DD139402A1 - METHOD FOR PRODUCING MICRO-DRILLING IN DUEL-WELL, SAEULEN-OVEN HOLLOW BODIES - Google Patents
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Abstract
Durch das Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in duennwandige, saeulenfoermige Hohlkoerper wird die Moeglichkeit aufgezeigt, wie aus Metallpulver oder Keramikwerkstoff Presskoerper, zum Beispiel fuer die Verwendung als Bondwerkzeug oder Duese, hergestellt werden koennen. Dabei wird eine Verbesserung der Qualitaet der Mikrobohrung erreicht und die Wirtschaftlichkeit des gesamten Verfahrensprozesses erhoeht. Mit einer, aus im wesentlichen vier Teilen bestehenden, Pressform wird eine keglige Mikrobohrung gepresst. Diese Durchgangsbohrung entsteht durch die Konturen einer Formnadel, die in einem Formoberteil gehalten und in einer Grundplatte fixiert ist. Nachdem diese Formnadel umpresst wurde, wird sie entfernt, und nach dem Brennen oder Sintern kann die Mikrobohrung vorteilhaft weiterbearbeitet werden.The method for producing microbores in thin-walled, columnar hollow bodies demonstrates the possibility of producing pressed bodies from metal powder or ceramic material, for example for use as a bonding tool or a dope. An improvement in the quality of the microbore is achieved and the cost-effectiveness of the entire process is increased. With a, consisting of essentially four parts, press mold a keglige microbore is pressed. This through hole is formed by the contours of a forming needle, which is held in an upper mold and fixed in a base plate. After this molding needle has been pressed, it is removed, and after firing or sintering, the microbore can be advantageously further processed.
Description
Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in dünnwandige, säulenförmige.HohlkörperMethod for producing microbores in thin-walled, columnar hollow bodies
Anwendungsgebiet der Erfindung . ; "Field of application of the invention. ; "
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in dünnwandige, säulenförmige Hohlkörper, insbesondere Kapillarbondwerkzeuge, wobei.aus einem Metallpulver oder einem Keramikwerkstoff (v/ie zum* Beispiel ., AlpOo-Kerarnik) ein Preßkörper hergestellt wird, der zur Führung eines Bonddrahtes oder als Düse geeignet ist.The invention relates to a method for producing micro-holes in thin-walled, columnar hollow body, in particular Kapillarbondwerkzeuge,. From a metal powder or a ceramic material (v / ie for * example., AlpOo-Kerarnik) a compact is produced, which is used to guide a bonding wire or is suitable as a nozzle.
Charakteristik der bekannten technischen LösungCharacteristic of the known technical solution
Es sind mehrere Varianten und Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Hohlkörper bekannt. Danach wird zum Beispiel durch bekannte Freßverfahren ein Sinterkörper hergestellt, bei dem im Porminneren ein Formkern verwendet wird, durch dessen Konturen eine begrenzte Grundbohrung entsteht. Nach dem Entfernen des Formkernes wird gesintert oder gebrannt. Die Durchgangsbohrung wird durch Abtragen des Sintermaterials hergestellt. (WP 18 434) Als "ungünstig erweißt sich bei diesem Verfahren, daß die Formnadel nur einseitig stabilisiert ist und daher beim ungleichmäßigen Einfüllen des Werkstoffes keine Garantie für Koaxialit.ät von Formkern und Preßteilachse gegeben werden kann» Außerdem ist dieses Verfahren relativ unwirtschaftlich.There are several variants and methods for the production of microbores in hollow body known. Thereafter, for example, a sintered body is produced by known seizing, in which a mold core is used in Porminneren, created by the contours of a limited base hole. After removal of the mandrel is sintered or fired. The through hole is made by removing the sintered material. (WP 18 434) As "unfavorable proves in this process that the forming needle is stabilized only on one side and therefore can not be guaranteed for uneven filling of the material no Koaxialit.ät co-shape of the mold core and Preßteilachse. In addition, this method is relatively uneconomical.
Bei einem anderen Verfahren wird eine zylindrische Durchgangsbohrung hergestellt, indem der mit einer Grxmdbohrung vorgefertigte Preßkörper durch Erodieren bearbeitet wird," wobei mittels einer Elektrode bis zu einem Verhältnis von ca. 1 =4,5 (Bohrungsdurchmesser/Bohrungslänge) ins kompakte Material gearbeitet wird, bis die zylindrische Durchgangs bohrung entsteht· · '-Die unter diesen ungünstigen Bedingungen auftretenden Probleme bei der Spülung können zu Kurzschlüssen führen und haben dadurch Fehlstellen von Material in der Bohrungs~ wandung zur Folge, die beim anschließenden Polieren nicht mehr beseitigt werden können» Außerdem führen die häufigen Kurzschlüsse zu Formungenauigkeiten anjder zylindrischen Durchgangsbohrung.In another method, a cylindrical through-hole is made by the pre-fabricated with a Grxmdbohrung is machined by eroding, "being worked by means of an electrode to a ratio of about 1 = 4.5 (bore diameter / bore length) in the compact material, until the cylindrical passageway formed hole · '- the problems arising under these unfavorable conditions in flushing can cause short circuits and thus have defects of material in the bore ~ wall result that can not be eliminated during the subsequent polishing run "Besides, the frequent short circuits to form inaccuracies anjder the cylindrical through hole.
Ein weiteres Verfahren wird dadurch realisiert, daß die mit dem Formkern ausgestattete Preßform mit losem meist pulve~ risiertem Werkstoff gefüllt wird und mittels des Querpreßverfahrens der Preßkörper hergestellt wird* Dabei wird unter gleichmäßigem Druck geformt. Das Ausgangsmaterial wird bei geöffneter Form beiderseitig in die Formhälften eingegeben (WP 66 918),Another method is realized in that the mold equipped with the mold core is filled with loose mostly pulverized material and the pressed body is produced by means of the transverse pressing method. In this process, the mold is shaped under uniform pressure. The starting material is entered on both sides in the mold halves with opened mold (WP 66 918),
Es hat sich bei diesem Verfahren als nachteilig erwiesen, daß beim Pressen von Bondwerkzeugen die notwendige Homogenität des Werkstoffes au'f Grund der erforderlichen genauen Dosierung der Werkstoffmenge nicht gewährleistet ist.· Desweiteren ist es mit den beschriebenen Verfahren nicht möglich, die Kapillarbohrungen bereits bei der Rohteilher~ stellung zu realisieren, da die Qualität #des Preßkörpers unzureichend ist.It has proved to be disadvantageous in this method that the necessary homogeneity of the material au'f the reason of the required accurate metering of the amount of material is not guaranteed when pressing Bonding Tools · Furthermore, it is not possible with the described method, the Kapillarbohrungen already in the To realize blank production because the quality # of the compact is insufficient.
Ziel der ErfindungObject of the invention
Ziel der Erfindung ist es/, die genannten Probleme der bekannten Lösungen zu beseitigen und eine Verbesserung der Qualität der Mikrobohrungen zu erreichen, wobei die Wirtschaftlichkeit wesentlich erhöht und die Bedingungen für die Weiterbearbeitung verbessert werden sollen»'The aim of the invention is / to eliminate the mentioned problems of the known solutions and to achieve an improvement in the quality of the micro-bores, whereby the cost-effectiveness is substantially increased and the conditions for further processing are to be improved »
-3- 2 0 86 70-3- 2 0 86 70
Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention
Aufgabe der Erfindung ist es, preßtechnisch einen dünnwandigen, säulenförmigen Hohlkörper herzustellen, der es ermöglicht, Mikrοbohrungen in das Ausgangsmaterial einzubringen, ohne daß dabei ins volle Material gearbeitet werden muß, wodurch die Bedingungen für die sich anschliessenden Bearbeitungsverfahren verbessert, die Herstellung genannter Preßkörper (speziell Kapillarbondwerkzeuge) wirtschaftlicher und deren Qualität erhöht werden kann·The object of the invention is to produce a thin-walled, columnar hollow body, which makes it possible to introduce Mikrοbohrungen in the starting material without causing it to work into the full material, whereby the conditions for the subsequent processing method improves the production of said compacts (especially Kapillarbondwerkzeuge) and its quality can be increased ·
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß eine Formnadel so gestaltet wird, daß ihre Konturen während des Pressens eine keglige Mikro-Durchgangsbohrung entstehen lassen, deren Austrittsdurchmesser = dem geforderten Enddurchmesser ist. Dazu wird die Pormnadel mit ihrer kegligen ' Spitze in der Formgrundplatte fixiert· Danach wird Metallpulver oder Keramikwerkstoff in die Form dosiert eingegeben und mittels bekannter Preßverfahren (vorzugsweise isostatische -Verfahren) erfolgt die Verdichtung des Ausgangsmaterials· Der so entstandene Hohlkörper mit kegliger Mikro-Durchgangsbohrung kann dann nach Bedarf weiterbearbeitet werden·According to the invention, this object is achieved in that a forming needle is designed so that their contours during pressing a keglige micro-through hole arise, the exit diameter = the required final diameter. Thereafter, metal powder or ceramic material is metered into the mold and the compression of the starting material takes place by means of known pressing methods (preferably isostatic methods). The resulting hollow body with a conical micro through-bore can be used then be processed as required
Ausführungsbeispiel ·Embodiment ·
Das Verfahren wird nachstehend in einem Ausführungsbeispiel erläutert, wobei Bezug auf die Herstellung eines Kapillarbondwerkseuges genommen wird, das die Form eines dünnwandigen, säulenförmigen Hohlkörpers aufweist· In der zugehörigen Fig· 2 ist die Prinzipansicht dargestellt·- In eine j aus im wesentlichen drei Teilen bestehende Preßform, wird pulverförmiger Werkstoff oder.Schlämme um die im Formoberteil a gehaltene und in der Formgrundplatte b fixierte .Formnadel c gegeben· Damit v/ird erreicht, daß der zu pressende Hohlkörper eine Durchgangsbohrung erhält.The method is explained below in an exemplary embodiment, wherein reference is made to the production of a Kapillarbondwerkseuges having the form of a thin-walled, columnar hollow body · In the accompanying Figure 2 is the principle view is shown · - In a j consisting of three substantially parts Press mold, powdery material or .Lämme is given to the held in the upper mold part and a fixed in the mold base plate b. Forming needle c · Thus v / ird achieved that the hollow body to be pressed receives a through hole.
- 4 - &· V ν- 4 - & · V ν
Nachdem das Formoberteil a und die Formgrundplatte b mit einer flexiblen Ummantelung d umschlossen worden ist,, beginnt der Preßvorgang· Unter hohen Druck wird die flexible Ummantelung d gleichmäßig zusammengepreßt, wodurch ein hochwertig homogenes Gefüge.des Kapillarbondwerkzeuges erreicht wird.After the upper mold part a and the mold base plate b has been enclosed with a flexible sheath d, the pressing process begins · Under high pressure, the flexible sheathing d is compressed uniformly, whereby a high-quality homogeneous structure of the Kapillarbondwerkzeuges is achieved.
Auf diese Weise ist es möglich, schon beim Urformen günstige Voraussetzungen, in Form einer kegligen Vorbohrung, für die Herstellung einer zylindrischen Kapillarbohrung zu schaffen. Nach dem Preßvorgang wird die Formnadel entfernt und nach dem anschließenden Sinter- oder Brennprozeß wird der so entstandene Hohlkörper zum Beispiel durch Erodieren, Ultraschallbohren, laserbearbeitung oder Nadelbohren weiter bearbeitet.In this way, it is possible to create favorable conditions, in the form of a kegligen pilot hole, for the production of a cylindrical capillary even at the prototyping. After the pressing operation, the forming needle is removed and after the subsequent sintering or firing process, the resulting hollow body is further processed, for example by erosion, ultrasonic drilling, laser machining or needle drilling.
Durch das, der Erfindung zugrunde liegende Verfahren erhöht sich die Formgenauigkeit des Preßkörpers und die Bearbeitungszeiten aller nachfolgenden Arbeitstechniken verkürzen sich*By the, the invention underlying the method increases the dimensional accuracy of the compact and the processing times of all subsequent work techniques shorten *
Durch die geringe Koaxialabweichung zwischen den Längsachsen der Kapillarbohrung und des Drahteinführungskegels werden bei der Arbeit mit so hergestellten Bondwerkzeugen Goldablagerungen vor der Kapillarbohrung vermieden*Due to the small coaxial deviation between the longitudinal axes of the capillary bore and the wire insertion cone, gold deposits prior to capillary drilling are avoided when working with bonding tools produced in this way *
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