CS262813B1 - Zařízení pro připojení uzavřené křemíková trubice ke zdroji médií - Google Patents

Abstract

Navrhované řešení sestává z trubičky z polykrystaliokého křemíku opatřené kuželovým připojením přizpůsobeným k otvoru v uzavřené křemíkové trubici. Jeho podstata spočívá v tom, že trubička z po- lykrystalidkého křemíku je opatřena drážkami v minimálním počtu 4, přičemž vnitřní průměr drážky nesmí být menší než průměr vyústky trubičky z polykrystaliokého křemíku.

Description

Vynález se týká zařízení pro připojení křemíková trubice zhotovení Jle^AC ?29 379 k přívodu médií např. při difuzních a jinýsh vysokoteplotních operacích prováděných v prostředí o 1ofinovanám s1o 2 oni.

Dosavadní zařízení pro připojení uzavřené křemíkové trubice kc zdroji médií, např. pracovního plynu nebo směsi plynů obsahujících popř. páry legovacích a jiných příměsí apod.» je tvořeno trubičkou z polykrystalického křemíku o průměru cca 16 mm, jež je jedním koncem natčsna a rozebíratelně spojena kuželovým zábrusem s uzavřenou křemíkovou trubicí a na druhém konci je opatřena zúžením na vhodný průměr, kde se pomocí připojovacího zařízení, t.j, Sroubení, převlečné matice a těsnění z vhodného materiálu, obvykle z teflonu, připojí na přívod médií. Vzhledem k dobré tepelné vodivosti křemíku, z něhož je připojovací trubička z polykrystalického křemíku vyrobena, dochází při pracovních teplotách /vz 1000 °C a vyšších v uzavřené křemíkové trubici ke značnému prohřívání připojovacího zařízení, t.j. převlečné matice, Sroubení a především těsnění z teflonu, k uvolnění matice vlivem zhoršení mechanických vlastností při tepelném namáhání a tím k postupnému zhoršení vlastností spoje, zvláště jeho těsnosti. To je nežádoucí při požadavku vysoké chemické čistoty v procesech, kde se uzavřená křemíková trubice používá. Ztráta těsnosti je rovněž nežádoucí při použití zdraví škodlivých či výbušných medií.

Další nevýhodou je velmi nesnadná manipulace s přehřátou prevlečnou maticí. Při aplikacích jsou uzavřené křemíkové trubice obvykle v trvalém provozu z důvodu požadované dlouhodobé teplotní stability. Proto většina zásahů do přívodů médií charakteru údržby či úpravy se provádí za plného teplotního režimu. Povrch převlečné matice je však vyhřát natolik, že manipulace s ní je možná pouze s použitím nástrojů, což není vhodné vzhledem ke křehkosti používaných materiálů.

- 2 282 813

Výše uvedené nedostatky odstraňuje zařízení pro připojení uzavřené křemíkové trubice ke zdroji me'dií podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, Se trubička z polykrystalického křemíku je opatřena drážkami v minimálním počtu 4, přičemž vnitřní průměr drážky nesmí být menší než průměr vyústky trubičky z polykrystalického křemíku.

Vytvořením drážek se zvýší tepelný odpor křemíkové trubičky a tím dojde k podstatnému snížení povrchové teploty vyústky, t.j. té části trubičky z polykrystalického křemíku, jež slouží k uchycení spojovacího zařízení, např. teflonového Sroubení, převlečné matice a zvláště těsnění z téhož materiálu.

Vynález je blíže objasněn pomocí připojeného výkresu, kde obr. 1 znázorňuje uzavřenou křemíkovou trubicí v řezu a obr. 2 znázorňuje trubičku z polykrystalického křemíku. Uzavřená křemíková trubice 1 je opatřena na uzavřeném konci kuželovým otvorem o průměru např. 15 mm a kuželovitosti např. 1:20. Trubička J z polykrystalického křemíku je opatřena vnější kuželovou plochou 2· Kuželové plochy £ jsou vzájemně natěsno zabroušeny. Napojení vstupních medii je provedeno zúženou vyústkou 6 běžným způsobem, obvykle pomocí teflonové trubičky, dále matice a Sroubení s těsněním z teflonu. Trubička 3 z polykrystalického křemíku je dále opatřena drážkami £ s vnitřním průměrem drážky ne menším než je průměr vyústky é. Počet drážek 2 je libovolný, nejméně jsou však 4·

Vynález je použitelný všude tam, kde je nutno zajistit vysokou chemickou čistotu přiváděných médií a spolehlivost těsnění, především při vysokoteplotních procesech jako jsou např. různé typy žíhání, oxidace, dále difúzní procesy v prostředí o definovaném složení s obsahem příměsí dopantu apod. především v polovodičovém průmyslu. Dále je možno vynález využít v případech, u nichž je třeba s ohledem na vysokou teplotu procesu zajistit zvýíbn šn 'Ί”.

šenou spolehlivost těsnění spoje při použití např. vjouonýc zdraví Škodlivých médií.

Claims (1)

1. Zařízení pro připojení uzavřené křemíkové trubice ke zdroji, médií tvořené trubičkou z polykrystalického křemíku opatřenou kuželovým připojením přizpůsobeným k otvoru v uzavřené křemíkové trubici, vyznačené tím, že trubička /3/ z polykrystalického křemíku je opatřena drážkami /2/ v minimálním počtu 4, přičemž vnitřní průměr drážky /2/ nesmí být menší než průměr vyústky /6/ trubičky /3/ z polykrystalického křemíku.