CS257689B1 - Manipulační úohopka na substrátové desky - Google Patents

Abstract

Řešení se týká manipulační úchopky na substrátové desky. Podstatou řešení je, že manipulační úohopka je tvořena rukojeti, na níž je uspořádán čep, na němž je výkyvné uložen držák; opatřeny na konoi svého delšího ramene úchopným ozubem, přičemž na konci kratšího ramene rukojeti jsou v přímce, rovnoběžné a osou čepu uspořádány dva opěrné výstupky. Řešení lze s výhodou využít pro .umožnění manipulace s plochými předměty, zejména mohlo-li by pri této manipulaci dojit k poškození těchto předmětů.

Description

Vynález se týká manipulační úchopky na substrátové desky. *

Pro výrobu čipů se používá substrátová deska,nejčastěji křemíková,na níž se fotocestou nanáší vhodné schéma zapojení. Při technologických operacích je nutné mít možnost uchopit substrátovou desku ke kontrole nebo k jinému účelu, aniž by došlo k je jímu poškození.

Pro uchopení substrátové desky je možno použít rukou nebo pinzety, případně různě provedených přísavných úcho— pek připojených hadičkou na vakuový zdroj.

Nevýhody dosavadního stavu spočívají při použití rukou zejména v možnosti poškození substrátové desky potom, výpary z kůže a případným nevhodným předepnutím, při použití pinzety zejména v možnosti vzniku škodlivých strukturálních změn v důsledku mechanického pnutí od čelistí pinzet a při použití přísavných úchopek v neúměrné složitosti zařízení a v jeho vázanosti na blízké okolí vakuového zdroje. ¹

Uvedené nevýhody dosavadního stavu do značné míry odstraňuje manipulační uchopka na substrátové desky podle vynálezu, jehož podstatou je, že manipulační úchopka je tvořena rukojetí, na níž je uspořádán Čep, na němž je výkyvně uložen držák, opatřený na konci svého delšího ráme— ne úchppným ozubem, přičemž na konci kratšího ramene rukojeti jsou v přímce, rovnoběžné s osou ěepu, uspořádány dva opěrné výstupky. Výhodné přitom je, jestliže kratší'rameno držáku je pružně spojeno s rukojetí nebo jestliže delší rameno držáku je opatřeno závažím.

Výhody manipulační uchopky na substrátové desky podle vynálezu spočívají zejména v její jednoduchosti, nezávislosti na jiných, na příklad vakuových zdrojích. Další její výhody spočívají v tom, že umožňuje uchopit substrátovou desku ležící na ploché podložce i v zásobníku, přičemž substrátovou desku drží samosvorně konstantní silou, takže nedochází kc vzniku škodlivých strukturálních změn substrátové desky. Manipulační uchopku lze přitom vyrobit z materiálu, který je k substrátu netečný.

Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiložených výkresů, kde na obr. 1 je znázorněn pohled shora na příkladné provedení manipulační uchopky na substrátové desky podle vynálezu a na obr, 2 je znázorněn pohled z boku na manipulační uchopku na substrátové desky z obr. 1.

Na obr. 1 je znázorněna rukojeť 1. ve tvaru rovnoramen— ného trojúhelníka s odlehčenou základnou 2. Rovnoběžně s odlehčenou základnou 2 je v rukojeti 1 uspořádán čep 2» na němž je výkyvrtě uložen držák 4., opatřený na konci svého delšího ramene uchopným ozubem 2· Odlehčená základna 2 rukojeti 1 je na každém svém konci opatřena opěrným výstup‘257689

- 3 kem 6. Kratší rameno držáku _4 je pružinou 2 spojeno s vrcholem rukojeti 1, protilehlým odlehčené základně 2.

Na obr. 2 je znázůrněna rukojeť 1_, kyvné spojená prostřednictvím čepu 2 ³ držákem 4. Kratší rameno držáku £ je pružinou 2 spojeno s tím vrcholem rukojeti který je protilehlý odlehčené základně 2,. Mezi uchppným ozubem 2 držáku 4 a opěrnými výstupky 6 rukojeti !_ je substrátová deska 8, ležící na podložce 2,.

V činnosti manipulační úchopky na substrátové desky podle vynálezu se nejdříve proti tahu pružiny 2 rozevřou čelisti manipulační uchopky, čímž se zvětší vzdálenost úehppného ozubu 2 opěrných výstupků ť>. Schopný ozub 2 se přiloží k okrají substrátové desky 8 a za pomalého uvolňování napětí tahu pružiny 2 ^3e přiloží opěrné výstup ky 6 k protilehlé straně substrátové desky 8, která je takto sevřena mezi uchopným ozubem 2 a dvěma opěrnými, výstřípky 6 silou, úměrnou síle pružiny 2· Sílu pružiny 2 lze případně nahradit neznázorněným zavážím, připevněným h delšímu tameni držáku 4.

Vynález lze s výhodou využít pro umožnění manipulace plochými předměty, zejména mohlo-li by při této manipulaci snadno dojít k poškození těchto předmětů.

‘257689

Claims (3)

1. Manipulační úchopka nit substrátové desky, vyznačující se tím, že je tvořena rukojeti' (l), na níž je uspořádán čep (3)» na němž jo výkyvně uložen držák CO, t

opatřený na konci svého delšího ramene úchoi>ným ozubem (5)» přičemž na konci kratšího ramene rukojeti (l) jsou v přímce rovnoběžné s osou čepu (3), uspořádány dva opěrné výstupky (6).

2. Manipulační úchopka podle bodu 1, vyznačující se tím, že kratší rameno držáku (4) je pružné spojeno s rukojetí (l).

3. Manipulační úchopka podle bodu 1, vyznačující se tím, že delší rameno držáku CO je opatřeno závažím.

f