DD230930A1 - Druck- oder druckdifferenzmessgeraet mit einer vor ueberlastung geschuetzten drucksensor-einrichtung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung geht von einem Druck- oder Druckdifferenzmessgeraet mit einem zentralen Aufnahmekoerper und einer eine Drucksensor-Einrichtung aufnehmenden Messkammer aus, deren Teilkammer ueber jeweils einen Verbindungskanal mit von Trennmembranen gebildeten Vorkammern verbunden sind. Zusatzmembranen sind vorgespannt und ueber Zusatzkanaele mit den Verbindungskanaelen verbunden. Um ein solches Messgeraet mit vergleichsweise einfachem konstruktivem Aufbau zu schaffen, liegen die Zusatzmembranen (35, 36) an dem Aufnahmekoerper (30) an und von dem Verbindungskanal (41) mit der jeweils einen Trennmembran (37) ist ein einziger Zusatzkanal (45) zu der Zusatzmembran (36) gefuehrt, die der jeweils anderen Trennmembran (38) benachbart ist. Die Erfindung ist bei Druck- oder Druckdifferenzmessgeraeten anwendbar. Fig. 2

Description

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung bezieht sich auf ein Druck- oder Druckdifferenzmeßgerat mit einem zentralen Aufnahmekorper und einer vor Überlastung geschützten Drucksensor-Einnchtung m einer Meßkammer, deren Teilkammern über jeweils einen Verbindungskanal mit Vorkammern verbunden sind, die von jeweils einer Trennmembran und dem Aufnahmekorper gebildet sind, und mit Zusatzmembranen, die jeweils einer Trennmembran benachbart angeordnet sind und mit dieser in druckubertragender Verbindung stehen, wobei die Zusatzmembranen mit einer Vorspannung beaufschlagt sind, sowie mit Zusatzkanalen von den Verbmdungskanalen zu den Zusatzmembranen

Charakteristik der bekannten technischen Losungen

Bei einem bekannten Gerat (DE-OS 2718931) ist jede Zusatzmembran in einer mit Fullflussigkeit gefüllten Zusatzkammer untergebracht aie Zusatzkammern werden durch die Zusatzmembranen in jeweils zwei Te'lkammern unterteilt, von denen jede an einen Zusatzkanal angeschlossen ist Die Zusatzmembranen sind vorgespannt. Die ZusatzKanale sind so angeordnet, daß der an der einen Seite der einen Zusatzmembran mundende Zusatzkanal gemeinsam mit dem an der entsprechenden Seite der anderen Zusatzmembran mundende Zusatzkanal an einen Verbindungskanal angeschlossen ist Entsprechend ist der andere Verbindungskanal über zwei weitere Zusatzkanale mit den jeweils anderen Seiten der beiden Zusatzmembranen verbunden Bei einem anderen bekannten Druck-oder Druckdifferenzmeßgerat (DE-AS-2657 933) ist im zentralen Aufnahmekorper eine Ausgleichskammer vorgesehen, die durch eine Ausgleichsmembran unterteilt ist. Die eine Teilkammer der Ausgleichskammer ist mit der einen Vorkammer des bekannten Gerätes und die andere Teilkammer mit der anderen Vorkammer verbunden Die Drucksensor-Einnchtung des bekannten Gerätes bzw aie sie aufnehmende Meßkammer ist über einen Verbindungskanal mit der einen Vorkammer bzw der dieser zugewandten Teilkammer der Ausgleichskammer und über einen weiteren Verbindungskanal mit der anderen Vorkammer bzw der anderen Teilkammer der Ausgleichskammer verbunden Auf diese Weise ist ein Druck- bzw Druckdifferenzmeßgerat geschaffen, das aufgrund der Bemessung der Ausgleichsmembran einen Druckausgleichsweg bildet, der parallel zu der Drucksensor-Einrichtung in der Meßkammer liegt, wodurch eine Überlastung der Drucksensor-Einnchtung verhindert ist. Die Drucksensor-Einnchtung besteht bei dem bekannten Gerat aus einer eine Haibleitermeßmembran enthaltenden Wand Da derartige Drucksensor-Einrichtungen gegenüber Überlast sehr empfindlich sind, ist das bekannte Gerat in der oben beschriebenen Weise ausgebildet

Ganz ahnlich sind weitere bekannte Differenzdruck-Meßumformer (DE-A-27 18873 und DE-A-3047276) ausgebildet, bei denen aus dem zentralen Aufnahmekorper zwei Kanäle in eine daneben angeordnete, besondere konstruktive Einheit mit der Drucksensor- Einrichtung gefuhrt sind, auch hier besteht die Drucksensor-Einnchtung aus einem gegen Überlastung empfindlichen Halbleitermeßfuhler, der durch eine zur eigentlichen Meßkammer parallel liegende Ausgleichskammer vor Überlastung geschützt ist. Die bekannten Druck- oder Druckdifferenzmeßgerate haben den Nachteil, daß sie verhältnismäßig kompliziert aufgebaut sind Sie benotigen nämlich zusätzlich zu der Meßkammer eine weitere Ausgleichskammer mit einer Membran bzw Zusatzkammern mit Zusatzmembranen, was entweder die Unterbringung der Drucksensor-Einheit in einem neben dem zentralen Aufnahmekorper vorgesehenen zusätzlichen Aufbau oder ein Herausfuhren des Verbmdungskanals aus dem zentralen Aufnahmekorper und anschließend wieder in diesen hinein erfordert

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Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, den Aufwand fur die Herstellung eines Druck- oder Druckdifferenzmeßgerates mit guten Meßeigenschaften gering zu halten

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Druck- oder Druckdifferenzmeßgerat mit einem zentralen Aufnahmekorper und einer vor Überlastung geschützten Drucksensor-Einnchtung in einer Meßkammer vorzuschlagen, die sich durch einen vergleichsweise einfachen konstruktiven Aufbau auszeichnet und daher auch kostengünstig herstellbar ist Darüber hinaus wird angestrebt, die Meßeigenschaften im Vergleich zu den bekannten Geraten zu verbessern Zur Losung dieser Aufgabe liegen bei einem Druck- oder Druckdifferenzmeßgerat der eingangs angegebenen Art erfmdungsgemaß die Zusatzmembranen aufgrund ihrer Vorspannung an dem Aufnahmekorper an, und von dem Verbmdungskanal mit der jeweils einen Trennmembran ist ein einziger Zusatzkanal fortgeführt, der zu derjenigen Zusatzmembran fuhrt, die der jeweils anderen Trennmembran benachbart ist Em wesentlicher Vorteil des erfindungsgemaßen Meßgerätes besteht darm, daß es verhältnismäßig einfach aufgebaut ist, denn das erfindungsgemaße Gerat kommt im Vergleich zu dem eingangs beschriebenen bekannten Gerat mit nur einem einzigen Zusatzkanal fur jeden Verbmdungskanal und im Vergleich zu dem bekannten Gerat mit einer verhältnismäßig großen Ausgleichskammer mit Ausgleichsmembran ohne diese Kammer aus Anstelle der AusgieichskammermitAusgleichsmembran sind bei dem erfindungsgemaßen Meßgerat lediglich zwei Zusatzmembranen in der Nahe der Trennmembranen angebracht, und zwar in der Weise, daß jeweils eine druckubertragende Verbindung zwischen der Trennmembran und der Zusatzmembran gegeben ist

Die Anbringung der Zusatzmembranen in der Nahe der Trenn membranen ermöglicht es in vorteil harter Weise, die Drucksensor-Einnchtung mit der sie aufnehmenden Meßkammer im zentralen Aufnahmekorper unterzubringen, wobei die Fuhrung der Verbindungskanale bzw Zusatzkanale keinerlei Schwierigkeiten bereitet, weil eine Ausgleichskammer nicht zu umgehen ist Meßtechnisch bietet das erfindungsgemaße Meßgerat eine Reihe von Vorteilen Ein Vorteil besteht dann, daß durch die Federsteife der Ausgleichsmembran bedingte Temperatureinflusse auf d'e Spanne nicht auftreten können, außerdem ist ein Temperatureinfluß auf die Spanne durch Änderung der Trennmembransteife durch Volumenanderung der Fullflussigkeit nicht mehr gegeben Ferner ist darauf hinzuweisen daß beim erfindungsgemaßen Gerat ein Druckeinfluß auf den Nullpunkt nicht mehr durch ungleiche Gehausekammerdehnungen in VerPindung mit der Trennmembransteife gegeben ist, was bei den bekannten Geraten der Fall ist Der Druckeinfluß auf die Spanne ist bei dem erfindungsgemaßen Gerat auch nur noch durch den Sensor gegeben und daher nicht mehr abhangig von Änderungen der Trennmembransteife durch Fullvolumenanderung und durch Änderung der Federsteife der Ausgleichsmembran durch Gehausedehnung Auch der Kennhnienfehler ist nur noch von der Drucksensor-Einnchtung und de^r nachgeordneten Elektronik abhangig nichtlineare Trennmembranen und nichtlineare Ausgleichsmembran haben keinen Einfluß auf die Kennlinie des Gerätes, weil bei der vorzugsweisen Verwendung eines Halbleiter-Meßfühlers in der Drucksensor-Einnchtung das Aussteuer Verdrangungsvolumen sehr klein ist Schließlich ist noch darauf hinzuweisen, daß der Wechseluberlasteinfluß auf den Nullpunkt bei dem erfindungsgemaßen Gerat nur noch von aer Hysterese der Trennmembranen, nicht aber von der Hysterese der Ausgleichsmembran abhangig ist Ursächlich fur die oben aufgeführten Vorteile ist, daß bei dem erfindungsgemaßen Meßgerat die ZusatzmemDranen wahrend normaler Druckverhaltnisse überhaupt keinen Einfluß auf das Meßverhalten haben weil sie in diesem Betriebszustand wirkungslos sind, und das Gerat insgesamt erheblich kleinere Fullflussigkeitsraume hat

Be' dem erfindungsgemaßen Druck- oder Druckdifferenzmeßgerat können die Zusatzmembranen in unterschiedlicher Weise in der Nahe der Trennmembranen an dem Aufnahmekorper angebracht sein Als vorteilhaft wird es angesehen, wenn die Zusatzmembranen in jeweils einer Zusatzkammer liegen und die Zusatzkammern über Hilfskanale mit dem jeweils an die benachDarte Vorkammer angrenzenden Raum verbunden sind Dieser Aufbau des erfindungsgemaßen Meßgerätes hat den Vorteil, daß die Zusatzmembranen oezuglich der benachbarten Trennmembran weitgehend unabhängig bemessen werden konren und daß Trennmembran und Zusatzmembran jeweils fur sich an dem Aufnahmekorper angebracht werden können Die Anordnung der Zusatzmembranen in jeweils einer Zusatzkammer ermöglicht es die Zusatzmembranen durch jeweils mindestens eine Druckfeder in den Zusatzkammern gegen den Aufnahmekorper zu drucken Damit laßt sich im Bedarfsfall die Zusatzmembran mit großer Kraft gegen den Aufnahmekorper pressen

Ais Descnders vorteilhaft wird eine Ausfuhrungsform des erfindungsgemaßen Meßgerätes erachtet, bei dem die Zusatzmembranen jeweils innerhalb der Vorkammern an dem Aufnanmekorper befestigt sind Die Zusatzmembranen müssen in diesem Falle einen kleineren Durchmesser als die Trennmembranen aufwe'sen der Verbindungskanal der entsprechenden Vorkammer ist außerhalb des Bereichs der Zusatzmembran in die Vorkammer gefuhrt, wahrend der der jeweils gegenüberliegenden Vorkammer zugeordnete Zusatzkanal an die Zusatzmembran herangeführt ist Der besordere Vorteil dieser Ausfuhrungsform besteht dann daß sie einen besonders kompakten Aufbau ermöglicht und darüber hinaus eine einfache Herstellung erlaubt, v/ei I fur die Trenn-und die benachbarte Zusatzmembran nur jeweils ein einziges Mem о ran bett am zentralen Aufn ^r ekorperv^ gesehen werden muß

Unaohang g von der konstruktiven Ausgestaltung des erfindungsgemaßen DrucK oder Druckdifferenzmeßgerates weisen die Zusatzmembranen eine derartige Vorspannung auf daß sie sich erst nach Überschreiten eines vorgegebenen Differenzdruckes an der Drucksensor Einrichtung von dem Aufnahmekorper abheben Bei dem vorgegebenen Differenzdruck handelt es sicn um einen Druck der oberhalb des Differenzdruck-Nennwertes liegt

Die Vorspannung der Zusatzmembranen kann gemäß einer Weiterbildung der Erfindung in vorteilhafter Weise dadurch erreicht werden daß zwischen dem Aufnahmekorper und den Zusatzmembranen jeweils ein Gußkorper liegt, der von einer jeweils zwischen Aufnahmekorper und Zusatzmembran unter einem Überdruck eingebrachten und erstarrten Flüssigkeit geDildet ist Dadurch daß die Flüssigkeit unter einem Überdruck also einem Druck über dem Nennwert, eingebracht und unter diesem Druck zum Erstarren gebracht wird erhalt die Zusatzmembran eine derartige Vorspannung, daß sie im Nenndruck Bereich mit Sicherheit keinen störenden Einfluß auf das Meßverhalten ausübt Ist der Überdruck so gewählt, daß er dem Druck entsoncht bei dem sich die jeweilige Zusatzmembran abheben soll, dann ist erreicht, daß die Zusatzmembranen im eigentlichen Meßbereich kerne Hubbewegungen ausfuhren und im Überdruck-Bereich das Verdrangungsvolumen unter der jeweils nicht benachbarten Trennmembran aufnehmen

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Ein weiterer Vorteil der Gußkorper besteht darm, daß die Zusatzmembranen infolge der mit ihrer Hilfe geformten Membranbetten ohne Hohlraum am Bett anliegen und die jeweils benachbarte Trennmembran ohne bleibende Verformungen mechanisch abstutzen

Die Flüssigkeit ist vorteilhafterweise eine Metallschmelze aus einem bei niedrigen Temperaturen schmelzenden Metall, wie ζ Β Zinn Es kommen aber auch andere erstarrende Stoffe als Flüssigkeit in Frage.

Um ein Verkleben des Gußkorpers mit den Zusatzmembranen und ein Abfließen der Flüssigkeit über den Verbindungskanal zur gegenüberliegenden Trennmembran zu verhindern, ist vorteilhafterweise zwischen jedem Gußkorper und der zugeordneten Zusatzmembran eine dünne Abdichtmembran angeordnet, die innerhalb der Zusatzmembran an dem Aufnahmekorper angebracht ist

Als besonders vorteilhaft wird es angesehen, wenn die Zusatzmembranen an ihrer jeweils der Abdichtmembran zugewandten Seite eine rauhe Oberflache aufweisen Die rauhe Oberflache der Zusatzmembran erleichtert das Abheben von der Abdichtmembran, wenn ein Überdruck auftritt

Es ist zwar ei η Verfahren zum Herstellen eines Membranbettes fur eine druckbeanspruchte Membran bekannt (DE-OS 2811 442), bei dem ein der Membran zugeordneter Korper an seiner der Membran zugeordneten Seite mit einer Ausnehmung versehen ist, die zur Membran hm mit einer dünnen Wand abgeschlossen und mit einem aushartbaren Medium gefüllt ist, jedoch wird hierbei durch einen Druck auf die Membran in Richtung auf den Korper nur ein Membranbett mit sehr großer Präzision hergestellt, so daß sich im Uberlastfall die Membran, ohne Verformungen zu erleiden, an das Membranbett anlegen kann

Ausfuhrungsbeispiel

Zur Erläuterung der Erfindung ist in

Figur 1 ein Ausfuhrungsbeispiel des erfindungsgemaßen Druckdifferenzmeßgerates mit in Zusatzkammern gehaltenen Zusatzmembranen, in

Figur 2 ein weiteres Ausfuhrungsbeispiel mit innerhalb der Vorkammern untergebrachten Zusatzmembranen, in Figur 3 ein zusätzliches Ausfuhrungsbeispiei des Druckdifferenzmeßgerates mit Gußkorpern und in Figur 4 ein vergrößerter Ausschnitt aus Figur 3 wiedergegeben

Das Ausfuhrungsbeispiel nach Figur 1 weist einen zentralen Aufnahmekorper 1 auf, der beiderseits durch Kappen 2 und 3 abgeschlossen ist Die Kappen 2 und 3 weisen Einstromoffnungen 4 und 5 auf, über die das Meßgerat mit der zu erfassenden Druckdifferenz beaufschlagt wird. Der zentrale Aufnahmekorper 1 ist an beiden Seiten mitjeweilseinerTrennmembranöbzw 7 versehen, die als Membranbrett ausgebildeten Stirnflachen des Aufnahmekorpers 1 gegenüberliegenden und jeweils eine Vorkammer 8 bzw 9 begrenzen Innerhalb des Aufnahmekorpers 1 sind Zusatzkammern 10 und 11 vorhanden, die über Hilfskanale 12 bzw 13 mit dem Innenraum der Kappen 2 und 3 verbunden sind, wodurch eine druckubertragende Verbindung zwischen den Zusatzkammern 10 und 11 undderTrennmembran6bzw 7 gebildet ist In den Zusatzkammern 10 und 11 ist jeweils eine Zusatzmembran 14 bzw 15 vorgesehen, die durch jeweils eine Druckfeder 16 bzw 17 gegen den Aufnahmekorper 1 gedruckt ist Auf die Druckfedern 16 bzw 17 kann verzichtet werden, wenn Zusatzmembranen mit ausreichender Vorspannung verwendet werden

Innerhalb des Aufnahmekorpers 1 befindet sich ferner eine Meßkammer 18, die durch eine in der Figur nur schematisch angedeutete Drucksensor-Einrichtung 19 in eine Teilkammer 20 und eine weitere Teilkammer 21 unterteilt ist Die Drucksensor-Emrichtung 19 ist vorzugsweise als eine Wand mit einer Halbieiter-Meßmembran ausgebildet Die Teilkammer 20 der Meßkammer 18 ist über einen Verbindungskanal 22 mit der Vorkammer 8 verbunden, wahrend die andere Teilkammer 21 über einen weiteren Verbindungskanal 23 mit der Vorkammer 9 in Verbindung steht Über einen Zusatzkanal 24 ist der eine Verbirdungskanal 22 außerdem an die Zusatzmembran 15 auf ihrer von der Vorkammer 9 abgewandten Seite gefuhrt, entsprechend ist der weitere Verbindungskanal 23 über einen weiteren Zusatzkanal 25 an die Zusatzmembran 14 angeschlossen

Das in der Figur 1 dargestellte erfindungsgemaße Druckdifferenzmeßgerat arbeitet in folgender Weise Ist das Gerat einem Differenzdruck unterhalb oder im Bereich des Differenzdruck-Nennwertes ausgesetzt, dann wird dieser Differenzdruck über die Verbmdungskanale 22 und 23 der Drucksensor-Einricntung 19 mitgeteilt, die dann ein entsprechendes elektrisches Signal abzugreifen gestattet Die Zusatzmembranen 14 und 15 sind infolge der auf ihnen lastenden Vorspannung wirkungslos Übersteigt die Druckdifferenz infolge Überlastung den Druckdifferenz-Nennwert um einen vorgegeoenen Wert, dann wird bei entsprechenden Druckverhaltnissen beispielsweise die Trennmembran 7 die unter ihr in der Vorkammer 9 befindliche Druckvermittler-Flussigkeit herausdrucken, die herausgedruckte Flüssigkeit gelangt über den Verbindungskanal 23 und den Zusatzkanal 25 zur Zusatzmembran 14 und veranlaßt diese, sich abzuheben Die von der Trennmembran 7 nerausgedruckte Flüssigkeit findet also unter der sich abhebenden ZusatzmemDran 14 ihre Aufnahme Eine über fur die Drucksensor-Einrichtung zulassige Große liegende Überlastung der DrucKsensor-Einnchtung 19 ist dadurch vermieden Entsprechend wirkt das Meßgerat dann wenn aufgrund der gegebenen Uberdruckverhaltnisse die Trennmembran 6 die in ihrer Vorkammer befindliche Flüssigkeit über den Verbindungskanal 22 hinausdruckt weil diese Flüssigkeit dann über den Zusatzkanal 24 die Zusatzmembran ^1K 'um Abheben bringt

Bei dem Ausfuhrungsbeispiel пас " gur 2 in der nur die im Zusammenhang mit der Erfindung wesentlichen Teile dargestellt sind ist ein zentraler Aufnahmekorper 30 auf seinen beiden Stirnseiten 31 und 32 so ausgebildet, daß dort jeweils ein Vemoranbett 33 und 34 gebildet ist Mit dem Aufnahmekorper 30 ist an den oeiden Stirnseiten 31 und 32 jeweils eine Zjsatzmembran 35 bzw 36 verschweißt, wobei die Zusatzmembranen 35 und 36 jeweils eine derartige Vorspannung aufweisen, daß sie sich an das jeweilige Membranen« 33 bzw 34 anpressen Ebenfalls эп den Stirnseiten 31 und 32 des Aufnahmekorpers 30 ist jeweils eine Trennmembran 37 und 38 angebracht, die zusammen mt dem Aufnahmekorper 30 bzw den auf diesen aufliegenden Zusatzmembranen 35 jnd 36 jeweils eine Vorkammer 39 bzw 40 о laen Die Zusatzmembran 35 und 36 sind im Durchmesser kleiner ausgeführt als die Trennmembranen 37 und 38

Die gewählte Ausgestaltung und Anbringung der Trennmembranen und der Zusatzmembranen ermöglicht es, außerhalb des Bereichs der Zusatzmembranen 35 und 36 jeweils einen Verbmdungskana 41 bzw 42 vorzusehen, über die die Vorkammern 39 bzw 40 mit einer im Innern des Aufnahmekorpers 30 vorgesehenen Meßkammer 43 verbunden sind Innerhalb der Meßkammer 43 ist wiederum eine Drucksensor-Einnchtung 44 angeordnet, die auch in der Figur 2 nur schematisch dargestellt ist Von dem verbindungskanal 41 fuhrt ein Zusatzkanal 45 zur Zusatzmembran 36, entsprechend ist ein weiterer Zusatzkanal 46 zwischefi dem Verbindungskanal 42 und der Zusatzmembran 35 vorgesehen

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Das Druckdifferenzmeßgerat nach Figur 2 arbeitet in ganz ahnlicher Weise wie das nach Figur 1 auch hier haben die Zusatzmembranen 35 und 36 bei im Differenzdruck-Nennwertbereich liegenden Differenzdrucken keinerlei Einfluß auf das Meßverhalten weil sich bei diesen Betriebsverhaltmssen die Zusatzmembranen 35 und 36 fest gegen den Aufnahmekorper 30 pressen Übersteigt der Differenzdruck dagegen einen vorgegebenen, über der Differenzdruck-Nenngroße liegenden Wert, dann wird je nach den gegebenen Druckverhaltnissen entweder über den Zusatzkanal 45 von der Trennmembran 37 die Zusatzmembran 36 abgehoben oder über den Zusatzkanal 46 von der Trennmembran 38 die Zusatzmembran 35 zum Abheben gebracht In jedem Falle wird von der Zusatzmembran die von den Trennmembranen bei Überlast aus den Vorkammern gepreßte Flüssigkeit aufgenommen und dadurch eine gefährliche Überlastung der Drucksensor-Einnchtung 44 vermieden Das Ausfuhrungsbeispiel nach den Figuren 3 und 4 unterscheidet sich von dem nach Figur 2 dadurch, daß beiderseits des Aufnahmekorpers 30 Gußkorper 50 und 51 vorhanden sind, die von einer erstarrenden Flüssigkeit gebildet sind Die Flüssigkeit ist über jeweils einen Einlaßkanal 52 bzw 53 in Räume 54 und 55 zwischen Aufnahmekorper 30 und Zusatzmembranen 35 und 36 mit einem Druck gepreßt, der dem Druck entspricht, bei dem die Zusatzmembranen zur Entlastung der Drucksensor-Einnchtung 44 abheben sollen Dieser Druck wird solange aufrechterhalten, bis die Flüssigkeit zu den Gußkorpern 50 und 51 erstarrt ist Durch unterschiedlich große Druckbeaufschlagung der Flüssigkeiten auf der Hochdruck- und der Niederdruckseite können Lot- und Klebeverbindungen gegen gefährliche Zugspannungen gesichert werden Wie insbesondere Figur 4 erkennen laßt, ist innerhalb jeder Zusatzmembran 35 bzw 36einedunneAbdichtmembran56andem Aufnahmekorper 30 angebracht, indem sie mit einer ringförmigen Schweißnaht 57 mit dem Aufnahmekorper 30 verbunden ist Die Zusatzmembranen 35 und 36 weisen auf ihren jeweils der Abdichtmembran 56 zugewandten Seite eine rauhe Oberflache auf

In den Figuren 1 bis 4 sind der besseren Übersichtlichkeit halber Drosseleinrichtungen nicht dargestellt, die der Meßkammer auf beiden Seiten vorgeschaltet sind Bei einer Ausfuhrung als Druckmeßgerat ist nur auf der Meßstoffseite eine Trennmembran und gegenüberliegend eine Zusatzmembran vorhanden

Claims (5)

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   Erfindungsanspruche.

   1 Druck- oder Druckdifferenzmeßgerat mit einem zentralen Aufnahmekorper und einer vor Überlastung geschützten Drucksensor-Einnchtung in einer Meßkammer, deren Teilkammem über jeweils einen Verbindungskanal mit Vorkammern verbunden sind, die von jeweils einer Trennmembran und dem Aufnahmekorper gebildet sind, und mit Zusatzmembranen, die jeweils einer Trennmembran benachbart angeordnet sind und mit dieser in druckubertragender Verbindung stehen, wobei die Zusatzmembranen mit einer Vorspannung beaufschlagt sind, sowie mit Zusatzkanalen von den Verbmdungskanalenzu den Zusatzmembranen, gekennzeichnet dadurch, daß die Zusatzmembranen (14,15) aufgrund ihrer Vorspannung an dem Aufnahmekorper (1) anliegen und daß von dem Verbindungskanal (22) mit der jeweils einen Trennmembran (z. B 6) ein einziger Zusatzkanal (z. B. 24) fortgeführt ist, der zu derjenigen Zusatzmembran (z. B. 15) fuhrt, die der jeweils anderen Trennmembran (z.B. 7) benachbart ist.
2. 2. Meßgerat nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß sich die Drucksensor-Einnchtung mit der Meßkammer in dem zentralen Aufnahmekorper (1) befindet.
3. 3. Meßgerat nach Punkt 1 oder 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Zusatzmembranen (14,15) in jeweils einer Zusatzkammer (10,11) liegen und daß die Zusatzkammern (10,11) über Hilfskanale (12,13) mit dem jeweils an die benachbarte Vorkammer (8, 9) angrenzenden Raum verbunden sind.

   4 Meßgerat nach Punkt 3, gekennzeichnet dadurch, daß die Zusatzmembranen (14,15) durch jeweils mindestens eine Druckfeder (16,17) in den Zusatzkammern (10,11) gegen den Aufnahmekorper (1) gedruckt sind.

   5 Meßgerat nach Punkt 1 oder 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Zusatzmembranen (35, 36) jeweils innerhalb der Vorkammern (39, 40) an dem Aufnahmekorper (30) befestigt sind

   6 Meßgerat nach einem der vorangehenden Punkte, gekennzeichnet dadurch, daß die Zusatzmembranen (6,7) eine derartige Vorspannung aufweisen, daß sie sich erst nach Überschreiten eines vorgegebenen Differenzdruckes ar> der Drucksensor-Einnchtung (19) von dem Aufnahmekorper (1) abheben

   7 Meßgerat nach Punkt 5 oder 6, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen dem Aufnahmekorper (30) und den Zusatzmembranen (35, 36) jeweils ein Gußkorper (50, 51) liegt, der von einer jeweils zwischen Aufnahmekorper (30) und Zusatzmembran (35 bzw. 36) unter einem Überdruck eingebrachten und erstarrten Flüssigkeit gebildet ist
4. 8. Meßgerat nach Punkt 7, gekennzeichnet dadurch, daß der Überdruck etwa dem Druck entspricht, bei dem sich die jeweilige

   Zusatzmembran abhebt
   9 Meßgerat nach Punkt 7 oder 8, gekennzeichnet dadurch, daß die Flüssigkeit eine Metallschmelze aus einem bei niedrigen

   Temperaturen schmelzenden Metall ist.
   10 Meßgerat nach einem der Punkte 7 bis 9, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen jedem Gußkorper (50, 51) und der zugeordneten Zusatzmembran (35, 36) eine dünne Abdichtmembran (56) angeordnet ist, die innerhalb der Zusatzmembran (35 bzw 36) an dem Aufnahmekorper (30) angebracht ist.
5. 11. Meßgerat nach Punkt 10, gekennzeichnet dadurch, daß die Zusatzmembranen (35,36) an ihrer jeweils der Abdichtmembran (56) zugewandten Seite eine rauhe Oberflache aufweisen

   Hierzu 4 Seiten Zeichnungen