CZ301842B6 - Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr - Google Patents

Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr Download PDF

Info

Publication number
CZ301842B6
CZ301842B6 CZ20060406A CZ2006406A CZ301842B6 CZ 301842 B6 CZ301842 B6 CZ 301842B6 CZ 20060406 A CZ20060406 A CZ 20060406A CZ 2006406 A CZ2006406 A CZ 2006406A CZ 301842 B6 CZ301842 B6 CZ 301842B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
transparent
optical
thickness
layer
micro
Prior art date
Application number
CZ20060406A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ2006406A3 (cs
Inventor
Dohnal@Miroslav
Original Assignee
Fakulta chemicko-technologická
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fakulta chemicko-technologická filed Critical Fakulta chemicko-technologická
Priority to CZ20060406A priority Critical patent/CZ301842B6/cs
Publication of CZ2006406A3 publication Critical patent/CZ2006406A3/cs
Publication of CZ301842B6 publication Critical patent/CZ301842B6/cs

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu spocívá v tom, že se merí svetelná propustnost (T) transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu a jednak kontinuálne se menící svetelná propustnost (T.sub.e.n.) transparentní mikrovrstvy stejného materiálu, mající známou a kontinuálne se menící tlouštku, umístenou v optickém kalibru, pricemž porovnáním svetelné propustnosti (T) transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu se shodnou svetelnou propustností (T.sub.e.n.) známé tlouštky transparentní mikrovrstvy stejného materiálu v optickém kalibru se stanoví tlouštka transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu. Optický kalibr (7) je optický lineární klín (13) nebo optický sférický klín (12) tvorený prvním skleneným clenem, na kterém je nanesena barvová mikrovrstva (8) vytvorená priložením príslušne tvarovaného druhého skleneného clenu na první sklenený clen, pricemž barvová mikrovrstva (8) má exaktní definicí kontinuálne se menící tlouštky.

Description

Měření tloušťky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr
Oblast techniky
Vynález se týká optických měřicích metod měření tloušťky transparentních mikrovrstev materiálu, zejména tiskových barev na transparentním substrátu a optického kalibru.
Dosavadní stav techniky
Tloušťka barvové mikrovrstvy je jedním z parametrů rozhodujících o kvalitě tisku. Z technologie ofsetového tisku je známo, že pro dokonalé vybarvení výtisku musí být dosaženo předepsaných i5 optických hustot barevných ploch - separací CMYK (cyan, magenta, yellow, black). Zvětšováním tloušťky barvové mikrovrstvy její optická hustota postupně narůstá a je největší při plné saturaci barvy. Další zvyšování tloušťky barvy kvalitu výtisku nezlepšuje ba naopak, zvyšuje výrobní náklady a prodlužuje dobu zasychání barvy.
2ϋ V současné době se vyhodnocuje tloušťka barvové mikrovrstvy denzitometry, kdy intenzita odraženého světla od plné barevné plochy se měří přes zařazený filtr doplňkové barvy, např. žlutá barva přes modrý filtr. Je-li mikrovrstva barvy velmi tenká, světlo pres ni prochází, odráží se od bílého substrátu (papíru) a vrací se zpět stejnou cestou přes filtr doplňkové barvy a dopadá na ťotocitlivý senzor denzitometru. Při dostatečné tloušťce mikrovrstvy se bílé světlo od substrátu neodráží a jeho intenzita je téměř nulová. Pro optickou hustotu barvové mikrovrstvy platí vztah D - log(lo / I), kde Iq I jsou intenzity světla odraženého od referenčního bílého substrátu a od barvové mikrovrstvy, v obou případech měřené přes daný barevný filtr. Z principu metody vyplývá, že je velmi nepřesné, ne-li nemožné, měření tloušťky barvové mikrovrstvy na substrátu přibližně stejné barvy, např. tisk žluté barvy na oranžový papír. Výsledkem měření je jen zjištění, jo zdaje mikrovrstva barvy dostatečně silná.
Světelná propustnost T mikrovrstvy je zpravidla popsána Lambertovým - Beerovým zákonem, T = I / ío = 10 NoL, kde I, Io jsou intenzity světla propuštěného a dopadajícího, N je koncentrace absorbujících částic, σ je absorpční průřez a L je absorpční délka. Pro optickou hustotu mikro35 vrstvy pak můžeme psát D = log( 1/T) - NoL. Tento zákon však platí jen tehdy, dochází-li k absorpci fotonů na úrovni molekul, atomů. Tiskové barvy však mohou obsahovat pigmentové částice, které jsou mnohem větší, vzájemně se zastiňují a uvedený zákon neplatí.
Další metoda měření tloušťky barvové mikrovrstvy je založena na zjištění váhy odebrané barvy z válečku potiskovacího stroje. Na tomto stroji se vytiskne barevný pruh o Šířce cca 15 mm a délce 100 mm. Zjistí se váha válečku s barvou před a po tisku. Diference váhy odpovídá váze barvy přenesené na potištěný substrát. Při známé objemové hustotě barvy a ploše potištěného substrátu lze vypočítat střední tloušťku barvové mikrovrstvy. Měřicí metoda je integrální.
Podstata vynálezu
Uvedené nedostatky odstraňuje měření tloušťky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu podle vynálezu, který spočívá v tom, že se měří světelná propustnost (T) transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu a jednak kontinuálně se měnící světelná propustnost (Te) transparentní mikrovrstvy stejného materiálu, mající známou a kontinuálně se měnící tloušťku, umístěnou v optickém kalibru, přičemž porovnáním světelné propustnosti T transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu se shodnou světelnou propustností (Te) známé tloušťky transparentní mikrovrstvy stejného materiálu v optic- 1 CZ 301842 B6 kém kalibru se stanoví tloušťka transparentní mi kro vrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu.
Transparentní mikrovrstva materiálu nanesená na transparentním substrátu je tiskem přenesená barva.
Světelné propustnosti (T, Te) se měří jako intenzity světelných toků propuštěných transparentní mikrovrstvou materiálu naneseného na transparentním substrátu a optickým kalibrem, v němž je umístěna transparentní mikrovrstva s kontinuálně se měnící tloušťkou.
Intenzity světelných toků se určují z expozice fotocitlivého materiálu světlem, prostupujícím transparentní mikrovrstvou materiálu naneseného na transparentním substrátu a optickým kalibrem v němž je umístěna transparentní mikrovrstva s kontinuálně se měnící tloušťkou, jehož optická hustota se po vyvolání měří.
Pro srovnávací měření transparentních mikrovrstev materiálu nanesených na transparentním substrátu se používá tloušťkoměr sestávající z osvětlovací soustavy, zařízení schopného měřit světelný tok, kde osvětlovací soustavu tvoří světelný zdroj, který je umístěn v ohnisku kondenzoru, a z křížového stolku s možností křížového mikroposuvu ve směru kolmém na optickou osu tloušť20 koměru, mezi osvětlovací soustavou a zařízením. Zkoumaná transparentní mikrovrstva materiálu naneseného na transparentním substrátu nebo optický kalibr s barvovou mikrovrstvou jsou umístěny na stolku.
Optický kalibr je optický lineární klín tvořený prvním členem, na kterém je nanesena klínová barvová mikrovrstva vytvořena přiložením příslušně tvarovaného druhého členu na první člen, přičemž klínová barvová mikrovrstva má exaktně stanovenou kontinuálně se měnící tloušťku nebo optický sférický klín tvořený prvním členem, na kterém je nanesena sférická barvová mikrovrstva vytvořena přiložením příslušně tvarovaného druhého členu na první člen, přičemž sférická barvová mikrovrstva má exaktně stanovenou kontinuálně se měnící tloušťku.
Vnější plocha druhého členu optického sférického klínuje opatřena netransparentní vrstvou tak, že vymezuje tri stejně široké transparentní štěrbiny s konstantní roztečí.
Zařízením schopným měřit světelný tok je zde fotometr nebo filmový materiál. Fotometr sestává z objektivu, mikrometricky stavitelné štěrbiny a fotosenzoru.
Tloušťkoměr transparentních mikrovrstev v na transparentním substrátu podle vynálezu měří světelnou propustnost T materiálu, například barvové mikrovrstvy, kteráje tiskem přenesena na transparentní substrát a světelnou propustnost Te(v) optického kalibru s tímtéž materiálem (bar40 vou). Optickým kalibrem tloušťky mikrovrstvy je sférický nebo lineární optický klín. Obě světelné propustnosti T a Te(v) lze měřit mikrofotometrem nebo denzitometricky na vyvolaném a ustáleném negativním (diapozitivním) filmu, který byl exponován průchodem světla je přes zkoumanou mikrovrstvu barvy na substrátu, tak přes optický kalibr s barvou. Vzájemným porovnáním světelných propustností T mikrovrstvy barvy a Te(v) optického kalibru je dostatečně přesně stanovena tloušťka mikrovrstvy v na potištěném substrátu.
Tloušťkoměr transparentních mikrovrstev v na transparentním substrátu podle tohoto vynálezu nedostatky výše uvedených metod odstraňuje a lze jím měřit tloušťky mikrovrstev v diskrétních místech jednobarevného výtisku, např. v tiskových bodech jednotlivých tiskových technologií 50 ofset, flexotisk, hlubotisk, inkoustový tisk a podobně.
Přehled obrázků na výkrese
Obr. 1 znázorňuje tloušťkoměr s fotometrem.
-2CZ 301842 B6
Obr. 2 znázorňuje optický sférický klín
Obr. 3 znázorňuje optický lineární klín.
Obr. 4 znázorňuje optický klín a zkoumaný vzorek na fotocitlivém materiálu
Obr, 5 znázorňuje průběh intenzit světla procházejícího štěrbinami optického klínu při jeho excentrickém nastavení vůči fotometru a nalezení souřadnice x o.
Příklad provedení vynálezu
Tfoušťkoměr pro měření tloušťky mikrovrstvy ]8 barvy potištěného transparentního substrátu, zobrazený na obr. 1, sestává ze světelného zdroje 4, kondenzoru 5, křížového stolku 6, optického kalibru 7 tloušťky mikrovrstvy. Na obr. 1 je znázorněn optický kalibr 7 s optickým sférickým klínem 12 a s planparalelní transparentní destičkou j_5, na obr. 2 je znázorněn optický kalibr 2 s optickým sférickým klínem J_2 a na obr. 3 je optický kalibr s optickým lineárním klínem 13 s kontinuální a matematicky popsanou tloušťkou v(x) barvové mikrovrstvy 8. Ve všech uvedených případech závisí velikost tloušťky vrstvy v(x) na radiální vzdálenosti x od bodu dotyku ploch klínů. Bílé světlo je kondenzorem 5 koncentrováno do optického kalibru 7, prochází barvovou mikrovrstvou 8 přes objektiv 9, stavitelnou štěrbinu 10 a odpadá na fotosenzor mikrofotometru Η.·
Optický kalibr 7 uchycený na křížovém stolku 6 mikrofotometru se kontinuálně posouvá a zesílený fotoproud úměrný světlené propustnosti T barvové mikrovrstvy 8 ovládá pohyb hrotu nezakresleného zapisovače s plynulým posuvem papíru. Stejný postup se opakuje s uchyceným substrátem Π nesoucím mikrovrstvu 18 barvy, znázorněné na obr. 4.
Provedení se sférickým klínem
a) optický kalibr 2 není opatřen propustnými štěrbinami 1, 2, 3.
Sférický klín Γ2 dle obr, 2 je pevně fixován ke křížovému stolku 6 tak, že jeho optická osa je v koincidenci s osou objektivu 9 mikrofotometru H- Posuv klínu 12 v horizontálním nebo vertikálním směru je exaktně svázán s posuvem papíru v nezakresleném zapisovači. Zesílený fotoproud ovládá výchylku pisátka, a tím je zapsána závislost intenzity světelného toku na tloušťce měřené mikrovrstvy 8. Porovnáním světelných propustností T, respektive intenzit I světelných toků procházejících mikrovrstvou 18 barvy a sférickým klínem 12 stanovíme tloušťku mikrovrstvy 18. Před porovnáním intenzity I propuštěného světelného toku mikrovrstvou 18 barvy je nutné odečíst vliv propustnosti T vlastního substrátu Γ7 a optického kalibru 2 bez barvy.
b) optický kalibr 7, znázorněný na obr. 4, je opatřen propustnými štěrbinami 1, 2 a 3
Sférický klín 12 je na své vnější ploše opatřen netransparentní vrstvou H se třemi propustnými štěrbinami L 2 a 3, které slouží k přesnému výpočtu maximální intenzity Io světelného toku v bodě kontaktu optických ploch sférického klínu 12. Bod kontaktu leží ve vzdálenosti xq od osy optického kalibru 7 a v tomto bodě sférického klínu 12 je tloušťka barvové mikrovrstvy 8 nulová. Tím je velmi usnadněno měření, protože není nutné zajistit koincidenci optických os sférického klínu 12 a štěrbiny 2 jako v předchozím případě a). Je tím zcela vyloučena nepřesnost v nastavení osy sférického klínu J_2 při měření. Štěrbiny j., 2, a 3 jsou vyrobeny např. vakuovým napařením kovu na vnější straně optického sférického klínu J2. Mají stejnou šířku a konstantní rozteč. Maximální intenzity Ij, L a T světelných toků naměřené ve štěrbinách i, 2 a 3 poslouží k výpočtu maximální intenzity světelného toku IQ v ose sférického klínu 12. Tím se značně zjednodušuje poloha fixace sférického klínu 12 ke křížovému stolku 6 mikrofotometru J_l, aniž by došlo ke ztrátě přesnosti měření. Optický sférický klín 12 zaplněný zkoumanou barvou je ke křížovému stolku 6 mikrofotometru J_L pevně fixován a postupně jsou proměřeny intenzity Ii , L a l· procházejících světelných toků v podélném směru štěrbin i, 2 a 3. Poměry, které nastanou při excentrickém nastavení sférického klínu 12 jsou znázorněny na obr. 5.
-3CZ 301842 B6
Matematické odvození absolutně největší intenzity Ig světelného toku pro nulovou tloušťku vrstvy y spočívá v interpolaci intenzit b, b a b světelných toků kvadratickým polynomem (aproximační parabolou) a nalezení souřadnice Xo pro polohu maxima, viz obr. 5. Nepřesnost měření vzdálenosti Xo ve směru vertikálním byla už vyloučena stanovením lokálních maximálních intenzit li, L a L světelných toků ležících v rovině rovnoběžné s horizontální osou x. Fotometrickým měřením zjistíme závislost intenzity 1 propuštěného světelného toku na tloušťce v barvové mikrovrstvy 8 v optickém kalibru 7.
io Vzdálenost Xo - polohu středu, a tedy kontaktního bodu ploch sférického klínu 12, (v němž je tloušťka barvové mikrovrstvy 8 nulová), nalezneme z polohy maxima aproximační paraboly, která prochází vrcholy zjištěných intenzit I, světla ve štěrbinách i, 2, 3, umístěných ve vzdálenostech x, vůči referenčnímu bodu na stolku 6.
Koeficienty aproximační paraboly a, b, c, nalezneme řešením soustavy tří rovnic:
axj2 + bxj + c = IÍ5 i = 1,2, 3 kde I, jsou maximální intenzity světelného toku v souřadnicích x, štěrbin,
Pro vzdálenost xg, kde se nachází maximální hodnota intenzity IQ světelného toku, a tedy tloušťka vrstvy v = 0, dostaneme xg = -b/2a. Maximální hodnota intenzity Io propuštěného světelného toku potom bude:
l0 = axo2 + bxo + c = -b2/4a + c
Z průběhu intenzity, např. b světelného toku podél štěrbiny 2 ve vzdálenosti X2 od místa kontaktu optických ploch klínu 12 stanovíme závislost intenzity I(v) světelného toku na tloušťce v mikrovrstvy 8.
Při návrhu sférického klínu vyjdeme z obr. 2. Pro tloušťku sférického klínu j2 platí:
V = y, - y2 = (R2 2 - X2)1'2 - (R|2 - x2)1'2 + (R, - R2)
Za platnosti x/R2 « 1 a x/R(« 1 můžeme přibližně psát:
v = 0,5 x' (1/R, - 1/R2)
Kvalitu vyrobeného sférického optického kalibru 7 lze stanovit pomocí interferenčních kroužků.
Bude-li maximální šířka na obvodě specifické štěrbiny Vm rovna k vlnových délek λ, pak pro průměr sférického klínu 12 platí: d = [8kÁ/(l/R1- l/R2)]lz\ to znamená, že sférický optický kalibr 7 se vzduchovou mezerou bude mít na světle k interferenčních kroužků.
Volíme: k = 20 kroužků, střední vlnová délka λ = 500 nm, (to znamená, že v^, = 10 pm), průměr sférického klínu 12 je d = 20 mm. Potom vypočtené poloměry kontaktních ploch jsou
Ri 196 mm, = 204 mm.
Tloušťka barvové vrstvy 8 je kolem 1 až 2 pm a navržený optický kalibr 7 je vyhovující.
Jednou částí sférického klínu 12 může být rovinná planparalelní transparentní destička j_5, zná55 zorněná na obr. 1. To znamená, že poloměr její křivosti R2 ->oo,
-4CZ 301842 B6
c) Provedení s optickým lineárním klínem.
Při měření tenkých vrstev je nutné odečíst vliv světelné propustnosti T samotného optického kalibru 7 - optického lineárního klínu 13.
Optický kalibr je tvořen lineárním klínem ]3 podle obr. 3. Lineární klín 13 je vytvořen mezi dvěma transparentními skleněnými vyleštěnými destičkami, přičemž jedna je planparalelní, druhá je vyleštěna pod úhlem $. Tento úhel je určen maximální tloušťkou v^ zkoumané barvové mikio rovrstvy 8 a délkou skosení L optického klínu. Pro úhel klínu platí vztah: tg(q>) = kk/L = Vn/L.
Například pro v^ = 5 μηι. λ = 500 nm, L - xm - 20 mm, k = 10 interferenčních proužků bude
Q = 0,86' (obloukové minuty).
Optický lineární klín 13 zaplníme zkoumanou barvou a fixujeme ke křížovému stolku 6 tak, aby vrcholová hrana lineárního klínu 13 byla rovnoběžná s vertikální osou. Křížový stolek 6 se posouvá v horizontálním směru a etalon 13 je prosvětlován bílým světlem přes lineárně rostoucí tloušťku barvové mikrovrstvy 8. Mikrofotometrem J_1 bude registrována a zapisovačem zapsána závislost intenzity světelného toku I(v) na tloušťce v. Tloušťka v mikrovrstvy 8 lineárního optického klínuje určena vztahem v = x tg(tp), kde v je tloušťka mikrovrstvy 8, x je vzdálenost měřená od optického kontaktu obou ploch optic25 kého lineárního klínu, Q je úhel optického lineárního klínu 13. Geometrické rozměry klínů se volí se zřetelem k maximální tloušťce vrT_, vrstvy barvy.
d) Provedení s expozicí fotocitlivého filmu.
Na fotocitlivý materiál 16 je současně umístěn sférický klín J_2 nebo lineární klín J_3 vyplněný zkoumanou barvou a toutéž barvou potištěný substrát 17· Světelný tok prochází optickým kalibrem 7 s barvovou mikrovrstvou 8 a současně potištěným substrátem 17 s mikrovrstvou j_8 barvy, přičemž exponuje fotocitlivý materiál 16, viz obr. 4. Po jeho vyvolání a ustálení obdržíme negativ nebo diapozitiv fotocitlivého materiálu 16 s proměnnou optickou hustotou (denzitou). Foto35 citlivý materiál 16 proměříme mikrofotometrem H. nebo po jeho skenování vyhodnotíme optickou hustotu na počítači. Optickým hustotám fotocitlivého materiálu 16 exponovaného pod štěrbinami 1, 2 a 3 je přesně přiřazena tloušťka barvové mikrovrstvy 8.
Potištěný substrát 17 je transparentní, nebo alespoň průsvitný. V případě potištěného papíru zlep40 šíme jeho průsvitnost ponořením do vody nebo oleje (silikonový, parafinový, apod.) a teprve poté provedeme expozici fotocitlivého materiálu 16. Jedinou podmínkou je, aby olej chemicky nereagoval nebo nerozpouštěl mikrovrstvu J_8 barvy.
Optická hustota substrátu 17 působí jako šum pozadí a musíme ji od výsledné optické hustoty odečíst. Porovnáním optických hustot zpracovaného fotocitlivého materiálu 16 pod štěrbinami 1, 2, a 3 a pod barvovou mikrovrstvou 8 (po výše uvedené korekci na optickou hustotu substrátu) stanovíme tloušťku mikrovrstvy J_8 barvy. Stejným optickým hustotám odpovídají stejné tloušťky mikrovrstvy 8 i mikrovrstvy 18 barvy.
Tloušťku y« suché mikrovrstvy j_8 barvy na substrátu 17 zjistíme jiným experimentem. Silná mokrá mikrovrstva J_8 barvy o tloušťce v2 (1 mm) se po vysušení smrští na tloušťku yM. Pro jejich podíl platí k - vjvo. Touto konstantou vynásobíme tloušťku v mikrovrstvy 18 barvy naměřenou tloušťkoměrem podle vynálezu, a tím určíme tloušťku v« suché mikrovrstvy na substrátu 17.
-5CZ 301842 B6
Průmyslová využitelnost
TlouŠťkoměr transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu nalezne uplatnění zejména 5 v polygrafickém průmyslu, kdy je zkoumána interakce barva-papír, při analýze vrstev polymerních, ochranných, barvových, lakových a všude tam, kde se vyžaduje znalost tloušťky transparentní mikrovrstvy na průsvitném substrátu.

Claims (7)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    15 1. Měření tloušťky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu, vyznačující se tím, že se měří světelná propustnost (T) transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu a jednak kontinuálně se měnící světelná propustnost (Te) transparentní mikrovrstvy stejného materiálu, mající známou a kontinuálně se měnící tloušťku, umístěnou v optickém kalibru, přičemž porovnáním světelné propustnosti (T) transparentní mik20 rovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu se shodnou světelnou propustností (Te) známé tloušťky transparentní mikrovrstvy stejného materiálu v optickém kalibru se stanoví tloušťka transparentní mikrovrstvy materiálu naneseného na transparentním substrátu.
  2. 2. Měření podle nároku 1, vyznačující se tím, že transparentní mikrovrstva mate25 riálu nanesená na transparentním substrátu je tiskem přenesená barva.
  3. 3. Měření podle nároku 1, vyznačující se tím, že se světelné propustnosti (T, Te) měří jako intenzity světelných toků propuštěných transparentní mikrovrstvou materiálu naneseného na transparentním substrátu a optickým kalibrem, v němž je umístěna transparentní mikro30 vrstva s kontinuálně se měnící tloušťkou.
  4. 4. Měření podle nároků 1 a 2, vyznačující se tím, že se intenzity světelných toků určují z expozice fotocitlivého materiálu světlem, prostupujícím transparentní mikrovrstvou materiálu naneseného na transparentním substrátu a optickým kalibrem v němž je umístěna
    35 transparentní mikrovrstva s kontinuálně se měnící tloušťkou, jehož optická hustota se po vyvolání měří.
  5. 5. Optický kalibr pro srovnávací měření transparentních mikrovrstev materiálu nanesených na transparentním substrátu pomocí tloušťkoměru sestávajícího se z osvětlovací soustavy, zařízení
    4ϋ (11) schopného měřit světelný tok, kde osvětlovací soustavu tvoří světelný zdroj (4), který je umístěn v ohnisku kondenzoru (5), a křížového stolku (
  6. 6) s možností křížového mikroposuvu ve směru kolmém na optickou osu (21) tloušťkoměru, mezi osvětlovací soustavou a zařízením (11), přičemž zkoumaná transparentní mikrovrstva (18) materiálu naneseného na transparentním substrátu (17) nebo optický kalibr (7) s barvovou mikrovrstvou (8) jsou umístěny na stolku (6),
    45 vyznačující se tím, že optický kalibr (7) je optický lineární klín (13) tvořený prvním členem, na kterém je nanesena klínová barvová mikrovrstva (8) vytvořena přiložením příslušně tvarovaného druhého členu na první člen, přičemž klínová barvová mikrovrstva (8) má exaktně stanovenou kontinuálně se měnící tloušťku.
    50 6. Optický kalibr pro srovnávací měření transparentních mikrovrstev materiálu na transparentním substrátu pomocí tloušťkoměru sestávajícího se z osvětlovací soustavy, zařízení (11) schopného měřit světelný tok, kde osvětlovací soustavu tvoří světelný zdroj (4), který je umístěn v ohnisku kondenzoru (5), a křížového stolku (6) s možností křížového mikroposuvu ve směru kolmém na optickou osu (21) tloušťkoměru, mezi osvětlovací soustavou a zařízením (11), při55 čemž zkoumaná transparentní mikrovrstva (18) materiálu naneseného na transparentním sub-6CZ 301842 B6 stratu nebo optický kalibr (7) s barvovou míkrovrstvou (8) jsou umístěny na stolku (6), vyznačující se tím, že optický kalibr (7) je optický sférický klín (12) tvořený prvním členem, na kterém je nanesena sférická barvová mikrovrstva (8) vytvořena přiložením příslušně tvarovaného druhého členu na první člen, přičemž sférická barvová mikrovrstva (8) má exaktně
    5 stanovenou kontinuálně se měnící tloušťku.
  7. 7. Optický kalibr podle nároku 6, vyznačující se tím, že vnější plocha druhého členu optického sférického klínu (12) je opatřena netransparentní vrstvou (14) tak, že vymezuje tři stejně Široké transparentní štěrbiny (1, 2 a 3) s konstantní roztečí.
CZ20060406A 2006-06-21 2006-06-21 Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr CZ301842B6 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20060406A CZ301842B6 (cs) 2006-06-21 2006-06-21 Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20060406A CZ301842B6 (cs) 2006-06-21 2006-06-21 Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2006406A3 CZ2006406A3 (cs) 2008-01-02
CZ301842B6 true CZ301842B6 (cs) 2010-07-07

Family

ID=38858873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20060406A CZ301842B6 (cs) 2006-06-21 2006-06-21 Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ301842B6 (cs)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3614241A (en) * 1966-09-26 1971-10-19 Itek Corp Automatic recording densitometer which simultaneously determines and records the optical density of a strip of photographic film
EP0080699A1 (en) * 1981-11-28 1983-06-08 Shimadzu Corporation Densitometer
EP0114030A2 (de) * 1982-12-20 1984-07-25 GRETAG Aktiengesellschaft Transmissionsdensitometer
US4465375A (en) * 1980-05-01 1984-08-14 Dainippon Screen Seizo Kabushiki Kaisha Method and device for measuring a halftone dot area rate or a halftone picture density

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3614241A (en) * 1966-09-26 1971-10-19 Itek Corp Automatic recording densitometer which simultaneously determines and records the optical density of a strip of photographic film
US4465375A (en) * 1980-05-01 1984-08-14 Dainippon Screen Seizo Kabushiki Kaisha Method and device for measuring a halftone dot area rate or a halftone picture density
EP0080699A1 (en) * 1981-11-28 1983-06-08 Shimadzu Corporation Densitometer
EP0114030A2 (de) * 1982-12-20 1984-07-25 GRETAG Aktiengesellschaft Transmissionsdensitometer

Also Published As

Publication number Publication date
CZ2006406A3 (cs) 2008-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4636076A (en) Displacement measuring apparatus and method
US6065400A (en) Method for monitoring registration of images printed by a printer
CN104570647B (zh) 光学传感器及其图像形成装置
CN101473212A (zh) 聚焦光束椭偏仪
JP2001255267A (ja) 2次元イメージング表面プラズモン共鳴測定装置および測定方法
JP6232831B2 (ja) 分光特性取得装置、画像評価装置及び画像形成装置
FI121151B (fi) Menetelmä ja laitteisto liikkuvan pinnan topografian ja optisten ominaisuuksien määrittämiseksi
US4124803A (en) Surface finish monitor
EP2669658B1 (en) Surface plasmon sensor and refractive index measurement method
JP2007225389A (ja) 表面プラズモン共鳴測定装置及び測定方法
CZ301842B6 (cs) Merení tlouštky transparentních mikrovrstev na transparentním substrátu a optický kalibr
GB2239103A (en) Differential refractometer
US3794426A (en) Holographic spectrometer
JPS6291956A (ja) 写真フイルムの表裏判定方法
GB2117112A (en) Optical multi-ray gas-detecting apparatus
CN107329373A (zh) 一种套刻误差测量装置及方法
JP2000314612A (ja) 光透過膜の膜厚測定方法および膜厚測定装置
Stamm et al. Dynamic interferometric imaging of the thickness distribution of evaporating thin liquid films
Klein et al. Development of PSP technique for application on the VFE-2 65° delta wing configuration
Kim et al. Single shot line profile measurement of multi-layered film thicknesses
JPH08219981A (ja) 測定用セルおよび該セルを用いた測定方法
JP5923979B2 (ja) 分光特性取得装置、画像評価装置及び画像形成装置
JPH05141924A (ja) 膜厚測定装置
Bergen A multi-exposure, high resolution camera for the production of a resolving power test target, with extended range
SU859806A1 (ru) Способ определени разнотолщинности прозрачной в видимой области спектра пленки, нанесенной на отражающую подложку

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20130621