CZ304816B6 - Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur - Google Patents

Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur Download PDF

Info

Publication number
CZ304816B6
CZ304816B6 CZ2013-918A CZ2013918A CZ304816B6 CZ 304816 B6 CZ304816 B6 CZ 304816B6 CZ 2013918 A CZ2013918 A CZ 2013918A CZ 304816 B6 CZ304816 B6 CZ 304816B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
optical
optical member
plane
focal length
color
Prior art date
Application number
CZ2013-918A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ2013918A3 (cs
Inventor
Jiří Novák
Antonín Mikš
Pavel Novák
Original Assignee
České vysoké učení technické v Praze - fakulta stavební
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by České vysoké učení technické v Praze - fakulta stavební filed Critical České vysoké učení technické v Praze - fakulta stavební
Priority to CZ2013-918A priority Critical patent/CZ2013918A3/cs
Publication of CZ304816B6 publication Critical patent/CZ304816B6/cs
Publication of CZ2013918A3 publication Critical patent/CZ2013918A3/cs

Links

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur vyšetřovaných předmětů sestává z optické soustavy pro zobrazení vyšetřovaného předmětu (4) se zadaným zvětšením, tvořené dvěma členy, ležícími na společné optické ose, a to prvním optickým členem (1) s ohniskovou vzdáleností (f.sub.1.n.´) a druhým optickým členem (2) s ohniskovou vzdáleností (f.sub.2.n.´). Mezi prvním optickým členem (1) a druhým optickým členem (2) ležící optický nebo optoelektronický transmisní prvek (3), mající buď pevnou, nebo plynule měnitelnou barevnou strukturu. Tento optický nebo optoelektronický prvek (3) se nachází za prvním optickým členem (1) v místě spektrální roviny (.eta.) vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu (4). Vyšetřovaný předmět (4) se nachází v prostoru před prvním optickým členem (1) optické soustavy. Druhý optický člen (2) je umístěn tak, že jeho předmětová ohnisková rovina je totožná se spektrální rovinou (.eta.) vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu (4).

Description

Oblast techniky
Vynález se týká optického zařízení umožňující barevnou diskriminaci různě jemných struktur vyšetřovaných předmětů pomocí dvoučlenné optické soustavy zobrazující vyšetřovaný předmět se zadaným zvětšením, přičemž mezi prvním a druhým členem optické soustavy je vložen transmisní optický nebo optoelektronický prvek vytvářející pevnou nebo plynule měnitelnou barevnou strukturu. Vhodnou volbou barevné struktury optického nebo optoelektronického prvku lze docílit toho, že struktury předmětu o různé velikosti a jemnosti budou zobrazeny v různých barvách.
Dosavadní stav techniky
V oblasti vědy, techniky a biomedicíny se velice často vyskytuje problematika jednoduchého odlišení rozličných struktur pozorovaného předmětu, které jsou charakterizovány různou prostorovou frekvencí, to je, jedná se o různě jemné struktury. Je též výhodné vhodným způsobem označit místo na vyšetřovaném předmětu, kde se pozorované struktury o určitém rozměru nachází a jakou mají četnost výskytu. Takovýto problém je nutno často řešit např. v různých optických zobrazovacích či měřicích metodách s využitím metod digitální analýzy obrazu, například v optické mikroskopii. Častou úlohou nedestruktivní průmyslové kontroly je též například detekce defektů vzorků materiálů. Běžné vizuální metody pozorování neumožňují kvantitativně vyhodnotit a odlišit takovéto jemné struktury. V současné době není k dispozici žádné zařízení, které by optickou cestou jednoduchým způsobem umožňovalo rozlišit různě jemné struktury pozorovaného předmětu, přičemž by se daly adaptivně měnit parametry filtrovaných struktur, což odstraňuje navrhované řešení dle tohoto návrhu.
Podstata vynálezu
Výše uvedené problémy lze řešit pomocí optického zařízení pro barevnou diskriminaci struktur podle předkládaného vynálezu. Jeho podstatou je, že sestává z optické soustavy zobrazující vyšetřovaný předmět se zadaným zvětšením. Tato optická soustava zobrazující vyšetřovaný předmět se zadaným zvětšením. Tato optická soustava je tvořená dvěma členy, ležícími na společné optické ose, a to prvním optickým členem s ohniskovou vzdáleností (f') a druhým optickým členem s ohniskovou vzdáleností (f2'). Mezi prvním a druhým optickým členem leží optický nebo optoelektronický transmisní prvek, který má buď pevnou, nebo plynule měnitelnou barevnou strukturu. Tento optický nebo optoelektronický prvek se nachází za prvním optickým členem v místě roviny vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu. Vyšetřovaný předmět se nachází v prostoru před prvním optickým členem optické soustavy. Druhý optický člen je umístěn tak, že jeho předmětová ohnisková rovina je totožná s rovinou vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu, přičemž zobrazuje vyšetřovaný předmět s daným zvětšením tak, že různě jemné struktury vyšetřovaného předmětu mohou být vhodnou volbou barevné struktury optické nebo optoelektronického prvku cíleně zobrazeny v různých barvách.
Transmisní prvek může být s výhodou tvořen transmisním barevným prostorovým modulátorem světla, umožňujícím cílenou barevnou filtraci prostorového spektra vyšetřovaného předmětu v rovině vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu.
První a/nebo druhý optický člen mohou být tvořeny alespoň jednou čočkou nebo pankratickým objektivem s proměnnou ohniskovou vzdáleností při současném zachování konstantní vzdálenosti mezi předmětovým a obrazovým ohniskem při možnosti plynulé změny ohniskové vzdálenosti prvního optického členu respektive ohniskové vzdálenosti druhého optického členu.
- 1 CZ 304816 B6
Výhodu uvedeného řešení je, že čistě optickým způsobem lze barevně diskriminovat jednotlivé různě jemné struktury vyšetřovaného předmětu, přičemž není nutno měnit barevné spektrální filtry pro každou zvolenou prostorovou frekvenci struktur předmětu, které chceme identifikovat, vzhledem ktomu, že vybírat požadovanou frekvenci buď pomocí prvního pankratického členu, nebo aktivní změnou spektrálního filtru pomocí transmisního optoelektronického prvku (např. barevného prostorového modulátoru světla), který umožňuje elektronicky měnit velikost, tvar, pozici a barvu spektrálního filtru. Dále též navržená optická soustava zachovává svoji délku, tj. vzdálenost mezi pozicí předmětu a obrazu. Zařízení tak může sloužit jako přístroj pro nedestruktivní detekci různě jemných struktur pozorovaných vzorků a může být s výhodou využito pro detekci defektů periodických struktur.
Přehled obrázků na výkresech
Princip konstrukce optické soustavy zařízení pro barevnou diskriminaci struktur podle předkládaného řešení je uveden na obr. 1 a obr. 2.
Příklady provedení vynálezu
Optická soustava navrhovaného zařízení je tvořena dvěma optickými členy, které leží na společné optické ose. Vyšetřovaný předmět, jehož analýza se provádí, se nachází v předmětové ohniskové rovině ζχ prvního optického členu i majícího ohniskovou vzdálenost fy'. Předmět je osvětlován rovnoběžným svazkem paprsků. Druhý člen 2 optické soustavy, mající ohniskovou vzdálenost fy', je umístěn tak, že obrazová ohnisková rovina (fy prvního optického členu 1 a předmětová ohnisková rovina fr druhého optického členu 2 jsou totožné. V spektrální rovině τχ, kde se vytvoří Fourierovské spektrum struktury předmětu a která je pro tuto příkladnou variantu zařízení totožná s obrazovou ohniskovou rovinou (fy prvního optického členu 1, je umístěn optický nebo optoelektronický transmisní prvek 3, jenž umožňuje realizovat barevnou prostorovou filtraci světla procházejícího daným prvkem. Jako tento optický nebo optoelektronický transmisní prvek 3, který funguje jako barevný filtr, lze využít optické filtry nebo transmisní barevný prostorový modulátor světla. Zařazením vhodného barevného filtru do přesně definovaných míst ve Fourierovské rovině, kde se vytváří vybraná prostorová spektra vyšetřovaného předmětu s požadovanou prostorovou frekvencí struktur, se získá změna zabarvení odpovídajících struktur ve vytvořeném obraze. Obraz předmětu se vytváří v obrazové ohniskové rovině ζ'? druhého optického členu 2. Struktury vyšetřovaného předmětu 4 odpovídající požadované prostorové frekvenci jsou v obrazu barevně zvýrazněny. Tímto způsobem lze čistě opticky odlišit a zviditelnit různě jemné struktury předmětu a následně provést i kvantitativní vyhodnocení detekovaného obrazu, čehož se dá využít např. v průmyslové defektoskopii nebo mikroskopii.
Vyšetřovaný předmět 4 může být osvětlován i jiným než rovnoběžným svazkem paprsků. Potom optický nebo optoelektronický transmisní prvek 3, jenž umožňuje realizovat barevnou prostorovou filtraci světla, musí být umístěn do roviny τχ, kde se prvním optickým členem 1 vytváří prostorové spektrum vyšetřovaného předmětu a druhý optický člen 2 je umístěn tak, že jeho předmětová ohnisková rovina fr je totožná s rovinou τχ vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu 4, přičemž zobrazuje předmět s daným zvětšením tak, že různě jemné struktury předmětu mohou být vhodnou volbou barevné struktury optického nebo optoelektronického prvku 3 cíleně zobrazeny v různých barvách.
Na obr. 1 je příkladně znázorněno schematické uspořádání optického zařízení pro barevnou diskriminaci struktur s prvním optickým členem las druhým optickým členem 2, které leží na společné optické ose a mezi nimiž je umístěn transmisní optický nebo optoelektronický prvek 3 vytvářející pevnou nebo plynule měnitelnou barevnou strukturu. Jedná se o první optický člen i, kteiý má ohniskovou vzdálenost fy' a druhý optický člen 2 s ohniskovou vzdáleností fy'. Každý
-2CZ 304816 B6 z těchto optických členů 1 a 2 může být tvořen jednou nebo více čočkami. Variantně může být první optický člen 1_ nebo i druhý optický člen 2 tvořen speciálním pankratickým objektivem s proměnnou ohniskovou vzdáleností, jenž zachovává konstantní vzdálenost mezi předmětovým a obrazovým ohniskem při možnosti plynulé změny ohniskové vzdálenosti respektive jS', což má za výhodu to, že není potřeba měnit barevný filtr ve spektrální rovině při vyšetřování různě jemných struktur předmětu. Ke konstrukci takovéto pankratické soustavy může být s výhodou použito řešení dle patentu CZ 303 800 „Objektiv s proměnnou ohniskovou vzdáleností“. Pomocí nastavení těchto ohniskových vzdáleností je možno měnit příčné zvětšení v obrazové ohniskové rovině ζ'2 druhého optického členu 2 a spektrální rovině ιχ. Vyšetřovaný předmět 4, jehož analýza se provádí, se nachází v rovině, která je totožná s předmětovou ohniskovou rovinou prvního optického členu 1_. Vyšetřovaný předmět 4 je osvětlen rovnoběžným svazkem světla. V obrazové ohniskové rovině £j prvního optického členu 1 vytvoří Fourierovské spektrum struktury vyšetřovaného předmětu 4. V případě použití pankratického objektivu jako prvního optického členu i je umožněno plynule měnit zvětšení Fourierovského spektra struktury předmětu 4 ve spektrální rovině rp Druhý optický člen 2 se nachází na společné optické ose, přičemž předmětová ohnisková rovina členu 2 je totožná s obrazovou ohniskovou rovinou prvního optického členu 1, jež je zároveň totožná s rovinou τχ, ve které se tvoří Fourierovské spektrum zobrazovaného vyšetřovaného předmětu 4. V této spektrální rovině τχ je na optické ose umístěn transmisní optický nebo optoelektronický prvek 3 vytvářející pevnou nebo plynule měnitelnou barevnou strukturu.. S výhodou může být použito transmisního barevného prostorového modulátoru světla. Druhý optický člen 2 tvoří poté obraz vyšetřovaného předmětu ve své obrazové ohniskové rovině ζ'2. Tento obraz je ovlivněn průchodem skrz transmisní optický nebo optoelektronický prvek 3.
V případě, že je vyšetřovaným předmětem 4 amplitudová difrakční mřížka s mřížkovou konstantou a, potom platí pro difrakcí na mřížce rovnice a sin α = Χλ, K = 0,±l,±2,...
kde λ je vlnová délka světla dopadajícího na mřížku a Xje difrakční řád. Obraz spektra X-tého řádu, se bude ve spektrální rovině τχ nacházet v příčné vzdálenosti h od optické osy, pro kterou platí /i' h = K-λ.
a
Nulté spektrum se bude nacházet na optické ose soustavy. Pomocí optického nebo optoelektronického prvku 3 do spektrální roviny ιχ lze aplikovat například žlutý filtr do místa, kde se nachází spektrum nultého difrakčního řádu a červený filtr, ve tvaru mezikruží o šířce AA, do místa, kde se vytváří spektrum prvního difrakčního řádu. Pomocí druhého optického členu 2, majícího ohniskovou vzdálenost^', se zobrazí difrakční mřížka do obrazové ohniskové roviny ζ'2 druhého optického členu 2, a to se zvětšením m = - f{ / f. V obrazové ohniskové rovině ζ'2 druhého optického členu 2 se vytvoří zabarvený obraz difrakční mřížky, a sice červené pruhy na žlutém pozadí, obr. 1. Body A respektive B vyšetřovaného předmětu 4 se zobrazí jako body A' respektive B' v obrazové ohniskové rovině ζ'2 druhého optického členu 2. Tímto způsobem lze provést barevnou filtraci spektra i pro složitější struktury vyšetřovaného předmětu 4 s různou prostorovou frekvencí. Ve variantním případě, kdy první optický člen i respektive druhý optický člen 2 jsou tvořeny pankratickým objektivem s proměnnou ohniskovou vzdálenostírespektivej£', přičemž vzdálenost L2 mezi předmětovou rovinou ζ2 prvního optického členu i a obrazovou ohniskovou rovinou prvního optického členu I respektive vzdálenost L mezi předmětovou rovinou 2í druhého optického členu 2 a obrazovou ohniskovou rovinou ζ'2 druhého optického členu 2 se nemění při změně ohniskových vzdáleností prvního optického členu 1 respektive druhého optického
-3CZ 304816 B6 členu 2 a tímto způsobem je možno měnit příčné zvětšení m pozorovaného obrazu vyšetřovaného předmětu 4 v obrazové ohniskové rovině ζ'? druhého optického členu 2.
Navržený princip optického zařízení pro barevnou diskriminaci struktur lze použít pro předmět mající složitější prostorovou strukturu a úlohou je nalézt v předmětu struktury o určité velikosti respektive jemnosti. Pro zjištění, ve kterých místech vyšetřovaného předmětu 4 se tyto struktury nacházející, se vloží do místa, kde se v spektrální rovině n nachází prostorové spektrum hledané struktury, barevný filtr realizovaný pomocí vhodného optického nebo optoelektronického prvku 3. V obrazové ohniskové rovině ζ'? druhého optického členu 2 je pak vidět obraz vyšetřovaného předmětu Jav místech, kde se v tomto vyšetřovaném předmětu 4 nachází struktury hledané velikosti respektive jemnosti, jsou vidět tyto struktury zabarvené podle barvy filtru, který byl do spektrální roviny τχ vložen. Pomocí vhodného barevného prostorového filtru lze docílit barevné diskriminace vyšetřované struktury předmětu 4, jak je patrno z obr. 2, kde na hrubší struktuře, dolní část vyšetřovaného předmětu 4, difraktuje světlo pod úhlem a a prochází v obrazové ohniskové rovině prvního optického členu i, která je zároveň spektrální rovinou τχ, červeným mezikružím, zatímco světlo na jemnější struktuře, homí část vyšetřovaného předmětu 4, difraktuje pod úhlem větším než je úhel a a prochází modrým mezikružím. V obraze vyšetřovaného předmětu 4, který se nachází v obrazové ohniskové rovině ζ'? druhého optického členu 2 je pak hrubá struktura předmětu 4 zobrazena červeně na žlutém pozadí a jemná struktura modře na žlutém pozadí.
Průmyslová využitelnost
Zařízení podle vynálezu najde uplatnění zejména v oblasti průmyslové defektoskopie pro barevné odlišení struktur různé jemnosti a velikosti, v zobrazovacích či kontrolních optických metodách.

Claims (3)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur vyšetřovaných předmětů, vyznačující se tím, že sestává z optické soustavy pro zobrazení vyšetřovaného předmětu (4) se zadaným zvětšením, tvořené dvěma členy, ležícími na společné optické ose, a to prvním optickým členem (1) s ohniskovou vzdáleností (ff) a druhým optickým členem (2) s ohniskovou vzdáleností (f2') a mezi nimi ležícím optickým nebo optoelektronickým transmisním prvkem (3), majícím buď pevnou, nebo plynule měnitelnou barevnou strukturu, přičemž tento optický nebo optoelektronický prvek (3) se nachází za prvním optickým členem (1) v místě spektrální roviny (η) vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu (4), přičemž vyšetřovaný předmět (4) se nachází v prostoru před prvním optickým členem (1) optické soustavy a druhý optický člen (2) je umístěn tak, že jeho předmětová ohnisková rovina je totožná se spektrální rovinou (η) vytvoření prostorového spektra vyšetřovaného předmětu (4).
  2. 2. Optické zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že transmisní prvek (3) je tvořen transmisním barevným prostorovým modulátorem světla.
  3. 3. Optické zařízení podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že první optický člen (1) a/nebo druhý optická člen (2) jsou tvořeny alespoň jednou čočkou nebo pankratickým objektivem s proměnnou ohniskovou vzdáleností při současném zachování konstantní vzdálenosti mezi předmětovým a obrazovým ohniskem při možnosti plynulé změny ohniskové vzdálenosti (//) prvního optického členu (1) respektive ohniskové vzdálenosti (f2') druhého optického členu
CZ2013-918A 2013-11-21 2013-11-21 Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur CZ2013918A3 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2013-918A CZ2013918A3 (cs) 2013-11-21 2013-11-21 Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2013-918A CZ2013918A3 (cs) 2013-11-21 2013-11-21 Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ304816B6 true CZ304816B6 (cs) 2014-11-12
CZ2013918A3 CZ2013918A3 (cs) 2014-11-12

Family

ID=51867896

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2013-918A CZ2013918A3 (cs) 2013-11-21 2013-11-21 Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ2013918A3 (cs)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07244257A (ja) * 1994-03-02 1995-09-19 Sharp Corp 光アドレス型の液晶空間光変調器を用いたフィルタリング装置
CN201429566Y (zh) * 2009-05-27 2010-03-24 苏州大学 测量光学非线性的两次4f相位相干成像装置
US20110026033A1 (en) * 2008-12-19 2011-02-03 Metroalaser, Inc. Optical Inspection Using Spatial Light Modulation
CZ303800B6 (cs) * 2012-04-24 2013-05-09 Ceské vysoké ucení technické v Praze - fakulta stavební Objektiv s promennou ohniskovou vzdáleností

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07244257A (ja) * 1994-03-02 1995-09-19 Sharp Corp 光アドレス型の液晶空間光変調器を用いたフィルタリング装置
US20110026033A1 (en) * 2008-12-19 2011-02-03 Metroalaser, Inc. Optical Inspection Using Spatial Light Modulation
CN201429566Y (zh) * 2009-05-27 2010-03-24 苏州大学 测量光学非线性的两次4f相位相干成像装置
CZ303800B6 (cs) * 2012-04-24 2013-05-09 Ceské vysoké ucení technické v Praze - fakulta stavební Objektiv s promennou ohniskovou vzdáleností

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
(Fresnelova nekoherentní korelacní holografie, Petr Bouchal, VUT Brno, bakalárská práce, [on/line]: https://www.vutbr.cz/www_base/zav_prace_soubor_verejne.php?file_id=29342), 2010 *
(Optically monitoring and controlling nanoscale topography during semiconductor etching, Chris Edwards, Amir Arbabi, Gabriel Popescu and Lynford L Goddard, Light: Science & Applications, ISSN (online): 2047-7538), 28.09.2012 *

Also Published As

Publication number Publication date
CZ2013918A3 (cs) 2014-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Dong et al. Automated analysis of microplastics based on vibrational spectroscopy: are we measuring the same metrics?
KR102182575B1 (ko) 스펙트럼 산란 유세포 분석을 위한 광학적 구성 방법
KR101593080B1 (ko) 회절 위상 현미경 시스템 및 이를 이용한 측정방법
CN111336932B (zh) 测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法
DE102012007045B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Mikroskopie
CN106104202B (zh) 计量光学量测方法及系统
WO2014060466A1 (en) Dual beam device for simultaneous measurement of spectrum and polarization of light
JP2012526269A (ja) 多波長偏光画像からシーンを識別するための方法
Kimber et al. FTIR spectroscopic imaging and mapping with correcting lenses for studies of biological cells and tissues
KR20150146415A (ko) 동적 광산란 측정 장치 및 동적 광산란 측정 방법
DE102015201561A1 (de) Messkopf einer endoskopischen Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion und Messung eines Objektes
KR101632672B1 (ko) 공초점 분광 현미경
WO2016193037A1 (de) Verfahren zum ermitteln einer ortsaufgelösten höheninformation einer probe mit einem weitfeldmikroskop und weitfeldmikroskop
US9476827B2 (en) System and method of multitechnique imaging for the chemical biological or biochemical analysis of a sample
DE102016116311A1 (de) Winkelselektive Beleuchtung
WO2019202005A1 (en) Depicting of objects
US20070109555A1 (en) Method and apparatus for holographic refractometry
CZ304816B6 (cs) Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur
CN107478332B (zh) 一种环形光束共聚焦纵向高分辨成像装置
EP3290984A1 (en) Microscope device
KR101555147B1 (ko) 정량 위상 영상을 생성하는 공통 경로 정량 위상 현미경 유닛
CZ26832U1 (cs) Optické zařízení pro barevnou diskriminaci struktur
JP4336847B2 (ja) 顕微分光測定装置
JP2014211310A (ja) 2光路構築によるストークスピークとアンチストークスピークの同時測定を可能とするラマン散乱分光測定装置
WO2020144228A1 (de) Winkelvariable beleuchtung zur phasenkontrast-bildgebung mit absorptionsfilter

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20171121