CS256711B1 - Optoelectronic infrared sensing element for measuring of nominal size's deviations and surface roughness - Google Patents
Optoelectronic infrared sensing element for measuring of nominal size's deviations and surface roughness Download PDFInfo
- Publication number
- CS256711B1 CS256711B1 CS855226A CS522685A CS256711B1 CS 256711 B1 CS256711 B1 CS 256711B1 CS 855226 A CS855226 A CS 855226A CS 522685 A CS522685 A CS 522685A CS 256711 B1 CS256711 B1 CS 256711B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- sensor
- roughness
- measuring
- optoelectronic
- infrared
- Prior art date
Links
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 title claims description 16
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 claims 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 241000997494 Oneirodidae Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- BQJCRHHNABKAKU-KBQPJGBKSA-N morphine Chemical compound O([C@H]1[C@H](C=C[C@H]23)O)C4=C5[C@@]12CCN(C)[C@@H]3CC5=CC=C4O BQJCRHHNABKAKU-KBQPJGBKSA-N 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Optoelektronický infračervený snímač je určený pre súčasné meranie rozmerov a drsnosti povrchu rotačných súčiastok na programovo-riadených strojoch a pozostáva zo základného telesa, kde sú umiestnené dve snímacie časti, na meranie odchýlok rozmerov a na meranie drsnosti a v ktorom pře každú snímaciu časť je uložený zdroj infračerveného žiarenia. Základné teieso snímača je spojené maticou s držiakom nástrojov. Pri meraní odchýlok rozmerov sa vyžiarený lúč zo zodpovedajúceho zdroja žiarenia odráža od meraného povrchu na vyhodnocovací fotodetektor umiestnený v puzdre a uchytený v tyčo.vom segmente, ktorého polohu nastavuje ďiferenclálna skrutka a vodiaca tyčka. Pri súčasnom meraní drsnosti povrchu vyžiarený a odrazený lúč prechádza cez sústavu šošoviek umiestnených vo vymenitelnom telese a sústavu odrazných hranolov uchytených v prírubovom telese. Odrazený a rozptýlený lúč prechádza cez valcov.ú šošovku a filter pre potlačenie cudzieho světla, do sústavy vyhodnocovacích fotodiód umiestnených v telese, uchyteného k základnému telesu. Získané analogové signály sa vyhodnotia.The optoelectronic infrared sensor is designed for simultaneous measurement of dimensions and roughness surface of rotating parts on program-controlled machines and consists of base body where two are located sensing parts for measuring dimensional deviations and for measuring roughness and in which an infrared source is stored for each sensor portion radiation. Basic teieso sensor it is connected with a tool holder nut. When measuring the deviations of the dimensions, it is radiated beam from the corresponding radiation source reflecting from the measured surface to the evaluation surface photodetector placed in the case a mounted in the bar of the segment whose position adjusts the differential screw and guide rod. At the same time roughness measurement the surface radiated and the reflected beam passes through a set of lenses located in the replaceable body and reflective system prisms attached to the flange body. The reflected and scattered beam passes through the cylinder lens and filter to suppress alien light, into a system of evaluation photodiodes placed in the body, gripped to the base body. Analog acquired signals are evaluated.
Description
Vynález sa týká zariadenia pre súčasné meranie odchýlok menovítých rozmerov a drsnosti povrchu v automatické]' kontrole přesnosti obrábania rotačných súčiastok na číslicovo a programovo riadených strojoch.The invention relates to a device for simultaneously measuring the deviations of nominal dimensions and surface roughness in automatic checking of machining accuracy of rotary components on numerically and program-controlled machines.
Pri trieskovom obrábaní rotačných súčiastok v automatizovaných výrobných systémoch je problematické počas automatického cyklu rýchlo a spotahlivo definovat odchýlku menovitého rozměru a drsnosť povrchu. Problematika spočívá v nájdení spósobu merania, ktorý by bol schopný bezprostředné pri vlastnom reznom procese alebo po jeho skončení v pracovnom priestore stroja, súčasne merať odchýlky menovitého rozměru a drsností povrchu a zabezpečit prípadnú korekciu pre dosiahnutie požadovanéj hodnoty. Doteraz vo svete známe snímače sa používajú len na meranie odchýlok menovitých rozmerov.When machining rotary components in automated manufacturing systems, it is difficult to quickly and reliably define a nominal dimension deviation and surface roughness during an automatic cycle. The problem is to find a method of measurement that would be able to measure the deviations of nominal size and surface roughness immediately after the end of the cutting process or after its end in the working area of the machine, and ensure possible correction to achieve the required value. Previously known sensors in the world are used only for measuring deviations of nominal dimensions.
Optoelektronický infračervený snímač pódia vynálezu, rieši uvedenú problematiky aktívnej kontroly pri trieskovom obrábaní rotačných súčiastok. Podstata vynálezu spočívá v tom, že k držiaku nástrojov je maticou uchytené základné teleso snímača, v ktorom sú umiestnené zdroje infračerveného žiiarenia. K základnému telesu snímača je upevněný vyhodnocovací fotodetektor, umiestnený v puzdre, ktoré je uchytené v tyčovom segmente, ktorý je v kontakte s diferenciálnou skrutkou a spojený s vodiacou tyčkou, ktorá je posuvné uložená v drážke základného telesa snímača a telesa. Vyměnitelné teleso, v ktorom je umiestnená sústava šošoviek, je upevněné v přírubě, ktoré je připevněná k základnému telesu snínvča. K základnému telesu snímiača je tiež připojené teleso, v ktorom je uložená sústava vyhodnocovacích fotodiód, šošovka a fliter. Rektifikačnými skrutkami a tlačnými pružinami je k základnému telesu snímača uchytené přírubové teleso, v ktorom sú umiestnené a upevněné optické odrazné hranoly.The optoelectronic infrared sensor according to the invention solves the aforementioned problems of active control in the machining of rotary components. It is an object of the present invention to have a base body of the sensor in which the sources of infrared radiation are located to the tool holder. An evaluation photodetector is mounted to the sensor body, housed in a housing that is retained in a rod segment that is in contact with a differential screw and connected to a guide bar slidably mounted in a groove of the sensor body and body. The replaceable body, in which the lens assembly is located, is fixed in a flange that is attached to the base body of the dreamer. Also attached to the sensor body is a body in which a set of evaluation photodiodes, a lens and a sequin are stored. A rectangular flange body is attached to the sensor body by rectifying screws and compression springs in which the optical reflecting prisms are located and fixed.
Podta ďalšieho prevedenia snímača sú zdroje infračerveného žiarenia uložené v puzdrách, ktoré sú spojené s telesami, kde sú umiestnené šošovky, pričom telesá sú upevněné v základnom telese snímača.According to a further embodiment of the sensor, the infrared radiation sources are housed in housings which are connected to the bodies where the lenses are located, the bodies being fixed in the base body of the sensor.
Uvedené zariadenie podta vynálezu oproti súčasnému stavu techniky umožňuje súčasne merať rozměrové změny a drsnosť povrchu priamo v priebehu režného procesu alebo po jeho skončení a súčasne uskutočňovať analýzu hodnotených parametrov a s nadváznosťou riadiaceho systému obrábacieho stroja uskutočňovať příslušné korekcie pre dosiahnutie požadovanej hodnoty.Compared with the prior art, the device according to the invention makes it possible simultaneously to measure the dimensional changes and surface roughness directly during or after the process, and at the same time to analyze the evaluated parameters and to make corresponding corrections to the desired value.
Příklad konštrukčného riešenia snímača podfa vynálezu je znázorněný na jednotlivých výkresoch.An exemplary sensor design according to the invention is shown in the drawings.
Na obr. 1 je znázorněný pohtad na celkovú zostavu optoelektronického infračerveného snímača.In FIG. 1 is a perspective view of an overall optoelectronic infrared sensor assembly.
Na obr. 2 je priečný rez C—C z obr. 1, zobrazujňci snímaciu část na meranie odchýlok rozmerov.In FIG. 2 is a cross-sectional view C-C of FIG. 1 showing a sensing portion for measuring dimensional variations.
Na obr. 3 je priečny rez A—A z obr. 1 a spolu s obr. 4, kde je rez Β—B z obr. 3, zobrazujú snímaciu časť na meranie drsnosti povrchu.In FIG. 3 is a cross-section A-A of FIG. 1 and together with FIG. 4, where the section Β-B of FIG. 3, show a sensor portion for measuring surface roughness.
Podta obr. 1 je v základnom telese snímača 1 umiestnená snímacia časť na meranie odchýlok menovitých rozmerov 2 a snímacia časť na meranie drsnosti povrchuAccording to FIG. 1, a sensor portion for measuring deviations of nominal dimensions 2 and a sensor portion for measuring surface roughness are located in the base body of the sensor 1
3. Základné teleso snímača 1 je spojené s prednou častou 4 držiaka nástrojov 5 s kuželovou stopkou, prostredníctvom matice 6.3. The base body of the sensor 1 is connected to the front part 4 of the tool holder 5 with a conical shank, by means of a nut 6.
Podta obr. 2 v základnom telese snímača je uchytené teleso 8, v ktorom je umiestnená Šošovka 10. Teleso 8 je spojené s puzdrom 7, v ktorom je umiestnený zdroj infračerveného žiarenia 9. Vyhodnocovací fotodetektor 11 a šošovka 19 sú umiestnené v puzdre 12. Puzdro 12 je uchytené v tyčovom segmente 13, skrutkou 20, ktorého rektífikáciu pre nastavenie uhlu odrazu, zabezpečuje diferenciálna skrutka 14 a skrutka 15. Vodiaca tyčka 16 je spojená s tyčovým segmentem 13 a posuvné uložená v rybinovitej drážke základného telesa snímača 1 a telesa 17. Skrutka 18 ovládajúca vodiacu tyčku 16 a je umiestnená v telese 17.According to FIG. 2, a body 8 in which the lens 10 is located is mounted in the base body of the sensor. The body 8 is connected to the housing 7 in which the infrared radiation source 9 is located. The evaluation photodetector 11 and the lens 19 are located in the housing 12. in the bar segment 13, a screw 20 whose rectification for adjusting the angle of reflection is provided by a differential screw 14 and a screw 15. The guide rod 16 is connected to the bar segment 13 and slidably mounted in the dovetail groove of the sensor body 1 and body 17. Screw 18 controlling the guide the rod 16 and is located in the body 17.
Podfa obr. 3 a 4 v základnom telese snímača 1 je umiestnené teleso 8 s puzdrom 7 pri tom istom zložení a tým istým spňsobom, ako pri popise obr. 2. Optické odrazné hranoly 21 s polopriepustnou vrstvou sú uchytené v prírubovom telese 22 a sú zaistené podložkami a skrutkami 23. Přírubové teleso 22 je uchytené pomocou dvoch rektifikačných skrutiek 24 a tlačných pružin 25. Sústava šošoviek 26, 27 je umiestnená vo vymenitefnom telese 28 a zaistená krúžkom 29. Vyměnitelné teleso 28 je priskrutkované v prírube 30. Příruba 30 dosadá na opernú plochu základného telese snímača 1 a je v ňom presne uložená. Lineárna sústava vyhodnocovacích fotodiód 31 je umiestnená v telese 32, kde sa nachádza šošovka 34, filter 33 a sú zaistené podložkami a skrutkami 35, 36.According to FIG. 3 and 4, a body 8 with a sleeve 7 is disposed in the base body of the sensor 1 in the same composition and in the same manner as in the description of FIG. 2. Optical reflective prisms 21 with a semipermeable layer are mounted in the flange body 22 and secured with washers and screws 23. The flange body 22 is attached by means of two rectification screws 24 and compression springs 25. The lens assembly 26, 27 is housed in the replaceable body 28 and The removable body 28 is screwed into the flange 30. The flange 30 abuts against the abutment surface of the base body of the sensor 1 and is precisely received therein. A linear array of evaluation photodiodes 31 is disposed within the body 32, which includes the lens 34, the filter 33, and is secured with washers and screws 35, 36.
V základnom telese snímača 1 je připevněné puzdro 37, v ktorom je umiestnená fotodióda 38. Fotodióda 38 a jej uchytenie odpadá, ked zdrojom žiarenia je laser.In the base body of the sensor 1, a housing 37 is mounted in which a photodiode 38 is disposed.
Funkcia snímača spočívá v meraní odchýlok rozmerov a drsnosti povrchu a je nasledovná:The function of the sensor is to measure dimensional variations and surface roughness and is as follows:
Meranie rozmerovej odchýlky podta obr.Measurement of dimensional deviation according to FIG.
je založené na zákone lomu a odrazu světla, ktorý závisí od rozměru súčiastky. Zdrojom infračerveného žiarenia 9 je napr. luminiscenčná dioda, ktorá je umiestnená vo volitefnej vzdialenosti pod osou obrobku. Vofbou vzdialenosti sa zváčšuje alebo zmenšuje rozsah merania. Povrch obrobku odráža dopadajúci lúč na vyhodnocovací fotodetektor 11, ktorého poloha zodpovedá danému uhlu odrazu. Před uvedením do činnosti je potřebné nastavit vyhodnocovacíit is based on the law of refraction and reflection of light, which depends on the size of the component. The source of infrared radiation 9 is e.g. a luminescent diode, which is located at an optional distance below the workpiece axis. Selecting the distance increases or decreases the measuring range. The workpiece surface reflects the incident beam on the evaluation photodetector 11, whose position corresponds to a given reflection angle. It is necessary to set up the evaluation before activation
258711 fotodetektor 11 na daný uhol odrazu, podlá etalonu. Přesné nastavenie sa uskutočňuje rektifikačným mechanizmom, ktorý reprezentuje diferenciální skrutka 14, skrutka 13, vodiaca tyčka 16 pohybujúca sa v rybinovitej drážke telies 1, 3.7. Pri velmi malej zmene poloměru súčiastky nastáva velmi malá změna uhla odrazu. So· zvačšujúcim sa priemerom súčiastky je uhol rozptylu odrazených lúčov taký malý, že je možně pomocou vhodnej šošovky 19 ho zobrazit na fotocitlivú vrstvu vyhodnocovacieho í chodě· tektora 11. Tým zabezpečíme meranie rozmerov váčšieho rozsahu pri určitom nastavení vyhodnocovacieho fotodetektora na zodpovedajúci uhol odrazu. V závislosti od změny intenzity dopadajúceho světla na vyhodnocovací fotodetektor 11 vyvolá sa změna odporu R fotodetektora (je úměrná zmene priemeru obrobku). Takto získaný analogový signál sa može napr. frekvenčně prenáša! prostredníctvom vysielača do prijímača alebo optoelektronicky.258711 photodetector 11 at a given angle of reflection, according to the standard. The exact adjustment is performed by a rectification mechanism represented by a differential screw 14, a screw 13, a guide rod 16 moving in the dovetail groove of the bodies 1, 3.7. With a very small change in the radius of the component, there is a very small change in the angle of reflection. With the increasing diameter of the component, the scattering angle of the reflected beams is so small that it can be displayed on the photosensitive layer of the evaluation tread 11 by means of a suitable lens 19. This ensures measurement of larger scale dimensions at a certain setting. Depending on the variation of the incident light intensity on the evaluation photodetector 11, a change in the photodetector resistance R (proportional to the change in workpiece diameter) is induced. The analog signal thus obtained can be e.g. freely transmits! via a transmitter to a receiver or optoelectronically.
Meranie drsnosti povrchu podía obr. 3 a 4 je nasledovná:The surface roughness measurement of FIG. 3 and 4 is as follows:
Zdroj infračerveného žiarenia 39 je například luminiscenčná dioda. Zvazok jej světelných lúčov sa cez šošovky 2B, 27 a odrazné hranoly 21 s polopriepustnou vrstvou zaostřuje na skúmanú plochu. Vzdialenosť meranej plochy je nastavená v ohniskové} vznialenosti sústavy šošoviek 2S, 27, ktorých optická os je totožná s osou obrobku. Časí tohoto žiarenia sa vedie od odvazúceho hranole 21 na fotodiódu 38» slúžiacu na korigo.anie světelného kolísania zdroja žiarenia. (Pri použiti laseru ako zdroja žiarenia. táto funkcia korekcie odpadá.). Odrazené světlo od skúmanej plochy sa podfa velkosti profilu drsnosti rožne rozptyluje a odráža sa na polopriepustnej hrané optického hranola 21 do sústavy vyhodnocovacích fotodiód 31. Tie sú umiestnené v priamke alebo v plošnom rozložení, kolmo na pohyb skúmanej plochy. Pre zobrazenie lúčov v jednom smere, ktoré je výhodné pre lineárně umiestnenie fotodiód sa používá šošovka 34. Potlačenie cudzleho světla inej vlnovej dížky zabezpečuje v systéme žiarenia filter 33. Platí, že čím je plocha drsnejšia, tým je odrazené světlo viac rozptýlené a tým viac sú osvětlené i krajné fotodiódy. Z každej diody vzniká elektrický signál, ktorý sa prenáša podobné ako je poplsaný pri funkcii merania odchýlok rozmerov, buď frekvenčně alebo optoelektronicky. Získaný elektrický signál može mikropočítač vyhodnotit křivkou alebo číselnou hodnotou. Pretože ide o premenné statistické rozloženie světla, vyjadřuje číselná hodnota priemernú drsnost povrchu a za definovaných podmienok existuje jej korelácia s hodnotou drsnosti Ra.The source of infrared radiation 39 is, for example, a luminescent diode. The beam of its light rays is focused through the lenses 2B, 27 and the reflective prisms 21 with the semipermeable layer on the surface to be examined. The distance of the surface to be measured is set in the focal length of the lens assembly 27, 27 whose optical axis is identical to the workpiece axis. A portion of this radiation is passed from the decanting prism 21 to a photodiode 38 ' which serves to correct the light variation of the radiation source. (When using the laser as a radiation source, this correction function is not necessary.). Reflected light from the investigated surface diffuses over the roughness profile and is reflected on the semipermeable edge of the optical prism 21 into the array of evaluation photodiodes 31. These are located in a straight line or in a plane distribution perpendicular to the movement of the investigated surface. A lens 34 is used to display the rays in one direction, which is advantageous for the linear placement of the photodiodes. The suppression of foreign light by another wavelength provides a filter 33 in the radiation system. As a result, the surface is rougher, the reflected light is more scattered and illuminated and extreme photodiodes. Each diode produces an electrical signal that is transmitted similar to that described in the dimensional deviation measurement function, either frequency or optoelectronically. The obtained electrical signal can be evaluated by a microcomputer by a curve or a numerical value. Since this is a variable statistical distribution of light, the numerical value expresses the average surface roughness and, under defined conditions, is correlated with the roughness value R a .
Optoelektronický infračervený snímač podfa vynálezu je určený predovšetkým na bezdotykové meranie pre auíomatickú kontrolu rozměru a drsnosti povrchu rotačných súčiastok na programovo a čislicovo riadených sústruhoch v automatizovaných technologických pracoviskách, splňujúci požiadavky pružnej automatizácie. Použitie snímača móže byť rozšířené na meranie rotačných súčihstok v programovo riadených obrábacích? centrách a iných trieskových sp3soboch obrábania. Je možná kontrola odchýlok rozmerov a drsnosti otvorov ale závisí oď velkosti konštrukcie snímača. Po demontáži časti, používanej na meranie rozměru je· meradlc použitelné na kontrolu drsnosti a prisposobením uchytenia meradla sa jeho aplikácia rozšíří do ostatných oblastí automatizované) výroby.The optoelectronic infrared sensor according to the invention is intended primarily for non-contact measurement for automatic control of the size and surface roughness of rotating parts on program and numerically controlled lathes in automated technological workplaces, meeting the requirements of flexible automation. Can the sensor be used to measure rotary components in program-controlled machine tools? centers and other machining methods. It is possible to check the dimensional variations and the roughness of the holes, but it depends on the size of the sensor design. After dismantling the part used to measure the size, the gauge is usable for roughness control and its application extends to other areas of automated production.
PREDMETSUBJECT
1. Optoelektronický infračervený snímač na meranie odchýlok menovitých rozmerov a drsnosti povrchu, vyznačujúci sa tým, že zostáva z držiaku nástrojov (5), ku ktorému je maíicou (6) uchytené základné těleso snímača (1), v ktorom sú umiestnené zdroje infračerveného žiarenia (9, 39) a upevnený vyhodnocovací fotodetektor (11), umiestnený v puzdre (12), ktoré je uchytené v tyčovom segmente (13), ktorý je v kontakte s diferenciálnou skrutkou (14) a spojený s vodiacou tyčkou (16), ktorá je posuvné uložená v drážke základného telesa snímača (1) a telesa (17), pričom vyměnitelné teleso (28), v ktorom je umiestnená sústava šošoviek (26, 27), je upevněné v přírubě (30), ktorá je připevněná k základ-An optoelectronic infrared sensor for measuring deviations of nominal dimensions and surface roughness, characterized in that it consists of a tool holder (5), to which the base of the sensor body (1) is mounted by a guide (6), in which infrared radiation sources ( 9, 39) and a fixed evaluation photodetector (11) disposed in a housing (12) which is mounted in a rod segment (13) in contact with the differential screw (14) and connected to a guide rod (16) which is slidably mounted in a groove of the base body of the sensor (1) and the body (17), the replaceable body (28) in which the lens assembly (26, 27) is located is fixed in a flange (30) attached to the base.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS855226A CS256711B1 (en) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | Optoelectronic infrared sensing element for measuring of nominal size's deviations and surface roughness |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS855226A CS256711B1 (en) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | Optoelectronic infrared sensing element for measuring of nominal size's deviations and surface roughness |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS522685A1 CS522685A1 (en) | 1987-09-17 |
| CS256711B1 true CS256711B1 (en) | 1988-04-15 |
Family
ID=5396743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS855226A CS256711B1 (en) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | Optoelectronic infrared sensing element for measuring of nominal size's deviations and surface roughness |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS256711B1 (en) |
-
1985
- 1985-07-15 CS CS855226A patent/CS256711B1/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS522685A1 (en) | 1987-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3037622C2 (en) | Device for determining surface quality | |
| EP0992763B1 (en) | Method and associated apparatus for measuring shape deviations of machined surfaced | |
| US7796278B2 (en) | Method for precisely measuring position of a part to be inspected at a part inspection station | |
| US7920278B2 (en) | Non-contact method and system for inspecting parts | |
| US4275964A (en) | Apparatus and method for determining the refractive characteristics of a test lens | |
| US20090103107A1 (en) | Method And System For Inspecting Parts Utilizing Triangulation | |
| US20090100901A1 (en) | Calibration device for use in an optical part measuring system | |
| US20090101851A1 (en) | Method for estimating thread parameters of a part | |
| JPH0786407B2 (en) | Optical fiber movement amount measuring device | |
| KR830001843B1 (en) | Electro-optic centerline measuring device | |
| US4763006A (en) | Device determining surface element inclination angle for the optical detection of form errors of a low order | |
| EP0240113B1 (en) | Position sensor | |
| DE3410149A1 (en) | Optical measuring instrument | |
| US5124563A (en) | Optical scanning method and device for measuring the width of lines | |
| DE4229313A1 (en) | Method and device for high-precision distance measurement of surfaces | |
| CS256711B1 (en) | Optoelectronic infrared sensing element for measuring of nominal size's deviations and surface roughness | |
| KR100420373B1 (en) | Measurement of small, periodic undulations in surfaces | |
| US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
| SU1712775A1 (en) | Optical unit to measure the linear inner dimensions | |
| DE3940518C2 (en) | Exposure control device for a light section sensor | |
| SU1377674A1 (en) | Device for controlling wear of a cutting tool | |
| RU2712962C1 (en) | Contact position sensor | |
| SU1735710A1 (en) | Method of measuring article dimensions | |
| SU1717956A1 (en) | Device for measuring angles of inside conical surfaces of a part | |
| SU1219917A1 (en) | Method of inspecting shape of concave optical surfaces |