DD202897A1

DD202897A1 - DEVICE FOR CHANGING TEST GLASSES IN VACUUM COMBUSTION PLANTS

Info

Publication number: DD202897A1
Application number: DD23223981A
Authority: DD
Inventors: Ulrike Ehrlich; Egon Goldammer; Hans Luhn; Norbert Solger; Joachim Standfest; Roman Zielinski
Original assignee: Ulrike Ehrlich; Egon Goldammer; Hans Luhn; Norbert Solger; Joachim Standfest; Roman Zielinski
Priority date: 1981-07-31
Filing date: 1981-07-31
Publication date: 1983-10-05

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Wechseln von Testglaesern in Vakuum-Bedampfungsanlagen, in denen insbesondere Vielschicht-Interferenzsysteme auf optische Objekte aufgedampft werden. Die bekannten Wechselvorrichtungen haben die Nachteile eines grossen Platzbedarfes und der Beschaedigung der Testglaeser durch Kratzspuren. Die Aufgabe der Erfindung, eine Einrichtung zum Wechseln von Testglaesern zu schaffen, die einen geringen Platzbedarf aufweist und eine Beschaedigung der Testglaeser ausschliesst, wird dadurch geloest, dass in einem Gehaeuse, welches aus einer Kammer und einen in den Vakuumraum hineinragenden Hohlzylinder besteht, ein Wechselwerk angeordnet ist, dessen endlose Kette fuer die Aufnahme der Testglaeser ausgebildet ist. Durch mechanisches Anheben und Absetzen werden die Testglaeser jeweils in die erforderliche Messposition gebracht. Der Platzbedarf ist trotz Verwendung relativ grosser Testglaeser wesentlich vermindert und die Beschaedigung der Testglaeser ausgeschlossen.The invention relates to a device for changing test glasses in vacuum vapor deposition systems, in which in particular multilayer interference systems are deposited on optical objects. The known changing devices have the disadvantages of a large footprint and the damage of the test glasses by scratch marks. The object of the invention to provide a device for changing test glasses, which has a small footprint and excludes damage to the test glasses, is achieved by providing an exchange mechanism in a housing which consists of a chamber and a hollow cylinder projecting into the vacuum space is arranged, whose endless chain is designed for receiving the test glasses. By mechanical lifting and depositing the test glasses are brought into the required measuring position. The space requirement is substantially reduced despite the use of relatively large test glasses and the damage to the test glasses is ruled out.

Description

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Einrichtung zum Wechseln von Testgläsern in Vakuum-BedampfungsanlagenDevice for changing test glasses in vacuum evaporation systems

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Wechseln von Testgläsern in Vakuum-Bedampfungsanlagen, in denen insbesondere eine große Anzahl von Schichten, z. B. Vielschicht-Interferenzsysteme auf optische Objekte aufgedampft werden.The invention relates to a device for changing test glasses in vacuum vapor deposition systems, in which in particular a large number of layers, for. B. multilayer interference systems are deposited on optical objects.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Die bekannten Wechselvorrichtungen arbeiten mit einem Vorratsbehälter, in dem die Testgläser flach aufeinanderliegend geschichtet sind, einem ebensolchen Sammelbehälter, einem horizontal liegenden Verbindungskanal, der den unteren Abschluß der Behälter bildet und einem Schieber, der die jeweils unterste Glasscheibe aus dem Vorratsbehälter zunächst in die Bedampfungs- und zugleich Meßposition schiebt, später dieselbe bis zum Sammelbehälter weiterbewegt und unter den Stapel der bereits bedampften Glasscheiben drückt.The known changing devices work with a storage container in which the test glasses are stacked flat on top of each other, a collection container lying horizontally, a horizontal connecting channel, which forms the lower end of the container and a slide, the first lowermost glass from the reservoir first in the sputtering and at the same time pushes measuring position, later moves the same up to the collecting container and presses under the stack of already vapor-deposited glass panes.

lachteile einer solchen Wechselvorrichtung sind der relativ komplizierte Mechanismus für den Antrieb des Schiebers und die schwierige Gestaltung und genaue Bemessung der Konturen des Verbindungskanals an der Einmündung in den Sammelbehälter, wo die einzubringende Glasscheibe un-The disadvantages of such a changing device are the relatively complicated mechanism for driving the slide and the difficult design and exact dimensioning of the contours of the connecting channel at the confluence with the collecting container, where the glass pane to be introduced

ter den Stapel geschoben und auf einer Schräge so weit nach oben gedrückt werden muß, daß die nächste Glasscheibe in gleicher Weise untergeschoben werden kann. Ein weiterer Hachteil besteht darin, daß die bedampften Planflächen der Glasscheiben beim Einschieben in den Sammelbehälter durch Kratzspuren beschädigt werden, so daß ein späteres Kontrollieren und nachmessen derselben außerhalb des Vakuumraumes erschwert ist und fehlerhafte.Ergebnisse bringen kann· Den Sammelbehälter nach unten hängend anzuordnen und die Glasscheiben hineingleiten zu lassen, was naheliegend wäre, verbietet sich wegen der Behinderung des DampfZutritts zu den Objekten. Es sind vereinfachte Wechselvorrichtungen bekannt, bei denen die bedampften Glasscheiben einfach in einen am Boden der Vakuumkammer stehenden Behälter geworfen werden, • wobei man den lachteil der erheblichen Beschädigungen in Kauf nimmt.ter pushed the stack and on a slope must be pushed so far up that the next glass can be pushed in the same way. Another Hachteil is that the steamed flat surfaces of the glass panes are damaged when inserted into the collecting container by scratch marks, so that a later check and remeasure of the same outside the vacuum space is difficult and erroneous.Results can bring · The collecting container to hang down and the Sliding glass panes, which would be obvious, is not possible because of the obstruction of the vapor access to the objects. There are simplified changing devices are known in which the steamed glass sheets are simply thrown into a container standing at the bottom of the vacuum chamber, • taking the laughing part of the considerable damage in purchasing.

Eine Wechselvorrichtung wurde vorgeschlagen (DE-PS 16 96 099/19 34 937), bei der Vorrats- und Sammelbehälter_ gemeinsam eine Schiebebewegung, vorzugsweise auf einer Kreisbahn, ausführen und dabei auf einer feststehenden Platte gleiten, die in der Meßposition eine Einsenkung und eine tiefer liegende Mut enthält, in der eine mit dem Sammelbehälter verbundene Zunge gleitet. Befindet sich der Vorratsbehälter über der Meßposition, so fallt eine Glasscheibe in die Einsenkung, bewegt sich der Sammelbehälter auf die Meßposition zu, so greift die Zunge unter die Glasscheibe und wirkt ebenso wie der vorstehend beschriebene Schieber, d. h. auch hierbei wird die "bedampfte Glasscheibe unter den Stapel der im Sammelbehälter befindlichen gedrückt und der Nachteil des Zerkratzens ist zu verzeichnen.A changing device has been proposed (DE-PS 16 96 099/19 34 937), in the storage and Sammelbehälter_ together a sliding movement, preferably on a circular path, while sliding on a fixed plate, which in the measuring position a depression and a deeper lying courage, in which a tongue connected to the collecting container slides. If the storage container is located above the measuring position, then a glass pane falls into the depression, the collecting container moves towards the measuring position, the tongue engages under the glass pane and acts just like the slide described above, ie. H. Here, too, the "steamed glass is pressed under the stack of located in the collection and the disadvantage of scratching is recorded.

Gegenüber der Wechselvorrichtung mit feststehenden Behältern ist bei der vorgeschlagenen Wechselvorrichtung mit beweglichen Behältern der Antrieb einfacher. Die Bewegung der Behälter auf einer Kreisbahn ist eine begrenzte Schwenkbewegung mit Raststellung bei etwa halbem Schwenkwinkel·Compared to the changing device with fixed containers the drive is easier in the proposed changing device with movable containers. The movement of the containers on a circular path is a limited pivotal movement with detent position at about half the tilt angle ·

Es sind ferner auch ganz einfache Wechselvorrichtungen bekannt, bei denen die Glasscheiben auf einer Kreislinie einer schrittweise angetriebenen Drehscheibe angeordnet sind und nacheinander in die Meßposition bewegt werden· Hierbei können allerdings nur beispielsweise 7 Testgläser aufgenommen werden, da die Größe der Drehscheibe gering gehalten werden muß, um den für die zu bedampfenden Objekte nutzbaren Platz nicht zu. stark zu vermindern·There are also also very simple changing devices are known in which the glass sheets are arranged on a circular line of a stepwise driven turntable and are successively moved to the measuring position · Here, however, only 7 test glasses can be included, since the size of the turntable must be kept low, not to the space usable for the objects to be steamed. to greatly reduce ·

Bei den bekannten Wechselvorrichtungen mit 2 feststehenden Behältern und dazwischenliegender Meßposition ist der Durchmesser des umgrenzenden Kreises theoretisch 3mal, praktisch 4- bis 5mal so groß wie der Durchmesser des Testglases, wodurch ein relativ großer Platz benötigt wird· Die in der DE-PS 16 96 099 vorgeschlagene Wechselvorrichtung mit bewegten Behältern ist in dieser Hinsicht noch ungünstiger» Um den Platzbedarf gering zu halten, bzw. um mit dem durch die Vakuura-Bedampfungsanlage vorgegebenen Platz auszukommen, wird mit möglichst kleinen Testgläsern gearbeitet. Testgläser größerer Abmessungen sind wegen der größeren nutzbaren Fläche und der leichteren Justierung, insbesondere bei Reflexionsmessungen, günstiger und werden z. B. bei der Anwendung einfacher Haltevorrichtungen für Testgläser in Vakuum-Bedampfungsanlagen bevorzugt.In the known changing devices with 2 fixed containers and intermediate measuring position of the diameter of the circumscribed circle is theoretically 3 times, practically 4 to 5 times as large as the diameter of the test glass, whereby a relatively large space is required · The in DE-PS 16 96 099 proposed changing device with moving containers is still unfavorable in this regard. "In order to keep the footprint low, or to get along with the space given by the Vakuura-evaporation system, work is done with the smallest possible test glasses. Test glasses of larger dimensions are due to the larger usable area and easier adjustment, especially in reflection measurements, cheaper and z. B. in the application of simple holding devices for test glasses in vacuum vapor deposition preferred.

Ein Uachteil, der allen bekannten Wechselvorrichtungen anhaftet, ist die Empfindlichkeit die das Testglas in Meßposition fixierenden Bauteile gegen Wärmeeinwirkung, d. h. durch unterschiedliche Erwärmung entstehenden Yerlagerun-• gen des Testglases, was bei Reflexionsmessungen zu Störungen führt oder die Meßgenauigkeit beeinträchtigt. Die an den Bauteilen nachweisbare Temperatur beträgt bis zu 400 ⁰C, wenn aus technologischen Gründen die zu bedampfenden Objekte beheizt werden müssen. Eine einseitig wirkende, vom Verdampfer ausgehende Wärmestrahlung ist stets vorhanden·A disadvantage that adheres to all known exchangeable devices is the sensitivity of the test glass in the measuring position-fixing components against the action of heat, ie, resulting from different heating Yerlagerun- • gene of the test glass, which leads to interference in reflectance measurements or affects the accuracy. The detectable temperature of the components is up to 400 ⁰ C, if for technological reasons, the objects to be heated must be heated. A unidirectional thermal radiation emanating from the evaporator is always present.

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Ziel der ErfindungObject of the invention

Das Ziel der Erfindung besteht in der Schaffung einer leicht zu handhabenden Wechselvorrichtung, die einen einfachen Aufbau hat und die die Beschädigung der Testgläser ausschließt·The object of the invention is to provide an easy-to-handle changing device which has a simple structure and which excludes damage to the test glasses.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zum Wechseln von Testgläsern zu schaffen, die bei vergleichsweise groß bemessenen Testgläsern einen möglichst geringen Platz benötigt, eine genügende Anzahl Testgläser so aufnimmt und bewegt, daß eine Beschädigung ihrer Planflächen ausgeschlossen ist und einen solchen Aufbau hat, der ein unkompliziertes Auswechseln ermöglicht' und die Einstellbarkeit der Meßebene über oder unter die Ebene der zu bedampfenden Objekte gewährleistet. Dabei sollen die das'Testglas in Meßposition fixierenden Bauteile gegen Wärmeeinwirkung möglichst unempfindlich sein.The invention has for its object to provide a means for changing test glasses, which requires the smallest possible space in comparatively large sized test glasses, a sufficient number of test glasses so receives and moves that damage to their flat surfaces is excluded and has such a structure, which allows an uncomplicated replacement 'and ensures the adjustability of the measurement level above or below the level of objects to be vaporized. At the same time, the components which fix the test glass in the measuring position should be as insensitive as possible to the action of heat.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch eine Einrichtung gelöst, die aus einem Gehäuse und einem im Gehäuse angei' 20 ordneten, eine endlose Kette aufweisenden Wechselwerk besteht. Das Gehäuse besteht dabei aus einer Kammer und einem mit dieser Kammer verbundenen, durch einen Tubus abgeschlossenen Hohlzylinder.According to the invention the object is achieved by a device which consists of a housing and a angei 'in the housing 20, an endless chain having exchange work. The housing consists of a chamber and connected to this chamber, closed by a tube hollow cylinder.

Die Kammer, die sich mit Stellspindeln auf dem Bund einer vakuumdichten Schiebedurchführung abstützt, ist mit dem in den Vakuumraum hineinragenden Hohlzylinder formschlüssig verbunden. Der Tubus seinerseits wird durch eine justierbare kreisringförmige Scheibe abgeschlossen. Das Wechselwerk besteht aus längsschienen zur Führung der Kette im Hohlzylinder, einem von in Buchsen geführten und von Federn abgestützten Ründstangenmit den Längsschienen verbundenen Rahmen, einer an diesem Rahmen befestigten, die Form eines halben Kleeblattes aufweisenden Kettenfüh-The chamber, which is supported with adjusting spindles on the collar of a vacuum-tight sliding feedthrough, is positively connected to the protruding into the vacuum chamber hollow cylinder. The tube in turn is closed by an adjustable annular disc. The exchange mechanism consists of longitudinal rails for guiding the chain in the hollow cylinder, a frame guided in bushes and supported by springs, rods connected to the longitudinal rails, a chain guide attached to this frame and having the shape of half a cloverleaf.

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rung, die in der Kammer durch zwei zur Hohlzylinderachse parallele Stangen dadurch geführt wird, daß die in der Kammer befestigten Stangen in Bohrungen einer^ am oberen Teil des Wechselwerkes angeordneten abgewinkelten Schiene gleiten sowie einen in der Kammer angeordneten Kurbeltrieb der mit einer Rolle unter; die abgewinkelte Schiene greift. Die Kettenführung ist in der Kammer derart angeordnet, daß die Rohrmitte in Verlängerung bis zu einem im Deckel der Kammer befindlichen Fenster für den Strahlengang frei bleibt.tion, which is guided in the chamber by two parallel to the hollow cylinder axis rods characterized in that the rods mounted in the chamber slide in holes in a ^ arranged at the upper part of the exchange work angled rail and arranged in the chamber crank mechanism with a roller below; the angled rail engages. The chain guide is arranged in the chamber such that the tube center remains free in extension up to a window located in the lid of the chamber for the beam path.

Die untere Führung der Kette wird durch eine an den Längsschienen über Streben drehbar angeordnete Wendeplatte, ihrer Funktion nach ein zweizähniges Kettenrad, übernommen, die in Arbeitsstellung das unterste Kettenglied gegen die im Tubus befindliche Öffnung drückt. Des weiteren sind im Hohlzylinder nach unten gerichtete Sperrhaken angeordnet.The lower guide of the chain is taken over by a to the longitudinal rails on struts rotatably mounted insert, their function after a bidentate sprocket, which presses in working position, the lowest chain link against the opening located in the tube. Furthermore, downwardly directed locking hooks are arranged in the hollow cylinder.

Die die endlose Kette mit Zwischengliedern bildenden Fassungsringe besitzen für die Aufnahme der Testgläser auf einer Planfläche eine Sindrehung sowie eine daneben liegende Hut für die Befestigung einer Feder, die so angeordnet ist, daß ihre freistehenden Enden das Testglas in der Eindrehung festhaltenThe mounting rings forming the endless chain with pontics have a twist for receiving the test glasses on a plane surface and an adjacent hat for fixing a spring, which is arranged so that its free ends hold the test tube in the recess

Die Wirkungsweise der Einrichtung ist dabei wie folgt: The operation of the device is as follows:

In die am Rezipienten befestigte Kammer mit Hohlzylinder wird ein an einem separaten Arbeitsplatz mit Testgläsern bestücktes Wechselwerk so eingesetzt, daß es durch die in der Kammer angeordneten Stangen geführt wird und das unterste Testglas mit Hilfe der Wendeplatte infolge des Eigengewichtes des Wechselwerkes gegen die Scheibe im Tubus drückt. Danach wird der Deckel der Kammer fest verschlossen.In the attached to the recipient chamber with hollow cylinder equipped with a separate workstation with test glasses exchange is used so that it is passed through the arranged in the chamber rods and the bottom test glass by means of the insert as a result of the weight of the exchange work against the disc in the tube suppressed. Thereafter, the lid of the chamber is tightly closed.

Soll nach dem Bedampfen eines Testglases ein neues Testglas vor die Öffnung im Tubus gebracht werden,so wird die an der Kammer befindliche Kurbel eine Umdrehung weitergedreht. Dabei greift die Rolle unter die an den Längsschienen angeordnete abgewinkelte Schiene und hebt zunächst das Wechselwerk an. Der im Hohlzylinder angeordnete SperrhakenIf, after steaming a test glass, a new test glass is placed in front of the opening in the tube, the crank located on the chamber is rotated one turn further. The roller engages under the angled rail arranged on the longitudinal rails and first raises the exchange mechanism. The arranged in the hollow cylinder pawl

verhindert, daß sämtliche Kettenglieder die Hubbewegung ausführen, so daß lediglich eine Relativbewegung in der Form erfolgt, daß die dem Sperrhaken gegenüberliegenden Kettenglieder die Aufwärtsbewegung mitmachen und die Wendeplatte sich um ungefähr 180 ° wendet.prevents all chain links the lifting movement ausfü en hr, so that only a relative movement is in the shape that the side opposite to the pawl chain links join the upward movement and the Wen deplatte by approximately 180 ° turns.

Beim Weiterdrehen der Kurbel in ihre Ausgangslage senkt sich das Wechselwerk, wobei das oberhalb der Sperrhaken liegende Kettenglied über die Sperrhaken gleitet. In ihrer tiefsten Stellung befindet sich zwischen der Rolle und der abgewinkelten Schiene ein solcher Zwischenraum, daß das Wechselwerk durch sein Eigengewicht das unterste Kettenglied, mit dem Testglas gegen die Scheibe im Tubus drückt, wobei sich die Wendeplatte nach der Scheibe ausrichtet und die mit ihr verbundenen federbelasteten Längsschienen eine stoßartige Belastung des Testglases ausschließen. Die Auswechslung der Testgläser kann erfolgen, indem das gesamte Wechselwerk ausgetauscht wird oder indem über den Vakuumraum nach Entfernen des Tubus einzelne Testgläser ausgewechselt werden. Das Wechselwerk kann in diesem PaI-Ie von Hand mqIterge,sehaltet werden.Upon further rotation of the crank to its original position, the exchange unit lowers, with the chain link lying above the locking hooks sliding over the locking hooks. In its lowest position is located between the roller and the angled rail such a gap that the exchange presses by its own weight the lowest chain link, with the test glass against the disc in the tube, with the insert aligns with the disk and the associated with her spring-loaded longitudinal rails exclude an impact load of the test glass. Replacement of the test glasses can be done by replacing the entire exchange or by replacing individual test tubes on the vacuum space after removing the tube. The exchange can be held in this PaI-Ie by hand mqI .

Mit dieser erfindungsgemäßen Einrichtung zum Wechseln von Testgläsern in Vakuumbedampfungsanlagen werden ökonomische Vorteile einmal-dadurch erreicht, daß der Platzbedarf im ' Inneren des Vakuumraumes sehr gering ist_s was eine Vergrößerung der die Objekte aufnehmenden Fläche bedeutet und sich als Erhöhung der Produktivität der Anlage auswirkt. Zum anderen wird die Qualität der Objekte verbessert durch die Erhöhung der Meßgenauigkeit, wobei die Verwendung relativ großer Testgläser, die Vermeidung von Beschädigungen derselben durch Kratzspuren sowie die Gestaltung der beweglichen Teile und die Werkstoffauswahl zur Vermeidung von Wärmeverzug beste Voraussetzungen sind. Zu erwarten ist, daß Ausschuß durch Fehlmessungen, der stets die gesamte Charge betrifft, vermieden oder doch V35 stark verringert werden kann.With this inventive device for changing test glasses in Vakuumbedampfungsanlagen economic advantages are once-achieved in that the space in the 'interior of the vacuum space is very low _s which means an increase in the objects receiving surface and acts as an increase in productivity of the system. On the other hand, the quality of the objects is improved by increasing the accuracy of measurement, the use of relatively large test glasses, avoiding damage to them by scratch marks and the design of the moving parts and the choice of materials to avoid thermal distortion are the best conditions. It is to be expected that scrap can be avoided or even greatly reduced by incorrect measurements, which always affect the entire batch.

Ein weiterer Vorteil ist die Verstellbarkeit der Meßebene um ein bestimmtes Maß vor oder hinter die Objektebene, wo-Another advantage is the adjustability of the measurement plane by a certain amount in front of or behind the object plane, where

durch meßtechnisch ein Interferenzpunkt als Minimum oder Maximum angesteuert werden kann, wenn auf den Objekten ein bestimmter Zwischenwert mit hoher Genauigkeit erfaßt werden soll.by measurement technology, an interference point can be controlled as minimum or maximum, if a certain intermediate value with high accuracy is to be detected on the objects.

Ausführungsbeispielembodiment

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigenThe invention will be explained below with reference to an exemplary embodiment. In the accompanying drawing show

Fig· 1: einen Schnitt durch die erfindungsgemäße Einrichtung von vorn gesehen1: a section through the device according to the invention seen from the front

Fig. 2: einen Schnitt durch die erfindungsgemäße Einrichtung von der Seite gesehen Pig. 3: einen Schnitt gemäß Fig. 2 bei angehobenem Wechselwerk Fig. 4: Einzelheit A gemäß Fig. 2 Fig. 5: den Schnitt C-C gemäß Fig. 2Fig. 2: a section through the device according to the invention seen from the side Pig. 3: a section according to FIG. 2 with the exchanging mechanism raised FIG. 4: detail A according to FIG. 2 FIG. 5: the section C-C according to FIG. 2

Das Gehäuse 1, welches das Wechselwerk 2 aufnimmt, besteht aus der mit einem Deckel 3 verschließbaren Kammer 4 und dem sich an die Kammer 4 anschließenden Hohlsylinder 5, der innerhalb des Yäkuumraumes mit einem Tubus 6, der an seinem unteren Ende eine justierbare Scheibe 7 trägt, verschlossen ist·The housing 1, which accommodates the exchange 2, consists of the closable with a lid 3 chamber 4 and adjoining the chamber 4 hollow cylinder 5, which carries within the Yäkuumraumes with a tube 6, which carries an adjustable disc 7 at its lower end , is closed ·

Das Wechselwerk 2 besteht aus einer endlosen Kette 8, die aus Fassungsringen 9 und Zwischengliedern 10 gebildet ist, aus Längsschienen 11, die im Hohlzylinder 5 die Führung der Kette 8 übernehmen; an diesen Längsschienen 11 angeordneten Buchsen 12, in denen durch Federn 14 abgestützte Rundstangen 13 gelagert sind, sowie aus dem an den Rundstangen 13 befestigten Rahmen 15, der seinerseits die Kettenführung 16 zur Umkehrung der Kette 8 in der Kammer 4 trägt· An einer Längsschiene 11 ist des weiteren, wie in Fig. 2 und 3 zu ersehen ist, eine abgewinkelte Schiene 17 angebracht, die zwei Bohrungen aufweist und auf zwei inThe exchange 2 consists of an endless chain 8, which is formed from mounting rings 9 and pegs 10, from longitudinal rails 11, which take over the leadership of the chain 8 in the hollow cylinder 5; arranged on these longitudinal rails 11 sockets 12, in which supported by springs 14 round rods 13 are mounted, and from the attached to the rods 13 frame 15, which in turn carries the chain guide 16 for reversing the chain 8 in the chamber 4 · On a longitudinal rail 11th is further, as can be seen in Figs. 2 and 3, an angled rail 17 is attached, which has two holes and two in

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der Kammer 4 angeordneten Führungsbolzen 18 gleitet. Ein an der Wand der Kammer 4 befindlicher Kurbeltrieb 19 greift mit seiner Rolle 20 unter die abgewinkelte Schiene 17» wobei im entlasteten Zustand zwischen der Schiene 17 und der Rolle 20 ein Spalt vorhanden ist.the chamber 4 arranged guide pin 18 slides. A located on the wall of the chamber 4 crank mechanism 19 engages with its role 20 under the angled rail 17 »wherein in the unloaded state between the rail 17 and the roller 20, a gap is present.

Die Längsschienen 11, im Querschnitt U-Profile mit abgewinkelten Ecken, sind untereinander durch Stifte 21 verbunden, die in Langlöchern des Gegenteiles geführt werden. Dadurch ist eine axiale Verschiebbarkeit der Längsschienen 11 gegeneinander gewährleistet, was beim Senken des Wechselwerkes 2 notwendig ist, um ein sicheres Aufsitzen des Testglases auch bei Schrägstellung der Scheibe 7 zu gewährleisten· -Am unteren Ende der Längsschienen 11 sind Streben 22, vorzugsweise aus Stahldraht, befestigt, an denen die Wendeplatte 23, wie aus der Pig. 4 und 5 ersichtlich ist, drehbar gelagert ist. Ebenfalls in Pig·. 4 ist die Befestigung der justierbaren Scheibe 7 am Tubus 6 dargestellt. Die innere kleeblattförmige Bohrung in der Wendeplatte 23 sorgt dafür, daß die Enden der Feder 25, die das Testglas 26 in die Ausdrehung des Passungsringes 9 fixiert, nicht gegen die Wendeplatte 23 drücken. Das Testglas 26 ist im Passungsring 9 in der Sindrehung so gelagert, daß in Arbeitsposition die Wendeplatte 23 auf eine aus dem Passungsring 9 herausragende Planfläche des Testglases 26 und dieses gegen die Öffnung in der Scheibe 7 drückt. Das Spannen der Kette 8 übernehmen die auf den Rundstangen 13 angeordneten Pedern 14, die das Oberteil des Wechselwerkes 2 mit der Ketten führung 16 nach oben drücken.The longitudinal rails 11, in cross-section U-profiles with angled corners, are interconnected by pins 21 which are guided in oblong holes of the opposite. As a result, an axial displacement of the longitudinal rails 11 is ensured against each other, which is necessary when lowering the exchange 2 to ensure safe seating of the test glass even when tilting the disc 7 -Am the lower end of the longitudinal rails 11 are struts 22, preferably made of steel wire, attached to which the insert 23, as shown in the Pig. 4 and 5 can be seen, is rotatably mounted. Also in Pig ·. 4, the attachment of the adjustable disk 7 on the tube 6 is shown. The inner cloverleaf-shaped bore in the insert plate 23 ensures that the ends of the spring 25, which fixes the test tube 26 in the recess of the fitting ring 9, do not press against the insert plate 23. The test glass 26 is mounted in the pass ring 9 in the true rotation so that in the working position, the insert plate 23 presses on an outstanding from the fitting ring 9 plane surface of the test glass 26 and this against the opening in the disk 7. The tensioning of the chain 8 take over the round rods 13 arranged Pedern 14, the leadership of the exchange 2 with the chains 16 guide up.

In den Pig. 1 bis 3 sind des weiteren die im Hohlzylinder angeordneten Sperrhaken 27 dargestellt, die in der gezeichneten Stellung (Pig. 3) einen Passungsring 9 blockieren. Der Passungsring 9 wird in diesem Bereich durch Pührungsbleche 28 geführt. Seitlich an der Kammer 4 sind die Stellschrauben 29 angeordnet, die sich auf dem Plansch einer an sich bekannten vakuumdichten Schiebedurchführung abstützenIn the pig. 1 to 3, furthermore, the locking hooks 27 arranged in the hollow cylinder are shown, which block a fitting ring 9 in the drawn position (Pig. The Passungsring 9 is guided in this area by Pührungsbleche 28. The side of the chamber 4, the screws 29 are arranged, which are supported on the planch of a known vacuum-tight sliding feedthrough

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und ermöglichen, daß die Einrichtung in vertikaler Richtung wie auch in einem kleinen ?/inkel zu dieser verstellbar ist· Mit 30 ist die Vakuumkammer und mit 31 sind die zu bedampfenden Objekte bezeichnet.and allow the device to be adjustable in the vertical direction as well as in a small angle to it. With 30 is the vacuum chamber and 31 the objects to be vaporized are designated.

Claims

- ίο - SrfinduBgsanspruch

1. Einri hurries tang for changing test tubes in vacuum vapor deposition systems, characterized in that in a housing (1), which consists of a lid (3) provided with a chamber (4) and one with the chamber (4) through a barrel (6) is closed hollow cylinder (5), an exchange (2) is arranged, which has an endless chain (8) consisting of Passungsringen (9) and intermediate links (10), for receiving test glasses (26 ) is formed and in the chamber (4) a crank mechanism (19) is provided and that the chain (8) in the chamber (4) is guided so that the tube center in extension up to one in the lid (3) of the chamber (4) Penster remains free for the beam path,

2. Device according to item 1, characterized in that the exchange (2) of longitudinal rails (11), one of round rods (13) in bushings (12) out and supported by springs (14), with the longitudinal rails (11) connected frame (15), a fixed to the frame (15), the Porm of a half-clover performing chain guide (16), an upper part of the exchange (2) arranged angled rail (17) and a turning plate (23), at the lower part the longitudinal rails (11) by means of struts (22) is rotatably mounted, and in that the turning plate (23) has a cloverleaf-shaped opening.

3 · Device according to point 1 and 2, characterized in that in the rail (17) bores are present in which in the chamber (4) arranged guide pins (18) slide and the crank mechanism (19) with a roller (20) under the rail (17) engages and that in the working position the roller (20) does not touch the rail (17).

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4 · Device according to items 1 to 3 »characterized in that in the hollow cylinder (5) locking hooks (27) and guide plates (28) are arranged, wherein the distance of the guide plates (28) from each other is slightly larger than the diameter of the socket rings (9) and that the tube (6) arranged on the hollow cylinder (5) is closed off by an adjustable annular disc (7), which in turn extends into the fitting ring (9) with a narrow annular surface.

Device according to points 1 to 4, characterized in that the test glasses (26) lie in grooves of the mounting rings (9) and springs (25) sunk in hats of the socket rings (9) have their ends on the edges of the above test glasses (26) rest.

6 · device according to item 1 to 5 »characterized in that j Ede longitudinal rail (11) has pins (21) in elongated holes of the opposite longitudinal rail (11)

led. ,

7. Device according to item 1 to 6, characterized in that on the chamber (4) adjusting spindles (29) are arranged, which are supported on the flange of a known vacuum-tight sliding feedthrough.

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