DD209048A1

DD209048A1 - VAKUUMMASKIERVORRICHTUNG

Info

Publication number: DD209048A1
Application number: DD24021582A
Authority: DD
Inventors: Dieter Krause
Original assignee: Dieter Krause
Priority date: 1982-05-27
Filing date: 1982-05-27
Publication date: 1984-04-18

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuummaskiervorrichtung, insbesondere zur Anwendung in fluessigen Medien. Ziel und Aufgabe der Erfindung ist es, insbesondere fuer die Serienfertigung eine einfache aber gleichzeitig sehr sichere Moeglichkeit der Abdeckung bestimmter geometrischer Konturen der Oberflaeche eines Werkstueckes zu gewaehrleisten. Erfindungsgemaess wird das durch eine Vakuummaskiervorrichtung miteinem an einer Vakuumversorgung angeschlossenen Ansaugkopf geloest, wobei der in beliebigen geometrischen Formen ausgefuehrte Ansaugkopf an der aeusseren Kante seiner einem Werkstueck zugewandten Flaeche zwei parallel verlaufende Dichtungen, eine Druckdichtung und eine Saugdichtung, besitzt, zwischen denen ein mit einer Korrektur- Pruefleitung verbundener, den Druckverhaeltnissen des jeweils Umgebungsmediums angepasster Kanal, naemlich ein Druckausgleichkanal besteht und dass der Ansaugkopf innerhalb der Saugdichtung eine Vakuumkammer besitzt.The invention relates to a vacuum masking device, in particular for use in liquid media. The aim and object of the invention is, in particular for mass production, to ensure a simple but at the same time very secure possibility of covering certain geometric contours of the surface of a work piece. According to the invention, this is achieved by a vacuum masking device having a suction head connected to a vacuum supply, the suction head made in any geometrical shape having on the outer edge of its workpiece a two parallel seals, a pressure seal and a suction seal, between which one with a correction - Pruefleitung connected, the Druckverhaeltnissen the respective ambient medium adapted channel, namely a pressure equalization channel exists and that the suction head has a vacuum chamber within the suction seal.

Description

Titel der Erfindung Vakuunimaskiervorrichtung Anwendungsgebiet der Erfindung Title of the Invention Vacuum Imaging Device Field of the Invention

Die Erfindung betrifft eine Vakuuramaskiervorrichtung, insbesondere zur Anwendung in flüssigen Medien»The invention relates to a vacuum masking device, in particular for use in liquid media »

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Für die Be- bzw« EntSchichtung von Werkstücken mittels chemischer und physikalischer Verfahren ist es oft erforderlich, bestimmte Konturen der Oberfläche, die von der Be- bzw,..Ent-schichtung ausgeklammert werden sollen, entsprechend abzudecken. Dazu ist es unter anderem bekannt, diese Konturen mit Fotolacken, Abdecklacken oder Abdeckfolien zu versehen. Diese Art der Abdeckung ist jedoch insbesondere bei der Herstellung großer Stückzahlen, das heißt in der Serienfertigung, sehr aufwendig, da sowohl das Aufbringen als auch das Entfernen der Abdeckung isimer mehrere Verfahrensschritte bzw. Arbeitsgänge erfordert·For the loading and unloading of workpieces by means of chemical and physical processes, it is often necessary to cover certain contours of the surface, which are to be excluded from the loading and / or stripping. Among other things, it is known to provide these contours with photoresists, covercoats or cover films. However, this type of cover is very expensive, in particular in the production of large quantities, that is to say in mass production, since both the application and the removal of the cover isimplicitly requires a plurality of method steps or operations.

Desweiteren ist die Möglichkeit bekannt, mittels Saugnäpfen aus elastischem Material, die an einer Vakuumquelle angeschlossen sind, bestimmte Konturen abzudecken« Diese Ab-Furthermore, the possibility of covering certain contours by means of suction cups of elastic material connected to a vacuum source is known.

-2- £älj £ i D b-2- £ ilj £ i D b

deckungen gewährleisten jedoch keine absolute Dichtheit, so daß eine Anwendung in flüssigen Medien nicht möglich ist ·But covers do not guarantee absolute tightness, so that an application in liquid media is not possible ·

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist es, eine für die Serienfertigung geeignete sichere Möglichkeit aer Abdeckung bestimmter geschlossener Konturen auf einer Oberfläche eines Werkstückes zu finden, 10The aim of the invention is to find a suitable for mass production of certain secure way aer cover closed contours on a surface of a workpiece, 10

Darlegung des Wesens Presentation of the essence der the Erfindunginvention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eina Vorrichtung zu schaffen, die es insbesondere bei der Anwendung in flüssigen Medien ermöglicht, auf einfache Weise eine beliebige geometrische Kontur einer Oberfläche so sicher abzudecken, daß auch bei einer Behandlung über einen längeren Zeitraum das äußere Medium nicht in die abzudeckende Kontur eindringen kann *The invention has for its object to provide aa device that allows, especially when used in liquid media, so easily cover any geometric contour of a surface so that even when treated for a long period of time, the outer medium is not in the contour to be covered can penetrate *

ErfindungsgeiTjäB wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß ein an sich, bekannter'über ein Regelteil an eine Vakuumversorgung angeschlossener Ansaugkopf, der in beliebiger geometrischer Form gestaltet sein kann, so ausgebildet ist, daß er an der äußeren Kante der einem zu bearbeitendem Werkstück zugewandten Fläche zwei parallel verlaufende Dichtungen, nämlich eine Saug- und eine Druckdichtung, besitzt, zwischen denen ein mit einer Korrektur-Prüfleitung verbundener, den Druckverhältnissen des jeweiligen Uiagebungsmediunis angepaßter Aus· gleichskanal besteht, der ein Ansaugen der Usigebungsraedien nicht stattfinden läßt» Im Inneren des Ansaugkopfes besteht eine durch die Vakuumversorgung gewährleistete Vakuumkammer.ErfindungsgeiTjäB the object is achieved in that a per se, known 'about a control part connected to a vacuum supply suction head, which may be designed in any geometric shape, is designed so that it at the outer edge of a workpiece to be machined facing two parallel seals, namely a suction and a pressure seal, between which there is a matching with a correction test line, the pressure ratios of the respective Uiagebungsmediunis adapted equalization channel, which does not take place a suction of Useabungsraedien »Inside the suction there is a guaranteed by the vacuum supply vacuum chamber.

Die beiden Dichtungen können dabei entweder aus Material unterschiedlicher Shore-Härte bestehen oder in ihren Abmessungen unterschiedlich sein, z. 3, kann die SaugdichtungThe two seals can either consist of material of different Shore hardness or be different in their dimensions, for. 3, the suction seal can

- 3 - y /,-ι^s ' ^{Ί c} - 3 - y /, - ι ^s ' ^{Ί c}

gegenüber der Druckdichtung eine geringere Shore-Härte aufweisen oder die Druckdichtung gegenüber der Saugdichtung geringfügig höher ausgebildet sein.opposite to the pressure seal have a lower Shore hardness or the pressure seal against the suction seal may be slightly higher.

Vorteilhaft ist es, um Durchbiegungen der abzudeckenden Oberfläche zu vermeiden, in der Vakuumkammer eine verstellbare Gegenauflage vorzusehen.It is advantageous, in order to avoid deflections of the surface to be covered, to provide an adjustable counter support in the vacuum chamber.

In Ausgestaltung der Erfindung ist es zweckmäßig, in der Korrektur-Prüfleitung ein Druckprüfinstrument anzuordnen,In an embodiment of the invention, it is expedient to arrange a pressure test instrument in the correction test line,

embodiment

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigen:The invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment. In the accompanying drawing show:

FIgV i: eine erfindungsgemäße Vakuummaskiervorrichtung mit Ansaugkopf in der DraufsichtFIgV i: a vacuum masking device according to the invention with suction head in plan view

Fig· 2: Seitenansicht des Ansaugkopfes gem. Fig. 1FIG. 2: side view of the suction head according to FIG. Fig. 1

Ein Ansaugkopf 1 ist über eine Vakuusnieitung 2 und ein Reg.elteil 3 mit einer Vakuumversorgung 4 verbunden,- Die dem zu bearbeitenden Werkstück 5 zugewandte Fläche des Ansaugkopfes weist an ihrer äußeren Kante zwei parallel verlaufende Dichtungen, nämlich eine äußere höher gelegenen Druckdichtung und eine innere geringfügig tiefer liegende Saugdichtung 7 auf. Zwischen der Druckdichtung 6 und der Saugdichtung 7 entsteht ein Druckausgleichkanal 8, der über eine Korrektur-Prüfleitung 9 ebenfalls mit dem obengenannten Regelteil 3 verbunden ist. Innerhalb der Saugdichtung 7 entsteht dann im Betriebszustand der erfindungsgemäßen Vakuummaskiervorrichtung eine Vakuumkammer 10, die mit der Vakuumleitung 2 direkt verbunden ist. In der Vakuumkammer 10 ist zentrisch eine verstellbare Gegenauflage 11 angeordnet. Ein Druckprüfinstrument 12 ist in der Korrektur-Prüfleitung 9 eingefügt.A suction head 1 is connected to a vacuum supply 4 via a vacuum line 2 and a control part 3. The surface of the suction head facing the workpiece 5 to be machined has two parallel seals at its outer edge, namely an outer higher pressure seal and an inner seal slightly lower suction seal 7. Between the pressure seal 6 and the suction seal 7 is formed a pressure equalization channel 8, which is also connected via a correction test line 9 with the above control part 3. Within the suction seal 7 then arises in the operating state of the vacuum masking device according to the invention, a vacuum chamber 10 which is connected directly to the vacuum line 2. In the vacuum chamber 10, an adjustable counter support 11 is arranged centrally. A pressure tester 12 is inserted in the correction test line 9.

, η, η

Der Ansaugkopf 1 wird, gegebenenfalls mit entsprechender Positioniereinrichtung, auf die abzudeckende Kontur der Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstückes 5 gebracht. Danach wird die Vakuumleitung 2 mittels dem ira Regelteil 3 befindlichen Dreiweghahn 13 geöffnet» Die Korrektur-Prüfleitung 9 bleibt noch geschlossen, Im Verlaufe des Evakuierungsvorganges wird das Werkstück 5 von der zuerst anliegenden» geringfügig höher gelegenen Druckdichtung 6 auf die innere, tiefer gelegene Saugdichtung 7 angezogen. Gleichzeitig stößt die Oberfläche des Werkstückes 5 auf die, auf die entsprechende Höhe eingestellte Gegenauflage 11 und verhindert somit ein Durchbiegen des Werkstückes 5, Nachdem der Evakuierungsvorgang beendet ist und die Saugdichtung 7 an der Oberfläche des Werkstückes 5 haftet, wird die Korrektur-Prüfleitung 9 über ein ira Regelteil 3 befindliches Ventil 14 geöffnet und eine Kontrolle mittels dem Druckprüfinstrument 12 bzw» eine Zufuhr von Luft für den Druckausgleich kann erfolgen.» Die äußere Druckdichtung 6 kann somit ohne seitliche, zunehmende Saug- und Druckbeanspruchung ihre sichere Abdichtfunktion erfüllen. Damit kann das Werkstück mit dem Ansaugkopf 1 zur Bearbeitung, z_# B. zum Ätzen, in das entsprechende Medium, z. B . .eine Ätzf lüsslgkait·, gebracht werden. Nach Ablauf der Bearbeitungszeit und gegebenenfalls anschließend notwendiger Reinigung wird sowohl die Vakuuraleitung 2 als auch die Korrektur-Prüfleitung 9 geschlossen, der Ansaugkopf 1 belüftet und das Werkstück 5 vom Ansaugkopf 1 wieder getrennt*The suction head 1 is, optionally with appropriate positioning, brought to the contour to be covered the surface of the workpiece 5 to be machined. Thereafter, the vacuum line 2 is opened by means of the three-way valve 13 located in the ira control section 3. The correction test line 9 still remains closed. In the course of the evacuation process, the workpiece 5 is moved from the first adjoining »slightly higher pressure seal 6 to the inner, deeper suction seal 7 dressed. At the same time, the surface of the workpiece 5 abuts against the corresponding counter height set counter bearing 11 and thus prevents bending of the workpiece 5, After the evacuation process is completed and the suction seal 7 adheres to the surface of the workpiece 5, the correction test line 9 via an ira Regelteil 3 befindliches valve 14 is opened and a check by means of Druckprüfinstrument 12 or »a supply of air for pressure equalization can take place.» The outer pressure seal 6 can thus fulfill their safe sealing without lateral, increasing suction and pressure. This allows the workpiece with the suction head 1 for processing, for example, _# of etching, in the appropriate medium, such. B. an etching fluid. After the processing time and, if necessary, subsequent cleaning, both the vacuum line 2 and the correction test line 9 are closed, the suction head 1 is ventilated and the workpiece 5 is separated again from the suction head 1 *

Ins vorstehenden Ausführungsbeispiel wurde der Einfachheit halber der Ansaugkopf 1 in quadratischer Form dargestellt, es ist aber auch jede, beliebig andere geometrische Form möglich*In the above embodiment, the suction head 1 has been shown in a square shape for the sake of simplicity, but it is also any, any other geometric shape possible *

Claims

1. Vacuum masking device with a connected via a control part to a Vakuuraversorgung suction, especially for use in liquid media, gekennzexchnet characterized in that the running in any geometric shapes suction head (1) at the outer edge of its a workpiece (5) facing surface two parallel Gaskets, a pressure seal (6) and sine suction seal (7), between which a with a correction test line (9) connected to the pressure conditions of the respective Umweltstnediuras adapted channel, namely a pressure equalization channel (8) and in that the suction head (1 ) has a vacuum chamber (10) within the suction seal (7).

2. Vakuummaskieryprrichtung according to item I ₁ characterized in that the suction seal (7) opposite the pressure seal (6) has a lower Shore hardness »

3, Vakuuraraaskiervorrichtung according to item 1, characterized in that at the same Shore hardness of the pressure and suction seal (6; 7) the Druckdichtung- (6) relative to the suction seal (7) is slightly higher.

4. Vakuuramaskiervorrichtung according to Pkt. 1 to 3, characterized in that in the vacuum chamber (10) an adjustable counter-bearing (11) is arranged.

5, Vakuuxnpaskiervorrichtung according to pt. 1 to 4, characterized in that in the correction test line (9) a Druckprüfinstrument (12) is arranged.

For this 1 sheet drawing