DD147149A1 - Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung Download PDF

Info

Publication number
DD147149A1
DD147149A1 DD21662979A DD21662979A DD147149A1 DD 147149 A1 DD147149 A1 DD 147149A1 DD 21662979 A DD21662979 A DD 21662979A DD 21662979 A DD21662979 A DD 21662979A DD 147149 A1 DD147149 A1 DD 147149A1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
optical
adjustment
polarization
plane
item
Prior art date
Application number
DD21662979A
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Jacksch
Harald Schmalwasser
Original Assignee
Manfred Jacksch
Harald Schmalwasser
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Manfred Jacksch, Harald Schmalwasser filed Critical Manfred Jacksch
Priority to DD21662979A priority Critical patent/DD147149A1/de
Publication of DD147149A1 publication Critical patent/DD147149A1/de

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung fuer Montage einschlieszlich Justierung optischer, opto-mechanischer und mechanischer Gebilde. Die erfindungsgemaesze Vorrichtung, die eine Automatisierung eines groszen Teils der Montage- und Justierarbeitsgaenge vorwiegend in der Optikindustrie ermoeglicht, womit gleichzeitig die zur Zeit vorherrschende Subjektivitaet bei diesen Prozessen beseitigt und die Effektivitaet erhoeht werden kann, besteht aus einem optischen System nach dem Autokollimations- und Fernrohrprinzip, einem Positionserkennungssystem, einem externen Teil zur Erzeugung einer Bezugsgroesze, einem Scharfstellsystem und einer Steuerung. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dasz ueber Mittel zur Polarisierung und zur Drehung der Polarisationsebene die den Verkippungen des Gebildes entsprechende Reflexionsbilder fuer die Auswertung bereitstehen und mit dem Positionserkennungssystem getrennt werden. Das Einsatzgebiet der Erfindung liegt vor allem in der optischen Industrie als Sensor fuer einen Manipulator, fuer Automaten oder als Hilfsmittel bei der manuellen Montage einschlieszlich Justierung. Eine Anwendung in anderen Industriezweigen zur hochgenauen Justierung ist moeglich.

Description

21 6629 -*~
Titel der Erfindung
Verfahren und Vorrichtung für Montage einschließlich Justierung
Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Kontage einschließlich Justierung optischer, opto-mechanischer und mechanischer Gebilde. Sie ist insbesondere als Sensor für Manipulatoren, Automaten und als Hilfsmittel bei der manuellen und teilautomatisierten Montage einschließlich Justierung zur Beseitigung der Lagefehler von Gebilden zu verwenden, wobei die optischen Teile plane als auch gekrümmte Oberflächen aufweisen können·
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Die Montage einschließlich Justierung opto-mechanischer Gebilde erfolgte bisher überwiegend manuell· Sie Ursache dafür lagen in den Genauigkeitsansprüchen und den Besonderheiten (Empfindlichkeit, Sauberkeit, Ausrichten nach optischen Kenngrößen usw.) der Justierung bei der Montage der opto-mechanischen Gebilde. Die Qualität der hergestellten Erzeugnisse war stark subjektiv abhängig.
ι η ί η .. fι ο j £"> ο :"
216629
Bis jetzt gibt es nur wenige technische Lösungen zur Objektivierung und zur Mechanisierung bzw· Automatisierung dieser Aufgaben, die sich allerdings nur auf bestimmte optische Gebilde beschränken· Dies trifft vor, allem auf die Zentrierung von Linsen zu. Hier wird die Sollage der Linse unter Ausnutzung der von den Linsenoberflächen reflektierten Strahlen oder den durch die Linse hindurchtretenden Strahlen ermittelt, wobei die Ausrichtung der Linse vorwiegend manuell geschieht. Die Auswertung der Informationen des von dem optischen Teil beeinflußten Strahles realisieren Positionserkennungssysteme mit lichtelektrischen Empfänger oder es geschieht visuell. In einer bekannten Lösung (OS 3762821) werden die Informationen des lichtelektrischen Empfängers von einem Digitalrechner verarbeitet,der daraufhin einen Linsenmanipulator steuert· Diese technischen Lösungen beschränken sich auf die Zentrierung von Linsen und teilweise auf das Ausrichten von Linsen längs der optischen Achse (Scharfstellung)· Diese Linsen werden nach der erfolgten Zentrierung am Umfang bearbeitet bzw. in Halterungen befestigt· Bei der Kontage entsteht damit eine zusätzliche Toleranzgröße, die höheren fertigungstechnischen Aufwand mit sich bringt· Eine andere Möglichkeit besteht in dem Einkitten der zentrierten Linse in eine definiert positionierte Halterung, In all diesen Fällen fließt bei der Montage des Bauelementes die Toleranz der Bezugsfläche der Halterung in das Gesaratjustierergebnis mit ein.
-3- 21.66 2
Ziel der Erfindung "
Die Erfindung verfolgt das Ziel, den Arbeitsprozeß der Montage einschließlich Justierung von opto-mechanischen Gebilden, die bisher vorwiegend manuell und stark subjektiv abhängig durchgeführt wurde, zu mechanisieren und automatisieren. Die erfindungsgemäße Lösung soll zum einen separates Anzeigesystem für die erreichte Justierung bei den manuellen bzw· teilautomatisierten Montage-und Justierprozessen, zum anderen als Sensor für einen Manipulator zur Montage einschließlich Justierung von optischen, opto-mechanischen und mechanischen Gebilden verwendet werden· Damit ergeben sich wesentliche Zeit-und Arbeitskräfteeinsparungen· Die erzielten Ergebnisse sollen subjektiv unabhängig sein und eine höhere und gleichbleibende Genauigkeit der Montageeinheiten erlauben.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde ein Vorfahren und eine Vorrichtung für die Montage einschließlich Justierung von optischen, opto-mechanischen Gebilden zu schaffen, die eine Mechanisierung und Automatisierung der Montage-und Justierprozesse erlaubt und die z.B. vorhandene Subjektivität der Justierergebnisse beseitigt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung soll dabei als seperates Anzeigegerät als auch als Sensor für Manipulatoren und Automaten zu verwenden sein.Die Lösung dieser Aufgabs gelingt mit einem Verfahren zur Montage einschließlich Justierung optischer, opto-mechanischer und mechanischer Gebilde, erfindungsgemäß dadurch,daß zur -Trennung unterschiedlicher, den Verkippungen eines Gebildes entsprechenden Reflexbildern ein elektromagnetischer Strahl polarisiert wird, der Anteil mit der
- * τ 2 1 j
verbleibenden Polarisationsrichtung von dem optischen Teil des Gebildes teilweise reflektiert und teilweise durchgelassen wird, daß der durchgelassene Anteil nach Reflexion und zweimaligen Durchgang durch ein /4—Plättchen nochmals durch den optischen Teil des Gebildes und danach zusammen mit dem an diesen Teil reflektierten Anteil auf einen drehbaren Polarisator geführt wird. Das Verfahren läßt sich mit einer Vorrichtung durchführen, die aus einem System zur Erzeugung eines Bezugstrahles, einem optischen System nach dem Autokollimationsprinzip, einem Positionserkennungssystem, einem Manipulator zur Positionierung eines Gebildes und elektronischen Mitteln zur Signalbildung besteht und in der erfindungsgemäß Mittel zur Erzeugung und Führung elektromagnetischer Strahlung durch einen optischen Teil des Gebildes und Mittel zur automatischen Scharfstellung bezüglich einer Ebene des Positionserkennungssystems sowie elektronische Mittel zur Bildung von Signalen für die manuelle Verstellung des Gebildes bzw» zur automatischen Verstellung eines das Gebilde enthaltenden Manipulators enthalten sind.
Dabei können die Mittel zur Erzeugung und Führung elektromagnetischer Strahlung durch einen Teil des Gebildes aus einer elektromagnetischen Strahlungsquelle und einer davor angeordneten Blende oder die Mittel zur Führung elektromagnetischer Strahlung durch einen Teil des Gebildes aus Mitteln zur umlenkung des Bezugsstrahles bestehen. Vorteilhaft ist es weiterhin, daß Mittel zur Polarisierung und Drehung der Polarisationsebene vorgesehen sind, die die Trennung des vom optischen Teil des Gebildes reflektierten Strahlungsanteils, der zur Auswertung von mindestens zwei Verkippungsrichtungen dient, von dem von optischen Teil des Gebildes durchgelassenen Strahlungsanteils, der zur Auswertung von mindestens einer Verkippung und der trans-
21662
Als Positionserkennungssystem wird vorteilhafterweise ein nach dem Zeitmeßprinzip arbeitendes oder ein lichtelektrischer Empfänger mit mehreren Empfängerflächen verwendet· Die automatische Scharfstellung geschieht mittels eines innerhalb der Vorrichtung verschiebbar an» geordneten Linsensystems·
Mit diesem Verfahren und der Vorrichtung können nicht nur Linsen positioniert werden, sondern eine Vielzahl von anderen optisch und opto-mechanischen, sowie mechanischen Gebilden· Damit eröffnen sich vielfältige Anwendungsmöglichkeiten für den Einsatz von Manipulatoren und Automaten in der Montage der Optikindustrie· über zusätzliche Hilfsmittel (Spiegel, Lichtmarke) kann dieses Wirkprinzip in den verschiedensten Industriezweigen für Justierzwecke zur Anwendung kommen·
Die vorgeschlagene Vorrichtung setzt sich im Grundaufbau aus drei funktionell abhängigen Systemen zusammen t Ein optisches System ist verantwortlich für die Erzeugung einer translatorischen Verschiebung einer Marke in dessen Bildebene, die äquivalent dem Betrag und der Richtung der translatorischen und rotatorischen Abweichung eines opto-mechanischen Gebildes von seiner Sollage ist. Verschiedene Entfernungen des Gebildes (z.B. Linse und Bezugsmarke) von der Vorrichtung längs der optischen Achse haben keinen Einfluß auf die Justierung da sie von der Vorrichtung selbständig korrigiert werden. Zu diesem optischen System gehören Hilfssysteme zur Erzeugung von Bezugsstrahlen, die zum Teil-von diesem System getrennt angeordnet sein können. Das gleiche gilt für ein Hilfsystem zur optischen Scharfstellung bzw. der Positionierung längs
der optischen Achse.
Das Positionserkennungssystem verwandelt die translatorische Abweichung der Marke in den 2 Koordinaten der Bildebene des optischen Systems in elektrische Signale^ welche ein elektronisches System für die weitere Verarbeitung umwandelt, anpaßt und eventuell auswertet. Die Koordinierung der Teilsysteme der Vorrichtung und die Kopplung mit dem Manipulator kann über einen Rechner geschehen» Die Koppelstellen dieser Systeme liegen in der Bildebene des optischen Systems» der Blendenebene des Positionserkennungssystems und dem lichtelektrischen Empfänger des elektronischen Systems. Das Verfahren zur Montage einschließlich Justierung der opto-mechanischen Gebilde ist dadurch charakterisiert, daß unter Ausnutzung des Reflexionsbildes reflektierender Flächen am Gebilde dessen Verkippung in den drei Drehachsen nach dem Autokollimationsprinzip eine äquivalente Verschiebung einer Bezugsmarke in der Koppelstelle optisches System und Positionserkennungssystems erzeugt, dessen Position vom Positionserkennungssystem ermittelt und in Form von elektrischen Signalen an die Steuerung weitergegeben wird. Die Ermittlung der translatorischen Verschiebung des opto-mechanischen Gebildes geschieht mit Hilfe eines durch das Gebilde hindurchtroden Bezugsstrahles-der sowohl von einer externen als auch einer geräteinternen Strahlungsquelle erzeugt werden kann,indem die von der translatorischen Verschiebung des opto-mechanischen Gebildes erzeugte Abweichung des Bezugsstrahles durch eine abbildende Optik eine Auslenkung einer Lichtmarke bewirkt, deren Position von dem Positionserkennungssystem ermittelt wird. Während bei Verkippfehlern der Bezugsstrahl für das Positionserken- nungssystem durch das optische System als ein aus dem Unendlichen kommender Strahl abgebildet werden muß.wi-rd bei translatorischer Abweichung des opto-mechanischen Gebildes die Brennweite des optischen Systems auf einen endlichen Wert eingestellt und zwar derart, daß das Bild einer Marke in der Ebene des lichtqlektrisehen Empfängers des
21662
Positionserkenmingssystem scharf erscheint. Ausführungsbeispiel
Das Wesen der Erfindung soll an einigen in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Es zeigen:
Figur 1 j eine schematische Darstellung einer Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Figur 2 : die schematische Darstellung einer zweiten Variante, figur 3 i die schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels des Positionserkennungssystems,
Figur V: Ausführungsformen der Sektorenblende 29 und, Figur 5 J eine schematische Darstellung der Anwendung der Vorrichtung für die Montage einschließlich, Justierung mechanischer Gebilde,
Die Vorrichtung nach Figur 1 besteht aus einer Beleuchtungseinrichtung 1 paralleler Strahlung, einer Blende 2 zur Erzeugung einer Bezugsrnarke, einem Strahlenteiler 3 (vorzugsweise halbdurchlässiger Spiegel oder Teilungsprisma) einem Linsensystem 4, welches mittels Antrieb 5 und Wegmeßsystem 6 längs der optischen Achso definiert verstellbar ist, einen Teilungswürfel 7, der einen Teil des Strahles über eine Meßmarke 8 und ein Okular 9 lenkt, um eine visuelle Kontrolle des Meßergebnisses zu ermöglichen und einem Lageerkennungssystem 1o.Neben diesen zusammengefaßten Teilen der Vorrichtung dient ein externer Teil 11, der sich aus einer Lichtquelle 12 mit parallelem Strahlengang und einer Blende 13 zusammensetzt, zur Erzeugung eines Bezugsstrahles. Die Funktion der Steuerung der Vor-.richtung und der Auswertung der Signale des Positionserkennungssystems wird von einoa Eechüer übernommen*
-β- 21-66
Für die Beleuchtungseinrichtung empfiehlt sich ein Laser mit geringen Strahlungsbündeldurchmesser. Wird eine herkömmliche Lichtquelle 14- angewendet-, sind zur Erzeugung des parallelen Strahlenganges zwei zusätzliche Linsensysteme 15 und 16 notwendig. Die Marke 17 befindet sich bei der Ermittlung der Verkippfehler des optomechanischen Gebildes in Brennpunkt des Linsensystems 16, so daß dieses die Marke 17 im Unendlichen abbildet. Für die Korrektur der translatorischen Abweichung muß das Linsensystem 16 entweder ausgeschwenkt oder zusammen mit dem Linsensystem 4 definiert längs der optischen Achse verschoben werden.
Zur Auswertung der Verkippung des opto-mechanischen Gebildes ( Prüfling) 18 um j und f gelangt das parallele Strahlenbündel der
y *
Lichtquelle 1 über die Blende 2 und Strahlenteiler 3 auf den zu justierenden Prüfling, In Abhängigkeit von der Verkippung des Prüflings wird der von dessen Ein- und Austrittsfläche reflektierte Strahl mehr oder weniger stark abgelenkt. Diese Ablenkung erscheint, nachdem das Strahlenbündel den Strahlungsteiler 3» das Linsensystem 4· und den Teilungswürfel 7 passiert hat, als translatorische Abweichung in der Bildebene des Linsensystems 4·, Der Betrag der Abweichung ergibt sich aus den Brennweiten des Linsensystems und dem Verkippwinkel des Prüflings. Für die Auswertung der translatorischen Abweichung und der Verkippung τ benutzt man das von der Beleuch-
tungseinrichtung 11 erzeugte Strahlenbündel als Bezugsstrahl« Das Strahlenbündel gelangt jetzt über die Blende 13 zu dem Prüfling i8t durchläuft diesen und wird in der Bildebene des Linsensysteras 4- als translatorische Abweichung dargestellt. Viährend zur Ermittlung des Verkippwinkels des Prüflings 18 das Linsensystem 4- so eingestellt wird, daß Strahlen aus dem Unendlichen in der Ebene des Positionserkennungssystems 1o abgebildet werden, muß zur Korrektur der translatorischen Abweichung die Blende 13 in der Ebene des Posi-
216629
tionserkennungssystems 1o durch das Linsensystem k abgebildet werden. Die Verstellung geschieht über den Motor 5 und einer Spindel 19 und kann bei bekannten optischen Kennwerten durch das Wegmeßsystera 6 vorgegeben werden· Sind diese Kennwerte nicht genau bekannt bzw· vorher nicht ausgemessen worden, besteht die Möglichkeit, die genaue Scharfstellposition über Messen des vom lichtelektrischen Empfänger des Positionserkennungssystems umgewandelten Fotostromes über den Verstellweg festzustellen· Das Wegmeßsystera 6 dient damit nur noch zur Grobeinstellung des Verstellbereiches· Die genaue Position errechnet ein Rechner 2o« Die optische Scharfstellung kann sowohl über den lichtelektrischen Empfänger 21 des Positionserkennungssystems aber auch über eine durch den Strahlenteiler 7 abgezweigten Lichtstrahl mittels einer seperaten Scharfstelleinrichtung 22 erfolgen, die anstelle des visuellen Betrachtungssystems gesetzt werden kann. Derartige Systeme zur optischen Scharfstellung sind in verschiedenen Literaturstellen bereits beschrieben worden, so daß hier nicht näher darauf eingegangen wird«
In Figur 2 ist eine zweite Variante der Vorrichtung dargestellt« Hier sind zusätzlich ein Polarisationsfilter 25, ein A/4· Plättchen 24, ein drehbarer Analysator 25 und ein Spiegel 26 vorgesehen. Der Spiegel 26 besitzt in seinem Zentrum eine lichtdurchlässige Marke 27i durch die das Strahlenbündel der Beleuchtungseinrichtung 12 gelangen kann. Ein Ersetzen dieses Spiegels durch einen ausschwenkbaren Planspiegel und einer dahinterliegenden Marke (wie 13) ist möglich« Die anderen Elemente gleichen denen der Vorrichtung in Figur 1.
Bei der Vorrichtung nach Figur 2 wird im Gegensatz zu der ersten Verkippung ^f unter Auswertung des Reflexionsbildes des Spiegels 26 festgestellt, ...
_1O_ 2.1662 9
Für die Ermittlung der Verkippurig ^f gelangt das Strahlenbündel des Lasers 12 über die Blende 2 ,des Polarisationsfilter 23 und den Strahlungsteiler 3 auf den zu Justierenden Prüfling 18. Der von der Ein- und Aüsgangsfläche reflektierte Anteil des Strahlenbündel!:; wird wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel hinsichtlich der Verkippung des Prüflings um ] und T ausgewertet. Die Polarisationsebene des Polarisationsfilters 23 uad des Analysators 25 sind für diese Auswertung identisch. Der durch den Prüfling hindurchtretende Strahlenanteil wird, nachdem er von dem A/4—Plättchen 24- in der Polarisationsebene moduliert wurde, von dem Spiegel 26 reflektiert. Beim nochmaligen Passieren des A./4-Plättchens 24- unterscheidet sich die Polarisationsebene des vom Spiegel 26 reflektierten Strahlenanteiles zu den von der Oberfläche desc Prüflings reflektierten um 9o°. Um die Verkippung f des Prüflings sichtbar zu machen, muß der Analysator 25 in seiner Polarisationsebene der Polarisationsebene des vom Spiegel 26 reflektierten Strahlenanteils angepaßt werden, d.h. um 9o° gedreht werden. Für die Auswertung der translatorischen Abweichung wird das Strahlenbündel der Beleuchtungseinrichtung 11 benutzt, wobei das A-/4-Plättchen 24- ausgeschwenkt wird. Die Signal-, gewinnung erfolgt auf die gleiche V/eise wie beim ersten Ausführungsbeispiel· Für das Positionserkennungssystem 1o kommen verschiedene Ausführungsmöglichkeiten in Frage. Einmal kann es mittels eines lichtelektrischen Empfängers mit mehreren Empfängerflächen z.B. Vierquadrantenfotozelle, Fotodiodenarrays, Multianodenfotomultipliers u. a. geschehen, zum anderen nach einer Vorrichtung gemäß Figur 3· Bei der Zeitmeß-Methode in Figur 3 wird das auszuwertende Lichtbündel durch eine rotierende Planparallele Platte 28 so moduliert, daß der Bildpunkt in der Blendenebene der Blende 29 eine Kreisbahn beschreibt«
21662 9
Die Blende 29 besteht aus zwei transparenten und zwei nichttransparenten 9o° Feldern 3o oder aus vier um 9o versetzte Schlitzen 31i wie in Figur 4 dargestellt· Die Zeitanteile, die der Bildpunkt zum überstreichen der einzelnen Sektoren bzw· einer Kombination von 2 Sektoren benötigt, wird mittels eines lichtelektrischen Empfänger 21 und einer entsprechenden Auswerteschaltung gemessen· Eine Linse 32 dient zur Abbildung des rotierenden Bildpunktes auf den lichtelektrischen Empfängers 21· Zur Zuordnung der Koordinaten dient eine 9o° - Blende 33t und eine Lichtschranke bestehend aus einen Beleuchtungseinrichtung 34, einem Linsensystem 35 und einem lichtelektrischen Empfänger 36·
Wie in Figur 5 dargestellt, kann die Vorrichtung in den verschiedensten Industriezweigen als Montage-und Justiermittel für hochgenaue Positionierungen verwendet werden. Zu diesem Zweck wird die Beleuchtungseinrichtung 12 und der Spiegel 26 mit der eingearbeiteten Marke 27 an dem zu positionierenden Bauelement 37 definiert befestigt« Die Verkippungen des Spiegels 26 und die translatorischen Abweichungen der Marke 27 von einer durch das Positionserkennungssystem 1o vorgegebenen Sollage, welche den Ablagen des zu positionierenden Bauelementes entsprechen,werden nach dem Verfahren, wie bereits bei Figur 1 und 2 beschrieben, festgestellt,und daraufhin manuell oder mittels einer Vorrichtung korrigiert. Damit sind Justierungen in allen 6 Freiheitsgraden möglich. Sollen nur Justierung mit einem Teil der Freiheitsgrade realisiert werden, dann vereinfacht sich der gerätetechnische Aufwand.

Claims (7)

21.6629 Erfindungsanspruch
1. Verfahren zur Montage einschließlich Justierung opticher, optomechanischer und mechanischer Gebilde, dadurch gekennzeichnet, daß zur Trennung unterschiedlicher, den Verkippungen eines Ge-
J- '
bildes entsprechenden Reflexbildern ein elektromagnetischer Strahl polarisiert wird,der Anteil mit der verbleibenden Polarisationsrichtung von dem optischen Teil des Gebildes teilweise reflektiert und teilweise durchgelassen v/ird, daß der durchgelassene Anteil nach Reflexion und zweimaligen Durchgang durch ein X/4—Plättchen nochmals durch den optischen Teil des Gebildes und danach zusammen mit dem an diesem Teil reflektierten Anteil auf einen drehbaren Polarisator geführt wird.
2· Vorrichtung zur Montage einschließlich Justierung optischer, optomechanischer und mechanischer Gebilde, bestehend aus einem System zur Erzeugung eines Bezugsstrahles, einem optischen System nach dem Autokollimationsprinzxp, einem Positionserkennungssystem, einem Manipulator zur Positionierung eines Gebildes und elektronischen Mitteln zur Signalbildung, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Erzeugung und Fuhrung elektromagnetischer Strahlung durch einen optischen Teil des Gebildes und Mittel zur automatischen Scharfstellung bezüglich einer Ebene des Positionserkennungssystems sowie elektronische Mittel zur Bildung von Signalen für die manuelle Verstellung des Gebildes bzw. zur automatischen Verstellung eines.das Gebilde enthaltenden Manipulators enthalten sind. . ·
ZI 66 Z
3· Vorrichtung nach Punkt 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Erzeugung und Führung elektromagnetischer Strahlung durch einen Teil des Gebildes aus einer elektromagnetischen Strahlungsquelle und einer davor angeordneten Blende bestehen.
4. Vorrichtung nach Punkt 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Führung elektromagnetischer Strahlung durch einen Teil des Gebildes aus Mitteln zur Umlenkung des Bezugsstrahles bestehen.
5· Vorrichtung nach Punkt 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Polarisierung und Drehung der Polarisationsebene vorgesehen sind, die die Trennung des vom optischen Teil des Gebildes reflektierten Strahlungsanteils, der zur Auswertung von mindestens zwei Verkippungsrichtungen dient, von dem vom optischen Teil des Gebildes durchgelassenen Strahlungsanteils, der zur Auswertung von mindestens einer Verkippung und der translatorischen Abweichung dient, gewährleisten.
6» Vorrichtung nach Punkt 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Positionserkennungssystem ein nach dem Zeitmeßprinzip arbeitendes oder ein lichtelektrischen Empfänger mit mehreren Empfängerflächen ist·
7· Vorrichtung nach Punkt 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur automatischen Scharfstellung ein innerhalb der Vorrichtung verschiebbar angeordnetes Linsensystem vorgesehen ist.
Hierzu_3_Seiten Zeichnungen
DD21662979A 1979-11-02 1979-11-02 Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung DD147149A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD21662979A DD147149A1 (de) 1979-11-02 1979-11-02 Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD21662979A DD147149A1 (de) 1979-11-02 1979-11-02 Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DD147149A1 true DD147149A1 (de) 1981-03-18

Family

ID=5520875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD21662979A DD147149A1 (de) 1979-11-02 1979-11-02 Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD147149A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4218988A1 (de) * 1992-06-10 1993-12-16 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung und Verfahren zur Messung des Zentrierzustandes optischer Komponenten

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4218988A1 (de) * 1992-06-10 1993-12-16 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung und Verfahren zur Messung des Zentrierzustandes optischer Komponenten

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3828381C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur automatischen Fokussierung eines optischen Systems
DE3116190C2 (de)
DE3507778A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur eichung eines mikroskopischen bearbeitungssystems mit hilfe einer justierplatte
CH685652A5 (de) Autofokus-Anordnung für ein Stereomikroskop.
DE3441921A1 (de) Leitstrahl- und nachfuehreinrichtung
DE2934263B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Messung der Scheitelbreckwerte in den Hauptschnitten torischer Brillengläser
DE2202172C3 (de) Anordnung zum automatischen Nachführen
DE112019000783T5 (de) Autofokusvorrichtung und optische Apparatur und Mikroskop mit derselben
EP1918687A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lage einer Symmetrieachse einer asphärischen Linsenfläche
DE10322587A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Referenzflächen an Fassungen optischer Elemente durch eine spanende Bearbeitung sowie damit hergestellte optische Elemente
DE4439307C2 (de) Beobachtungsoptik für ein 3D-Oberflächenmeßgerät mit hoher Genauigkeit
EP0380179A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung eines LWL zur Linse eines Steckverbinders
EP0214120B1 (de) Verfahren zum Erfassen der Position und Geometrie von Werkstückoberflächen
DD147149A1 (de) Verfahren und vorrichtung fuer montage einschliesslich justierung
EP0218151A1 (de) Messverfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Durchmesserbestimmung dünner Drähte
EP0218613B1 (de) Anordnung zur ausrichtung, prüfung und/oder vermessung zweidimensionaler objekte
DE102016106374A1 (de) Messgerät und Verfahren zur Beleuchtungssteuerung für ein Messgerät
DE19736588A1 (de) Optoelektronisches Entfernungs-Meßverfahren sowie Entfernungsmeßeinrichtung zur Verfahrensdurchführung
EP0036026A1 (de) Adressierbare Positioniervorrichtung
DD238938A1 (de) Optisch positionierbare einrichtung
DE3236872C2 (de) Einrichtung zur optischen Lagebestimmung eines Objektes
DE3208024A1 (de) Linsenpruefgeraet
DE4019995A1 (de) Verfahren und geraet zum optischen ueberwachen und visieren mit mehreren strahlenwegen
DD291153A5 (de) Verfahren zur automatischen justierung optischer systeme und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
DE2443167C3 (de) Scharf einstellvorrichtung