CS261426B1 - Zariadenie na čistenie vnútra pracovnej nádoby pre přípravu a rast, najmá monokryátálov - Google Patents

Description

Vynález sa týká riešenia zariadenia na čistenie vnútra pracovnej nádoby pre přípravu a rast, najma monokryštálov.

Doteraz známe sposoby čistenia vnútorných stien a častí pracovných nádob sú uložené na mechanických spósoboch vykonávaných ručně alebo mechanizované. Nečistoty vol'ne alebo pevne viazané na vnútorných stěnách pracovnej nádoby sa čistia jemným a citlivým odstraňováním štetcami, kefami rožne tvarovanými, utierkami z textilii bud suchými, alebo vlhkými. Splodiny čistenia, zváčša prachové sú súčasne lokálně, alebo centrálně odsávané. Niektoré splodiny látok, například pri príprave monokryštálov zlúčením A111 Bv ako GaAs, GaP, InP sú hygienicky závadné — toxické, připadne prevádzkovoi nebezpečné. V tomto případe čistenie vnútorných stien pracovných nádob vykonávajú osoby v osobných ochranných pomůckách ako· sú ochranné rukavice, ochranný oblek, protiprašné masky. Takéto· sposoby čistenia majú viacero fyzických a hygienických nevýhod. I pri sebeváčšej pozornosti pracovníkov pri čistění sa prakticky nedá vylúčiť rozvírenie prachových splodín a ich úlet mimo vnútorného priestoru pracovnej nádoby, teda do okolitého priestoru, v ktorom sa mimo čistenia pohybuje obslužný personál bez ochranných pomocok. Takto sa tieto toxické, zdravotně závadné a prevádzkovo nebezpečné látky zhromažďujú v okolitom priestore pracovnej nádoby a niektoré sa postupné dostávajú do organizmu obsluhy. V niektorých prípadoch sa vnútorný priestor pracovnej nádoby před otvorením napaří prchavou kvapalinou a potom sa následné vykoná mechanické čistenie. Súčasne známe sposoby čistenia pracovných nádob sú charakteristické zváčša suchým čistěním.

Nevýhodou uvedeného spůsobu čistenia je vysoká prácnosť čistenia. Navýše interiér pracovných nádob je aváčša mimo vnútorných stien nádoby tvarové členitý a ťažko přístupný, čím. je čistenie obmedzené. Nedostatečné očištěný interiér pracovnej nádoby je zdrojom nežiadúcich nečistůt, ktoré vo formě příměsí unášajú nečistoty do materiálu a poruchy do kryštalickej mriežky. Tým sa znižuje výťažnosť krystalického materiálu.

Vyššie uvedené nevýhody zmierňuje zariadenie na čistenie vnútra pracovnej nádoby pre přípravu a rast najmá monokryštálov podía vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že zariadenie je tvořené nosnou týčou uloženou otočné v osi čistenej nádoby. Na

Claims (1)

1. PREDMET Zariadenie na čistenie vnútra pracovnej nádoby pre přípravu a rast, najma monokryštálov, ktorá pozostáva z plášťa uzavretého vekami vyznačujúce sa tým, že je tvořené nosnou týčou (lij uloženou otočné v nosnej tyči je proti plášťa a oproti každého veka pracovnej nádoby uložený aspoň jeden ultrazvukový žiarič. Zariedením na čistenie vnútra pracovnej nádoby pre přípravu a rast najmá monokryštálov sa docieli podstatné zníženie účinkov hygienicky závadných a toxických látok na obslužný a prevádzkový personál, čím sa zníži rizikovost pracoviska. Zariadením sa dosiahne aj vyčistenie, odstránenie nečistůt i na menej přístupných miestach vnútorného priestoru pracovnej nádoby. Výhodou je dokonalejšie vyčistenie vnútorného priestoru pracovnej nádoby, čím sa zvýši výťažnosť monokryštálov. Podstatné sa skráti doba čistenia pracovnej nádoby a taktiež sa zníži prácnosť čistenia. Na pripojenom výkrese (obr. lj znázorněné příkladné riešenie zariadenia na čistenie vnútra pracovnej nádoby pre přípravu a rast monokryštálov, ktoré je nakreslené v řeze. Pracovná nádoba 1 je tvořená plášťom 2 a vekami 3. Veká 3 sú s plášťom 2 stiahnuté uzávermi 4. V osi pracovnej nádoby 1 je otočné uložená nosná tyč 11 v dolnom veku 3 na nosiči 6 a v hornom veku 3 na ťahacej tyči 16. Na nosnej tyči 11 sú oproti plášťa 2 pevne uchytené tri ultrazvukové žiariče 12 a oproti velkám 3 sú na nosnej tyči 11 pevne uchytené po jednom ultrazvukovom žiariči 12. Na dolnom veku 3 sú umiestnené dva přívody 7, 13 elektrického prúdu, a otvor 8 pre přívod a odvod kvapaliny. Otvor 8 je napojený na kvapallnový rozvod 9 opatřený snímačom 10 priestoru. Na hornom konci nosnej tyče 11 je uložený snímač 15 hladiny. V hornom veku 3 je vytvořený odsávací otvor 5 a priezor 17. Pracovná nádoba 1 je naplněná čistiacou kvapalinou 14. Po vstupe do pracovnej nádoby 1 a po vybraní technologického vybavenia uložíme na nosič 6 a na ťahaciu tyč 16 nosnú tyč 11 s ultrazvukovými žiaričmi 12. Pracovná nádoba 1 sa uzatvorí uzávermi 4. Cez otvor 8 sa pracovná nádoba 1 naplní čistiacou kvapalinou 14. Naplnenie pracovnej nádoby 1 sa kontroluje snímačmi 10 a 15. Po naplnění pracovnej nádoby 1 sa uvedú do činnosti ultrazvukové žiariče 12. Vzhladom na směrový účinok ultrazvukových žiaričov 12 a čištěný tvar pracovnej nádoby 1 nosič 6 s nosnou týčou 11 vykonává cyklický rotačnovratný pohyb. Po ukončení čistenia sa cistiaca kvapalina 14 otvorom 8 odvedie z pracovnej nádoby 1. Pracovná nádoba 1 sa cez odsávací otvor 5 zbaví prchavých látok. osi čistenej nádoby (1), pričom na nosnej tyči (lj je oproti plášťa (2) a oproti každé- ho veka (3) pracovnej nádoby (1) uložený aspoň jeden ultrazvukový žiarič (12). 1 list výkresov 261426 5 15 , 16 17 3 J ί ^*2- «

   7 φ 6 8