CS259032B1 - Zařízení pro elektrolytické zpracování kovovýoh vzorků pro elektronové mikroskopy - Google Patents

Abstract

Reěení ee týká elektrochemického zpracování kovů, elektrochemického upřesnění vzorků, zkoumaných v prosvěcovaných elektronových mikroskopech. Zařízení obsahuje těleso s lůžkem pro držák objektivu a tryskou, spojenou s čerpadlem pročerpáni elektrolytu, držák objektivu se vzorkem, kladnou elektrodu ve tvaru sklenice, naplněné nevodící kapalinou, jejímž dnem je vzorek, elektrodu, zesilovač, napájecí zdroj, klíčové prvky

Description

OIMCAHHE H30BPETEHHM K ABTOPCKOMY CBHflETEJIbCTBy3asBJieHo: 10.01.83SaflBKa IP 3577963/22-02MKHa C 25 F 7/00 ABTopu: H.H.HeMepnc, B.B.Puxkob, H.H.KopoTKOpynKO, B.H.KaruiHMκωή,

B.B.CicopoCoraTbKO u M.E.TbiqyK 3βββμτ&πβ: CyMCKuň sasoA ΒΛβκτροΗΗωχ mhkpockoiiob hm. 50-neTHH BJ1KCMHaasanne Η3θ6ρβτβΗΗΗί yCTPOfiCTBO nim SJIEKTPOJMTIWECKOft OBPABOTKHMETAJDM- HECKHX 0BPA3H0B ΟΠΗ 3J1EKTP0HHEK ΜΗΚΡΟΟΚΟΠΟΒ Μ3θ6ρβΤβΗΗβ OTHOCHTCH K 3JieKTpOXHMHHeCKOň oGpaĎOTKe MeTaJUIOB, a HMeHHOκ 3JieKTpoxnMHuecKOMy υτοηίθηηιο oGpasqoB, HccjieAyeMwx b npocBeHHBawmHX anex-TpOHHblX MHKpOCKOnaX.

Oahhm ris Han6onee pacnpocTpaHeHHbix ΜβτοΑοβ nojiyqeHHH TaxHX oGpasyoB hbjiheTca 3JieKTponHTHuecKaH nonHpoBKa, πρπ κοτοροή b onpeAeneHHbtx pexHMax npoHc-xoflHT HenpepbiBHoe oCpasoBaroie h pacTBopenne naccHBnpyi<mero cjioh. IIpoapaMHanpfia sjíeKTpoHHoro jiyua TOJiiHHHa oGpasqa ο6ι>ιηηο nojiynaeTCH Ha xpaax oGpasywnie-rocH ηρκ sneKTpojiHTHHecKoň ποπκροΒκβ OTBepcTHH, a OTcyTCTBHe ηπη cBegeHHaκ MHHHMyMy HajiHHHfl naccnBnpy»meň rmeHKH mojkbt 6ητβ AOCTHPHyTO. BbiCopoM peaot-Ma ΠΟΠΗΡΟΒΒΗΗΒ H OflHOBpeMeHHblM npeKpameHHeM XHMHHeCKOrO TpSBJíeHHH H 3JieKTpOXHMHBecKoro pacTBopeHHfl naccHBHpyranero cjioh. Οαηθκο πρκ .oGpasoBaHHH OTBepc-THH HapymaeTCH oahopoahoctb 3JiexTpHuecxoro no jih, MaxcHMyM HanpHaceHHocTHajieKTpHuecKoro nojin ΗΜβετ MecTO Ha xpanx OTBepcraH. A HaHGoAwnan cKopocTbTpaBjíeHHH xax pas h cooTBeTCTByeT ynacTKaM c MaxcHManfaHoit HanpaxeHHocTBio.sjíeKTpHHecKoro nojiH. IIosTOMy τοηκηθ xpan oGpaaoBaBmeroca OTBepcTHH, hbjihw-mnecH HanOonee πρηγοαηημη p/M sjíeKTpoHHOMHKpocKommecKHX HCcneAOsaHHft,cTpaBjíHBaioTCB. 3thm HBJíeHHeM h o6ycJiaBjiHBaeTCH HeoCxoflHMOcTb npexpameHHHnpouecca 3JiexTponojiHpoBKH b MOMeHT oGpasoBaHHH OTBepcTHH. npHneM, xeM paHfa-rně CyAeT ββφΗκοκροΒβΗ μομθητ oOpasoBaHHH ero, τβΜ Bbnne xanecTBO πρΗΓοτοΒΠβ»Horo o6pa3Aa. 259032 H3BeCTHO yeTpoňcTBO ftnn SJíeXTpOnOJIHpOBXH ΤΟΗΚΟϋ MeTajUlHHeCKOŘ φΟΠΒΓΗ Bπροτοκβ sneKTpojiHTa, co^epatamee CHCTeMy notára anexTpojiHTa, hctohhhx πκτβ-HHH H CHCTeMy «JIH HaCjIIOfleHHH 3a npOUeCCOM [1] . OflHaKO yCTpoftCTBO ΠρΗΓΟβΗΟtojibko npH HcnojibsoBaHHH npoapanHoro ajieKTpojiHTa, a b npaxTHxe fljia ajiexTpo-JIHTHWeCKOft nOJIHpOBKH ΜΗΟΓΗΧ MeTajttlOB HCnOJItayiOTCH HenpO3patIHbie SJleKTpOJIHTbl,cogepwamHe xpoMOByro XHcnoTy." KpoMe roro, nocjie npexpdnteHHH no^ann snexTpo-jih Ta h oTKjiroueHHH θπθκτροπητθηηη (β ΜΟΜβΗτ Havana oGpasoBaHHH. oTsepcTHs),ripoflojracaeTCH o6pa3osaHHe naccHBMpywmero cjioh na nosepxHOCTH oSpaaija sa cneTocTaBWHxcH Ha noBepxHOCTH xanejiex sjíexTpojiHTa, β μομθητ oSpaaoBanHH OTsepc-THH 3a cneT HapymeHHH οαηοροληοοτη anexTpHuecxoro nojiH fleftcTByeT xpaesoň3φφβκτ, pacTBopHronmň HanSojiee TOHxyro nacTb o6pa3«a.

HanGojiee 6jih3khm k Η3ο6ρβτβΗΗΐο no TexHHnecKoft cjtiuhocth HBJíneTCH ycTpoftcT"bo απη aneKTpojiHTHHecKoft o6pa6oTKH MeTaiuiHHecxHX o6pa3HOB hjih 3ΠβκτροΗΗΜχΜΗκροεκοποΒ, coflepjKamee xopnyc c mesflOM ajih o6bexTOflep»aTejiH, CHCTeMy ipnp-KynaiiHH sneKTpojiHTa, hctohhhk ποπηροβχη, yciuiHTenb roxa HHflHxaiym, Hanajiao6pa3OBaHHH OTBepcTHH, o6T>eKTOflepjKaTeJib h CHCTeMy sjíexTpoflOB [2] . B «enH aneKTpofla ΒκπωηβΗ ycHJiHTenb, fleňcTBywmHň Ha pejie, riKjiwnawmee nerranOJIHpOBKH H HaCOCa. ΠρΗ nOHBJíeHHH OTBepCTHH npOCOHHBmuftCH SneKTpOJTHT sanoji-ΗΗβτ npocTpaHCTso Meatwy οβΐεχτοΜ h snexTpoflOM a coaflaeT npOBOflHMOCTb b yermycroiHTejiH OTXjnoneHHH pene. flaHHoe yeTpoňcTBO noasojineT pa6oraTb c HenpospanHHM sjíexTpojiHTOM, oflHaxo,o6jiaflaeT HH3xoň nyBCTBHTenbHocTbio (cHrHan, OTxnwnaKsuHíi pene, nocTynaeT tojib-ko nočně 3anoHHeHHH 3JieKTpojiHTOM oSbeMa Meaqqy o6pa3uoM η sjíekTpofloM. 06bexTHe 3aiUHn?eH ot fleňcTBHH ajiexTpojtHTa, ητο flenaeT yeTpoňcTBO HenpHroflHbíM npHpa6oTe c anexTpojiHTOM, χημπηθοκη pearHpywmHM c o6pa3ixoM, h He HcxjiwqaeTBJIHHHHH KpaeBOrO ΒφφβΚΤβ).

Ue/ibio flaHHoro Η3θ6ρβτβΗΗΗ HBJíHeTCH noBhmteHHe xanecTBa o6pa6oTXH oSpasutanyTeM cHHKeHHH xpaeBbix 3φφβχτοΒ. IIoctaBJíeHHaH iiejib ,U0CTnraeTCH τβΜ, ητο ycrpoňcTBo íuih sjíeKTpOjiHTHHecxoiSio6pa6oTKH MeTajunmecKHX o6pa3u;oB hjih 3πβκτροΗΗΜχ MHxpocxonos, conepacameexopnyc c ΓΗβ3βθΜ λπη o6bexTOflepxaTeJiH, CHCTeMy iiHpKyjixuHH anexTpojiHTa, hc-towhhk Toxa nojrapoBKH, ycHJiHTejit Toxa HHfluxaííHH Hawajia oČpasoBaHHH oTBepc-thh , o6bexTOflep»aTejib h CHCTeMy snexTpoflOB, cornacHO Η3θ6ρβτβΗΗΐο cHaSxeHO ·xaMepoň c HeTOXonpoBOflítmeň «HflxocTbw, β χοτοροϋ ycTaHOBJíen anexTpo#, saxpen-neHHoň b o6bexTOflep»caTejie η connoM fljin noflann anexTpojiHTa, pacnojioweHHMM cflpyroň cTOpoHbí o6bexTOflep)xaTejriH, npHneM comro coeflHHeHO c hctohhhkom Toxa. H3o6peTeHňe noHCHHeTCH ηερτβχοΜ, r,ne npeflCTaBJíeHa φyHx^HOHaπbHaH cxeManpejviaraeMoro ycTpoiícTBa. yeTpoňcTBO coflepXHT xopnyc 1 c rHeSflOM fljin oGtexTOflepacaTejiH h coiuiom 2,coegHHeHHbíM c nacocoM 3 npoxaHXH anexTpojiHTa, o6texTOflepacaTeJib 4 c oSpasiioM5, ycTaHOBJíeHHbíM repMeTHHHO β o6bexTOflep»aTeJie, nojioKHTeJibHbiň ajiexTpofl 6,BbinojiHeHHbiň b BHfle cTaxaHa, 3anojiHeHHoro HeTOxonpoBOfljnueft XHflxocTbW, shomxoToporo ηβηηθτοη o6pa3eij, anexTpofl 7, onymeHHbiií β HeToxonpoBOffHiuyw χπρ;-xocTb CTaxaHa* ycwiHTejib ποοτοηηηογο Toxa 8, hctohhhk πητηηηη 9, xjiwneBoííajieMeHT 10, oTxjuonaiowHň hctohhhx πητηηηη Herm 3ίΐεκτροποπΗρθΒΧΗ h KjHoxeBoftpjieMeHT 12, OTXjnoHajomnň hctohhhx πητβηηη snexTpoffBHraTejiH Hacoca. yeTpoňcTBO paČoTaeT cneflyrontHM oSpaaoM. Β ηοχοαηομ coctohhhh CTaxaH nonojKHTejibHoro ajnexTpofla 6 3anojiHeH Ηβτοχο-npoBOflameň aomxocTbio, β χοτοριηο norpyxeH ajiexTpoff 7. Β stot μομθητ nenbycHJiHTejiH ποοτοηηηογο Toxa (ynT) 8 o6naflaeT hhsxoíí npoBOflHMocTbio, BxjnoneHbíHCTOHHHX ΠΗΤβΗΗΗ 9 H SJíeKTpOfíBHraTeJIb 11 Hacoca 3 CHCTeMbl HHpxyjTHHHH. IIoCTy-naKauan nepe3 conno cTpyn anexTpoíiHTa OMbiBaeT oSpaaei; 5 « 3aMbixaeT snexTpu- 259032

MeCKyiO nenb HCTOWHHXa ΠΗΤβΗΜΗ 9 . ΠθΑ AeRČŤBHeM 3ΠβΧΤρθΧΗΜΗΗβΟΧθή nOJIHpOBKHoCpaaen yTOHMaeTca. B μομθητ ofípaaoBaHHH OTBepcTHH MOJieKyjibi sjíeKTpojnrra nonaaawT b Ηβτοκοπρο-BOflHmyw xoHflKocTb aneKTpoaa 6, noBbnaaH προβοαημοοτβ ueim ΪΠΤ 8 ρ,ο cpačaTbiBa-hhh KJiioqeBbix ΘπβΜβΗΤΟΒ 10 h 12, OTXjrnoqaioiHHX 3JieKTpoABnraTejib 11 κ hctohhhxπκτβΗΗΗ 9. Πρπ 3tom noflana 3πβκτροσΐΗτβ b conno npexpamaeTca, a nepea oCpaao-BaBmeecH oTBepcrua HeTOKonpOBOflHmaa χηαχοοτβ npocaHHBaeTcn Ha oCpaTHyw cto-poHy oĎpaauia κ pasCaBnaeT ocTaBnmňca na ero noBepxHOCTH 3ηβχτροηκτ, ηθμCHH»aeTCH ero XHMHHecxoe fleiicTBHe.

Hcnonb3OBaHne αθηηογο ycTpoflcTBa ποβΒοηκβτ noBbicHTt KanecTBo oCpasijoB ηCHH3HTb TpyflOeMKOCTb HX Η3ΓΟΤΟΒΛβΗΗΗ HpH 3ΠβΧΤρ0ΗΗ0ΜΗΧρ00Χ0ΠΗΗβ0ΧΗΧ HCCJie-flOBaHHHx MerajuioB h nonynpoBOflHHxoB.

OflHOň H3 npHHHH, 3aTpyflHHKttUHX HCnOJIbSOBaHHe npOCBeHHBarontHX 3/ieKTpÓHHbIXΜΗΚΡΟΟΚΟΠΟΒ B ΜβΤβΛΠΟΒβββΗΗΗ, HBJÍHeTCH TpyflHOCTb ΠρΗΓΟΤΟΒΠβΗΗΑ H3 MaCCHBHbIXMaTepnanoB tohxhx oSpaanOB, npospaHHbix anexTpOHHOMy nyny. CymecTByxmHe honHcaHHbie b jiHTepaType ycTpoftcTBa He o6ecneuHBaioT cBoeepeMeHHoň οοτβηοβχηnpoijecca snexTpononHpoBxn, a cneflOBaTejibHO, h aBTOMaTHSHpoBaHHoe nojiyneHHeKawecTBeHHbix oSpasnoB. KcnonbaoBaHHe flaHHoro H3o6peTeHHH πρκ paspaCoTxenpnCopa yTOHneHHH MeTannHuecxHX oSpaayoB πο3βοπητ BbinojiHHTb ero Sonee npoc-TblM H ΤβΧΗΟΗΟΓΗΗΗΜΜ B Η3ΓΟΤΟΒΠβΗΗΗ H yAOÓHblM B 3K cruiy aT aUHH. OKOHOMnuecKHň 3φφβκτ ot BHeflpeHHH cocTaBHT 140000 t. pyOneft «a 100 πρκδο-POB B TOfl.

ΦΟΡΜΥΠΑ H30EPETEHHH

YcTpoftcTBO fljiH ajieKTpojiHTHHecKOft o6pa6oTXH MeTannHnecxHX oCpaauoB flnasjíeKTpoHHbix ΜΗκροοκοηοΒ, coflep»amee xopnyc c γηθβαομ ajih óCbexTOAepxaTenfl,CHCTeMy HHpKyBHHHH SneXTpOAHTa, HCTOHHHK TOX3 ΠΟΠΗρΟΒΚΗ, yCWIHTe/Ib TOKd HH“AHxanHH Hanajia oCpasoBamta OTBepcTHH, οβΐβκτοΑβρχθτβπΒ h CHCTeMy anexTponoB,OTjiHHaromeecH τβΜ, hto, c uéJibto noSbnneHHH xanecTBa oCpaCoTKH ny-τθμ cHuxeHHfl KpaeBbix οφφβκτοΒ, oho cHaCxeHo xaMepoň c ΗβτοκοπροΒΟΑΠπιβή xha-KOCTbio, b κοτοροΑ ycraHOBJíeH anexTpofl, aaxpenneHHbiň b oObexTOflepxaTene, hconnoM ívih noaaqH sjíeKTpojiHTa, pacnonoxeHHWM c flpyroň croponbi oCbexTOflepxa-τβη«, πρκπβΜ conno coeflHHeHO c hctohhhkom Toxa.

Hcto^hhxh HHtbopManHH, npnHHTbie bo βηημβηηθ πρκ SKcnepTHse: 1. US, A, 630306. 2. J.M.Larson, R. Taggart, D.H.Polonia, - Rev Sej Instrument, 40,p. 1338, 1969.

P E Φ E P A T

yCTPOňCTBO flJIfl SJÍEKTPOJIHTHHECKOfl OBPAEOTKH METAJTJTHMECKHX 0EPA3I10B flJIH 3J1EKTP0HHWX MHKřO- ΟΚΟΠΟΒ

HaoÓpeTeHHH othochtch κ anexTpoxHMHHecKoň o6pa6oTKe ΜβτβηηοΒ, κ οηβχτρο-XHMHHecKOMy yTOHHeHHW oSpasnoB, HccjienyeMbix b npocBevHBaronmx snexTpoHHbixMHxpocKonax. ycTpoňcTBO coflepXHT xopnyc 1 c γηθ3αομ απη oĎ-bexTOAepxaTenH 4 κ connoM2, coeAHHeHHbíM c HacocoM 3 npoxanxH snexTponHTa, o6bexTOflepxaTenb 4 c oópaa-Uom 5, nojioxHTejibHbiň snexTpoA 6 B suflé cTaxaHa, sanonHeHHoro ΗβτοκοπροΒΟΑΗ- 259032 «eft «HflKOCTbio, ,πηομ κοτοροΓο ΛΒΠΗβτοΛ oSpaaeu 5, aneKTpofl 7, ycmiHTenb 8,KCTOHHHK 9 ΠΗΤβΗΗΗ, ΚΠΙΟΜβΒΜβ ΒΛΘΜβΗΤΗ 10 Η 12. ΟοπροΒΟχ,ηβιοηριϋ Μβρτβχ. ΠρΗ3ΗδΗο Η3ο6ρβτβΗΗβΜ no peáyjibTaTaM 9KcnepTH9bi, ocymecTBJíeHHoň TocyAapcTBeHHbíM ΚοΜΗτετοΜ CCCP no AenaM Η3θ6ρβτβΗΗή a otkpmth#. 1 uepTew 259032

Claims (1)

1. 5 PŘEDMĚT VYNÁLEZU Zařízení pro elektrolytické zpracování kovových vzorkůpro elektronové mikroskopy, obsahující těleso s lůžkem prodržák předmětů, soustavu pro cirkulaoi elektrolytu, zdrojleštícího proudu, zesilovač proudu indikujícího začátekvytváření otvoru, držák předmětu a soustavu elektrod, vyz-načující se tím, že za účelem zvýšení kvality zpraoovánícestou potlačení okrajových efektů je opatřeno komorou selektricky nevodivou kapalinou, ve které je umístěna elek-troda upevněna v držáku předmětu a tryskou pro přívod elek-trolytu, umístěnou na opačné straně držáku předmětu, při-čemž tryska je spojena se. zdrojem proudu. 259032