CS268976B1 - Zařízení k upevnění elektrod elektronové trysky - Google Patents

Abstract

podetatou zařízení je, že držák hrotové katody je upevněn na dvojici izolačních desek od sehe oddělených izolačním kroužkem. První izolační deska je upevněna posuvně vůči středové ose základního tělesa. Na druhé izolační desce je upevněn držák 8 hrotovou katodou a nastavitelná stínící elektroda, kterou překrývá nastavitelná extrakční elektroda.

Description

Vynález se týká zařízení k upevnění elektrod elektronové trysky s hrotovou katodou a stínící a extrakění elektrodou.

Ultravakuová elektronová tryska s hrotovou katodou a stínící a extrakění elektrodou slouží jako zdroj elektronů v zařízeních pracujících s elektronovým svazkem s vysokou proudovou hustotou elektronů ve svazku a nízkým urychlovacím napětím elektronů .

V současné době se požaduje, aby elektronové zdroje poskytovaly vysokou proudovou hustotu elektronů ve svazku a byly schopné pracovat s urychlovacím napětím již od 200 V. Tyto požadavky lze splnit pouze tím, že se použije jako zdroj elektronů hrotové katody s hrotem buá z monokrystalu wolframu, nebo s hrotem s LaBg. Pro získání dostatečné proudové hustoty elektronů ve svazku je při nízkých urychlovacích napětích nutno vybavit elektronovou trysku extrakění elektrodou, která svým tvarem a přiloženým potenciálem vytvoří dostatečný gradient na hrotu katody, nutný pro její funkci. Aby soustava, která je složena z hrotové katody, stínící a extrakění elektrody splňovala požadavky kladené na nízkovoltový zdroj eléktronů, je nutné před zabudováním do optického systému tuto mechanicky vystředit do osy systému a jednotlivé prvky vzájemně mezi sebou výškově nastavit. Při tomto seřizování se musí vyloučit jakýkoliv mechanický dotyk s hrotem katody, protože i náhodný dotyk vede k jejímu zničení. Současně je nutné respektovat požadavky na bezpečnou přeskokovou vzdálenost mezi elektrodami a požadavek provozu v ultravakuu.

Tyto požadavky splňuje zařízení k upevnění elektrod elektronové trysky, jehož podstata spočívá v tom, že držák hrotové katody je upevněn na dvojici izolačních desek od sebe oddělených izolačním kroužkem, kde první izolační deska je upevněna posuvně kolmo ke středové ose trysky prstencem přetlačovaným zajištovacími ěrouby k základnímu tělesu, přičemž na.druhé izolační desce je upevněn jednak držák s hrotovou katodou a jednak ve směru středové osy trysky krytem nastavitelná stínící elektroda, zatímco ve směru středové osy trysky krycím víčkem nastavitelná extrakění elektroda je upevněna montážními šrouby k prstenci.

Předností nového řešení je, že tento systém umožňuje nezávisle na sobě a postupně vystředit na mechanickou osu hrotovou katodu, stínící elektrodu a extrakění elektrodu tak, aby úchylky od mechanické osy byly minimální, déle tvarem a konstrukcí elektrod umožňuje jejich vzájemně přesné výškové nastavení vzhledem k hrotu katody, přičemž na minimum snižuje možnost náhodného mechanického dotyku stínící elektrody s hrotem katody, protože tato dosedá celým svým obvodem na povrch izolační desky a při centrování se nemůže vyvracet, ale pouze posunovat. Při splnění požadavku pro ultravakuový provoz je současně dodržena minimální přeskoková vzdálenost jednotlivých elektrod a tyto svým centrickým uspořádáním snižují na minimum možnost elektrického výboje. Elektrické propojení pohyblivé katody s ultravakuovými elektrickými průchody, které je provedeno pomocí ohebných vodičů, umožňuje její pohyb při centrování a současně zajišluje dokonalý elektrický kontakt bez přechodových odporů.

Vynález blíže objasní připojený výkres, na kterém je v osovém řezu naznačeno přibližné provedení ultravakuové elektronové trysky s extrakění elektrodou.

Ultravakuová elektronová tryska sestává z nosné keramické vakuové průchodky, která je zakončena kovovým prstencem 1., ke kterému je vakuotěsně přivařeno základní těleso ,2 s vakuově izolačními průchodkami 3, s přívody pro .ohebné vodiče 7, připojené na držák 11. Na čelní plochu základního tělesa j? dosedá první izolační deska 2 přitlačovaná prstencem 6 pomocí zajišlovacích šroubů 23.

CS 268 976 Bl

První izolační deska 2» kterou prochází ohebné vodiče X, je středovým Šroubem 8 se zaoblenou maticí spojena s druhou izolační deskou 2· Mezi oběma deskami 2 a 2 je umístěn izolační kroužek 10» Na druhé izolační desce 2 je připevněn držák 11 hrotové katody £ upevňovacími Šrouby 12, jejichž hlavy jsou zapuStěny do děleného prstence 13. Do otvorů v držáku 11 je zapuštěnými Šrouby 14 upevněna hrotová katoda 4. Stínící elektroda 15 válcového tvaru dosedá na druhou izolační desku 2 ^a elektricky se dotýká držáku 11 katody. Stínící elektroda 15 je ukončena výSkově nastavitelným krytem 17 s otvorem a jeho poloha je fixována zajiSlovacím kroužkem 18. Extrakční elektroda 19 válcového tvaru je připevněna po obvodu k prstenci 6 montážními Srouby 20 a svým okrajem překrývá kovový prstenec £. Extrakční elektroda 19 je zakončena krycím víčkem 21 se středovým otvorem a upevňovacím kroužkem 22.

Pří montáži a vystřelování trysky se postupuje následovně. Do držáku 11 se nasune hrotová katoda £, která se výškově nastaví a upevní zapuštěnými Šrouby 14. Zajišlovacími Šrouby 23 se uvolní prstenec 2 ^a bočním tlakem na druhou izolační desku 2 ⁸⁸ souměrně posunuje i první izolační deska 2· Hrotová katoda 4 se takto nastaví do středové osy systému a prstenec 6 se upevní zajiSlovacími Šrouby 23. Na stínící elektrodu 15 se nasadí kryt 17 s otvorem a výškově nastaví vůči hrotu katody £ a. upevní zajišíovacím kroužkem 1,8. Znovu se provede ustředění a stínící elektroda 15 se přitáhne k držáku 11 upevňovacími Šrouby 16. Jako poslední operace se nasadí extrakční elektroda 19 s krycím víčkem 21. které se také výškcvě nastaví vůči krytu 17. zajistí upevňovacím kroužkem 22 a provede se centrování na středovou osu systému. Potom se extrakční elektroda 19 zajistí montážními Šrouby 20 k prstenci 6. Tím je středění ukončeno a sestavenou ultravakuovou trysku je možno zabudovat do optického systému. ··.

Zařízení k upevnění elektrod elektronové trysky je určeno zejména pro elektronově optické přístroje, například přístroje pro diagnózu integrovaných obvodů.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Zařízení k upevnění elektrod elektronové trysky, vyznačující se tím, že držák (11) hrotové katody (4) je upevněn na dvojici izolačních desek (5, 9) od sebe oddělených izolačním kroužkem (10), kde první izolační deska (5) je upevněna posuvně kolmo ke středové ose trysky prstencem (6) přitlačovaným zajišíovacími šrouby (23) k základnímu tělesu (2), přičemž na druhé izolační desce (9) je upevněn jednak držák (11) s hrotovou katodou (4) a jednak ve směru středové osy trysky krytem (17) nastavitelná stínící elektroda (15), zatímco ve směru středové osy trysky krycím víčkem (21) nastavitelná extrakční elektroda (19) je upevněna montážními šrouby (20) k prstenci (6).