DD255246A3

DD255246A3 - Process for heat treatment of semi-finished optical glass and annealing furnace

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Publication number: DD255246A3
Authority: DD
Publication date: 1988-03-30

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Waermebehandlung von Halbzeugen aus optischem Glas, speziell fuer fotolithographische Optik und einen dafuer geeigneten Temperofen. Ziel ist, fotolithographische Optik mit verbesserter Abbildungsguete herzustellen und einen Temperofen zu konstruieren, der es gestattet, solche optischen Halbzeuge mit einer Brechzahlhomogenitaet von kleiner gleich 0,310 5 und einer Spannungsdoppelbrechung von kleiner gleich 2 nm/cm herzustellen. Dies wird erreicht durch einen elektrisch beheizten Hubherdofen, in dem die Heissgasstroeme so um und durch den Ofenraum gefuehrt werden, dass Temperaturinhomogenitaeten im Ofenraum auf ein Mindestmass reduziert werden und durch drehbare Einsaetze im Ofenraum, die das Tempergut aufnehmen und mittels zentralsymmetrischer, kombiniert zentral- und nicht zentralsymmetrischer oder mehrdimensionaler Bewegung des Tempergutes die restlichen Temperaturinhomogenitaeten unwirksam machen. Die Erfindung kann zum Kuehlen fuer alle Arten von Glaserzeugnissen, Keramiken, metallurgischen und mikroelektronischen Erzeugnissen verwendet werden. Fig. 1The invention relates to a method for heat treatment of semi-finished optical glass, especially for photolithographic optics and a suitable tempering furnace. The aim is to produce photolithographic optics with improved imaging properties and to construct a tempering furnace which makes it possible to produce such optical semifinished products with a refractive index homogeneity of less than or equal to 0.310 5 and a stress birefringence of less than or equal to 2 nm / cm. This is achieved by an electrically heated Hubherdofen, in which the Heissgasstroeme are guided around and through the furnace chamber, that Temperaturinhomogenitaeten be reduced in the oven space to a minimum and by rotatable inserts in the furnace chamber, which absorb the temperate and by means of centrally symmetric, combined central and not center-symmetric or multi-dimensional movement of the tempering make the remaining temperature inhomogeneities ineffective. The invention can be used for cooling for all types of glassware, ceramics, metallurgical and microelectronic products. Fig. 1

Description

Hierzu 5 Seiten ZeichnungenFor this 5 pages drawings

Field of application of the invention

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbzeugen aus optischem Glas und einen Temperofen in Form eines Hubherdofens mit beweglicher Gutunterlage, mittelbarer elektrischer Widerstandsbeheizung und zwangsweiser Luftumwälzung zur Wärmebehandlung von Glaserzeugnissen, die zur Erreichung vorbestimmter Eigenschaften ein spezielles Temperatur-Zeit-Programm durchlaufen müssen, wie es z. B. bei Halbzeugen aus optischem Glas, vorzugsweise für fotolithographische Optik hoher Ausbildungsgüte erforderlich ist.The present invention relates to a method for heat treatment of semi-finished optical glass and a tempering furnace in the form of Hubherdofens with movable Gutunterlage, indirect electrical resistance heating and forced air circulation for heat treatment of glass products that must undergo a specific temperature-time program to achieve predetermined properties, as it is z. B. in semi-finished optical glass, preferably for photolithographic optics high education quality is required.

Characteristic of the known technical solutions

Die Abbildungsgüte fotolithographischer Optik wird wesentlich bestimmt durch die Brechzahlhomogenität und die Spannungsdoppelbrechung in nm/cm.The imaging quality of photolithographic optics is essentially determined by the refractive index homogeneity and the stress birefringence in nm / cm.

Die Spannungsdoppelbrechung eines optischen Glases, z. B. einer Rundscheibe, hängt von dessen Abmessungen, wie dem Durchmesser und der Dicke von den thermischen Werkstoffeigenschaften, wie dem Ausdehnungskoeffizienten und der Temperaturleitfähigkeit λ, vom Betrag der Temperaturänderungsgeschwindigkeit K/h im Temperbereich und letztlich von der Temperaturhomogenität im Beschickungsraum des Temperofens ab.The stress birefringence of an optical glass, e.g. B. a circular disk depends on its dimensions, such as the diameter and the thickness of the thermal material properties, such as the expansion coefficient and the thermal diffusivity λ, the amount of temperature change rate K / h in the annealing and ultimately the temperature homogeneity in the feed space of the annealing furnace.

Bei einem gegebenen wärmezubehandelnden Objekt aus optischem Glas sind nur zwei Einflußgrößen veränderbar, nämlich die Temperaturänderungsgeschwindigkeit in K/h und die Temperaturhomogenität im Beschickungsraum des Temperofens. Bei sehr kleinen Spannungsdoppelbrechungswerten kleiner 2 nm/cm wird die Temperaturhomogenität des Temperofens von entscheidendem Einfluß, d. h. sie ist ausschlaggebend dafür, welche minimale Spannungsdoppelbrechung erreicht werden kann.For a given heat-treated object made of optical glass, only two influencing variables are changeable, namely the temperature change rate in K / h and the temperature homogeneity in the charging chamber of the tempering furnace. For very small stress birefringence values of less than 2 nm / cm, the temperature homogeneity of the tempering furnace is of decisive influence, i. H. It is decisive for the minimum stress birefringence that can be achieved.

Außer der Spannungsdoppelbrechung hat auf die Qualität der Halbzeuge von optischen Gläsern, speziell für fotolithographische Optik, die Brechzahlhomogenität Einfluß. Ausgehend von einem optimalen Kühlregime (Geschwindigkeitskühlverfahren) ist die erreichbare Brechzahlhomogenität des wärmezubehandelnden optischen Glases nur noch abhängig von der Temperaturhomogenität im Beschickungsraum des Temperofens und ihrer Konstanz im Kühltemperaturbereich. Die Temperaturhomogenität im Beschickungsraum und ihre Konstanz im Kühltemperaturbereich sind also von ausschlaggebender Bedeutung für die weitere Steigerung der Qualität optischer Erzeugnisse.Apart from stress birefringence, the quality of the semifinished products of optical glasses, especially for photolithographic optics, has an influence on the refractive index homogeneity. Starting from an optimal cooling regime (velocity cooling method), the achievable refractive index homogeneity of the heat-treated optical glass is only dependent on the temperature homogeneity in the charging chamber of the tempering furnace and its constancy in the cooling temperature range. The temperature homogeneity in the feed space and its constancy in the cooling temperature range are therefore of decisive importance for the further increase in the quality of optical products.

Um die Temperaturhomogenität zu verbessern wurde z. B. im DD-WP 159769 ein elektrisch beheizter Kammerofen zur Wärmebehandlung von Glaserzeugnissen vorgeschlagen, bei dem die räumliche Temperaturhomogenität im Beschickungsraum dadurch erhöht wird, daß die Luftumwälzung aus einem dreiteiligen horizontal und vertikal vermaschten Luftführungssystem mit Mischstellen besteht, wobei innerhalb der dreiteiligen horizontal und vertikal vermaschten Systeme der Luftstrom in eine Vielzahl kleiner Luftströme aufgeteilt wird und diese in den Mischstellen homogen vermischt werden. Die Luft wird dabei im Parallelstrom geführt, wobei das Zusammen- und Auseinanderführen der einzelnen Teilströme in kleine Volumenströme sich als besonders schwierig erweist, weil die Teilstrecken der Luftführungskanäle unterschiedlich lang sind und damit sich unterschiedliche Luftwiderstände ergeben. Die Einstellung eines solchen Systems ist schwierig und es lassen sich damit Temperaturdifferenzen im Gesamtsystem nur bis zu einer Genauigkeit von ±0,5 K erreichen. Außerdem tritt im Ofenraum unterhalb der Lochplatte ein Temperaturabfall auf, der durch die direkte Absaugung der Luft aus dem Ofenraum bedingt ist.To improve the temperature homogeneity was z. For example, in DD-WP 159769 an electrically heated chamber furnace for heat treatment of glass products proposed in which the spatial temperature homogeneity in the feed space is increased by the fact that the air circulation consists of a three-piece horizontally and vertically meshed air duct system with mixing points, within the three-part horizontally and vertically Meshed systems, the air flow is divided into a variety of small air streams and these are homogeneously mixed in the mixing points. The air is thereby guided in parallel flow, wherein the merging and separating of the individual partial flows into small volume flows proves to be particularly difficult, because the sections of the air ducts are different lengths and thus result in different air resistance. The adjustment of such a system is difficult and it can thus achieve temperature differences in the overall system only to an accuracy of ± 0.5 K. In addition, occurs in the furnace chamber below the perforated plate to a temperature drop, which is due to the direct extraction of air from the furnace chamber.

Zwar wird mit diesem Kammerofen eine ausgezeichnete Präzisionskühlung erreicht, die in ihm verbleibenden geringen Temperaturinhomogenitäten lassen es jedoch nicht zu, die Qualität von fotolithographischer Optik entscheidend zu steigern. Kritisch ist also die Schaffung einer nahezu absoluten Temperaturhomogenität des Luftstromes im Beschickungsraum und die Beibehaltung ihrer Konstanz im Kühltemperaturbereich über eine bestimmte Zeitdauer, um spannungsfreies Glas hoher Brechzahlhomogenität zu erhalten.Although excellent chamber cooling is achieved with this chamber furnace, the low temperature inhomogeneities remaining in it do not allow the quality of photolithographic optics to be decisively increased. So critical is the creation of an almost absolute temperature homogeneity of the air flow in the feed space and the maintenance of their constancy in the cooling temperature range over a certain period of time to obtain stress-free glass high refractive index homogeneity.

Schon das Vorhandensein geringster Temperaturgradienten innerhalb eines als Parallelstrom geführten Luftstromes und deren Einwirkung auf das Tempergut (auch seitlich oder quer zu den Hauptflächen des Körpers) bewirken eine Störung des natürlichen Temperaturprofiles im Glas, was dazu führt, daß unterschiedliche Spannungszonen und damit höhere und unregelmäßige Spannungsdoppelbrechung hervorgerufen und die Brechzahlhomogenität über den gesamten Körper ungleichmäßig wird. Auf Grund der Ausführung des Luftumwälzsystems in einem solchen Temperofen können Temperaturungleichmäßigkeiten innerhalb des Luftstromes und am zu kühlenden optischen Körper entstehen, die zwischen 0,2 Kund 0,5 K über eine Entfernung von nur 1cm betragen können. Derartige Temperaturungleichmäßigkeiten beeinträchtigen die herzustellenden fotolithographischen Optiken in ihrer Qualität erheblich.Even the presence of very low temperature gradients within a parallel flow air stream and their action on the material to be tempered (also laterally or transversely to the main surfaces of the body) cause a disturbance of the natural temperature profile in the glass, which leads to different stress zones and thus higher and irregular stress birefringence caused and the refractive homogeneity over the entire body is uneven. Due to the design of the air recirculation system in such a tempering furnace, temperature nonuniformities can arise within the air stream and the optical body to be cooled, which can be between 0.2 and 0.5 K over a distance of only 1 cm. Such temperature irregularities significantly affect the quality of the produced photolithographic optics.

Die direkte Beobachtung einer Anordnung nach DD-WP 159769 hat gezeigt, daß die Temperaturungleichmäßigkeiten auf die Art der Luftzuführung, auf die Art der Ansaugung von Kalt- und Heißgasluft über den Lüfter, auf die Strömungs- und Druckverhältnisse im Ofenraum sowie auf die sich ausbildende horizontal und vertikal verlaufenden Temperaturgefälle zurückzuführen sind.The direct observation of an arrangement according to DD-WP 159769 has shown that the temperature irregularities on the type of air supply, on the type of suction of cold and hot gas over the fan, on the flow and pressure conditions in the furnace chamber and on the forming horizontal and vertical temperature gradient.

Es wurde nun angenommen, daß diese negativen Einflüsse bis zur Bedeutungslosigkeit reduziert werden können, wenn die optischen Glaskörper im Ofenraum bewegt werden. Eine derartige Bewegung müßte bewirken, daß alle Punkte in dem optischen Glaskörper den vorhandenen kleinen und kleinsten Temperaturungleichmäßigkeiten im Ofenraum ausgesetzt werden. Die Bewegung der optischen Glaskörper müßte so gewählt werden, daß alle Punkte in diesen Körpern nur eine kurze Zeitdauer jeder vorhandenen Temperaturungleichmäßigkeit im Ofenraum ausgesetzt sind. Damit würde jede Temperaturungleichmäßigkeit, die ein solcher optischer Glaskörper erfährt, nur eine sehr schwache Spannung im Glas und damit nur eine sehr geringe Spannungsdoppelbrechung verursachen. Die Brechzahlhomogenität müßte zunehmen. Ferner lag die Überlegung zugrunde, daß die Einwirkung von vielen zufälligen Temperaturungleichmäßigkeiten im Ofenraum auf die optischen Glaskörper über einen sehr kurzen Zeitraum die Wirkung erzielen müßte, das jede Temperaturungleichmäßigkeit oder jedes vorhandene Temperaturgefälle gleich welcher Richtung durch eine entgegengesetzt wirkende Temperaturungleichmäßigkeit oder Temperaturgefälle im zeitlichen Mittel aufgehoben wird, d. h. daß sich keine Spannungen im optischen Glaskörper aufbauen können, wodurch ein absolut homogener Glaskörper entstehen müßte. Die Spannungsdoppelbrechung müßte demnach so klein werden, und eine so hohe Brechzahlhomogenität resultieren, daß die nach einem solchen Verfahren hergestellten fotolithographischen Optiken durch höchste Abbildungsgüte ausgezeichnet sind.It has now been assumed that these negative influences can be reduced to insignificance when the optical glass bodies are moved in the furnace chamber. Such movement would have to cause all points in the glass optical body to be exposed to the small and minute temperature irregularities present in the oven cavity. The movement of the optical glass body would have to be chosen so that all points in these bodies are exposed only a short period of time to any existing temperature nonuniformity in the furnace chamber. Thus, any temperature nonuniformity experienced by such an optical glass body would only cause a very weak stress in the glass and thus only a very low stress birefringence. The refractive index homogeneity would have to increase. Further, it was considered that the effect of many random temperature nonuniformities in the oven space on the optical glass bodies for a very short period of time would have the effect of canceling any temperature unevenness or any temperature gradient in any direction by an opposing temperature unevenness or temperature gradient over the course of time is, d. H. that no stresses can build up in the optical glass body, whereby an absolutely homogeneous glass body would have to arise. Accordingly, the stress birefringence would have to become so small and such a high refractive index homogeneity would result that the photolithographic optics produced by such a process are characterized by the highest imaging quality.

DieTempirung von Halbzeugen für fotolithographische Optiken verläuft in der Regel in einem Temperaturprozeß, bei dem Temperaturen von ca. 20°C bis zu ca. 650⁰C in einem bestimmten Zeitraum durchlaufen werden. Die Übertragung einer Bewegung auf die zu tempernden optischen Glaskörper bei diesen Temperaturverläufen erfordert notwendigerweise eine recht komplizierte mechanische Bewegung, die wiederum eine genaue Kenntnis über das gegenseitige Zusammenwirken, den Eingriff und die Wechselwirkungen der mechanischen Teile in Verbindung zum Ofenaufbau und den dabei auftretenden Materialspannungen und Verwerfungen erfordert.The tempering of semi-finished products for photolithographic optics generally proceeds in a temperature process in which temperatures of about 20 ° C to about 650 ⁰ C in a certain period of time are passed. The transmission of a movement to the optical glass body to be tempered at these temperature gradients necessarily requires a rather complicated mechanical movement, which in turn requires a precise knowledge of the mutual interaction, engagement and interactions of the mechanical parts in connection with the furnace structure and the material stresses and distortions occurring requires.

Die unterschiedlichen hohen Temperaturen, die in einem solchen Ofen herrschen, können Wärmedehnungen und somit Verwerfungen der zum Einsatz gelangenden Werkstoffe und damit auch der zur mechanischen Bewegung verwendeten Elemente bewirken, den genauen Eingriff der Bauelemente und deren gegenseitige Ausrichtung und ihre Wechselwirkung zueinander verhindern und somit Störungen im mechanischen Ablauf verursachen und so eine Temperung der optischen Körper mit höchster Präzision verhindern. Um die Temperaturhomogenität im Ofenraum zu verbessern bzw. die im Ofenraum auftretenden Temperaturinhomogenitäten in ihrer Wirkung gegenüber einem Glühgut herabzusetzen, ist im Buch von J. HenriThe different high temperatures prevailing in such an oven can cause thermal expansions and thus distortions of the materials used and thus also the elements used for mechanical movement, prevent the precise engagement of the components and their mutual alignment and their interaction with each other and thus disturbances cause in the mechanical process and thus prevent annealing of the optical body with the highest precision. In order to improve the temperature homogeneity in the furnace chamber or reduce the temperature inhomogeneities occurring in the furnace chamber in their effect against a Glühgut is in the book of J. Henri

Brunklaus „Industrieöfen, Bau und Betrieb", 4. Auflage, Vulkan Verlag Essen, S. 512 ein Ofen mit mechanischer Drehung eines Ofenwagens und die Beheizung des Wärmegutes in einem Luftstrom beschrieben. Der Transportwagen ist dabei hängend angeordnet und wird gedreht, die Beheizung verläuft im Querstrom und die Lufterhitzer sind direkt neben dem Ofenraum angeordnet. Durch seine Konstruktion werden Temperaturungleichmäßigkeiten und Temperaturgefälle im Ofenraum nicht beseitigt bzw. auf ein Mindestmaß herabgesetzt. Für die Temperung von Halbzeugen für fotolithographische Optik ist er ungeeignet.Brunklaus "Industrieöfen, Bau und Betrieb", 4th edition, Vulkan Verlag Essen, p.512 describes a kiln with mechanical rotation of a kiln car and the heating of the heat in an air stream The transport trolley is arranged hanging and is rotated, the heating proceeds In the cross-flow and the air heaters are arranged directly adjacent to the furnace chamber.The construction of the same, temperature inequalities and temperature gradient in the furnace chamber is not eliminated or minimized.It is unsuitable for the tempering of semi-finished products for photolithographic optics.

Eine Verbesserung der Temperaturhomogenität scheint auch der im gleichen Buch aus S. 673, Bild 620 aufgezeigte Schaukefbfen mit unmittelbarer Beheizung durch Gasbrenner zu bringen, bei dem das Gut nach dem Prinzip des Riesenrades um eine Achse gedreht wird und dabei die bestehenden Temperaturinhomogenitäten im Ofenraum teilweise ausgleicht. Eine Präzisionskühlung ist allein durch die Verwendung von Gasbrennern nicht möglich. Die erreichbare Genauigkeit der Temperaturkonstanz im Ofenraum ist nicht bekannt.An improvement in the temperature homogeneity seems to be shown in the same book from p. 673, picture 620 Schaukefbfen with direct heating by gas burner, in which the good is rotated on the principle of the Ferris wheel around an axis and thereby partially compensates for the existing temperature inhomogeneities in the furnace room , Precision cooling is not possible by the use of gas burners alone. The achievable accuracy of the temperature stability in the furnace chamber is not known.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist deshalb, ein Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbzeugen aus optischem Glas, vorwiegend für fotolithographische Optiken zu schaffen, das gestattet, diese mit verbesserter Abbildungsgüte herzustellen und einen Temperofen dafür zu entwickeln.The aim of the invention is therefore to provide a method for heat treatment of optical glass semi-finished products, mainly for photolithographic optics, which allows to produce these with improved imaging quality and to develop a tempering furnace for it.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Tempern von Halbzeugen aus optischem Glas, speziell für fotolithographische Optiken zu entwickeln, das gestattet, solche Halbzeuge mit einer Brechzahlhomogenität von kleiner gleich 0,3 · 10~⁵ und einer Spannungsdoppelbrechung von kleiner gleich 2nm/cm herzustellen und einen Temperofen mit einem Einsatz und Vorrichtungen zur Übertragung einer Bewegung auf die auf dem Einsatz liegenden Halbzeuge für fotolithographische Optiken, die durch ein Temperregime getempert werden, zu schaffen, der eine minimale Temperaturinhomogenität durch Reduzierung der im Ofenraum vorhandenen Temperaturgefälle aufweist, dessen Einsatz entsprechend der unterschiedlich zu behandelnden optischen Halbzeuge veränderbar ist und in dem die Wirkung der in einem solchen Temperofen verbleibenden Temperaturinhomogenitäten auf das wärmezubehandelnde Gut so auf ein Mindestmaß reduziert ist, daß die Brechzahlhomogenität von kleiner gleich 0,3 · 10"⁵ und eine Spannungsdoppeibrechung von kleiner gleich 2nm/cm erreicht wird. Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß ein Verfahren vorgeschlagen, das die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 genannten Merkmale aufweist. Weiterhin wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die erfindungsgemäß die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 4 genannten Merkmale aufweist. Das Verfahren zum Tempern von Halbzeugen aus optischem Glas sieht danach im wesentlichen vor, daß in einem temperaturgeregelten Einkreisstrom Luft als Heißgas oder mit Kühlluft vorgemischt über einen, um einen stehenden zylindrischen Ofen raum konzentrisch angeordneten Zuführungskanal axial in einen Heißgaslüfter strömt, durch diesen verwirbelt und weitergemischt in einen horizontal über dem Ofenraum angeordneten Umwälzraum gedrückt wird und von vertikal in Richtung zum Ofenraumboden über Zuführungskanäle, die über dem Ofenraumboden in den Ofenraum münden, diesem zugeführt werden, der Luftstrom den Ofenraum vertikal in Richtung Heißgaslüfter durchströmt und dabei durch drehbare Einsätze horizontal zentralsymmetrisch oder kombiniert zentral- und nicht zentralsymmetrisch oder mehrdimensional abgelenkt wird und dabei an das sich bewegende Beschicküngsgut Wärme abgibt, anschließend der Luftstrom durch eine Lochplatte gerichtet über einen horizontalen Raum vertikal in Abführungskanälen zum Ofenboden verlaufend über einen Doppelboden unter dem Ofenraum, den Ofenraumboden umspült und danach vertikal in Richtung der Heiz-Kühlsysteme umgelenkt durch Abführungskanäle unter Abzweigung eines Teiles des Luftstromes als Abluft, den Heiz-Kühlsystemen zugeführt, aufgeheizt oder erneut mit Kaltluft vorgemischt über den Heißgaslüfter wieder in den Ofenraum gedruckt wird. Dabei wird zweckmäßigerweise die zuzuführende Kaltluft in eine Vielzahl von Einzelströmen aufgeteilt und dem aus den Heiz-Kühlsystemen kommenden Heißgasstrom direkt zugeführt, um bereits vor dem Heizgaslüfter eine Vormischung des kalten Luftstromes mit dem Heißgasstrom zu erreichen. Die Zuführungsgasströme zum Ofenraum und die Abführungsgasströme aus dem Ofenraum sind dabei vorteilhafterweise axial um den gesamten Ofenraumumfang abwechselnd nebeneinanderliegend in vertikaler Richtung geführt. Dadurch wird der Ausbildung von Temperaturgradienten in radialer horizontaler Richtung in den Ofenraum hinein entgegengewirkt.The invention has for its object to provide a method for annealing of semi-finished optical glass, especially to develop photolithographic optical systems, which permits such semi-finished products with a refractive index homogeneity of less or equal to 0.3 x 10 ~ ⁵ and a strain birefringence of less than or equal to 2 nm / cm and to provide a tempering furnace with an insert and means for transmitting a motion to the on-the-insert semi-finished products for photolithographic optics annealed by an annealing regime having minimal temperature inhomogeneity by reducing the temperature gradient present in the furnace space, its use can be varied according to the optical semi-finished products to be treated differently and in which the effect of the temperature inhomogeneities remaining in such a tempering oven on the material to be heat-treated is reduced to a minimum such that the refractive index homogeneity is less than or equal to 0.3 × 10 -5 ". ⁵ and a Spannungsdoppeibrechung equal to 2nm / cm is achieved. To solve this problem, a method is proposed according to the invention, which has the features mentioned in the characterizing part of claim 1. Furthermore, a device is proposed, which according to the invention has the features mentioned in the characterizing part of claim 4. The method for annealing semi-finished optical glass thereafter essentially provides that in a temperature-controlled Einkreisstrom air as hot gas or pre-mixed with cooling air over a concentrically arranged around a cylindrical furnace feed channel flows axially into a hot gas fan, swirled through this and further mixed is pressed into a horizontally arranged above the furnace chamber recirculation space and from vertical in the direction of the furnace chamber floor via supply channels that open above the furnace chamber floor in the furnace chamber, this supplied, the air stream flows through the furnace chamber vertically towards hot gas fan and thereby horizontally symmetrically by rotatable inserts or combined is deflected centrally and not centrally symmetrical or multi-dimensionally and gives off heat to the moving Beschicküngsgut, then the air flow through a perforated plate directed vertically over a horizontal space in discharge ducts to the oven floor running over a raised floor under the oven chamber, the furnace chamber floor and then vertically deflected in the direction of the heating-cooling systems through discharge channels with diversion of a portion of the air stream as exhaust air, fed to the heating-cooling systems, heated or re-mixed with cold air over the Hot gas fan is printed again in the oven room. In this case, the cold air to be supplied is expediently divided into a plurality of individual streams and fed directly to the hot gas stream coming from the heating / cooling systems in order to achieve premixing of the cold air stream with the hot gas stream before the heating gas fan. The Zuführungsgasströme to the furnace chamber and the Abführungsgasströme from the furnace chamber are advantageously guided axially adjacent to the entire furnace chamber circumference alternately adjacent to each other in the vertical direction. As a result, the formation of temperature gradients in the radial horizontal direction into the furnace chamber is counteracted.

Der Temperofen, als eine mögliche Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, besteht aus einem elektrisch beheizten Hubherdofen, wobei der Heißgaslüfter ansaugseitig in einen Vormischofen, wobei der Heißgaslüfter ansaugseitig in einen Vormischraum und druckseitig in einen Umwälzraum hineinragt. Der Umwälzraum ist vom Ofenraum durch eine massive teildemontierbare, isolierte Zwischendecke getrennt. Vom Umwälzraum verlaufen zum Ofenraumboden vertikal angeordnete Zuführungskanäle, die abwechselnd mit Abführungskanälen axial nebeneinanderliegend um den Ofenraum angeordnet sind. Durch diese Anordnung wird unterhalb des Lochbleches im Ofenraum ein .Temperaturabfall durch direkte Luftansaugung aus dem Ofenraum heraus vermieden. Durch den Ofenraumboden ist vertikal eine Zentralwelle geführt, auf die auswechselbare Einsätze je nach zu tempernden Sortiment befestigt werden können. Der Ofenraum ist zur Zwischendecke durch ein Lochblech abgedeckt, das mit der Zwischendecke einen horizontal über dem Ofenraum liegenden Raum bildet, der in die vertikal verlaufenden Abführungskanäle übergeht. Diese sind bis unter den Ofenraumboden bis zur Zentralwelle geführt und bilden durch eine 180° Umlenkung einen Doppelboden. Sie enden in Heizkanälen mit auswechselbaren Heiz-Kühlsystemen, wobei die Heiz-Kühlsysteme oberhalb des Ofenraumes angeordnet sind, um schädliche Wärmeabstrahlung in den .Ofenraum hinein so weit wie möglich zu vermeiden.The annealing furnace, as a possible device for carrying out the method, consists of an electrically heated Hubherdofen, wherein the hot gas fan on the suction side in a premix oven, wherein the hot gas fan protrudes on the suction side in a premixing chamber and the pressure side in a circulation space. The circulation room is separated from the oven room by a massive, partially removable, insulated false ceiling. From the circulation space extending to the furnace chamber floor vertically arranged feed channels, which are arranged alternately with discharge channels axially adjacent to each other around the furnace chamber. By this arrangement, a .Temperaturabfall is avoided by direct air intake out of the oven chamber below the perforated plate in the oven chamber. Through the furnace chamber floor, a central shaft is guided vertically, can be attached to the interchangeable inserts depending on the range to be tempered. The furnace space is covered to the false ceiling by a perforated plate, which forms a horizontally above the furnace chamber space with the false ceiling, which merges into the vertically extending discharge channels. These are led to below the furnace chamber floor to the central shaft and form by a 180 ° deflection a raised floor. They end in heating channels with interchangeable heating-cooling systems, wherein the heating-cooling systems are arranged above the furnace chamber in order to avoid harmful heat radiation into the .Ofenraum as far as possible.

Zusammengefaßt schafft die Erfindung also ein Verfahren zum Beheizen eines Ofenraumes, das während des gesamten Wärmebehandlungszyklus im Ofenraum ein hohes Maß an Temperaturgleichverteilung ermöglicht und eine Vorrichtung, die es gestattet, die Temperaturinhomogenitäten durch ihre Konstruktion im Ofenraum sehr gering zu halten und die noch verbleibenden Inhomogenitäten durch drehbare Einsätze in ihrer Wirkung auf das wärmezubehandelnde Gut weiter einzuschränken.In summary, the invention thus provides a method for heating a furnace chamber, which allows a high degree of temperature uniformity throughout the heat treatment cycle in the furnace chamber and a device that allows to keep the temperature inhomogeneities by their construction in the furnace chamber very low and the remaining inhomogeneities Rotary inserts in their effect on the heat-treated Good further restrict.

Die Erfindung ist im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Zeichnungen näher beschrieben.The invention is described below with reference to embodiments in conjunction with the drawings.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1: einen Ofenlängsschnitt mit einem radial drehbaren Einsatz für horizontale Durchströmungsrichtung des Gasstromes und1 shows a furnace longitudinal section with a radially rotatable insert for horizontal flow direction of the gas stream and

zentralsymmetrischer Bewegung des Tempergutes; Fig.2: einen Ofenquerschnitt gemäß Fig. 1 im Schnitt A-A; Fig. 3: einen Ofenlängs-und-querschnitt mit einem drehbaren Einsatz für vertikale Durchströmungsrichtung des GasstromesCentrally symmetrical movement of the tempering material; 2 shows a furnace cross-section according to FIG. 1 in section A-A; FIG. Fig. 3: a furnace longitudinal and cross-section with a rotatable insert for vertical flow direction of the gas stream

und zentralsymmetrischer Bewegung des Tempergutes; Fig. 4: einen Ofenlängs- und -querschnitt mit einem radial drehbaren Einsatz für vertikale Durchströmungsrichtung des Gasstromes und kombiniert horizontal zentralsymmetrischer und nicht zentralsymmetrischer Bewegung desand centrically symmetrical movement of the tempering material; Fig. 4: a furnace longitudinal and cross-section with a radially rotatable insert for vertical flow direction of the gas stream and combined horizontally symmetrical and not centrally symmetric movement of the

Tempergutes; Fig. 5: einen OfenlängstJjnd-querschnitt mit einem radial drehbaren Einsatz für vertikale Durchströmungsrichtung des Gasstromes und mehrdimensionaler Bewegung des Tempergutes.Tempergutes; 5 shows a furnace longitudinal cross-section with a radially rotatable insert for the vertical direction of flow of the gas stream and multidimensional movement of the tempering material.

Eine Scheibe aus titanhaltigem Silikatglas mit einem Durchmesser von 150 mm und einer Dicke von 30 mm, die nach einer normalen Kühlung in einem Haubenkühlofen eine Brechzahlhomogenität von 4 χ 10~⁵ aufwies, wurde nach dem erfindungsgemäßen Verfahren einer Präzisionskühlung im erfindungsgemäßen Temperofen unter zentralsymmetrischer Drehung im Ofenraum 144h bei einer Kühlgeschwindigkeit von 0,83 K/h unterzogen. Die danach erhaltene Brechzahlhomogenität betrug 2 x 10""⁶.Having a disc made of titanium-containing silicate glass having a diameter of 150 mm and a thickness of 30 mm, according to a normal cooling in a hood lehr χ a refractive index homogeneity of 4 10 ~ ^5, was prepared by the method of the invention a precision cooling in the inventive annealing under centrosymmetrical rotation Furnace space 144h at a cooling rate of 0.83 K / h subjected. The refractive index homogeneity obtained thereafter was 2 x 10 "^'6.

Eine Scheibe aus titanhaltigem Silikatglas mit einem Durchmesser von 150 mm und einer Dicke von 30 mm, die nach normaler Kühlung in einem Haubenkühlofen eine Spannungsdoppelbrechung von 6nm/cm, gemessen im Abstand von 10% des Durchmessers vom Rand der Scheibe, aufwies, wurde nach dem erfindungsgemäßen Verfahren einer Präzisionskühlung im erfindungsgemäßen Temperofen unter zentralsymmetrischer Drehung im Ofenraum 144h bei einer Kühlgeschwindigkeit von 0,83 K/h unterzogen. Die danach erhaltene Spannungsdoppelbrechung betrug 2nm/cm bei einer Rotationssymmetrie der Spannungsdoppelbrechung über den Umfang der Scheibe von 20%.A disk of titaniferous silicate glass with a diameter of 150 mm and a thickness of 30 mm, which after normal cooling in a hood cooling furnace had a stress birefringence of 6 nm / cm, measured at a distance of 10% of the diameter from the edge of the disk, was inventive method of precision cooling in the annealing furnace according to the invention under central symmetric rotation in the furnace chamber 144h at a cooling rate of 0.83 K / h subjected. The stress birefringence obtained thereafter was 2 nm / cm with a rotational symmetry of stress birefringence over the circumference of the disk of 20%.

Bei einer Präzisionskühlung unter zentralsymmetrischer und nicht zentralsymmetrischer Drehung des Tempergutes im Ofenraum bei gleicher Kühlgeschwindigkeit wird eine Rotationssymmetrie der Spannungsdoppelbrechung über den Umfang der Scheibe von 10% erreicht.In the case of precision cooling with centrically symmetrical and non-centrally symmetrical rotation of the material to be tempered in the furnace chamber at the same cooling speed, a rotational symmetry of the stress birefringence over the circumference of the disk of 10% is achieved.

Wird die Präzisionskühlung erfindungsgemäß unter einer mehrdimensionalen Bewegung des Tempergutes im Ofenraum durchgeführt, so beträgt die Rotationssymmetrie der Spannungsdoppelbrechung über den Umfang der Scheibe 5-10%. Nach der Erfindung ist derTemperofen als elektrisch beheizter Hubherdofen ausgeführt. Er besteht aus einer feststehenden, auf Stützen gelagerten beheizten Ofenhaube 0 und einem vertikal in und aus dieser Ofenhaube 0 bewegbaren Hubherd mit einem Zentralantrieb 51 für die auf einer Zentralwelle 9 angeordneten drehbaren Einsätze 11.If the precision cooling is carried out according to the invention under a multi-dimensional movement of the tempering material in the furnace chamber, then the rotational symmetry of the stress birefringence over the circumference of the disk is 5-10%. According to the invention, the annealing furnace is designed as an electrically heated Hubherdofen. It consists of a fixed, mounted on supports heated furnace hood 0 and a vertical in and out of this furnace hood 0 movable Hubherd with a central drive 51 for the arranged on a central shaft 9 rotatable inserts 11th

Die Ofenhaube 0 besteht gemäß Fig. 1 aus einem am Ofenhaubendeckel angeordneten Heißgaslüfter 1, mit einem unterhalb des Ofenhaubendeckels aber oberhalb des Heißgaslüfterrades angeordneten Vormischraum 2, einem in Austrittsöffnung des Heißgaslüfterrades angeordneten Umwälzraum 3, der yom Ofenraum 4 durch eine horizontal verlaufende, isolierte Zwischendecke 5 abgetrennt ist. Der Umwälzraum 3 besitzt vertikal, um den Ofenraum 4 radial angeordnete, zum Ofenraumboden 8 verlaufende Zuführungskanäle 6 und Abführungskanäle 7, die abwechselnd nebeneinander liegen. Durch den Ofenraumboden 8 ist eine Zentralwelle 9 mit einem Flansch 10 zur Aufnahme von auswechselbaren Einsätzen 11 gemäß Fig. 1-5 hindurchgeführt. Der Ofenraum 4 besitzt unterhalb der Zwischendecke 5 ein Lochblech 12, das mit der Zwischendecke 5 einen horizontal liegenden Raum 13 bildet. Die Abführungskanäle 7 bilden im Ofenraumboden 8 einen als Umlenkung ausgebildeten Doppelboden 14 mit an diesen anschließenden Heizkanälen 15, die radial das System von Zuführungskanälen 6 und Abführungskanälen 7 umschließen. Jedem Heizkanal 15 ist ein Heiz-Kühlsystem 16 in Höhe des Heißgaslüfters 1 zugeordnet. In Höhe des Vormischraumes 2 sind durch die Ofenhaube 0 radial horizontal Kaltluft-Zuführungskanäle 18 geführt, die in eine Vielzahl von Einzelkanälen 19 aufgeteilt sind und oberhalb der Heizspiralen 20 im Heiz-Kühlsystem 16 horizontal bis an den Vormischraum 2 verlaufen. Der Ofenraumboden 8 besitzt für den Heißgasstrom lösbare Umlenkvorrichtungen 21 mit Leitblechen 22.According to FIG. 1, the furnace hood 0 consists of a hot gas ventilator 1 arranged at the top of the oven hood, but above the hot gas ventilating wheel 2, a circulation space 3 arranged in the outlet opening of the hot gas ventilating wheel, which is separated from the furnace space 4 by a horizontally extending, insulated false ceiling 5 is separated. The circulation chamber 3 has vertical, to the furnace chamber 4 radially arranged, the furnace chamber floor 8 extending supply channels 6 and discharge channels 7, which are adjacent to each other. Through the furnace chamber floor 8, a central shaft 9 is passed with a flange 10 for receiving replaceable inserts 11 as shown in FIG. 1-5. The furnace chamber 4 has below the false ceiling 5, a perforated plate 12, which forms a horizontal space 13 with the false ceiling 5. The discharge channels 7 form in the furnace chamber floor 8 designed as a deflection double bottom 14 with adjoining these heating channels 15, which radially surround the system of supply channels 6 and 7 discharge channels. Each heating channel 15 is assigned a heating-cooling system 16 in the amount of the hot gas fan 1. At the level of the premixing chamber 2, radially horizontal cold air supply channels 18 are guided through the furnace hood 0, which are divided into a multiplicity of individual channels 19 and run horizontally up to the premixing chamber 2 above the heating coils 20 in the heating / cooling system 16. The furnace chamber bottom 8 has detachable deflection devices 21 with guide plates 22 for the hot gas flow.

Gemäß Fig. 1 und 2 besteht der drehbare Einsatz 11 aus einem quadratischen Kastenrahmen 23 horizontal und auf diesem fest angeordnet einem rechteckigen Kastenrahmen 24 vertikal, dem übereinanderliegend einschiebbare quadratische Paletten 25 zugeordnet sind. Die Paletten 25 besitzen an ihrer Unterseite Strömungsrichtbleche 26, die von Palette zu Palette jeweils um versetzt angeordnet sind.According to Fig. 1 and 2, the rotatable insert 11 of a square box frame 23 horizontally and on this fixedly arranged a rectangular box frame 24 vertically, the superimposed retractable square pallets 25 are assigned. The pallets 25 have on their underside flow straightening plates 26, which are arranged offset from pallet to pallet in each case.

Am Kastenrahmen 24 sind zwischen seinen Eckpfeilern 27 Leitblechsysteme 28 mit Leitblechen unterschiedlicher Länge angeordnet, wobei die sich gegenüberliegenden Leitblechsysteme 28 um 180° gedreht angeordnet sind. Die Einlaßöffnungen der Leitblechsysteme 28 fluchten mit den Auslaßöffnungen der Umlenkvorrichtungen 21 am Ofenraumboden 8. An einer der Seiten des Kastenrahmens 24 ist das Le it blech system 28 als türartige Baueinheit an einem der Eckpfeiler 27 schwenkbar angelenkt und durch eine Keilverbindung am zugeordneten Eckpfeiler 27 verschließbar.On the box frame 24 baffle systems 28 are arranged with baffles of different lengths between its corner pillars 28, wherein the opposing baffle systems 28 are arranged rotated by 180 °. On one of the sides of the box frame 24, the Le it is sheet metal system 28 pivotally articulated as a door-like unit to one of the corner pillars 27 and 27 closed by a splined connection to the associated corner pillars 27.

Die Zentralwelle 9 wird vom Zentralantrieb 51 angetrieben. Der Zentralantrieb 51 besteht aus einem Lagergehäuse mit einer Hohlwelle 52, an die ein Luftzuführungsrohrfür die Luftkühlung 53 angeschlossen ist. Gegen den oberen Teil der Hohlwelle 52 im Ofenraumboden 8 ist der untere luftgekühlte Teil durch eine Platte 56 abgeschlossen. Diese Platte 56 besitzt Austrittsöffnungen 54für die Kühlluft. Oberhalb der Platte 56 ist um die Austrittsöffnung der Hohlwelle 52 aus dem Ofenraumboden 8 eine Ringkammer 55 angeordnet, die einen Druckluftanschluß besitzt. Das Lagergehäuse mit der Hohlwelle 52 als oberer Teil der Hohlwelle 52 ist isoliert.The central shaft 9 is driven by the central drive 51. The central drive 51 consists of a bearing housing with a hollow shaft 52, to which an air supply pipe for the air cooling 53 is connected. Against the upper part of the hollow shaft 52 in the furnace chamber floor 8, the lower air-cooled part is closed by a plate 56. This plate 56 has outlet openings 54 for the cooling air. Above the plate 56, an annular chamber 55 is arranged around the outlet opening of the hollow shaft 52 from the furnace chamber floor 8, which has a compressed air connection. The bearing housing with the hollow shaft 52 as the upper part of the hollow shaft 52 is insulated.

Gemäß Fig. 3 ist der drehbare Einsatz 11 als kreisförmiges Rahmengestell 30 ausgebildet, dem kreisringsegmentartige Palettenböden 31 mit Öffnungen zur vertikalen Durchströmung des Heißgases zugeordnet sind.According to Fig. 3, the rotatable insert 11 is formed as a circular frame 30, the circular ring segment-like pallet plates 31 are associated with openings for vertical flow of the hot gas.

In Fig. 4 besteht der drehbare Einsatz 11 aus einer vertikalen Zentralwelle 9, die durch einen Flansch mit dem Flansch 10 verbunden ist. Die Zentralwelle 9 besitzt sternförmig ausgebildete horizontal fest an ihr angeordnete Ausleger 33 in ihrem oberen und unteren Teil. Zwischen den einzelnen oberen und unteren Armen der Ausleger 33 befinden sich stapeiförmig übereinander angeordnete Kassetten 32, die sich in einem runden Rahmengestell 34 befinden. Das Rahmengestell 34 ist am Ende des jeweiligen Armes des oberen und unteren Auslegers 33 drehbar gelagert. Unterhalb des unteren Auslegers 33 befindet sich an einer Welle 36 des jeweiligen Rahmengestells 34 ein Treibrad 37, dem ein feststehender Zahnkranz 38 zugeordnet ist. Der Zahnkranz 38 ist am Ofenraumboden 8 lösbar angeordnet.In Fig. 4, the rotatable insert 11 consists of a vertical central shaft 9, which is connected by a flange to the flange 10. The central shaft 9 has a star-shaped horizontally fixed to her arranged boom 33 in its upper and lower part. Between the individual upper and lower arms of the boom 33 are stacked one above the other arranged cassettes 32, which are located in a round frame 34. The frame 34 is rotatably supported at the end of the respective arm of the upper and lower arms 33. Below the lower boom 33 is located on a shaft 36 of the respective frame 34, a drive wheel 37, which is associated with a fixed sprocket 38. The ring gear 38 is detachably arranged on the furnace chamber floor 8.

Gemäß Fig. 5 besteht der drehbare Einsatz 11 aus einer vertikalen Zentralwelle 9, die als Gabel 40 ausgeführt ist.'ln den Schenkeln der Gabel 40 ist horizontal eine Welle 41 mit sternförmig in zwei Ebenen an ihrem Umfang fest angeordneten Armen 42 drehbar gelagert.According to Fig. 5, the rotatable insert 11 consists of a vertical central shaft 9, which is designed as a fork 40.'ln the legs of the fork 40 is horizontally mounted a shaft 41 with star-shaped in two planes at its periphery fixed arms 42 rotatably.

Zwischen den einzelnen Armen 42 der zwei Ebenen sind gondeiförmige, ein- oder mehretagige Paletten 43 fest auf Achsen angeordnet. Die Achsen besitzen Lagerzapfen 44, die in Lagern am Ende der Arme 42 drehbar gehaltert sind. Am Ofenraumboden 8 ist ein feststehender Zahnkranz 45 für Triebstockverzahnung lösbar angeordnet, der ein Zwischenzahnrad 46, das in der GabelBetween the individual arms 42 of the two levels, gondola-shaped, single or multi-ply pallets 43 are fixedly arranged on axles. The axles have trunnions 44 which are rotatably supported in bearings at the end of the arms 42. At the furnace chamber floor 8, a fixed sprocket 45 for rack and pinion teeth is detachably arranged, the intermediate gear 46, which in the fork

40 drehbar gelagert ist, zugeordnet ist. Das Zwischenzahnrad 46 steht mit einem Zahnrad 47, das fest auf der horizontalen Welle40 is rotatably mounted, is assigned. The intermediate gear 46 is connected to a gear 47 fixed on the horizontal shaft

41 angeordnet ist, in Eingriff. Zwischen den Schenkeln der Gabel 40 und den sternförmigen Armen 42 ist auf der Welle 41 ein weiteres Zahnrad 48 befestigt, daß in ein in den Armen 42 gelagertes drehbares Zwischenzahnrad 49 eingreift. Dieses steht wiederum mit einem fest auf der Achse der Paletten 42 angeordneten Zahnrad 50 im Eingriff.41 is arranged, in engagement. Between the legs of the fork 40 and the star-shaped arms 42, a further gear 48 is mounted on the shaft 41, that engages in a mounted in the arms 42 rotatable intermediate gear 49. This is in turn with a fixedly arranged on the axis of the pallets 42 gear 50 in engagement.

Claims

1. A method for heat treatment of semi-finished optical glass in a rotationally symmetrical furnace chamber in which heated gas by convection emits heat to them and arranged around the furnace chamber recirculation systems, which supply the convection gas to the furnace chamber and remove it, characterized in that in injected a hot gas and cooling air premixed the hot gas fan, pushed through this further mixed into a circulation chamber and fed via feed channels on the furnace chamber floor the furnace chamber in the furnace chamber, the vertical flow direction of the gas stream is deflected multi-dimensionally by a rotatable insert, then the gas flow is directed over a perforated plate vertically to the furnace chamber floor running, the furnace chamber is washed around and danaeh vertically deflected in the direction of heating-cooling systems upwards dur Ch discharge channels supplied to the heating-cooling systems, heated or pre-mixed with cold air through the hot gas fan is forced back into the forced circulation.

2. The method according to claim 1, characterized in that in the furnace chamber, the vertical flow direction of the gas stream is deflected by a rotary insert horizontally center-symmetrically.

3. The method according to claim 1, characterized in that combined in the furnace chamber, the vertical flow direction of the gas flow through a rotatable insert is centrally and not centrally symmetrically deflected.

4. The method according to claim 1 to 3, characterized in that the feed gas flows to the furnace chamber and the Abführungsgasströme from the furnace chamber axially around the furnace chamber alternately adjacent to each other are guided vertically.

5. annealing furnace for heat treatment of semi-finished optical glass consisting of a Hubherd and a furnace hood, according to claims 1-3, characterized in that the hot gas fan (1) ansaügseitig in a premixing chamber (2) and the pressure side in a recirculation space

(3) protrudes, the circulation space (3) is separated from the furnace chamber (4) by a massive, partially removable, insulated false ceiling (5), the circulation space (3) vertical to the bottom of the furnace chamber

(4) extending supply channels (6), which are arranged alternately with discharge channels (7) axially and alternately adjacent to the furnace chamber (4) through the furnace chamber bottom (8) vertically a central shaft (9) with a flange (10) is guided on which a replaceable insert (11) is fixed, the oven compartment (4) is covered towards the false ceiling (5) by a perforated plate (12) forming, with the false ceiling (5), a horizontal space (13), the vertical discharge ducts (7), which are guided to below the furnace chamber bottom (8) and to the central shaft (9), there form a double bottom (14) by a 180 ° deflection and in heating channels (15) with interchangeable heating-cooling systems (17) ends, wherein the heating-cooling systems (17) above the furnace chamber (4) are arranged.

6. tempering furnace according to claim 4, characterized in that the cold air supply channel (18) has a plurality of individual channels (19) which are designed as venturi tubes, and the individual channels (19) above the heating coils (20) of the heating-cooling systems ( 17) are passed horizontally through this.

7. annealing furnace according to claim 1 and 4, characterized in that on the furnace chamber bottom (8) releasable Umlenkvorrjchtungen (21) are arranged horizontally, consisting of radially arranged segments with baffles (22) and of the feed channels (6) in the direction of the vertical furnace axis are bent at right angles, the inlet openings facing the supply channels (6) in the center and their outlet openings aligned with inlet openings formed of guide plates on the rotatable inserts (11) yertikai.

8. annealing furnace according to claim 1 and 4, characterized in that the horizontally symmetrical, rotatable about a vertical centric axis, designed as a pallet rack insert (11), consists of a rectangular box frame (24) with a plurality of superimposed, insertable square pallets (25) in that pallets (25) have flow direction plates (26) on their underside and are assigned alternately offset by 90 ° from the box frame (24) and the box frame (24) is arranged between its four corner pillars (27).

Baffle systems (28) in front of the pallet rack, whose baffles have different lengths over the height of the baffle system (28), wherein the length increases in the inlet direction of the gas flow from the bottom to the top pallet and decreases in the outlet direction and the openings of the baffle systems (28 ) are aligned with the outlet openings of the deflecting devices (21) and form from pallet 25 to pallet (25) alternately offset by 90 ° inlet openings.
9. annealing furnace according to claim 1,4 and 7, characterized in that for loading the rotatable insert (11) on one side of the rectangular box frame (24), the baffle system (28) as a door-like, closed unit to a corner post (27) apparently is articulated.

10. annealing furnace according to claim 1 and 4, characterized in that a circular frame (30) radially to the flange (10) removably mounted central shaft (9) is arranged, the pallet shelves (31) are formed like a circular ring and the pallet floors (31 ) have a plurality of openings.

11. annealing furnace according to claim 1 and 4, characterized in that the rotatable insert (11) consists of a round frame (34) with stapeiförmig superposed cassettes (32), the frame (34) has a bearing pin (35) and a shaft ( 36) which are rotatably mounted in the central shaft (9) horizontally fixedly mounted star-shaped arms (33) and the shaft (36) has a drive wheel (37) to which a fixed sprocket (38) on the inside of the furnace chamber floor ( 8) is assigned.

12. tempering furnace according to claim 1 and 4, characterized in that the interchangeable and rotatable insert (11) consists of a vertically and centrally arranged as a fork (40) formed axis in their legs a horizontally mounted shaft (41) with a star shape Arranged in two planes on its circumference arms (42), the arms (42) at their ends bearings for bearing journals (44) of single or multi-pound gondiförmigen pallets (43) and the furnace chamber floor (8) a sprocket (45) Triebstockverzahnung is arranged, which is assigned to the fork (40) mounted intermediate gear (46) which engages in a gear (47) on the shaft (41) of the fork (40) and fixed on the shaft (41) of the fork ( 40) between the legs of the fork (40) and the star-shaped arms (42) further gears (48) are located, those on the arms (42) fixedly arranged intermediate gears (49) and fixed on the axes of the pallets (43) arranged gears (50) are assigned and di e gondola-shaped pallets (43) are firmly seated on their axles.

13. annealing furnace according to claim 1 and 4, characterized in that the central shaft (9) with flange (10) releasably on a central drive (51) is arranged with known drive elements, the central drive (15) from a bearing housing with a hollow shaft (52 ), to which an air cooling (53) is connected and the central drive with hollow shaft (52) below the Hubherdbodens (57) has outlet openings (54) for the cooling air.

14. tempering furnace according to claim 1 and 4, characterized in that the central shaft (9) on the Hubherdboden (57) by an annular chamber (55) is surrounded by compressed air connection.