CS262813B1

CS262813B1 - Apparatus for connecting closed silcium tube to the medium source

Info

Publication number: CS262813B1
Application number: CS866791A
Authority: CS
Inventors: Jiri Jaron
Original assignee: Jiri Jaron
Priority date: 1986-09-22
Filing date: 1986-09-22
Publication date: 1989-04-14
Also published as: CS679186A1

Abstract

Navrhované řešení sestává z trubičky z polykrystaliokého křemíku opatřené kuželovým připojením přizpůsobeným k otvoru v uzavřené křemíkové trubici. Jeho podstata spočívá v tom, že trubička z po- lykrystalidkého křemíku je opatřena drážkami v minimálním počtu 4, přičemž vnitřní průměr drážky nesmí být menší než průměr vyústky trubičky z polykrystaliokého křemíku.The proposed solution consists of a polycrystalline silicon tube provided with a conical connection adapted to the opening in a closed silicon tube. It is based on the fact that the polycrystalline silicon tube is provided with grooves of at least 4, the inner diameter of the groove being not less than the diameter of the polycrystalline silicon tube outlet.

Description

Vynález se týká zařízení pro připojení křemíková trubice zhotovení Jle^AC ?29 379 k přívodu médií např. při difuzních a jinýsh vysokoteplotních operacích prováděných v prostředí o 1ofinovanám s1o 2 oni.BACKGROUND OF THE INVENTION The invention relates to a device for attaching a silicon tube of the invention to an inlet of media, e.g.

Dosavadní zařízení pro připojení uzavřené křemíkové trubice kc zdroji médií, např. pracovního plynu nebo směsi plynů obsahujících popř. páry legovacích a jiných příměsí apod.» je tvořeno trubičkou z polykrystalického křemíku o průměru cca 16 mm, jež je jedním koncem natčsna a rozebíratelně spojena kuželovým zábrusem s uzavřenou křemíkovou trubicí a na druhém konci je opatřena zúžením na vhodný průměr, kde se pomocí připojovacího zařízení, t.j, Sroubení, převlečné matice a těsnění z vhodného materiálu, obvykle z teflonu, připojí na přívod médií. Vzhledem k dobré tepelné vodivosti křemíku, z něhož je připojovací trubička z polykrystalického křemíku vyrobena, dochází při pracovních teplotách /vz 1000 °C a vyšších v uzavřené křemíkové trubici ke značnému prohřívání připojovacího zařízení, t.j. převlečné matice, Sroubení a především těsnění z teflonu, k uvolnění matice vlivem zhoršení mechanických vlastností při tepelném namáhání a tím k postupnému zhoršení vlastností spoje, zvláště jeho těsnosti. To je nežádoucí při požadavku vysoké chemické čistoty v procesech, kde se uzavřená křemíková trubice používá. Ztráta těsnosti je rovněž nežádoucí při použití zdraví škodlivých či výbušných medií.Prior art devices for connecting a closed silicon tube to a source of media, e.g. pairs of alloying and other impurities, etc. »is made of a polycrystalline silicon tube with a diameter of approx. 16 mm, which is tightly and releasably connected at one end by a conical ground joint with a closed silicon tube and at the other end is tapered to a suitable diameter. ie, fittings, union nuts and gaskets of suitable material, usually Teflon, are connected to the media supply. Due to the good thermal conductivity of the silicon from which the polycrystalline silicon connection tube is made, at the operating temperatures / at 1000 ° C and higher in the closed silicon tube, the connection device, ie union nut, fitting and especially Teflon gasket, loosening the nut due to the deterioration of the mechanical properties during thermal stress and thereby to a gradual deterioration of the joint properties, especially its tightness. This is undesirable when high chemical purity is required in processes where a closed silicon tube is used. Loss of tightness is also undesirable when using harmful or explosive media.

Další nevýhodou je velmi nesnadná manipulace s přehřátou prevlečnou maticí. Při aplikacích jsou uzavřené křemíkové trubice obvykle v trvalém provozu z důvodu požadované dlouhodobé teplotní stability. Proto většina zásahů do přívodů médií charakteru údržby či úpravy se provádí za plného teplotního režimu. Povrch převlečné matice je však vyhřát natolik, že manipulace s ní je možná pouze s použitím nástrojů, což není vhodné vzhledem ke křehkosti používaných materiálů.Another disadvantage is the very difficult handling of the overheated union nut. In applications, closed silicon tubes are usually in continuous operation because of the desired long term temperature stability. Therefore, most interventions in the media supply of the maintenance or adjustment character are carried out under full temperature mode. However, the surface of the union nut is heated to such an extent that manipulation is only possible with the use of tools, which is not appropriate due to the fragility of the materials used.

- 2 282 813- 2 282 813

Výše uvedené nedostatky odstraňuje zařízení pro připojení uzavřené křemíkové trubice ke zdroji me'dií podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, Se trubička z polykrystalického křemíku je opatřena drážkami v minimálním počtu 4, přičemž vnitřní průměr drážky nesmí být menší než průměr vyústky trubičky z polykrystalického křemíku.The above-mentioned drawbacks are eliminated by a device for connecting a closed silicon tube to a copper source according to the invention, which consists in that the polycrystalline silicon tube is provided with a minimum of 4 grooves, the internal groove diameter not being smaller than the polycrystalline tube outlet diameter. silicon.

Vytvořením drážek se zvýší tepelný odpor křemíkové trubičky a tím dojde k podstatnému snížení povrchové teploty vyústky, t.j. té části trubičky z polykrystalického křemíku, jež slouží k uchycení spojovacího zařízení, např. teflonového Sroubení, převlečné matice a zvláště těsnění z téhož materiálu.The formation of the grooves increases the thermal resistance of the silicon tube, thereby substantially reducing the surface temperature of the diffuser, i.e. that portion of the polycrystalline silicon tube that serves to hold the coupling device, e.g., Teflon fitting, union nut, and especially gaskets of the same material.

Vynález je blíže objasněn pomocí připojeného výkresu, kde obr. 1 znázorňuje uzavřenou křemíkovou trubicí v řezu a obr. 2 znázorňuje trubičku z polykrystalického křemíku. Uzavřená křemíková trubice 1 je opatřena na uzavřeném konci kuželovým otvorem o průměru např. 15 mm a kuželovitosti např. 1:20. Trubička J z polykrystalického křemíku je opatřena vnější kuželovou plochou 2· Kuželové plochy £ jsou vzájemně natěsno zabroušeny. Napojení vstupních medii je provedeno zúženou vyústkou 6 běžným způsobem, obvykle pomocí teflonové trubičky, dále matice a Sroubení s těsněním z teflonu. Trubička 3 z polykrystalického křemíku je dále opatřena drážkami £ s vnitřním průměrem drážky ne menším než je průměr vyústky é. Počet drážek 2 je libovolný, nejméně jsou však 4·BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is illustrated by the accompanying drawing, in which Fig. 1 shows a closed silicon tube in cross-section and Fig. 2 shows a polycrystalline silicon tube. The closed silicon tube 1 is provided at the closed end with a conical bore having a diameter of e.g. 15 mm and a conicity of e.g. 1:20. The polycrystalline silicon tube (J) is provided with an outer conical surface (2). The connection of the input media is effected by a narrowed diffuser 6 in a conventional manner, usually by means of a Teflon tube, further by a nut and a Teflon seal. The polycrystalline silicon tube 3 is further provided with grooves 6 with an internal groove diameter not less than the diameter of the diffuser. The number of grooves 2 is arbitrary, but at least 4 ·

Vynález je použitelný všude tam, kde je nutno zajistit vysokou chemickou čistotu přiváděných médií a spolehlivost těsnění, především při vysokoteplotních procesech jako jsou např. různé typy žíhání, oxidace, dále difúzní procesy v prostředí o definovaném složení s obsahem příměsí dopantu apod. především v polovodičovém průmyslu. Dále je možno vynález využít v případech, u nichž je třeba s ohledem na vysokou teplotu procesu zajistit zvýíbn šn 'Ί”.The invention is applicable wherever it is necessary to ensure high chemical purity of supplied media and seal reliability, especially in high-temperature processes such as various types of annealing, oxidation, diffusion processes in a defined composition containing dopant admixtures etc. especially in semiconductor industry. Furthermore, the invention can be used in cases where it is necessary to provide an increased Ί ”in view of the high process temperature.

šenou spolehlivost těsnění spoje při použití např. vjouonýc zdraví Škodlivých médií.Provided reliability of joint seals when used, for example, in other hazardous media.

Claims

Apparatus for connecting a closed silicon tube to a media source comprising a polycrystalline silicon tube provided with a conical connection adapted to an opening in a closed silicon tube, characterized in that the polycrystalline silicon tube (3) is provided with grooves (2) in at least 4, the diameter of the groove (2) must not be less than the diameter of the diffuser (6) of the tube (3) of polycrystalline silicon.