CZ20002688A3 - Zařízení pro využívání bublinky jako virtuálního ventilu v mikroinjektoru pro vystřikování kapaliny a způsob vystřikování kapaliny z mikroinjektoru - Google Patents

Abstract

Při způsobu vytvořená bublinka v komoře (14) mikroinjektoru (12) působí jako virtuální ventil mezi komorou (14) a vstupním vedením (16) kapaliny, takže zabrání proudění kapaliny (26) do komory (14) tímto vstupním vedením (16) kapaliny v průběhu vstříknutí kapaliny (26) otvorem (18) komory (14) ven. Po vstříknutí kapaliny (26) svým splasknutím umožní opětovné rychlé naplnění komory (14) kapalinou (26)jejím prouděním vstupním vedením (16) kapaliny. Tím se účinně minimalizuje překrývání mezi sousedními komorami a zvýší se frekvence vstřikování mikroinjektoru (12). Vytvořením druhé bublinky v komoře (14), která se spojí s první bublinkou mezi komorou (14) a vstupním vedením (16) kapaliny, se náhle ukonči vstřikování kapaliny (26), čímž se zabrání vzniku vedlejších doprovodných kapiček.

Description

Oblast techniky

Vynález se týká zařízení pro využívání bublinky jako virtuálního ventilu v mikroinjektoru pro vystřikování kapaliny a způsobu vystřikování kapaliny z mikrozařízení.

Dosavadní stav techniky

Injektory na vystřikování kapiček kapaliny jsou velmi rozšířené pro tisk u inkoustových bublinkových tiskáren. Injektory na vystřikování kapiček kapaliny však mohou být použity v mnoha jiných případech, jako jsou například systémy pro vstřikování paliva, třídění buněk, systémy pro dodávání léků, litografie s přímým tiskem a mikrosystémy s tryskovým pohonem. Společné pro tyto případě je použití spolehlivého a levného injektoru na vystřikování kapiček kapaliny, který může dodávat kapičky o vysoké jakosti, s vysokou frekvencí a vysokým prostorovým rozlišením.

Pouze několik zařízení je schopno vystřikovat kapičky kapaliny jednotlivě a se stejnoměrnou velikostí těchto kapiček. Mezi těmito vstřikovacími systémy na vystřikování kapiček kapaliny v současné době známými a používanými bylo nejúspěšnější zařízení se vstřikováním bublinek poháněných účinkem tepla, a to vzhledem ke své jednoduchosti a relativně nízké ceně.

• ΦΦ φ φ φ ·♦ • · φ φ φ φ • «

Systémy s tepelným pohonem bublinek, které jsou známé rovněž pod názvem bublinkové tryskové systémy, však trpí nedostatky spočívajícími v tom, že u nichž dochází k překrývání a ke vzniku vedlejších doprovodných kapiček. Bublinkové tryskové systémy používají proudového impulsu pro zahřátí elektrody pro uvedení kapaliny obsažené v komoře do varu. V okamžiku, kdy je kapalina ve varu, vytvoří se v ní bublinka, která expanduje, přičemž působí jako čerpadlo pro vystříknutí sloupce kapaliny z komory z otvoru, přičemž tento sloupec kapaliny se přetvoří do kapičky. Po skončení proudového impulsu bublinka splaskne a kapalina účinkem kapilární síly opět vyplní komoru. Provedení takového systému může být dáno rychlostí vystříknutí a směrem, velikostí kapiček, maximální frekvencí vystřikování, překrýváním mezi sousedními komorami, překmitáváním a oscilací hladiny kapaliny během doby, v níž kapalina opět naplňuje komoru, a výskytem vedlejších doprovodných kapiček. V průběhu provádění tisku vedlejší doprovodné kapičky zhoršují ostrost vytvářeného obrazu a snižují přesnost předběžného výpočtu průtoku potřebného pro přesné ovládání kapaliny. K překrývání dochází tehdy, když jsou bublinkové tryskové injektory umístěny v řadách s malou roztečí a kapičky jsou vystřikovány ze sousedních trysek.

Většina bublinkových tryskových systémů s pohonem účinkem tepla obsahuje topný element umístěný na dně komory, přičemž podstatná část jeho energie se ztrácí v základním materiálu. Navíc je pro připevnění trysky k jejímu topnému elementu použito lepidla, čímž je v důsledku potřebných tolerancí při sestavování omezeno prostorové rozlišení trysky. Kromě toho lepení nemůže být kompatibilní s vytvářením vnitřních vzájemných propojení, což může být důležité, jestliže je požadována integrace řady nebo soustavy mikroinjektorů s ovládacím obvodem pro snížení počtu spojovacích vedení a pro zajištění vytvoření kompaktního zařízení.

• · · · • ·

Pro vyřešení problémů spojených s překrýváním a překmitáváním se obvykle praktikuje zvětšení délky kanálu nebo přidání hrdla komory pro zvýšení odporu kapaliny mezi komorou a zásobníkem. Nicméně tato opatření zpomalují opětovné naplnění komory kapalinou a značně snižují maximální vstřikovací frekvenci zařízení.

Největším problémem u současných inkoustových tryskových systémů jsou vedlejší doprovodné kapičky, které způsobují rozmazání obrazu. Vedlejší kapičky, které doprovázejí hlavní kapičku, dopadnou na povrch papíru v mírně odlišných místech než hlavní kapička, neboť tiskací hlava a papír se navzájem vůči sobě relativně pohybují. V současné době neexistují účinné prostředky nebo způsoby pro vyřešení problému vedlejších doprovodných kapiček, které by byly snadno dostupné a ekonomické.

Proto existuje potřeba vytvoření systému na vystřikování kapiček kapaliny, u něhož by bylo minimalizováno překrývání, aniž by došlo ke zpomalení rychlosti opětovného naplnění komory kapalinou, čímž by se udržovala vysoká frekvence odezvy při současném odstranění vedlejších doprovodných kapiček, aniž by došlo ke zvýšení složitosti provedení a výroby.

Podstata vynálezu

Této potřebě vyhovuje a výše uvedené nedostatky v podstatě odstraňuje zařízení pro využívání bublinky jako virtuálního ventilu v mikroinjektoru pro vystřikování kapaliny a způsob vytváření bublinky v komoře mikroinjektoru, která bude působit jako ventilový mechanismus mezi komorou a vstupním vedením kapaliny ze zásobníku kapaliny, pro zajištění vysokého odporu kapaliny • · • · · · · • · • · · « ·· · vystupující z komory do vstupního vedení kapaliny v průběhu vystříknutí kapaliny z otvoru komory a rovněž pro zajištění nízkého odporu pro opětovné naplnění komory kapalinou po vystříknutí kapaliny a po splasknutí bublinky.

Zařízení podle vynálezu v podstatě obsahuje mikroinjektor, který má komoru a vstupní vedení kapaliny s ní průtočně spojené, jakož i otvor průtočně spojený s komorou, alespoň jeden prostředek pro vytvoření bublinky mezi komorou a vstupním vedením kapaliny a prostředky pro zvýšení tlaku v komoře.

Když se na vstupu komory vytvoří bublinka, je bráněno v proudění kapaliny z komory do vstupního vedení kapaliny. Prostředek pro zvýšení tlaku v komoře, který po vytvoření bublinky zvýší tlak v komoře, zvýší tento tlak v komoře tak, že kapalina je puzena ven z otvoru komory. Po vystříknutí kapaliny tímto otvorem bublinka splaskne a umožní rychlé opětovné naplnění komory kapalinou.

Když dojde ke zvýšení tlaku v komoře, zatímco bublinka odděluje komoru od vstupního vedení kapaliny a od sousedních komor, problém překrývání je minimalizován.

Podle výhodného provedení vynálezu jsou prostředky pro vytváření bublinky tvořeny prvním topným elementem umístěným u komory. Prostředek pro zvýšení tlaku v komoře je tvořen druhým topným elementem určeným pro vytváření druhé bublinky v komoře. Oba topné elementy jsou umístěny u otvoru komory a jsou tvořeny elektrodami, které jsou zapojeny v sérii, a v důsledku rozdílu v šířce elektrody mají různý odpor. První topný element je proveden jako užší elektroda a druhý topný element jako širší elektroda, takže první • ♦ · · · · · · ·

C · ··· · · ·«····

J · · · · « · · ft··· ·· «·· ··» ·· ·· bublinka se vytvoří před druhou bublinkou, a to i tehdy, když je do elektrod přiveden společný elektrický signál.

Protože první i druhá bublinka expandují, přiblíží se k sobě navzájem, až se nakonec spojí, čímž zřetelně oddělí proud kapaliny vystupující otvorem, čímž se zcela odstraní nebo podstatně sníží vznik vedlejších doprovodných kapiček.

Úkolem vynálezu je vytvořit mikroinjektorové zařízení, které odstraňuje vznik vedlejších doprovodných kapiček.

Dalším úkolem vynálezu je vytvořit mikroinjektorové zařízení, které minimalizuje vznik překrývání.

Ještě dalším úkolem vynálezu je vytvořit mikroinjektorové zařízení, které umožňuje opětovné rychlé naplnění komory kapalinou po vystříknutí kapaliny.

Ještě dalším úkolem vynálezu je vytvořit způsob vystřikování kapaliny z komory mikroinjektoru, při němž bude minimalizováno vytváření vedlejších doprovodných kapiček.

Ještě dalším úkolem vynálezu je vytvořit způsob vystřikování kapaliny z komory mikroinjektoru, při němž bude minimalizováno překrývání.

Ještě dalším úkolem vynálezu je vytvořit způsob vystřikování kapaliny z komory mikroinjektoru, který umožní rychlé opětovné naplnění komory kapalinou po vystříknutí kapaliny.

·»·

Další úkoly a výhody vynálezu budou uvedeny v dalším popisu, přičemž uvedený podrobný popis je určen pouze pro vyjádření výhodných provedení vynálezu bez jakéhokoli omezení.

Přehled obrázků na výkresech

Vynález bude dále blíže objasněn na příkladném provedení podle přiložených výkresů, na nichž pouze pro ilustrativní účely obr. 1 znázorňuje v perspektivním pohledu část zařízení s řadou mikroinjektorů podle vynálezu, obr. 2A příčný řez komorou a vstupním vedením kapaliny zařízení s řadou mikroinjektorů z obr. 1, obr. 2B příčný řez komorou a vstupním vedením kapaliny z obr. 2A, zobrazující vytvoření první bublinky, následované vytvořením druhé bublinky pro vystříknutí kapaliny z otvoru, obr. 2C příčný řez komorou a vstupním vedením kapaliny z obr. 2A, zobrazující spojení první a druhé bublinky pro ukončení vystříknutí kapaliny z otvoru, obr. 2D příčný řez komorou a vstupním vedením kapaliny z obr. 2A, zobrazující splasknutí první bublinky následované druhou bublinkou, umožňující opětovné naplnění komory kapalinou, obr. 3 v půdorysu křemíkovou destičku použitou pro výrobu zařízení s řadou mikroinjektorů podle vynálezu, obr. 4 příčný řez podél čáry 4-4 křemíkovou destičkou z obr. 3, obr. 5 v půdorysu křemíkovou destičku z obr. 3 vyleptanou z její zadní strany pro vytvořen vstupního vedení kapaliny, obr. 6 příčný řez podél čáry 6-6 křemíkovou destičkou z obr. 5, obr. 7 v půdorysu křemíkovou destičku, znázorněnou na obr. 5, vyleptanou pro zvětšení hloubky komory, obr. 8 příčný řez podél čáry 8-8 křemíkovou destičkou z obr. 7, obr. 9 v půdorysu křemíkovou destičku z obr. 7 s topnými elementy umístěnými na ní do požadovaného obrazce, • 0 • 00 • 0 · »0 ·

000 « 0 0 0

0 0 · 0 ·0 0

00 obr. 10 příčný řez podél čáry 10-10 křemíkovou destičkou z obr. 9, obr. 11 v půdorysu křemíkovou destičku, znázorněnou na obr. 9, s vytvořeným otvorem, a obr. 12 příčný řez podél čáry 12-12 křemíkovou destičkou z obr. 11.

Příklady provedení vynálezu

Řešení podle vynálezu je pouze pro ilustrativní účely uplatněno u zařízení všeobecně znázorněného na obr. 1 až obr. 12. Je zřejmé, že zařízení se může měnit, pokud jde o jeho konfiguraci a detailní provedení jeho částí, aniž by došlo k odklonu od základní koncepce vynálezu.

Na obr. 1 je znázorněna řada 10 mikroinjektoru 12. Rada 10 sestává z mnoha mikroinjektorů 12 umístěných vedle sebe navzájem. Každí mikroinjektor 12 obsahuje komoru 14. vstupní vedení 16 kapaliny, otvor 18, první topný element 20 a druhý topný element 22. První topný element 20 a druhý topný element 22 jsou obvykle provedené jako elektrody připojené v sérii ke společné elektrodě 24.·

Jak vyplývá z obr. 2A, je komora 14 upravena k vyplnění kapalinou 26. Touto kapalinou 26 může být například inkoust, benzín, olej, chemikálie, biolékařský roztok, voda nebo podobně, v závislosti na specifickém použití. Meniskus hladiny 28 kapaliny 26 je v otvoru 18 v podstatě stabilizován. Komora 14 je průtočně spojena se vstupním vedením 16 kapaliny. Kapalina 26 proudí z neznázorněného zásobníku do komory 14 tímto vstupním vedením 16 kapaliny. První topný element 20 a druhý topný element 22 jsou umístěny u otvoru 18. nad komorou 14, aby se zabránilo tepelným ztrátám do základního materiálu. První topný element 20 je umístěn u vstupního vedení 16 ,:

·· ·· • · · • · · · » ··· *· kapaliny, zatímco druhý topný element 22 je umístěn u komory 14. Jak je znázorněno na obr. 2A, je průřez prvního topného elementu 20 užší než průřez druhého topného elementu 22..

Jak vyplývá z obr. 2B, protože první topný element 20 a druhý topný element 22 jsou zapojeny v sérii, je možno pro aktivování jak prvního topného elementu 20. tak i druhého topného elementu 22. použít společného elektrického impulsu. Vzhledem k tomu, že první topný element 20 má užší průřez, dojde v něm k vyšší disipaci výkonu proudového impulsu, čímž se způsobí, že první topný element 20 se ohřeje rychleji, v reakci na společný elektrický impuls, než druhý topný element 22, který má širší průřez. Tím je zjednodušeno provedení odstraněním potřeby uspořádání prostředku pro postupné aktivování prvního topného elementu 20 a druhého topného elementu 22.. Aktivace prvního topného elementu 20 způsobí vznik první bublinky 30. mezi vstupním vedením 16 kapaliny a komorou 14. Jak první bublinka 30 expanduje ve směru šipek P, začíná omezovat proudění kapaliny do vstupního vedení 16 kapaliny, čímž se vytvoří takzvaný virtuální ventil, který izoluje komoru 14 a chrání sousední komory před překrytím. Po vytvoření první bublinky 30 se působením druhého topného elementu 22 vytvoří druhá bublinka 32. která expanduje ve směru šipek P, a v komoře 14 se zvýší tlak, který způsobí vystříknutí kapaliny 26 otvorem 18 ven ve formě sloupce 36. kapaliny ve směru F.

Jak vyplývá z obr. 2C, když pokračuje expanze první bublinky 30 a druhé bublinky 32. tak první bublinka 30 a druhá bublinka 32 se k sobě navzájem přiblíží a ukončí vystříknutí kapaliny 26 otvorem 18. Když se první bublinka 30 a druhá bublinka 32 začnou spojovat, zadní část 34 sloupce 36 kapaliny se náhle oddělí, čímž se zabrání vzniku vedlejších doprovodných kapiček.

Jak vyplývá z obr. 2D, konec elektrického impulsu způsobí splasknutí první bublinky 30 ve směru šipek P. Okamžité splasknutí první bublinky 30 umožní kapalině 26 rychle znovu vyplnit komoru 14 ve směru znázorněném šipkami R, protože mezi vstupním vedením 16 kapaliny a komorou 14 již neexistuje žádná překážka bránící proudění kapaliny.

Je proto zřejmé, že způsob vystříknutí kapaliny 26 z mikroinjektoru 12 podle vynálezu obsahuje v podstatě následující kroky:

(a) vytvoření první bublinky 30 v komoře 14 mikroinjektoru 12, (b) zvýšení tlaku v komoře 14 pro vystříknutí kapaliny 26 z komory 14, přičemž tohoto zvýšení tlaku se dosáhne vytvořením druhé bublinky 32 v komoře 14, (c) zvětšení první bublinky 30 v komoře 14, aby sloužila jako virtuální ventil pro omezení proudění kapaliny mezi komorou 14 a vstupním vedením 16 kapaliny, (d) zvětšení druhé bublinky 32 v komoře 14, přičemž první bublinka 30 a druhá bublinka 32 se k sobě navzájem přiblíží, aby náhle ukončily vystříknutí kapaliny 26 z komory 14.

(e) splasknutí první bublinky 30 pro urychlení opětovného naplnění komory 14 kapalinou 26..

Jak je znázorněno rovněž na obr. 3 a obr. 4, je pro výrobu řady 10 mikroinjektorů 12 na křemíkové destičce 38 použito mikroobráběcí technologie pro obrobení jejího povrchu bez jakéhokoli použití lepení křemíkové destičky 3 8. Proces výroby začne uložením fosfosilikátového skla (PSG) jako odstranitelné vrstvy 40 ohraničující komoru 14. na niž se nanese horní vrstva 42 z nitridu křemíku.

• 9 *9

9 9 9 • 9 9

9 9 9

9 99

Potom se křemíková destička 38 na své zadní straně 44 leptá, jak je znázorněno na obr. 5 a 6, hydroxidem draselným (KOH), aby se vytvořilo vstupní vedení 16 kapaliny. Odstranitelná vrstva 40 se potom odstraní kyselinou fluorovodíkovou (HF). Jak je znázorněno na obr. 7 a obr. 8, dalším leptáním hydroxidem draselným se zvětší hloubka komory 14 při přesném dodržení požadované doby. Průběhu této operace je nutno věnovat zvláštní péči, protože při ní dochází k leptání a zaoblování konvexních rohů komory 14.

Jak je znázorněno na obr. 9 a obr. 10, rovněž se provede položení prvního topného elementu 20 a druhého topného elementu 22 a jejich ustavení do správné polohy. První topný element 20 i druhý topný element 22 jsou s výhodou provedeny z platiny. Potom se položí kovové dráty 44 a na ně se umístí vrstva 46 oxidu pro pasívaci. Vzájemné propojení 48 mezi prvním topným elementem 20 a společnou elektrodou 24 se umístí pod vrstvu 46 oxidu. Jak je konečně znázorněno na obr. 11 a obr. 12, potom se vytvoří otvor 18. za předpokladu litografické rozlišitelnosti šířky čáry 3 pm, přičemž průměr otvoru 1 8 může být přibližně 2 pm a rozteč mezi jednotlivými otvory 18 může být přibližně 15 pm. Jak je ze zobrazení vidět, jsou konvexní rohy 47 komory 14 v důsledku leptání jasně definovány.

Je zřejmé, že podle vynálezu vznikne nový mikroinjektor, který používá bublinku pro omezení proudění kapaliny v mikrokanálu, čímž se zabrání úniku kapaliny z komory do vstupního vedení kapaliny v průběhu vystříknutí kapaliny z otvoru komory. Je rovněž zřejmé, že pro náhlé oddělení sloupce kapaliny vystříknuté otvorem komory ven se použije druhá bublinka ve spojení s první bublinkou, čímž se zabrání vzniku vedlejších doprovodných kapiček. I když výše uvedený popis obsahuje mnoho specifických skutečností, je zřejmé, že tyto specifické skutečnosti nijak neomezují rozsah vynálezu a • toto • · to · to · slouží pouze pro ilustraci některých výhodných provedení vynálezu. Rozsah vynálezu je určen patentovými nároky a jejich zákonnými ekvivalenty.

Claims (27)

1. PATENTOVÉ NÁROKY

   1. Zařízení pro využívání bublinky jako virtuálního ventilu v mikroinjektoru pro vystříkování kapaliny, obsahující (a) mikrokanál, (b) prostředek pro vytvoření první bublinky v tomto mikrokanálu, když je tento mikrokanál vyplněn kapalinou, a (c) prostředek pro zvýšení tlaku v tomto mikrokanálu, když je tento mikrokanál vyplněn kapalinou, pro vystříknutí kapaliny z tohoto mikrokanálu.
2. 2. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že prostředek pro vytvoření první bublinky je tvořen prvním topným elementem.
3. 3. Zařízení podle nároku 2, vyznačující se tím, že prostředek pro zvýšení tlaku v mikrokanálu je tvořen druhým topným elementem schopným vytvoření druhé bublinky.
4. 4. Zařízení podle nároku 3, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou umístěny tak, že první bublinka a druhá bublinka expandují k sobě navzájem pro náhlé ukončení vystříkování kapaliny z mikrokanálu.
5. 5. Zařízení podle nároku 3, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou poháněny společným signálem.
6. 6. Zařízení podle nároku 3, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou zapojeny v sérii.
7. 7. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že vytvoření první bublinky zabrání proudění kapaliny do mikrokanálu tím, že působí jako virtuální ventil.

   • ft ftft • ftft · • · · • ftftft • · • · ft· ft ftft · • ftft ft ftft ftft · ft ftft ft ft ftft ftft
8. 8. Zařízení pro využívání bublinky jako virtuálního ventilu v mikroinjektoru pro vystřikování kapaliny, obsahující (a) komoru, (b) vstupní vedení kapaliny v průtočném spojení s komorou pro přívod kapaliny do komory, (c) otvor v průtočném spojení s komorou, (d) prostředek pro vytvoření první bublinky v této komoře, když je tato komora vyplněna kapalinou, a (e) prostředek pro zvýšení tlaku v této komoře po vytvoření první bublinky, přičemž zvýšení tlaku v komoře způsobí vystříknutí kapaliny, nacházející se v komoře, otvorem ven.
9. 9. Zařízení podle nároku 8, vyznačující se tím, že prostředek pro vytváření první bublinky je tvořen prvním topným elementem.
10. 10. Zařízení podle nároku 9, vyznačující se tím, že prostředek pro zvýšení tlaku v komoře je tvořen druhým topným elementem schopným vytvoření druhé bublinky.
11. 11. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou poháněny společným signálem.
12. 12. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou zapojeny v sérii.
13. 13. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou umístěny u otvoru, takže první bublinka a druhá bublinka se spojí pro náhlé ukončení vystříknutí kapaliny z otvoru.

    ♦ to to· totototo · • · · • toto·· • · ···· ·· * to to ♦·
14. 14. Zařízení podle nároku 8, vyznačující se tím, že vytvoření první bublinky zabrání proudění kapaliny ven z komory při zvýšení tlaku tím, že působí jako virtuální ventil mezi komorou a vstupním vedením kapaliny.
15. 15. Způsob vystřikování kapaliny z mikrokanálu, při němž se (a.) v mikrokanálu naplněném kapalinou vytvoří první bublinka a

    (b) zvýší se tlak v mikrokanálu pro vystříknutí kapaliny z tohoto mikrokanálu.
16. 16. Způsob podle nároku 15, vyznačující se tím, že tlak v mikrokanálu se zvýší vytvořením druhé bublinky v tomto mikrokanálu.
17. 17. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že dále se (a) zvětší první bublinka v mikrokanálu, aby sloužila jako virtuální ventil pro zabránění proudění kapaliny mezi komorou a vstupním vedením kapaliny, a (b) zvětší se druhá bublinka v mikrokanálu, přičemž první bublinka a druhá bublinka se přiblíží k sobě navzájem, aby náhle ukončily vystříknutí kapaliny z mikrokanálu.
18. 18. Způsob podle nároku 17, vyznačující se tím, že potom první bublinka splaskne pro urychlení proudění kapaliny do mikrokanálu.
19. 19. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že pro postupné vyvolání vytvoření první bublinky a druhé bublinky se použije společného signálu.
20. 20. Zařízení podle nároku 16, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou zapojeny v sérii.

    • · ft· • · ft ♦ ft • ft ftft • ftft · • · · • ftftft « · • ftftft >ft * ft •í ·;

    • ftft ftftft
21. 21. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že první topný element se použije pro vytvoření a zvětšení první bublinky a druhý topný element se použije pro vytvoření a zvětšení druhé bublinky, přičemž první topný element zvětší první bublinku rychleji než druhý topný element zvětší druhou bublinku.
22. 22. Způsob vystříknutí kapaliny z mikroinjektoru, který má komoru, vstupní vedení kapaliny pro přívod kapaliny do komory a otvor v průtočném spojení s komorou, při němž se (a) v komoře vytvoří první bublinka, když je komora vyplněna kapalinou, a (b) v komoře se zvýší tlak pro vystříknutí kapaliny otvorem ven.
23. 23. Způsob podle nároku 22, vyznačující se tím, že zvýšení tlaku zahrnuje vytvoření druhé bublinky v komoře.
24. 24. Způsob podle nároku 23, vyznačující se tím, že dále se (a) první bublinka v komoře zvětší, aby sloužila jako virtuální ventil pro zabránění proudění kapaliny mezi komorou a vstupním vedením kapaliny, a (b) druhá bublinka v komoře zvětší, přičemž první bublinka a druhá bublinka se spojí pro náhlé ukončení vystříknutí kapaliny z komory,
25. 25. Způsob podle nároku 24, vyznačující se tím, že potom první bublinka splaskne pro urychlení proudění kapaliny do komory.
26. 26. Způsob podle nároku 23, vyznačující se tím, že pro postupné vyvolání vytvoření první bublinky a druhé bublinky se použije společného signálu.

    2Ί. Zařízení podle nároku 23, vyznačující se tím, že první topný element a druhý topný element jsou zapojeny v sérii.
27. 28. Způsob podle nároku 23, vyznačující se tím, že první topný element se použije pro vytvoření a zvětšení první bublinky a druhý topný element se použije pro vytvoření a zvětšení druhé bublinky, přičemž první topný element zvětší první bublinku rychleji než druhý topný element zvětší druhou bublinku.