CZ304249B6

CZ304249B6 - Způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu a měřicí systém k provádění tohoto způsobu

Info

Publication number: CZ304249B6
Application number: CZ2009-765A
Authority: CZ
Inventors: Petr Adámek; Martin Čada; Zdeněk Hubička; Lubomír Jastrabík; Štěpán Kment; Jiří Olejníček
Original assignee: Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
Priority date: 2009-11-18
Filing date: 2009-11-18
Publication date: 2014-01-29
Also published as: CZ2009765A3

Abstract

Způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou (LS) při nestabilních impulzně buzených výbojích plazmatu v měřicím systému, aplikovaném na plazmochemickém reaktoru (PR) a vybaveném řídicím počítačem (RP) a autonomně napájeným spouštěcím synchronizačním obvodem (SSO), spočívá v tom, že ve výbojích plazmatu se snímají jeho budicí impulzy (fb) a impulzy (fn) nestability výbojů. Impulzy (fb, fn) se přivedou dvěma vstupy do spouštěcího synchronizačního obvodu (SSO), kde signál (fbd) odvozený od budicích impulzů (fb) je ve zpožďovači (ZI) impulzů zpožděn pro měření ve fázi budicího impulzu (fbd), je mu nastavena délka trvání a společně s impulzem (fno) z tvarovače (TI) impulzů odvozeným od impulzů (fn) nestabilit jsou oba impulzy (fbd, fno) v případě jejich časového překrytí vyhodnoceny koincidenčním detektorem (KD), který spustí měřicí proces, který probíhá opakovaně pouze v té periodě impulzu buzení výboje, ve které dochází k danému časovému překrytí budicích impulzů (fb) a impulzů (fn) nestability výbojů.

Description

Způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu a měřicí systém k provádění tohoto způsobu

Oblast techniky

Vynález spadá do oblasti výzkumu plazmatu a plazmových technologií a týká se způsobu synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou a měřicího systému k provádění tohoto způsobu.

Dosavadní stav techniky

Pro monitorování plazmatu během depozičních nebo jiných procesů, například plazmové fúze, se používají bezkontaktní a kontaktní metody. Z kontaktních metod je pro svou relativní jednoduchost, možnost prostorového rozlišení parametrů a možnost získání poměrně velkého množství parametrů plazmatu velmi často používána diagnostika Langmuirovou sondou, popsaná poprvé v [LANGMUIR I, MOTT-SMITHΗ. M., Gen., Elec. Rev. 26 (1923) p. 731}. Možnosti této metody jsou dále popsány v [BOULOS M., FAUCHAIS P., EFENDER E., Diagnostic techniques in thermal plazma processing, in DOE report, no. DOE/ER-0270, 1-2 (1986)} a Základní princip měření je uveden v publikacích [HIPPLER R, PFAUS., SCHMIDTM., SCHOENBACHK. Low Temperature plazma Physics - Fundamental Aspects and Applications. Berlin: Wiley - VCH Verlag, 2001.} nebo [ADÁMEK P„ KALČÍK J, ŠÍCHA M„ TICHÝ M., BIEDERMAN H, SOUKUP, L., JASTRABÍK, L. Contribution to the Application of the Probe technique for plazma Monitoring in the Ar and n-Hexane Mixture plazma during the Polymerisation Process, Czechoslovak Journal of Physics, vol. 49 (1999) 12, p. 1685 - 1701.} a vychází ze současných měřicích aparatur pro sondovou diagnostiku, řízených zpravidla osobním počítačem nebo jednočipovým mikropočítačem.

Pro zajištění kvalitních měření pomocí Langmuirovy sondy, respektive pro zisk relevantních dat, bylo nutno měření přizpůsobit charakteru vysokofrekvenčního výboje (RF), a stejnosměrného výboje (DC) v kontinuálním režimu i impulzním režimu, kde je požadována možnost časově rozlišených měření dále s možnými periodickými i aperiodickými nestabilitami výboje, což je popisováno v (KOUZNETSOV V., MACÁK K, SCHNEIDER J. M„ HELMERSSON U„ PETROVI, Surface and Coatings Technology, 122 (2-3) (1999) 290} nebo [EHIASARIAN A. P., MLJNZ WD., HULTMAN L., HELMERSSON U., PETROV L, High power pulsed magnetron sputtered Cr Nx fmlms, Surface ans Coatings Technology, 163-164 (2003), 267-272}. Vzhledem k dlouhodobému vývoji v oblasti sondové diagnostiky plazmatu byly postupně vyvíjeny stále dokonalejší nekomerční měřicí systémy, popsané v [SH1MIZU, K, AMEMIYA, H. High - speed digital measurements of probe characteri-stics and energy distribution function, Journal of Physics E: Scientifmc Instruments 9, (1976), p. 943-946} nebo [Ist Edge Working Group - Fast Swept Langmuir Probe, Madrid: Asociation Euroatom Ciemat 1994} nebo [SUDITI. D„ WOODS C. R., A workstation based Langmuir probe systém for low-pressure dc plazmas. Review Sci. Instrum, Vol. 64 (9), (1993) 2440-2448}. Různé speciální měřicí systémy jsou pak rovněž popsány v patentové literatuře, kde jako příklady je možno uvést metody dle US 6458239, US 2002025385, US 2005034812, US 2005151544, KR 20030032208 nebo WO 2009101866.

V komerční oblasti jsou známy měřicí systémy pro diagnostiku plazmatu [Hiden Analytical http://www.hidenanalytical.com nebo Scientifmc Systems http://ww'w.scisys.com/hdocs/smartprobemainl.htmll, které disponují řadou předností, ovšem mají omezené časové rozlišení a opakovaná měření nejsou přesně časově ekvidistantní a nejsou uzpůsobena k měření vysokonapěťovými impulzy, například pro diagnostiku záporných iontů.

Z kontaktních metod je pro svou relativní jednoduchost, možnost prostorového rozlišení parametrů a možnost získání poměrně velkého množství parametrů plazmatu velmi často používána diag-1 CZ 304249 B6 nostika Langmuirovou sondou, popsaná poprvé v [LANGMUIR L, MOTT-SMITH Η M., Gen., Elec. Rev. 26 (1923) p. 731], Možnosti této metody jsou dále popsány v [BOULOS M., FAUCHA1S P., EFENDER E., Diagnostic techniques in thermal plazma processing, in DOE report, no. DOE/ER-0270, 1 -2 (1986)} a Základní princip měření je uveden v publikacích [HIPPLER R., PFAUS., SCHMIDTM., SCHOENBACHK. Low Temperatureplazma Physics - Fundamental Aspects and Applications. Berlin: Wiley - VCH Verlag, 2001.} nebo [ADÁMEK P., KALČÍK J, ŠÍCHA M., TICHÝ M., BIEDERMAN H, SOUKUP, L., JASTRABÍK, L. Contribution to the Application of the Probe technique for plazma Monitoring in the Ar and n-Hexane Mixture plazma during the Polymerisation Process, Czechoslovak Journal of Physics, vol. 49 (1999) 12, p. 1685 - 1701.} a vychází ze současných měřicích aparatur pro sondovou diagnostiku, řízených zpravidla osobním počítačem nebo jednočipovým mikropočítačem. Známé měřicí aparatury pro tuto diagnostiku jsou vybaveny časovacími a spouštěcími obvody, které řídí sběr dat a umožňují kontinuální měření ve výbojích se spojitým buzením stejnosměrného vysokofrekvenčního nebo mikrovlnného výboje. Uvedené výboje mohou být také aplikovány v impulzním režimu, a pak je nutno provádět sondovou diagnostiku plazmatu s časovým rozlišením, když výchozím předpokladem u impulzně buzených výbojů je jejich lepší stabilita. Existují i obvody, které umožňují synchronizovat měření s nestabilitami vlastního výboje, což je umožněno pouze v případě výbojů se spojitým buzením stejnosměrného, vysokofrekvenčního nebo mikrovlnného výboje. Dosud nebyl publikován způsob a měřicí systém obsahující spouštěcí synchronizační obvod, který by umožňoval časově rozlišené měření v impulzně buzeném výboji, který je navíc nestabilní.

Snahou předkládaného vynálezu je představit nový způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu s využitím Langmuirovy sondy a měřicí systém k provádění tohoto způsobbu, který by s využitím poznatků známých řešení a výhod analogové a digitální techniky umožňoval provádět časově rozlišená měření v impulzním režimu výboje za podmínek, kdy je i tento druh výboje nestabilní.

Podstata vynálezu

Stanovený cíl splňuje vynález, kterým je způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou při nestabilních impulzně buzených výbojích plazmatu v měřicím systému aplikovaném na plazmochemickém reaktoru a vybaveném řídicím počítačem a autonomně napájeným spouštěcím synchronizačním obvodem, jehož podstata spočívá vtom, že ve výbojích plazmatu se snímají jeho budicí impulzy a impulzy nestability výbojů, načež se impulzy přivedou dvěma vstupy do spouštěcího synchronizačního obvodu, kde signál odvozený od budicích impulzů je ve zpožďovači impulzů zpožděn pro měření ve fázi budicího impulzu, je mu nastavena délka trvání a společně s impulzem z tvarovače impulzů odvozeným od impulzů nestabilit jsou oba impulzy v případě jejich časového překrytí vyhodnoceny koincidenčním detektorem, který spustí měřicí proces, který probíhá opakovaně pouze v té periodě impulzu buzení výboje, ve které dochází k danému časovému překrytí budicích impulzů a impulzů nestability výbojů.

Podstatou vynálezuje také měřicí systém pro sondovou diagnostiku plazmatu prováděnou Langmuirovou sondou výše uvedeným způsobem a aplikovaný na plazmochemickém reaktoru vybaveném napájecím zdrojem výboje a referenční elektrodou a jehož měřicí obvod sestává z řídicího počítače, který je paralelně propojen jednak přes generátor tvarového signálu s referenční elektrodou, jednak je přes v sérii zapojené analogově digitální převodník a proudový převodník propojen s Langmuirovou sondou a jednak je přes řízený zdroj napětí propojen s generátorem tvarového signálu, u něhož je mezi řídicí počítač a generátor tvarového signálu vřazen autonomně napájený spouštěcí synchronizační obvod, který je dále propojen s analogově digitálním převodníkem.

V optimálním případě obsahuje spouštěcí synchronizační obvod řídicí obvody, k nimž jsou paralelně připojeny vstupní obvody synchronizace signálů od buzení výboje v plazmatu, vstupní obvody synchronizace signálů nestability plazmatu, zpožďovač impulzu, tvarovač impulzu a ko-2CZ 304249 B6 incidenční detektor, přičemž zpožďovač impulzu a tvarovač impulzu jsou propojeny s koincidenčním detektorem.

Dále je podstatou řešení, že směrem vně ze spouštěcího synchronizačního obvodu jsou řídicí obvody propojeny s řídicím počítačem, s blokem řízeného zdroje napětí a generátoru tvarového signálu a s blokem digitálního převodníku a proudového převodníku.

Ve výhodných provedeních je spouštěcí synchronizační obvod vřazen do měřicího systému jako jeho integrovatelná součást nebo jako samostatná autonomní jednotka.

Řešením podle vynálezu se dosahuje nového účinku v tom, že zařazení předmětného spouštěcího synchronizačního obvodu do měřicího systému umožňuje časově rozlišené měření plazmatu v impulzně buzeném výboji, který je navíc nestabilní.

Spouštěcí synchronizační obvod může být do měřicího systému začleněn jako jeho integrovaná součást nebo jako samostatná autonomní jednotka schopná koordinovat činnost číslicově řízeného zdroje jako generátoru měřicího signálu, tedy napětí pro Langmuirovu sondu a digitizéru s vlastní pamětí digitalizovaných dat, který proud procházející Langmuirovou sondou, převedený na odpovídající hodnotu napětí, konvertuje do digitální formy a ukládá do paměti.

Popis obrázků na připojených výkresech

Konkrétní příklad provedení vynálezu je zjednodušeně znázorněn na připojených výkresech, kde obr. 1 je celkové základní zjednodušené schéma měřicího systému, obr. 2 je schéma měřicího systému s detailně rozkresleným zapojením spouštěcího synchronizačního obvodu a obr. 3 je časový průběh signálů synchronizačního obvodu.

Příklady provedení vynálezu

Měřicí systém je aplikován na plazmochemickém reaktoru PR, který je vybaven napájecím zdrojem NV výboje a referenční elektrodou RE, je do něj zavedena Langmuirova sonda LS aje v něm umístěn měřený plazmatický objekt PO.

Vlastní měřicí obvod sestává z řídicího počítače RP, který je jednak přes samostatný autonomně napájený spouštěcí synchronizační obvod SSQ a přes generátor GTS tvarového signálu propojen s referenční elektrodou RE. jednak je přes v sérii zapojené analogově digitální převodník AD a proudový převodník PP propojen s Langmuirovou sondou LS a jednak je přes řízený zdroj RZN napětí propojen s generátorem GTS tvarového signálu. Řízený zdroj RZN napětí je pak rovněž propojen s proudovým převodníkem PP a spouštěcí synchronizační obvod SSQ je propojen s analogově digitálním převodníkem AD. Ve výhodném provedení měřicího obvodu jsou řízený zdroj RZN napětí s generátorem GTS tvarového signálu a analogově digitální převodník AD s proudovým převodníkem PP zabudovány do jednoho bloku, jak je znázorněno na obr. 2.

Spouštěcí synchronizační obvod SSQ obsahuje v základním provedení podle obr. 2 řídicí obvody RO, k nimž jsou paralelně připojeny vstupní obvody VQB synchronizace signálů od buzení výboje v plazmatu, vstupní obvody VON synchronizace signálů nestability plazmatu, zpožďovač ZI impulzu, tvarovač TI impulzu a koincidenční detektor KD. Zpožďovač ZI impulzu a tvarovač TI impulzu jsou dále propojeny s koincidenčním detektorem KD, čímž je zajištěno jejich propojení s řídicími obvody RO ve smyslu zpětné vazby. Směrem vně ze spouštěcího synchronizačního

-3CZ 304249 B6 obvodu SSQ jsou řídicí obvody RO propojeny s řídicím počítačem RP, s blokem řízeného zdroje

RZN napětí a generátoru GTS tvarového signálu a s blokem digitálního převodníku AD a proudového převodníku PP.

Jednotlivé prvky spouštěcího synchronizačního obvodu SSQ mají tyto funkce:

a) Řídicí obvody RO umožňují manuálně neznázorněnými tlačítky a přepínači nebo číslicově řídicími a datovými linkami řídicího počítače RP nastavit tvar měřicího signálu, nastavit celý spouštěcí synchronizační obvod SSQ a generátor GTS tvarového signálu signálem rc do výchozího stavu ke spuštění měření a spustit nebo zastavit měření. Řídicí obvody RO slouží rovněž ke spouštění měření pomocí nezávislého externího signálu est. Další funkcí je zpracování a transformace jednak vstupních signálů fbi ze vstupních obvodů VOB synchronizace signálů od buzení výboje v plazmatu na signály fbr s nastavitelnou šířkou, které jsou po spuštění měření propouštěny do zpožďovače Zl impulzu, a jednak a signálů fni ze vstupních obvodů VON synchronizace signálů odvozený od nestabilit plazmatu, které jsou po spuštění měření propouštěny jako signály fnr do tvarovače TI impulzů, kde jsou zkráceny na impulzy o délce cca lOns.

b) Vstupní obvody VOB synchronizace signálů od buzení výboje v plazmatu slouží k zesílení a tvarování vstupního signálu fb z měření budicích impulzů výboje v impulzním režimu pro časově rozlišená měření na tvarovaný signál, a to impulz fbi.

c) Zpožďovač Zl impulzu zajišťuje nastavení časového zpoždění signálu fbi, které umožňuje časově rozlišené měření, tj. fázový posuv signálů cnv spouštění převodu a signálu inc pro nastavení měřicího napětí na Langmuirově sondě LS. Výstupem je časově zpožděný, tedy posunutý, signál, respektive impulz, fbd, jehož šířka je nastavitelná v rozsahu jednotek ps až stovek ps a udává tzv. dobu otevření, po kterou je možná koincidence signálů fbd a fno.

d) Vstupní obvody VON synchronizace signálů nestability plazmatu slouží k zesílení a tvarování vstupního signálu fn odvozeného od nestabilit výboje, který je získán z referenční elektrody RE, zpravidla s velkou plochou, vložené přímo do plazmatického objektu PO, jehož výboje jsou měřeny. Výstupem je zesílený a tvarovaný signál, impulz fni.

e) Tvarovaě TI impulzu zkracuje vstupní signál fnr ze vstupních obvodů VON synchronizace signálů nestability plazmatu na výstupní signál fno o délce cca 15 ns, který je následně přiváděn na koincidenční detektor KD.

f) Koincidenční detektor KD slouží k vyhodnocení signálu vystupujících ze zpožďovače Zl impulzů a tvarovače TI impulzů. V případě, že se zpožděný impulz fbd o definované délce, vystupující ze zpožďovače Zl impulzů, a zkrácený impulz fno, vystupující z tvarovače TI impulzů, překrývají alespoň o 10 ns, dojde k jejich koincidenci, respektive je koincidenčním detektorem KD vygenerován signál fk, který prostřednictvím jednoho z řídicích obvodů RO vygeneruje signály cnv pro spouštění A/D převodu v analogově digitálním převodníku AD a signál inc pro nastavení měřicího napětí.

Časový průběh signálů ve spouštěcím synchronizačním obvodu SSQ znázorněný na obr. 3 je možno popsat následovně:

Nejdříve se manuálně připraví k měření řídicí obvody RO, a to manuálně signály STOP a RESET nebo číslicovým řídicím signálem est, generovaným z ovládacího programu řídicího počítače RP.

Budicí impulzy výboje z plazmatického objektu PO, jejichž hrana slouží pro časovou synchronizaci časově rozlišených měření, jsou signálem fb přivedeny do vstupních obvodů VOB synchronizace signálů od buzení výboje v plazmatu, z nichž jsou vedeny signálem fbi do řídicích obvodů RQ. Po manuálním nebo z ovládacího programu řídicího počítače ŘP řízeném spuštění měření jsou tyto budicí impulzy vedeny z řídicích obvodů RQ signálem fbr do zpožďovače Zl impulzů.

-4CZ 304249 B6

Ve zpožďovací ZI impulzů je dle nastaveného zpoždění signál fbr časově posunut od spouštěcí hrany budicího impulzu a výsledkem je signál fbd vstupující do koincideněního detektoru KD. Zpožděním signálu fbr je dosaženo časově rozlišeného měření Tm v libovolné fázi, s výhodou sestávající z aktivní části Ton a pasivní části Toff budoucího impulzu výboje. U tohoto časově zpožděného impulzu je možné nastavit dobu zpoždění například na 1 ps. Šíře impulzu fbd udává takzvaný interval otevření To. Šíře intervalu otevření To udává též nejistotu časového rozlišení měření. Vyšší hodnoty u intervalu otevření To znamenají vyšší pravděpodobnost koincidence signálů fb a fn a naopak. Pokud během, tohoto časového intervalu otevření To přijde hrana impulzu fno trasou VON - RO - TI - KD nebo hrana impulzu fdb trasou VOB - RO - ZI - KD, je tato koincidence signálů fbd a fno vyhodnocena koincideněním detektorem KD. Propojení koincidenčního detektoru KD a řídicího obvodu RO je realizováno signálem fk. Na základě vstupního signálu fk je řídicím obvodem RO vygenerován řídicí signál inc pro nastavení měřicího napětí na řízeném zdroji RZN napětí a signál cnv pro spuštění A/D převodu hodnoty měřeného sondového proudu v analogově digitálním převodníku AD, respektive napětí a její záznam do paměti naměřených hodnot. Jestliže šíře impulzu fno nepřekryje interval otevření To alespoň o 10 ns, nedojde k vyhodnocení koincidence, není nastaveno měřicí napětí a není spuštěn A/D převod. Koincidenční detektor KD očekává příchod dalšího budicího impulzu. Tento měřicí proces probíhá cyklicky až do naplnění paměti naměřených hodnot. Následně jsou řídicím programem, už bez účasti spouštěcího synchronizačního obvodu SSQ, hodnotám nastavovaných měřicích napětí přiřazeny hodnoty proudu Langmuirovou sondou LS a získány tak sondové charakteristiky, ze kterých je možné dalším zpracováním získat elektronovou distribuční funkci a další parametry plazmatu popsané v [LANGMUIR, I., MOTT-SMITH, Η M. Gen. Elec. Rev. 26 (1923) p. 731.} nebo [ADÁMEK, P., KALČÍK, J., ŠÍCHA, M„ TICHÝ, M., BIEDERMAN, H„ SOUKUP, L., JASTRABIK, L. Contribution to the Application of the Probe technique for Plasma Monitoring in the Ar and n-Hexane Mixture Plasma during the Polymerization Process, Czechoslovak Journal of Physics, vol. 49(1999) 12, p. 1685 - 1701.].

Průmyslová využitelnost

Způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou a měřicí systém k provádění tohoto způsobu podle vynálezu je určen zejména pro využití v oblasti výzkumu plazmatu a plazmových technologií, kde je nutno monitorovat parametry plazmatu během depozičních nebo jiných procesů.

Claims

PATENTOVÉ NÁROKY

1. Způsob synchronizace měření pro sondovou diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou (LS) při nestabilních impulzně buzených výbojích plazmatu v měřicím systému aplikovaném na plazmochemickém reaktoru (PR) a vybaveném řídicím počítačem (RP) a autonomně napájeným spouštěcím synchronizačním obvodem (SSO), vyznačující se tím, že ve výbojích plazmatu se snímají jeho budicí impulzy (fb) a impulzy (fn) nestability výbojů, načež se impulzy (fb, fn) přivedou dvěma vstupy do spouštěcího synchronizačního obvodu (SSO), kde signál (fbd) odvozený od budicích impulzů (fb) je ve zpožďovači (Zl) impulzů zpožděn pro měření ve fázi budicího impulzu (fbd), je mu nastavena délka trvání a společně s impulzem (fno) z tvarovače (TI) impulzů odvozeným od impulzů (fn) nestabilit jsou oba impulzy (fbd, fno) v případě jejich časového překrytí vyhodnoceny koincideněním detektorem (KD), který spustí měřicí proces, který probíhá opakovaně pouze v té periodě impulzu buzení výboje, ve které dochází k danému časovému překrytí budicích impulzů (fb) a impulzů (fn) nestability výbojů.

-5 CZ 304249 B6
2. Měřicí systém pro sondovou diagnostiku plazmatu prováděnou způsobem podle nároku 1 Langmuirovou sondou (LS) a aplikovaný na plazmochemickém reaktoru (PR) vybaveném napájecím zdrojem (NV) výboje a referenční elektrodou (RE) ajehož měřicí obvod sestává z řídicího počítače (RP), který je paralelně propojen jednak přes generátor (GTS) tvarového signálu s referenční elektrodou (RE), jednak je přes v sérii zapojené analogově digitální převodník (AD) a proudový převodník (PP) propojen s Langmuirovou sondou (LS) a jednak je přes řízený zdroj (RZN) napětí propojen s generátorem (GTS) tvarového signálu, vyznačující se tím, že mezi řídicí počítač (RP) a generátor (GTS) tvarového signálu je vřazen autonomně napájený spouštěcí synchronizační obvod (SSO), který je dále propojen s analogově digitálním převodníkem (AD).
3. Měřicí systém pro diagnostiku plazmatu podle nároku 2, vyznačující se tím, že spouštěcí synchronizační obvod (SSO) obsahuje řídicí obvody (RO), k nimž jsou paralelně připojeny vstupní obvody (VOB) synchronizace signálů od buzení výboje v plazmatu, vstupní obvody (VON) synchronizace signálů nestability plazmatu, zpožďovač (Zl) impulzu, tvarovač (TI) impulzu a koincidenční detektor (KD), přičemž zpožďovač (Zl) impulzu a tvarovač (TI) impulzu jsou propojeny s koincidenčním detektorem (KD).
4. Měřicí systém pro diagnostiku plazmatu podle nároků 2 a 3, vyznačující se tím, že směrem vně ze spouštěcího synchronizačního obvodu (SSO) jsou řídicí obvody (RO) propojeny s řídicím počítačem (RP), s blokem řízeného zdroje (RZN) napětí a generátoru (GTS) tvarového signálu a s blokem digitálního převodníku (AD) a proudového převodníku (PP).
5. Měřicí systém pro diagnostiku plazmatu podle nároků 2 až 4, vyznačující se tím, že spouštěcí synchronizační obvod (SSO) je vřazen do měřicího systému jako jeho integrovatelná součást.
6. Měřicí systém pro diagnostiku plazmatu podle nároků 2 až 4, vyznačující se tím, že spouštěcí synchronizační obvod (SSO) je vřazen do měřicího systému jako samostatná autonomní jednotka.