DD228352A5 - Interferometer - Google Patents

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DD228352A5
DD228352A5 DD27116584A DD27116584A DD228352A5 DD 228352 A5 DD228352 A5 DD 228352A5 DD 27116584 A DD27116584 A DD 27116584A DD 27116584 A DD27116584 A DD 27116584A DD 228352 A5 DD228352 A5 DD 228352A5
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DD
German Democratic Republic
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wedge
interferometer
retroreflector
axis
sya
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DD27116584A
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German (de)
Inventor
Volker Tank
Original Assignee
Deutsche Forsch Luft Raumfahrt
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • G01J3/453Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes

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Abstract

Bei einem nach dem Michelson-Prinzip arbeitenden Interferometer ist als bewegliches Element ein rotierender Rueckstrahler (RS) verwendet, dessen Drehachse (DA) und dessen Symmetrieachse (SYA) entweder parallel zueinander sind oder gegeneinander geneigt sind, so dass die beiden Achsen (DA, SYA) nicht zusammenfallen, dass keine der beiden Achsen (DA oder SYA) mit der optischen Achse (OA) des Interferometers (IF) zusammenfaellt und dass ferner eine oder beide der Achsen des Rueckstrahlers (RS) gegen die optische Interferometerachse (OA) geneigt oder zu ihr parallel sind. Ferner ist bei dem Interferometer als brechendes Element ein nichtbewegbarer, ortsfester Keil (K) mit einem Brechungsindex (nK) vorgesehen, welcher ungleich dem Brechungsindex (nL) von Luft ist. Hierbei ist der ortsfeste Keil (K) zwischen dem Strahlteiler (ST) dem Rueckstrahler (RS) und einem zweiten festen Spiegel so angeordnet, dass in jeder Stellung des Rueckstrahlers (RS) das vom Strahlteiler (ST) kommende Strahlenbuendel (SB) den Keil (K) durchlaeuft, auf den Rueckstrahler (RS) auftrifft, von diesem seitlich versetzt reflektiert noch einmal den Keil (K) durchlaeuft und senkrecht auf den zweiten Spiegel (S2) auftrifft, von diesem reflektiert und auf demselben rueckwaerts zum Strahlteiler (ST) durchlaeuft, wo das Strahlenbuendel mit dem von einem ersten festen Spiegel (S1) kommenden Strahlenbuendel interferiert. Fig. 2In an interferometer operating according to the Michelson principle, a rotating return emitter (RS) whose rotation axis (DA) and its axis of symmetry (SYA) are either parallel to one another or inclined relative to one another is used as the movable element, so that the two axes (DA, SYA ) do not coincide, that neither of the two axes (DA or SYA) coincides with the optical axis (OA) of the interferometer (IF), and further that one or both of the axes of the retroreflector (RS) are inclined or inclined towards the optical interferometer axis (OA) you are parallel. Further, in the interferometer, as the refractive element, there is provided a non-movable, fixed wedge (K) having a refractive index (nK) which is different from the refractive index (nL) of air. In this case, the fixed wedge (K) between the beam splitter (ST) the retroreflector (RS) and a second fixed mirror is arranged so that in each position of the Rücklestrahlers (RS) coming from the beam splitter (ST) Strahlbuendel (SB) the wedge ( K), which is incident on the return emitter (RS), laterally deflected by the latter, once again passes through the wedge (K) and impinges perpendicularly on the second mirror (S2), reflects therefrom and passes through it on the same back to the beam splitter (ST), where the ray beam interferes with the beam coming from a first fixed mirror (S1). Fig. 2

Description

Titel der Erfindung: 25Title of the invention: 25

Interferometerinterferometer

Anwendungsgebiet der Erfindung:Field of application of the invention:

.Die Erfindung betrifft ein Interferometer nach dem Michelson-Prinzip.The invention relates to an interferometer according to the Michelson principle.

Λ f r· , An"- I i> it I I t~l Λ fr · , An "- I i> it II t ~ l

^Charakteristik der bekannten technischen Lösungen: ^ Characteristic of the known technical solutions:

Es sind Interferometer mit brechenden Elementen bekannt, . bei welchen ein Wegunterschied durch ein Hin- und Herbewe-5gen eines Keils oder zweier Keile bzw. eines Prismas oder zweier Prismen in einem Arm oder in beiden Armen des Interferometers erzeugt wird. In Fig. 1 ist der prinzipielle Aufbau eines solchen Geräts dargestellt. Hierbei sind mitInterferometers with refractive elements are known,. in which a path difference is generated by a back and forth wedge of a wedge or two wedges or a prism or two prisms in one arm or in both arms of the interferometer. In Fig. 1 the basic structure of such a device is shown. Here are with

51 und S2 zwei ortsfeste Spiegel eines bekannten InterfelOrometers bezeichnet, welche als Planspiegel oder auch als Tripelspiegel (Rückstrahler) ausgebildet sein können. Mit K1 und K2 sind zwei identische Keile (oder Prismen).bezeichnet, die aus einem Material hergestellt sind, welches einen Brechungsindex η hat, der ungleich dem Brechungsin-51 and S2 denotes two fixed mirrors of a known InterfelOrometers, which may be formed as a plane mirror or as a triple mirror (reflector). K1 and K2 are two identical wedges (or prisms)., Which are made of a material having a refractive index η which is different from the refractive index η.

15des von Luft ist. Mit ST ist ein Strahlteiler bezeichnet, der als Beschichtung auf der Rückseite eines der Keile K1 oder K2 aufgebracht sein kann oder der zwischen den beiden, einander gegenüberliegenden Flächen der Keile K1 und K2 angeordnet ist. Mit Q ist eine Strahlungsquelle bezeichnet,15's of air. ST denotes a beam splitter which can be applied as a coating on the rear side of one of the wedges K1 or K2 or which is arranged between the two, mutually opposite surfaces of the wedges K1 and K2. Q denotes a radiation source,

20deren Strahlung zur Interferenz gebracht werden soll.während mit D ein Detektor bezeichnet ist, mit welchem die interferierende Strahlung gemessen wird.Whose radiation is to be brought into interference. While D denotes a detector with which the interfering radiation is measured.

Der optische Weg durch die beiden Interferometerarme ist . 25gleich, wenn die Abstände von den festen Spiegeln S1 bzw.The optical path through the two interferometer arms is. 25gleich when the distances from the fixed mirrors S1 and

52 jeweils zu dem Strahlteiler ST gleich sind und gleichzeitig die beiden Keile K1 und K2 nicht gegeneinander verschoben sind, d.h. spiegelsymmetrisch zu dem Strahlteiler ST angeordnet sind. Wird nunmehr einer der Keile, bei-52 are each equal to the beam splitter ST and at the same time the two wedges K1 and K2 are not shifted from each other, i. are arranged mirror-symmetrically to the beam splitter ST. If now one of the wedges, at-

30spielsweise der Keil K2, wie in Fig. 1 gestrichelt angedeutet ist, entlang dem Strahlteiler beispielsweise in Richtung zur Keilspitze verschoben, dann durchläuft die Strahlung in beiden Armen des Interferometers unterschiedlich lange Wege durch die Luft und das Keilmaterial; hierdurchBy way of example, the wedge K2, as indicated by dashed lines in FIG. 1, is displaced along the beam splitter in the direction of the wedge tip, for example, then the radiation in both arms of the interferometer traverses paths of different lengths through the air and the wedge material; hereby

35ergeben sich dann unterschiedliche optische Wege, solange der Brechungsindex nv des Keilmaterials ungleich dem Brechungsindex η von Luft ist. Somit können durch Hin- undDifferent optical paths then result as long as the refractive index n v of the wedge material is not equal to the refractive index η of air. Thus, by back and forth

Herbewegen einer der Keile K1 oder K2 in der beschriebenen Weise unterschiedliche optische Wege in den beiden Interferometerarmen erzeugt werden, ohne daß die geometrischen Wege verändert werden. Bei diesen Überlegungen ist davon ausgegangen, daß für den optischen Weg d_ durch ein Material mit dem Brechungsindex η gilt:Moving one of the wedges K1 or K2 in the manner described different optical paths are generated in the two interferometer without the geometric paths are changed. In these considerations, it has been assumed that the following applies to the optical path d_ through a material with the refractive index η:

do ; n · dg d o; n · d g

wobei d der geometrische Weg ist.where d is the geometric path.

Es sind verschiedene Ausführungen solcher Interferometer mit brechenden Elementen bekannt; hierbei wird immer die Wegdifferenz durch ein Hin- und Herbewegen von einem oder mehreren optischen Elementen erzeugt. Diese Bewegung(en) muß (müssen) mit großer Präzision durchgeführt werden, weshalb ein großer Aufwand bei der Lagerung und dem Antrieb der bewegten Elemente erforderlich ist.Various embodiments of such interferometers with refractive elements are known; In this case, the path difference is always generated by a reciprocation of one or more optical elements. This movement (s) must (must) be carried out with great precision, which is why a great effort in the storage and the drive of the moving elements is required.

Be± .gegenwärtig zur Interferometrie in der Praxis verwen-· deter Verfahren und Vorrichtungen mit brechenden Elementen wird daher als nachteilig angesehen, daß Be ± .gegenwärtig verwen- Interferometry in Practice deterministic methods and apparatus with refractive elements is therefore considered to be disadvantageous in that

a) Hin- und Herbewegungen durchgeführt werden,a) floats are performed,

b) die Meßgeschwindigkeit aus diesem Grund begrenzt ist, c) zeitlich lückenlose Messungen nicht möglich sind, undb) the measuring speed is limited for this reason, c) continuous measurements are not possible, and

d) ein verhältnismäßig großer Aufwand nötig ist.d) a relatively large effort is needed.

Zur Erläuterung der vorstehend angeführten Punkte a) bisTo explain the above-mentioned points a) to

c) müssen die bewegten Elemente ständig abwechselnd beschleunigt und dann wieder bis zum Stillstand abgebremst werden. Ein weiterer Nachteil der herkömmlichen Verfahren und Vorrichtungen besteht darin, daß wegen der notwendigen Lagerung der bewegten Elemente im allgemeinen nur ein Betrieb des Interferometers in horizontaler Stellung möglich ist, zumindest aber ein Betrieb in beliebiger Lage nicht möglich ist.c) the moving elements must be constantly accelerated alternately and then decelerated again to a standstill. Another disadvantage of the conventional methods and devices is that due to the necessary storage of the moving elements in general, only one operation of the interferometer in a horizontal position is possible, but at least an operation in any position is not possible.

— 4 — Ziel der Erfindung; - 4 - Aim of the invention;

Mit der Erfindung soll daher ein Interferometer nach dem . Michelson-Prinzip unter möglichst weitgehender Vermeidung der genannten Nachteile und Schwierigkeiten in der Weise verbessert werden, daß mit einem geringeren Aufwand zeitlich lückenlose und kontinuierliche Spektralmessungen mit einer sehr hohen Geschwindigkeit in jeder beliebigen Lage des Interferometers durchführbar sind, ohne daß Hin- und HerbewelOgungen erforderlich sind.The invention is therefore an interferometer after the. Michelson principle be improved as much as possible avoid the disadvantages and difficulties mentioned in such a way that with less effort temporally gapless and continuous spectral measurements at a very high speed in any position of the interferometer are feasible without back-and-forth HerbewelOgungen are required ,

Darlegung des Wesens der Erfindung;Explanation of the essence of the invention;

Bei einem solchen Interferometer nach dem Michelson-Prinzip ist als bewegliches Element ein rotierender Rückstrahler verwendet, dessen Drehachse und desses Symmetrieachse entweder parallel zueinander sind oder gegeneinander geneigt sind, so daß die beiden Achsen nicht zusammenfallenjund daß keine der beiden Achsen mit der optischen Achse des Interferometers zusammenfällt. Ferner müssen eine oder beide der Achsen des Rückstrahlers gegen die optische Achse des Interferometers geneigt oder zu ihr parallel sein,und die Drehachse des Rückstrahlers muß durch dessen reflektierenden Bereich verlaufen. Darüber hinaus muß die optischeIn such a Michelson principle interferometer is used as a moving element, a rotating reflector whose axis of rotation and its axis of symmetry are either parallel to each other or inclined against each other, so that the two axes do not coincidej and that neither of the two axes with the optical axis of the interferometer coincides. Further, one or both of the axes of the retroreflector must be inclined or parallel to the optical axis of the interferometer and the axis of rotation of the retroreflector must pass through its reflective area. In addition, the optical

25Achse des Interferometers in jeder Stellung des rotierenden Rückstrahlers auf eine reflektierende Fläche des Rückstrahlers auftreffen. Als brechendes Element ist bei diesem Interferometer ein nichtbewegbarer, ortsfester Keil mit einem Brechungsindex vorgesehen, welcher ungleich dem Brechungsindex von Luft ist. Schließlich ist noch ein ortsfester Keil zwischen dem Strahlteiler, dem rotierenden Rückstrahler und dem zweiten festen Spiegel so angeordnet, daß in jeder Stellung des rotierenden Rückstrahlers ein vom Strahlteiler kommendes Strahlenbündel den Keil durchläuft, dann auf den Rückstrahler auftrifft, von diesem seitlich versetzt reflektiert noch einmal an einer anderen Stelle den Keil durchläuft und senkrecht auf den zweiten festenIn each position of the rotating reflector, the 25 axis of the interferometer impinge on a reflecting surface of the reflector. As a refractive element in this interferometer, a non-movable, stationary wedge is provided with a refractive index, which is not equal to the refractive index of air. Finally, a stationary wedge between the beam splitter, the rotating reflector and the second fixed mirror is still arranged so that in each position of the rotating reflector a beam coming from the beam splitter passes through the wedge, then impinges on the reflector, laterally offset from this reflected once again at another point passes through the wedge and perpendicular to the second fixed

Spiegel auftrifft, von diesem reflektiert und dann auf demselben Weg rückwärts zum ,Strahlteiler durchläuft, wo dann das Strahlenbündel mit dem von einem ersten festen Spiegel kommenden Strahlenbündel interferiert. 5Mirror hits, reflected from this and then backwards through the same way, the beam splitter, where then the beam interferes with the coming of a first solid mirror beam. 5

Ferner wirkt der Keil bei Verwendung eines Tripelspiegels als Rückstrahler für jeweils zwei aufeinanderfolgende Durchgänge des Strahlenbündels wie eine planparallele Platte. Bei einer parallelen Anordnung der drei Achsen, nämlieh der Drehachse und der Symmetrieachse des Rückstrahlers sowie der optischen Achse des Interferometers, ist in jeder Stellung des rotierenden Rückstrahlers die von diesem bewirkte Polarisierung der reflektierten Strahlung dieselbe.Furthermore, the wedge acts like a plane-parallel plate when using a triple mirror as a retroreflector for every two successive passes of the beam. In a parallel arrangement of the three axes, namely the axis of rotation and the axis of symmetry of the retroreflector and the optical axis of the interferometer, in each position of the rotating retroreflector, the polarization of the reflected radiation caused by this is the same.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen im einzelnen erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in detail with reference to embodiments with reference to the accompanying drawings. Show it:

Fig..1 eine schematische Schnittdarstellung einesFig.1.1 is a schematic sectional view of a

herkömmlichen Interferometers mit brechenden Elementen;conventional interferometer with refractive elements;

25Fig. 2 eine schematische Schnittdarstellung einer25Fig. 2 is a schematic sectional view of a

bevorzugten Ausführungsform eines Interferometers gemäß der Erfindung;preferred embodiment of an interferometer according to the invention;

Fig. 3 eine schematische Draufsicht auf die Ausführungsform der Fig. 2 undFig. 3 is a schematic plan view of the embodiment of Fig. 2 and

Fig. 4 in Draufsicht eine weitere Ausführungsform der Erfindung.Fig. 4 in plan view a further embodiment of the invention.

Ausführungsbeispiel:Embodiment:

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist in Verbindung mit einem üblichen Strahlteiler ST, einem festen Planspiegel Sl und einem zweiten festen Planspiegel S2 als beweglicher Spiegel eines Interferometers IF ein Rückstrahler RS beispielsweise in Form eines Tripelspiegels, eines Retroreflektors usw. verwendet; dieser Rückstrahler RS ist so ausgebildet, daß er mit einer vorgegebenen, gewünschten Geschwindigkeit um eine Drehachse DA rotiert; die Drehachse DA des Rückstrahlers RS verläuft parallel zur optischen Achse OA des Interferometers IF und ist zu dieser (OA) seitlich versetzt. Außerdem verläuft die Drehachse DA des Rückstrahlers RS auch parallel zu einer Symmetrieachse SYA des Rückstrahlers RS und ist seitlich zu dieser (SYA) versetzt. Die Parallelität der drei Achsen DA, OA und SYA ist für einen einfachen Aufbau und zur Vereinfachung sowie zur Erhöhung der Übersichtlichkeit der Darstellung zweckmäßig; sie ist aber für die Funktion des Interferometers nicht notwendig. Notwendig ist allerdings, daß die drei Achsen DA, OA und SYA oder zumindest zwei von ihnen nicht zusammenfallen.According to a preferred embodiment of the invention is in conjunction with a conventional beam splitter ST, a fixed plane mirror Sl and a second fixed plane mirror S2 as a movable mirror of an interferometer IF a retroreflector RS, for example in the form of a triple mirror, a retroreflector, etc. used; this retroreflector RS is designed to rotate about a rotation axis DA at a predetermined desired speed; the axis of rotation DA of the retroreflector RS extends parallel to the optical axis OA of the interferometer IF and is offset laterally relative to this (OA). In addition, the axis of rotation DA of the retroreflector RS also runs parallel to an axis of symmetry SYA of the retroreflector RS and is offset laterally to this (SYA). The parallelism of the three axes DA, OA and SYA is convenient for a simple construction and to simplify and to increase the clarity of the representation; but it is not necessary for the function of the interferometer. However, it is necessary that the three axes DA, OA and SYA or at least two of them do not coincide.

Als Element, das einen Wegunterschied erzeugt, befindet sich zwischen dem Rückstrahler RS und dem zweiten festen Spiegel S2 ein Keil K (ein Prisma) aus brechendem Material, dessen Brechungsindex n„ ungleich dem Brechungsindex nL ist. Dieser Keil K ist zweckmäßigerweise so angeordnet, daß seine Symmetrieebene SE, d.h. die Ebene, welche durch seine brechende Kante BK und deren senkrechte Projektion auf die Basisfläche B des Keils K oder des Prismas ausgebildet ist, senkrecht zu der Ebene liegt, welche durch die optische Achse OA des Interferometers IF und die Drehachse DA des Rückstrahlers RS aufgespannt wird, wenn beide - wie im vorliegenden Fall - prallel sind, und welche damit parallel zum zweiten festen Spiegel S2 liegt. Bei nicht parallelem Verlauf der Achsen OA und DA sollteAs an element producing a path difference, between the retroreflector RS and the second fixed mirror S2, there is a wedge K (a prism) of refractive material whose refractive index n "is different from the refractive index n L. This wedge K is expediently arranged so that its plane of symmetry SE, ie the plane which is formed by its refractive edge BK and its perpendicular projection onto the base surface B of the wedge K or the prism, is perpendicular to the plane passing through the optical plane Axis OA of the interferometer IF and the axis of rotation DA of the retroreflector RS is clamped when both - as in the present case - are prallel, and which thus lies parallel to the second fixed mirror S2. For non-parallel course of the axes OA and DA should

die Symmetrieebene des Keils K senkrecht zur optischen Achse OA des Interferometers IF und damit parallel zum zweiten festen Spiegel S" liegen. Prinzipiell ist es gleichgültig, ob die brechende Kante BK, wie es in Fig.2 und 3 der Fall ist, oder die Basisfläche des Keils K gegenüber dem Strahlenteiler ST liegt.the plane of symmetry of the wedge K is perpendicular to the optical axis OA of the interferometer IF and thus parallel to the second fixed mirror S ". In principle, it does not matter whether the refractive edge BK, as is the case in FIGS of the wedge K is opposite to the beam splitter ST.

Durch eine entsprechende Anordnung der Achsen OA, DA und SYA und der übrigen Teile ist vor allem sicherzustellen, daß in Fig.2 ein Strahlenbündel SB, welches von dem Strahlenteiler ST aus in den Arm mit dem Keil K und dem Rückstrahler RS gelangt,By an appropriate arrangement of the axes OA, DA and SYA and the other parts is to ensure above all that in Figure 2, a beam SB, which comes from the beam splitter ST in the arm with the wedge K and the retroreflector RS,

a) nach Verlassen des Strahlteilers ST vollständig den Keil durchläuft,a) completely passes through the wedge after leaving the beam splitter ST,

b) vom Rückstrahler RS seitlich versetzt zum zweiten Mal durch den Keil K gelenkt wird, - wobei das Strahlenbündel SB nach dem zweiten Durchgang durch den Keil wieder parallel zur optischen Achse OA des Interferometers IF ist, so daß die beim ersten Durchgang bewirkte Ablenkung durch den zweiten Durchgang wieder rückgängig gemacht worden ist und damit senkrecht auf den zweiten festen Spiegel auftrifft, undb) laterally staggered by the retroreflector RS for the second time through the wedge K, - wherein the beam SB after the second pass through the wedge is again parallel to the optical axis OA of the interferometer IF, so that the distraction caused by the first pass through the second passage has been reversed and thus impinges perpendicular to the second fixed mirror, and

c) von dort reflektiert wird, so daß das Strahlenbündel (SB) auf demselben Weg wie vom Strahlteiler ST zum festen Spiegel S2 nunmehr in umgekehrter Richtung vom festen Spiegel S2 über den Rückstrahler RS zum Strahlenteiler ST zurückläuft. Das Strahlenbündel muß also auf dem "Hinweg" und auf dem "Rückweg" dem Keil K jeweils zweimal durchlaufen.c) is reflected from there, so that the beam (SB) in the same way as from the beam splitter ST to the fixed mirror S2 now runs back in the reverse direction from the fixed mirror S2 on the retroreflector RS to the beam splitter ST. The bundle of rays must therefore pass through the wedge K twice on the "way out" and on the "way back".

Nachdem der Rückstrahler RS (beispielsweise ein Tripelspiegel) das Strahlenbündel SB (in Bezug auf alle Seiten) seitenvertauscht reflektiert, wird durch diese Anordnung und den jeweils zweimaligen Durchlauf durch den Keil K erreicht, daß alle Teile des Strahlenbündels SB unabhängig davon, ob es am spitz zulaufenden oder breiteren Ende des Keils K auftrifft, dieselbe Wegstrecke durch das Keilma- .After the retroreflector RS (for example a triple mirror) reflects the beam SB (with respect to all sides) in a reversed manner, this arrangement and the two passes through the wedge K in each case ensure that all parts of the beam SB, irrespective of whether they are pointed tapering or wider end of the wedge K impinges, the same distance through the Keilma-.

-δ-terial zurücklegen; das Strahlenbündel SB "sieht" gewissermaßen eine planparallele.,Platte, die es bei vier Durchläufen durch den Keil K insgesamt zweimal durchläuft (sie-., he Fig.2 bezüglich des Strahlenbündels SB). Außerdem bewirken jeweils die ersten beiden und die letzten beiden aufeinanderfolgenden Durchläufe durch den Keil K, daß die durch die Brechung bewirkte Ablenkung des Strahlenbündels SB wieder rückgängig gemacht wird, so daß also auch das Strahlenbündel SB parallel zur optischen Achse OA und damit senkrecht auf den Spiegel S2 auftrifft, wenn dieser richtig, d.h. senkrecht zum „festen Spiegel Sl und unter 45° zum Strahlteiler ST justiert ist, und dann wieder zu seinem Ausgangspunkt am Strahlteiler ST zurückkehrt.return the material; the beam SB "sees" in a sense a plane-parallel., Plate, which passes through it twice in four passes through the wedge K (sie., He Fig.2 with respect to the beam SB). In addition, each cause the first two and the last two consecutive passes through the wedge K that the deflection caused by the refraction of the beam SB is reversed, so that therefore the beam SB parallel to the optical axis OA and thus perpendicular to the mirror S2 hits, if this is correct, ie perpendicular to the "fixed mirror Sl and is adjusted at 45 ° to the beam splitter ST, and then returns to its starting point on the beam splitter ST.

Bei einer Rotation des Rückstrahlers RS um seine Drehachse DA wird dieser, bezogen auf die optische Achse OA des Interferometers IF, seitlich versetzt, wodurch das Strahlenbündel SB natürlich auch eine Versetzung erfährt und damit die zweiten und dritten Durchgänge durch den Keil K jeweils in Abhängigkeit von der Stellung des Rückstrahlers RS aufgrund dessen Drehung an anderer Stelle erfolgen, so daß damit das Strahlenbündel SB eine andere Keildicke zu durchlaufen hat. Bei der Rotation des Rückstrahlers RS, welche kontinuierlich erfolgen kann und zweckmäßigerweise kontinuierlich sein sollte, durchläuft somit das Strahlenbündel SB in ständigem Wechsel stetig bis zu einem Maximum zunehmende und dann wieder stetig bis zu einem Minimum abnehmende Keildicken und damit entsprechend unterschiedliche optische Wege. Wegen des jeweils zweimaligen Durchlaufs durch den Keil K "sieht" das Strahlenbündel SB eine planparallele Platte mit periodisch sich stetig ändernden Dicken. Zwischen Maximum und Minimum bzw. zwischen Minimum >( und Maximum wird dann jeweils am Detektor D eine Seite des (über Maximum-Minimum-Maximum symmetrischen) Interferogramms in herkömmlicher Weise registriert, digitalisiert und mit Hilfe eines Fourrier-Transformation zum Spektrum umgerechnet.In a rotation of the retroreflector RS about its axis of rotation DA, this, with respect to the optical axis OA of the interferometer IF, laterally offset, whereby the beam SB course also undergoes a displacement and thus the second and third passes through the wedge K respectively depending on the position of the retroreflector RS due to its rotation take place elsewhere, so that thus the beam SB has to go through a different wedge thickness. During the rotation of the retroreflector RS, which can take place continuously and expediently should be continuous, thus the beam SB passes constantly in continuous change up to a maximum increasing and then steadily decreasing to a minimum wedge thicknesses and thus correspondingly different optical paths. Because of the two passes through the wedge K, the beam SB "sees" a plane-parallel plate with periodically continuously changing thicknesses. Between maximum and minimum or between minimum > ( and maximum, one side of the interferogram (symmetric about maximum-minimum-maximum) is then registered, digitized and converted into the spectrum with the aid of a Fourier transformation in a conventional manner.

Aus den vorstehenden Ausführungen ist anhand von Fig.2 und leicht zu ersehen, daß durtch die Anordnung und Dimensionierung der Komponenten folgendes sichergestellt sein muß, . daß nämlichFrom the foregoing, is based on Figures 2 and can readily be seen that major T ch, the arrangement and dimensioning of the components must be ensured as follows. that is

a) das Strahlenbündel SB nach dem ersten Durchgang und der Ablenkung durch den Keil K nicht wieder in sich selbst zurückgeworfen wird, d.h. die optische Achse des Strahlenbündels SB in keiner Stellung des rotierenden Rückstrahlers RS durch dessen Symmetriezentrum SZ laufen darf, (wobei das Symmetriezentrum SZ jener Punkt des Rückstrahlers RS sein soll, der einen parallel zur Symmetrieachse SYA einfallenden Strahl in sich selbst zurückwirft); im Falle eines Tripelspiegels ist das Symmetriezentrum dessen Scheitelpunkt?a) the beam SB after the first pass and the deflection by the wedge K is not reflected back into itself, i. e. the optical axis of the beam SB may not run in any position of the rotating reflector RS through its center of symmetry SZ, (wherein the center of symmetry SZ is the point of the retroreflector RS, which reflects back into itself a ray incident parallel to the symmetry axis SYA); in the case of a triple mirror, is the center of symmetry its apex?

b) bei paralleler Anordnung der Achsen DA, OA und SYA die optische Achse des Strahlenbündels SB nach dem ersten Durchgang durch den Keil K nicht mit der Drehachse DA zusammenfallen darf. (Die optische Achse des Strahlenbündels SB darf vielmehr nur mit der Drehachse DA zusammenfallen, wenn die Drehachse DA und die Symmetrieachse SYA des Rückstrahlers RS gegeneinander geneigt sind);b) in the case of a parallel arrangement of the axes DA, OA and SYA, the optical axis of the radiation beam SB after the first passage through the wedge K must not coincide with the axis of rotation DA. (The optical axis of the beam SB may rather coincide only with the axis of rotation DA, when the axis of rotation DA and the axis of symmetry SYA of the reflector RS are inclined against each other);

c) der verwendete Keil K so groß ist, daß jedes vom Rückstrahler RS reflektierte Strahlenbündel ihn durchlaufen muß, undc) the wedge K used is so large that each reflected by the retroreflector RS beam must pass through him, and

d) auch der feste Spiegel S2 so ausgedehnt ist, daß er jedes vom Rückstrahler RS reflektierte Strahlenbündel seinerseits wieder reflektiert.d) the fixed mirror S2 is so extended that it in turn reflects each reflected by the retroreflector RS beam.

Nach dem Obigen lassen sich unter anderen zwei mögliche Konstruktionsausführungen ableiten, welche in Fig.3 bzw. 4 in Draufsicht dargestellt sind. In Fig.3 und 4 ist mit USZ ti ein Kreis bezeichnet, auf welchem das Symmetriezentrum SZ des Rückstrahlers RS bei Rotation umläuft; mit ERS ist eine von der Drehachse DA am weitesten entfernt liegende Ecke des Rückstrahlers RS und mit UERS ist ein Kreis bezeichnet, auf dem die Ecke ERS bei Rotation umläuft.After the above can be derived among other two possible construction designs, which are shown in Figure 3 and 4 in plan view. In FIGS. 3 and 4, USZ ti denotes a circle on which the center of symmetry SZ of the retroreflector RS revolves on rotation; with ERS is a corner of the retroreflector RS farthest from the axis of rotation DA and UERS is a circle on which the corner ERS rotates on rotation.

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-ΙΟΙ In Fig.3 soll ein Strahlenbündel SB außerhalb des Umlaufkreises USZ des Symmetriez&ntrums SZ auf den Rückstrahler RS auftreffen. Da die Projektion jedes reflektierten Strahls beim Rückstrahler RS (beispielsweise einem Tripelspiegel) durch dessen Symmetriezentrum SZ läuft, ergibt sich daraus der Bereich, welchen das Strahlenbündel SB höchstens erreichen kann, und der durch die gestrichelten Linien BSB begrenzt ist; dieser Bereich muß also durch den zweiten festen Spiegel S2 überdeckt werden; außerdem muß auch der Keil K den von den Linien BSR begrenzten Bereich und zusätzlich außerdem auch noch den Bereich überdecken, welchen das Strahlenbündel SB beim Eintritt überdeckt.In Figure 3, a beam SB is to impinge on the retroreflector RS outside of the circulation circle USZ of the symmetry ZZ SZ. Since the projection of each reflected beam at the retroreflector RS (for example a triple mirror) passes through its center of symmetry SZ, this results in the range which the beam SB can reach at most and which is bounded by the dashed lines BSB; this area must therefore be covered by the second fixed mirror S2; In addition, the wedge K must also cover the area delimited by the lines BSR and additionally also the area covered by the beam SB at the entrance.

In Fig.4 soll ein Strahlenbündel SB innerhalb des Umlaufkreises USZ des Symmetriezentrums SZ auf den Rückstrahler RS auftreffen. In diesem Fall läuft bei Rotation des Rückstrahlers RS das von ihm reflektierte Strahlenbündel gewissermaßen um die Drehachse DA und um das einfallende Bündel SB herum. Der feste Spiegel S2 und der Keil K müssen also die Bereiche um das einfallende Bündel SB herum überdecken, wobei der feste Spiegel S2 mit einer Öffnung an der Stelle versehen sein muß, durch welche das Strahlenbündel SB auch eintreten kann; hierbei muß die Öffnung genau denselben Durchmesser wie das Strahlenbündel SB haben. Die Orientierung der Basisfläche B und der brechenden Kante BK des Keils K in den einzelnen Anordnungen ist prinzipiell beliebig und hat nur bei der Rotation Einfluß auf die Abhängigkeit des Maximums bzw. Minimums des optischen Wegs von der jeweiligen Stellung des Rückstrahlers.4, a beam SB is to impinge on the retroreflector RS within the circulating circle USZ of the center of symmetry SZ. In this case, during rotation of the retroreflector RS, the bundle of rays reflected by it runs, as it were, around the axis of rotation DA and around the incident bundle SB. The fixed mirror S2 and the wedge K thus have to cover the areas around the incident beam SB, the fixed mirror S2 having to be provided with an opening at the point through which the beam SB can also enter; In this case, the opening must have exactly the same diameter as the beam SB. The orientation of the base surface B and the breaking edge BK of the wedge K in the individual arrangements is in principle arbitrary and has only on rotation influence on the dependence of the maximum or minimum of the optical path of the respective position of the retroreflector.

Bei allen Ausführungsformen sind die beiden Arme des Interferometers IF, nämlich derjenige mit dem festen Spiegel Sl und derjenige mit dem rotierenden Rückstrahler RS, in bekannter Weise so aufeinander abgestimmt, daß der Weg durch die beiden Arme gleich lang ist, wenn der Weg im Arm mit dem rotierenden Rückstrahler RS minimal ist, bzw. der Arm mit dem festen Spiegel Sl kann einige Wellenlängen,In all embodiments, the two arms of the interferometer IF, namely those with the fixed mirror Sl and those with the rotating reflector RS, in a known manner coordinated so that the path through the two arms is the same length when the path in the arm with the rotating reflector RS is minimal, or the arm with the fixed mirror Sl can be some wavelengths,

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und zwar von den größten untersuchten Wellenlängen, länger sein als das Minimum des Wags durch den Arm mit dem rotierenden Rückstrahler RS. Der zweite genannte Fall ist der gebräuchlichere, weil dadurch am Anfang der Messung ein Interferogramm auf beiden Seiten des Symmetriepunktes des Interferometers aufgrund der gleichen Weglänge durch beide Arme des Interferometers gewonnen wird, was in bekannter Weise zur Phasenkorrektur bei der Berechnung des Spektrums verwendet wird. Die Weglängen können aber auch so abgestimmt werden, daß ein vollständig symmetrisches Interferogramm gewonnen wird.and of the largest wavelengths studied, be longer than the minimum of the car by the arm with the rotating reflector RS. The second case is more common, because at the beginning of the measurement an interferogram is obtained on both sides of the symmetry point of the interferometer due to the same path length through both arms of the interferometer, which is used in a known manner for phase correction in the calculation of the spectrum. The path lengths can also be tuned so that a completely symmetric interferogram is obtained.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ist daher, ohne daß ein Teil des Geräts vor- und zurückbewegt wird, eine kontinuierliche Änderung des Wegs in einem Arm des Interferometers allein dadurch erreicht, daß eine Rotationsbewegung des Rückstrahlers RS ausgeführt wird. Bei dem erfindungsgemäßen interferometrischen Meßverfahren braucht also der brechende Keil K nicht ständig angehalten und wieder beschleunigt zu werden, sondern der Rückstrahler RS rotiert kontinuierlich mit einer gleichmäßigen Umlaufgeschwindigkeit. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann daher nicht nur eine technisch einfache und doch präzise Lagerung des zu. bewegenden Spiegels, d.h. des in Drehung zu versetzenden Rückstrahlers RS mit verringertem Aufwand realisiert werden, sondern darüber hinaus ist auch der Antrieb und die vorzugsweise elektronische Regelung des Spiegellaufs mit einem wesentlich geringeren Aufwand durchführbar.In the embodiments described above, therefore, without moving part of the apparatus back and forth, a continuous change in the path in an arm of the interferometer is achieved solely by performing a rotary movement of the retroreflector RS. In the interferometric measuring method according to the invention, therefore, the breaking wedge K does not need to be constantly stopped and accelerated again, but the retroreflector RS rotates continuously with a uniform rotational speed. In the apparatus according to the invention, therefore, not only a technically simple and yet precise storage of the. moving mirror, i. to be offset in rotation to be reflected reflector RS with reduced effort, but also the drive and the preferably electronic control of the mirror run with a much lower cost is feasible.

Gegenüber den eingangs beschriebenen bekannten Interferometern sind die wesentlichen Vorteile des erfindungsgemä-Ben Interferometers darin zu sehen, daß a) zeitlich lückenlose Messungen durchführbar sind,Compared to the known interferometers described at the outset, the essential advantages of the Benfer interferometer according to the invention can be seen in the fact that a) continuous measurements can be carried out,

b) sowohl langsame als auch insbesondere sehr schnelle Messungen durchführbar sind,b) both slow and in particular very fast measurements are feasible,

c) mit verringertem Konstruktionsaufwand ein vibrations-c) with reduced design effort, a vibration

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und schockunempfindliches Interferometer ausführbar ist,and shock-resistant interferometer is executable,

d) durch den geringeren Aufwand an Elektronik und Mechanik ein kompaktes, kleines Interferometer herstellbar ist, welches insbesondere zusammen mit einem geeigneten Mikroprozessor als tragbares, kompaktes Spektrometersystem ausgebildet werden kann, undd) by the lower cost of electronics and mechanics, a compact, small interferometer can be produced, which can be formed in particular together with a suitable microprocessor as a portable, compact spectrometer system, and

e) wegen der einfachen universellen Lagerung des bewegten Spiegels in Form des rotierenden Rückstrahlers RS ein Betrieb des Interferometers in jeder beliebigen Lage im Raum möglich ist;e) because of the simple universal storage of the moving mirror in the form of the rotating reflector RS operation of the interferometer in any position in space is possible;

f) bei paralleler Anordnung der drei Achsen DA, SYA, OA in jeder Stellung des rotierenden Rückstrahlers RS das Strahlenbündel SB unter demselben (bzw. nahe zu demselben) Winkel auf die Rückstrahlerfläche trifft, und daß daher in jeder Stellung die von diesem bewirkte Polarisierung der Strahlung dieselbe (bzw. nahezu dieselbe) ist.f) in parallel arrangement of the three axes DA, SYA, OA in each position of the rotating retroreflector RS, the beam SB at the same (or close to the same) angle on the reflecting surface meets, and therefore in each position caused by this polarization of the Radiation is the same (or nearly the same).

Als Material für den brechenden Keil K können die allgemein üblichen Materialien verwendet werden; allerdings muß der Spektralbereich der jeweiligen Anwendung berücksichtigt werden, indem beispielsweise optische Gläser im sichtbaren Bereich, CaF, KBr, Irtran, usw. im Infraroten usw. verwendet werden.As the material for the breaking wedge K, the common materials can be used; however, the spectral range of the particular application must be taken into account, for example, by using optical glasses in the visible range, CaF, KBr, Irtran, etc. in the infrared, etc.

Selbstverständlich kann das erfindungsgemäße Interferometer auch entsprechend den in der Literatur beschriebenen Abwandlungen nach dem Michelson-Prinzip ausgebildet werden, so beispielsweise als polarisierendes Interferometer. Eine Justierung des festen Spiegels, eine Wegmessung der Spiegelposition, u.a. können in bekannter Weise auch hier durchgeführt werden; beispielsweise kann die Wegmessung durch Laser und Weißlicht mit entsprechenden Detektoren im Strahlengang oder durch Ausbildung eines entsprechenden Referenzinterferometers durchgeführt werden.Of course, the interferometer according to the invention can also be formed in accordance with the modifications described in the literature according to the Michelson principle, for example as a polarizing interferometer. An adjustment of the fixed mirror, a path measurement of the mirror position, u.a. can also be carried out here in a known manner; For example, the path measurement can be performed by laser and white light with appropriate detectors in the beam path or by forming a corresponding reference interferometer.

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Die Art des Rückstrahlers, des Keils und des zweiten festen Spiegels, deren geometrische Abmessungen, die Neigung und der Versatz der drei Achsen sowie die Oberflächengüte der einzelnen Elemente sind in üblicher Weise an die Meßaufgäbe anzupassen. Das gleiche gilt für die Spiegellagerung, die Rotationsgeschwindigkeit und die dazugehörige Elektronik. Der Keil K sollte bezogen auf die optische Achse OA zweckmäßigerweise (aber nicht notwendigerweise) im Minimum der Ablenkung betrieben werden.The nature of the retroreflector, the wedge and the second fixed mirror, their geometric dimensions, the inclination and offset of the three axes and the surface quality of the individual elements are to be adapted to the Meßaufgäbe in a conventional manner. The same applies to the mirror storage, the rotation speed and the associated electronics. The wedge K should be operated with respect to the optical axis OA expediently (but not necessarily) at the minimum of the deflection.

Auch der feste Spiegel Sl kann in bekannter Weise als fester Tripelspiegel (Rückstrahler) ausgebildet sein. Grundsätzlich kann das erfindungsgemäße Interferometer bei allen bisher verwendeten Interferometerverfahren eingesetzt werden, bei welchen die Änderung der Wegdifferenz in irgend einer Form durch Hin- und Herbewegen erzielt wird. Der Spiegel Sl kann auch als Kombination eines rotierenden Rückstrahlers und eines brechenden Keils mit festem Planspiegel ausgebildet sein; hierbei können eventuelle Abbildungsfehler kompensiert und größere Weglängendifferenzen erreicht werden. Ferner kann die beschriebene Methode zur Konstruktion jeder anderen Art von Spektrometern verwendet werden, falls dabei sich ändernde Weglängen erforderlich sind. Generell gilt, .daß der rotierende Rückstrahler entsprechend ausgewuchtet sein soll.Also, the solid mirror Sl may be formed in a known manner as a solid triple mirror (reflector). Basically, the interferometer according to the invention can be used in all previously used interferometer, in which the change in the path difference in any form by reciprocating is achieved. The mirror Sl may also be formed as a combination of a rotating reflector and a refracting wedge with a fixed plane mirror; In this case, possible aberrations can be compensated and larger path length differences can be achieved. Furthermore, the method described may be used to construct any other type of spectrometer, if changing path lengths are required. In general, .dures that the rotating reflector is to be balanced accordingly.

Claims (3)

Erfindungsanspruch:Invention claim: 1. Interferometer nach dem Michselson-Prinzip/ mit mindestens einem brechenden Element, mit einem ersten festen Spiegel (S1), mit einem zweiten festen Spiegel(S2), mit einem Strahlteiler (ST) und mit einem beweglichen Element, dadurch gekennzeichnet, daß als bewegliches Element ein rotierender Rückstrahler (RS) verwendet ist, dessen Drehachse (DA) und dessen Symmetrieachse (SYA) entweder parallel zueinander sind oder gegeneinander geneigt1. interferometer according to the Michselson principle / with at least one refractive element, with a first fixed mirror (S1), with a second fixed mirror (S2), with a beam splitter (ST) and with a movable element, characterized in that movable element is a rotating reflector (RS) is used, the axis of rotation (DA) and its axis of symmetry (SYA) are either parallel to each other or inclined to each other - 14 -- 14 - sind, so daß die beiden Achsen (DA, SYA) nicht zusammenfallen, daß keine der beiden Achsen (DA oder SYA) mit der optischen Achse (OA) des Interferometers (IF) zusammenfällt, daß ferner eine oder beide der Achsen (DA, SYA) des Rückstrahlers (RS) gegen die optische Achse (OA) des Interferometers (IF) geneigt oder zu ihr parallel sind, daß die Drehachse (DA) durch den reflektierenden Bereich des Rückstrahlers (RS) verläuft, und daß die optische Achse (OA) des Interferometers (IF) in jeder Stellung des rotierenden Rückstrahlers (RS) auf eine reflektierende Fläche des Rückstrahlers (RS) trifft, daß ferner als brechendes Element ein nicht bewegbarer, ortsfester Keil (K) mit einem Brechungsindex (n„j vorgesehen ist, welcher ungleich dem Brechungsindex (nT) von Luft ist, und daß der ortsfeste Keil (K) zwischen dem Strahlteiler (ST), dem rotierenden Rückstrahler (RS) und dem zweiten festen Spiegel (S2) so angeordnet ist, daß in jeder Stellung des rotierenden Rückstrahlers (RS) ein vom Strahlteiler (ST) kommendes Strahlenbündel (SB) den wie ein Prisma wirkender Keil. (K) durchläuft, dann auf den Rückstrahler (RS) auftrifft, von diesem seitlich versetzt reflektiert noch einmal an anderer Stelle den Keil (K) durchläuft und senkrecht auf den zweiten, festen Spiegel (S2) auftrifft, von diesem (S2) reflektiert und auf demselben Weg rückwärts zum Strahlteiler (ST) durchläuft, wo es (SB) mit dem vom ersten festen Spiegel (S1) kommenden Strahlenbündel interferiert. are such that the two axes (DA, SYA) do not coincide, that neither of the two axes (DA or SYA) coincides with the optical axis (OA) of the interferometer (IF), that further one or both of the axes (DA, SYA ) of the retroreflector (RS) are inclined or parallel to the optical axis (OA) of the interferometer (IF), in that the axis of rotation (DA) passes through the reflecting region of the retroreflector (RS), and in that the optical axis (OA) of the interferometer (IF) in each position of the rotating retroreflector (RS) on a reflective surface of the retroreflector (RS) encounters that is further provided as a refractive element, a non-movable, stationary wedge (K) with a refractive index (n "j, which is different from the refractive index (n T ) of air, and that the fixed wedge (K) between the beam splitter (ST), the rotating reflector (RS) and the second fixed mirror (S2) is arranged so that in each position of the rotating Reflector ( RS) from the beam splitter (ST) coming beam (SB) acting as a prism wedge. (K) passes, then hits the retroreflector (RS), reflected laterally from this laterally passes through the wedge (K) and perpendicular to the second, fixed mirror (S2), reflected by this (S2) and traverses back to the beam splitter (ST) on the same path where it (SB) interferes with the beam coming from the first fixed mirror (S1). 2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch g e k e η n-30zeichnet, daß der Keil (K) bei Verwendung eines Tripelspiegels als Rückstrahler (RS) für jeweils zwei aufeinanderfolgende Durchgänge des Strahlenbündels wie eine planparallele Platte wirkt.2. Interferometer according to claim 1, characterized g e k e η n-30zeichnet that the wedge (K) when using a triple mirror acts as a retroreflector (RS) for each two successive passes of the beam as a plane-parallel plate. 3. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei paralleler Anordnung der drei Achsen (DA, SYA, OA) in jeder Stellung des rotierenden3. Interferometer according to claim 1, characterized in that in parallel arrangement of the three axes (DA, SYA, OA) in each position of the rotating - 15 -- 15 - 1 Rückstrahlers (RS) die von diesem bewirkte Polarisierung der reflektierten Strahlung dieselbe ist.1 reflector (RS) is the same caused by this polarization of the reflected radiation. - Hierzu 4 Blatt Zeichnungen -- For this 4 sheets drawings -
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