-resolution position measuring system. Here, the output amplitude of a specified individual receiver is evaluated. This is a measure of the relative position when an additional edge image is displayed on this receiver, which performs the same relative movement to the photoreceptor arrangement, as the structure to be measured. That is, when the receiver assembly is fixed and the DUT is moved, this edge is to move with the DUT. If, however, worked with a fixed Meßpbjekt and the relative movement is realized by the receiver assembly, so it is to use a fixed edge.

Wenn eine hinreichend konstante Relativgeschwindigkeit zwischen Objekt und Empfängeranordnung vorliegt, ist es weiterhin möglich, die Wegmessung in eine Zeitmessung zu überführen. Deshalb kann anstelle eines Wegmeßsystems auch eine übliche Zeitmeßeinrichtung eingesetzt werden, zur Zeitmessung kann außerdem ein Zähler verwendet werden, der die Auslesungen der Fotoempfängeranordnung zählt. Dies ist z. B. dann möglich, wenn die Zeitabstände zwischen den Auslesungen gleichabständig oder bekannt sind.If there is a sufficiently constant relative speed between the object and the receiver arrangement, it is also possible to convert the distance measurement into a time measurement. Therefore, instead of a distance measuring system, a conventional time measuring device can also be used; for the time measurement a counter can also be used which counts the readings of the photoreceiver arrangement. This is z. B. possible if the time intervals between the readings are gleichabständig or known.

Die Fotoempfänger-Ausgangssignale werden einer Komparatorsehaltung mit gekoppeltem Empfängerzähler zur Auswertung zugeführt. Als Komparator kann z.B. ein Fensterkomparator oder ein Schwellwertkomparator.mit Nachfolgelogik zum EinsatzThe photoreceiver output signals are fed to a comparator with coupled receiver counter for evaluation. As a comparator, e.g. a window comparator or a threshold comparator with follow-up logic is used

kommen. , „come. , "

Das erfindungsgemäße Verfahren dient der Bestimmung der Lage und/oder der Abmessungen optisch wirksamer Strukturen mit Hilfe einer Fotoempfängeranordnung, die mit einer Komparatorsehaltung, einem Einzelempfängerzähler und einer Wegmeßeinrichtung gekoppelt ist.The method according to the invention serves to determine the position and / or the dimensions of optically active structures with the aid of a photoreceptor arrangement which is coupled to a comparator attitude, a single receiver counter and a displacement measuring device.

Wenn ein Fensterkomparator eingesetzt wird, erfolgt die Meßwertgewinnung nachfolgendem Prinzip:If a window comparator is used, the measured value is obtained according to the following principle:

Während der Relativbewegung zwischen Empfängeranordnung und Meßobjekt liefert der Fensterkomparator dann einen Impuls, wenn der Amplitudenwert an einer Kante im Komparator-Intervail liegt (z. B. 2. Auslesung und 4. Auslesung in Fig. 1). Bei gleichzeitiger Zählung der Empfängernummern, bei denen ein Komparatorimpuls auftritt, erhält man zunächst für Lage oder Abmessungen ganzzahlige Werte in Einzelempfänger-Mittenabständen. Außerdem wird die Wegdifferenz (Δζ in Fig. 1) zwischen den Auslesungen, bei denen die den beiden Objektkanten entsprechenden Komparatorimpulse auftreten, gemessen.During the relative movement between the receiver array and the DUT, the window comparator then provides a pulse when the amplitude value is at an edge in the comparator intervail (eg, 2nd read and 4th read in Fig. 1). When simultaneously counting the receiver numbers at which a comparator pulse occurs, one obtains first integer values for position or dimensions in individual receiver center distances. In addition, the path difference (Δζ in Fig. 1) is measured between the readings at which the comparator pulses corresponding to the two object edges occur.

Aus dieser Wegdifferenz kann nun auf einen Korrekturwert geschlossen werden, der eine Interpolation der Objektabmessung oder der Objektlage innerhalb der ganzzahligen Einzelempfänger-Mittenabstände gestattet. In Abhängigkeit von der Zuordnung..From this path difference can now be closed to a correction value that allows interpolation of the object dimension or the object position within the integer individual receiver center distances. Depending on the assignment ..

des ersten Komparator-Impulseszur positiven Objektkante (Dunkel-Hell-Übergang) oder negativen Objektkante (Hell-Dunkel-of the first comparator pulse to the positive object edge (dark-light transition) or negative object edge (light-dark

Übergang) wird der Interpolations-Korrekturwert zum ganzzahligen Wert positiv oder negativ addiert.Transition), the interpolation correction value is added to the integer value positive or negative.

Anstelle des Fensterkomparators kann auch ein einfacher Schwellwertkomparator eingesetzt werden. Ein Einzelempfängerzähler registriert die durch Schwellwertvergleich gewonnenen Empfängernummern der beiden Kanten oder die Empfängernummer-Differenz. Tritt von Auslesung zu Auslesung eine Ergebnisänderung auf (z.B. bei der 2. Auslesung in Fig. 1), wird der zur Interpolation verwendete Impuls ausgelöst.Instead of the window comparator, a simple threshold comparator can also be used. A single receiver counter registers the receiver numbers of the two edges obtained by threshold comparison or the receiver number difference. If a change in result occurs from read to read (for example, in the second read in Fig. 1), the pulse used for interpolation is triggered.

Das Verfahren beinhaltet außerdem die Möglichkeit, bei hinreichend konstanter Relativgeschwindigkeit zwischen Meßobjekt und Fotoempfängeranordnung die Wegmessung durch eine Messung der Zeitdifferenz zwischen den Komparatorimpulsen unter Berücksichtigung der Relativgeschwindigkeit zu realisieren.The method also includes the possibility to realize the path measurement by measuring the time difference between the comparator pulses taking into account the relative speed with a sufficiently constant relative speed between the object to be measured and the photoreceiver arrangement.

Bei einer weiteren Verfahrensvariante wird ein zum Meßobjekt feststehender Kantenübergang auf den Fotoempfänger abgebildet und aus der Amplitudenänderung des durch den Kantenübergang beeinflußten Einzelempfängers die Information zur Wegmessung gewonnen.In a further variant of the method, an edge transition fixed to the measurement object is imaged onto the photoreceiver and the information for the distance measurement is obtained from the amplitude change of the individual receiver influenced by the edge transition.

embodiment

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die dazugehörigen Zeichnungen zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. The accompanying drawings show:

Fig. I: Prinzip des Verfahrens zur Bestimmung der Lagen und/oder Abmessungen optisch wirksamer Strukturen; Fig. II: Einrichtung zur Realisierung des Verfahrens unter Verwendung einer Zeitmeßeinrichtung; Fig. Ill: Einrichtung zur Realisierung des Verfahrens unter Verwendung eines Einzelempfängers zur Wegmessung.Fig. I: Principle of the method for determining the positions and / or dimensions of optically active structures; Fig. II: means for implementing the method using a time measuring device; Fig. Ill: Device for implementing the method using a single receiver for path measurement.

In Fig. I ist das Prinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Die nachfolgend gemachten Ausführungen beziehen sich auf Fig.it und Fig. III.In Fig. I, the principle of the method according to the invention is shown. The statements made below refer to Fig.it and Fig. III.

Auf einer CCD-Zeile (1) wird ein relativ zur Zeile bewegtes Objekt abgebildet. Hierbei können technologisch vorhandene Bewegungen (Fließband) ausgenutzt werden. Zum Erreichen einer maximal möglichen Auflösungssteigerung müssen die bei der Auslesung der Zeile auftretenden Einzelempfängersignale einer Hellsignalkorrektur (2) unterzogen werden.On a CCD line (1), an object moving relative to the line is imaged. Technologically available movements (assembly line) can be exploited here. To achieve a maximum possible increase in resolution, the individual receiver signals occurring during the reading of the line must be subjected to a brightness signal correction (2).

Die technischen Möglichkeiten hierfür werden als bekannt vorausgesetzt.The technical possibilities for this are assumed to be known.

Das so aufbereitete Videosignal wird einem Komparator (3) zugeführt. Der daraus abgeleitete Komparatorimpuls liefert zunächst einen ganzzahligen Wert für die Breite des abgebildeten Objektes. Während weiterer Auslesungen wird aus der Änderung der Komparatorinformation ein Korrekturwert zur Interpolation, der einen Wert kleiner ein Einzelempfänger darstellt, gewonnen (Fig. I). Mit dessen Hilfe kann dann der vollständige (endgültige) .Meßwert ermittelt werden.The thus prepared video signal is fed to a comparator (3). The derived comparator pulse initially provides an integer value for the width of the imaged object. During further readings, a correction value for interpolation representing a value smaller than a single receiver is obtained from the change of the comparator information (FIG. 1). With this help, the complete (final) measured value can be determined.

Für den Komparator (3) sollen hier zwei mögliche Realisierungsformen beschrieben werden.For the comparator (3), two possible forms of realization are described here.

a) Fensterkomparator aus zwei UND-verknüpften Komparatoren mit unterschiedlichem Schwellwerta) Window comparator of two AND-linked comparators with different threshold

Der ganzzahlige Teil der Messung kann hier gewonnen werden, indem die in einem der beiden Einzelkomparatorintervalle, die bei jeder Auslesung auftreten, liegenden Einzelempfänger ausgezählt werden. Weiterhin wird vom Fensterkomparator beim Auftreten eines, in einem bestimmten Intervall liegenden Amplitudenwertes ein weiterer Impuls erzeugt. Dabei treterr die zur positiven und negativen.Kante gehörenden Fensterkomparatorimpulse in der Regel nicht während ein und derselben Auslesung auf.The integer part of the measurement can be obtained here by counting the individual receivers lying in one of the two individual comparator intervals occurring at each read. Furthermore, the window comparator generates a further pulse when an amplitude value occurring at a certain interval occurs. As a rule, the window comparator pulses belonging to the positive and negative edge do not occur during one and the same reading.

b) Schwellwertkomparator mit Nachfolgelogikb) Threshold comparator with follow-up logic

Auch hier kann der ganzzahlige Teil der Messung durch Auszählung der Anzahl der im Komparatorintervall liegenden Einzelempfänger ermittelt werden. Die Nachfolgelogik erfaßt eine Änderung der Lage der Komparatorflanken bezüglich der Pixelnummern im Vergleich zur vorherigen Auslesung der CCD-Zeile, was dem Auftreten von Fensterkomparatorimpulsen • entspricht. . . . Again, the integer part of the measurement can be determined by counting the number of individual receivers lying in the comparator interval. The follow-up logic detects a change in the position of the comparator edges with respect to the pixel numbers in comparison to the previous reading of the CCD line, which corresponds to the occurrence of window comparator pulses. , , ,

Zu dem im Zähler (5) eingetragenen, ganzzahligen Wert wird im Verlaufe der weiteren Auslesungen der Korrekturwert zur Interpolation durch Vor- oder Rückwärtszählen positiv oder negativ addiert. Wichtig hierbei ist, daß die den Korrekturwert beschreibenden Zählimpulse dem Zähler (5) mit einer um den Faktor der Auflösungssteigerung niedrigeren Wichtung zugeführt werden müssen als die Zählimpulse zur Ermittlung des ganzzahligen Wertes.In the course of the further readings, the correction value for the interpolation by counting up or down is added positively or negatively to the integer value entered in the counter (5). It is important here that the counting pulses describing the correction value must be supplied to the counter (5) with a weighting which is lower by the factor of the increase in resolution than the counting pulses for determining the integer value.

Das kann zum Beispiel realisiert werden, indem man die Zählimpulse für ganzzahligen Wert und Korrekturwert verschiedenen Stufen eines Asynchronzählers zuführt.This can be realized, for example, by supplying the counts for integer value and correction value to different stages of an asynchronous counter.

Für die Gewinnung der den Korrekturwert zur Interpolation beschreibenden Zählimpulse sollen hier zwei mögliche Realisierungsformen beschrieben werden.For the acquisition of the correction value for interpolation descriptive counting pulses will be described here two possible implementation forms.

f. Bei bekannterund hinreichend konstanter Relativgeschwindigkeit zwischen Objekt und Sensor kann die Wegmessung auf eine Zeitmessung zurückgeführt werden (Fig. II). Als Zeitbasis dient hierbei der zur Ansteuerung der CCD-Zeile (1) verwendete Taktgenerator (4).f. With a known and sufficiently constant relative speed between the object and the sensor, the displacement measurement can be traced back to a time measurement (FIG. II). The time base used here is the clock generator (4) used to control the CCD line (1).

Das geschieht, indem die Anzahl der Auslesungen bestimmt wird, die zwischen dem Auftreten eines, in einem bestimmten Intervall liegenden Amplitudenwertes (Fensterkomparatorimpuls) in der positiven und negativen Flanke der abgebildeten Struktur liegt. Der nach dem Auftreten der beiden zur positiven und negativen Flanke gehörenden Fensterkomparatorimpulse erreichte Zählerstand bezeichnet den endgültigen Meßwert der gemessenen Strukturbreite und kann direkt der Anzeigeeinheit (6) zugeführt werden.This is done by determining the number of readings that lie between the occurrence of an amplitude value (window comparator pulse) in a certain interval in the positive and negative flank of the imaged structure. The count reached after the occurrence of the two window comparator pulses belonging to the positive and negative flank denotes the final measured value of the measured structure width and can be fed directly to the display unit (6).

2. Bei nicht bekannter bzw. nicht hinreichend konstanter Relativgeschwindigkeit kann ein nicht zur abgebildeten Struktur gehörender Einzelempfänger der CCD-Zeile zur Wegmessung herangezogen werden (Fig. III). Zu diesem Zweck wird eine relativ zum Meßobjekt ruhende Kante möglichst scharf auf diesen bekannten Einzelempfänger abgebildet. Bei einer Relativbewegung von CCD-Zeile und Meßobjekt ergeben sich im beschriebenen Einzelempfänger Amplitudenschwankungen. Es ist die Amplitudenschwankung zwischen dem Auftreten zweier Fensterkomparatorimpulse zu bestimmen. Diese Impulse, die zur positiven und negativen Flanke der abgebildeten Struktur gehören, treten in der Regel nicht während derselben Auslesung auf. Die ermittelte Amplitudenschwankung bezeichnet den Korrekturwert zur Interpolation.2. If the relative velocity is not known or not sufficiently constant, a single receiver of the CCD line not belonging to the illustrated structure can be used for measuring the distance (FIG. III). For this purpose, an edge resting relative to the measurement object is imaged as sharply as possible on this known individual receiver. In a relative movement of CCD line and object to be measured in the described individual receiver amplitude fluctuations. It is to determine the amplitude fluctuation between the occurrence of two window comparator pulses. These pulses, which belong to the positive and negative flank of the imaged structure, usually do not appear during the same read. The determined amplitude fluctuation denotes the correction value for interpolation.

Dieser kann nach a-d-Wandlung (7) dem Zähler, in dem der ganzzahlige Wert zur—wie unter 1. beschrieben — positiven oder negativen Addition zugeführt werden. Für den ADU (7) genügen hierbei Konversionszeiten in der Größenordnung der Bildwiederholzeit. . This can after a-d conversion (7) the counter, in which the integer value to-as described in 1. described - positive or negative addition are fed. For the ADU (7), conversion times of the order of the image repetition time suffice. ,

Claims

1. Device for determining the position and / or dimensions of optically active structures of a photoreceptor arrangement imaged and moved relative to this structured object to be measured; characterized in that a comparator circuit with receiver counter at the output of the photoreceiver assembly and a measuring system for determining the change in the relative position between the object to be measured and photoreceptor arrangement are used.

2. Device according to claim 1; characterized in that a single receiver of the photoreceiver arrangement is used as a high-resolution measuring system, soften a belonging to the measuring arrangement fixed edge image with moving receiver assembly or moving at object speed edge image is shown with moving object to be measured and the output amplitude serves as a measure of the relative position.

3. Device according to claim 1; characterized in that a time measuring device is used as a measuring system at a sufficiently constant relative speed between the object and the receiver arrangement.

4. Device according to claim 3; characterized in that the time measurement is realized by a counter of the readouts of the photoreceiver arrangement.

5. Device according to claims 1-4; characterized in that a window comparator is used as comparator.

6. Device according to claims 1-4; characterized in that a threshold value comparator with successor logic is used as the comparator.

7. Method for determining the position and / or dimensions of optically active structures of a structured measurement object imaged on a photoreceptor arrangement and moved relative thereto; characterized in that the distance traveled distance between the successive by relative movement between the object to be measured and photoreceiver arrangement and repeated reading of the photoreceiver assembly, the object edges pulses of a window comparator is determined, and hereby a corrector value for interpolating the object dimensions or location within the determined by the Komparatorentscheide and Einzelempfängerzählung integer values in individual receiver center distances.

8. The method of claim 7; characterized in that the pulses corresponding to the object edges are obtained by a simple threshold comparison and subsequent determination of a change in the result of the values of the individual receiver counter which follow each other from read-out to read-out.

9. The method according to claim 7 and 8; characterized in that at sufficiently constant relative speed between the object to be measured and photoreceiver arrangement, the distance measurement is realized by measuring the time difference between the comparator pulses and taking into account the relative speed.

10. The method according to claim 7 and 8; characterized in that the displacement measurement is realized by evaluating the change in amplitude of an individual receiver which is influenced by an edge transition fixed to the test object.

11. The method according to claim 7-10; characterized in that depending on the assignment of the first occurring comparator pulse to the positive or negative object edge of the corrector value for interpolation to the integer value is positively or negatively added.