CS246758B1

CS246758B1 - High-frequency flat transformer feedthrough

Info

Publication number: CS246758B1
Application number: CS910784A
Authority: CS
Inventors: Jan Petrzela; Jaroslav Rambousek
Original assignee: Jan Petrzela; Jaroslav Rambousek
Priority date: 1984-11-28
Filing date: 1984-11-28
Publication date: 1986-11-13

Abstract

Účelem řešení je zjednodušení konstrukce průchodky, zvýšení účinnosti sekundárního obvodu zdroje vysokofrekvenčního ohřevu a využití části konstrukce vysokofrekvenčního plošného transformátoru. Uvedeného účelu se dosáhne průchodkou, tvořenou izolačním tělesem opatřeným průchozím otvorem, kterým volně procházejí ploché přívody. Izolační těleso je na straně pracovní komory opatřeno hermetickým těsněním a na druhé straně je hermeticky uzavřeno izolační distanční deskou vysokofrekvenčního transformátoru. Izolační těleso může být plynule proměnné délky, např. teleskopické konstrukceThe purpose of the solution is to simplify the design of the bushing, increase the efficiency of the secondary circuit of the high-frequency heating source and use part of the design of the high-frequency flat transformer. The stated purpose is achieved by a bushing formed by an insulating body provided with a through hole through which the flat leads freely pass. The insulating body is provided with a hermetic seal on the working chamber side and on the other side it is hermetically closed by an insulating spacer plate of the high-frequency transformer. The insulating body can be of continuously variable length, e.g. telescopic construction

Description

Vynález se týká průchodky přívodů vysokofrekvenčního plošného transformátoru do hermeticky oddělené pracovní komory zonální aparatury.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a feed-through of a high-frequency transformer for the hermetically separated working chamber of a zone apparatus.

Dosud známé průchodky přívodů zdroje vysokofrekvenčního ohřevu jsou obvykle tvořeny tělesem z izolačního materiálu, kterým procházejí přívody, z důvodu dobrého těsnění nejčastěji kruhového průřezu. Výhodnější jsou pasové přívody, ale jejich těsnění je obtížnější. U přívodů kruhového průřezu dochází v místě průniku průchodkou ke zúžení proudové dráhy projevující se jednak zvětšením sériové indukčnosti a jednak zvětšením ztrátového výkonu na činném odporu proudové dráhy. Pro plošné výstupní vysokofrekvenční transformátory s pásovými vývody nejsou tyto průchodky vhodné.Hitherto known feed-throughs of the high-frequency heating source feeds are usually formed by a body of insulating material through which the feeds pass, due to the good sealing of the most often circular cross-section. The waist leads are more preferred, but sealing is more difficult. In the case of inlets of circular cross-section, the current path is reduced at the point of penetration through the grommet, resulting in both an increase in series inductance and an increase in power dissipation on the active resistance of the current path. These feedthroughs are not suitable for flat-band high-frequency output transformers with band outlets.

Výše uvedené nevýhody odstraňuje průchodka přívodů vysokofrekvenčního plošného transformátoru podle vynálezu, jejíž podstatou je, že izolačním tělesem opatřeným průchozím otvorem volně procházejí ploché přívody induktoru. Izolační těleso je na straně pracovní komory opatřeno hermetickým těsněním a na druhé straně je hermeticky uzavřeno přímo izolační distanční deskou plošného vysokofrekvenčního transformátoru.The above-mentioned disadvantages are overcome by the feed-through lead of the high-frequency transformer according to the invention, which is based on the fact that the flat conductor of the inductor freely passes through the insulating body provided with a through hole. The insulating body is provided with a hermetic seal on the side of the working chamber and on the other side it is hermetically sealed directly by the insulating spacer plate of the high-frequency transformer.

Výhodami průchodky podle vynálezu je její konstrukční jednoduchost, přívody nejsou ve styku s izolačním tělesem průchodky a mohou po celé své délce procházet ve vzájemné těsné blízkosti dané elektrickou pevností ochranné atmosféry, ve které proces probíhá. Induktor je připojen přímo, aniž by došlo- ke zúžení proudové dráhy. Vzhledem k nízké indukční složce impedance přívodů je praco-vní napětí malé a vzhledem k nízké ohmické složce jsou zanedbatelné ztráty, čímž je dosaženo vyšší účinnosti celého sekundárního obvodu zdroje vysokofrekvenčního ohřevu.The advantages of the grommet according to the invention are its structural simplicity, the inlets are not in contact with the grommet insulating body and can extend along their entire length in close proximity to each other due to the electrical strength of the protective atmosphere in which the process takes place. The inductor is connected directly without reducing the current path. Due to the low inductance component of the impedance of the leads, the operating voltage is small and due to the low ohmic component, the losses are negligible, which results in higher efficiency of the entire secondary circuit of the high-frequency heating source.

Na připojených výkresech je na obr. 1 znázorněna průchodka s trubkovým izolačním tělesem umístěným na izolační distanční desce plošného vysokofrekvenčního transformátoru. Na obr. 2 je znázorněno izolační těleso průchodky měchové konstrukce a na o-br. 3 teleskopické konstrukce.In the accompanying drawings, Fig. 1 shows a bushing with a tubular insulating body placed on an insulating spacer plate of a high-frequency transformer. FIG. 2 shows the insulating body of the bellows bushing and FIG. 3 telescopic structures.

Přívody 3 tvořené plochými měděnými vodiči jsou vloženy do. izolačního tělesa 1. Izolační těleso 1 je tvořeno trubkou kruhového, případně jiného průřezu, vyrobenou z izolačního materiálu. Vnitřní rozměr izolačního tělesa je větší než šířka přívodů 3. Na straně pracovní komory je v čele izolačního tělesa 1 vytvořena drážka, -do které je vloženo- těsnění 2. Na druhé straně je izolační těleso 1 hermeticky spojeno s izolační distanční deskou 5 plošného výstupního vysokofrekvenčního transformátoru a částí jeho sekundárního závitu 4. Ke koncům sekundárního závitu 4 jsou připájeny přívody 3, jejichž šířka je shodná se šířkou vodiče sekundárního závitu 4. Přívody 3 jsou k sobě orientovány širšími plochami a mezera mezi nimi je cca 2 mm pro pracovní frekvenci 3 MHz. Konce přívodů 3 jsou -opatřeny dosedacími ploškami uzpůsobenými k připojení induktoru s nízkoimped-ančními přívody. V přívodech 3 jsou vytvořeny podélné chladicí kanálky, napojené na straně sekundárního závitu 4 na jeho chladicí obvod, který je uzavřen připojeným induktorem. Vnitřní prostor izolačního tělesa 1 je spojen s vnitřním prostorem pracovní komory. Část izolační distanční desky 5 uvnitř izolačního tělesa 1 je proti infračervenému záření z roztaveného pásma chráněna přímo chlazeným sekundárním závitem 4. Pro umožnění změny vzdálenosti mezi pracovní komorou a zdrojem vysokofrekvenčního ohřevu a tím horizontální polohy induktoru vzhledem k ingotu může být izolační těleso 1 proměnné délky, například měchové nebo teleskopické konstrukce podle obr. 2 a 3.The leads 3 formed by the flat copper conductors are inserted into the. Insulating body 1. The insulating body 1 consists of a pipe of circular or other cross-section made of insulating material. The internal dimension of the insulating body is greater than the width of the inlets 3. On the side of the working chamber, a groove is formed in the front of the insulating body 1 into which a seal 2 is inserted. On the other side the insulating body 1 is hermetically connected to the insulating spacer 5 to the ends of the secondary thread 4 are soldered inlets 3, the width of which corresponds to the width of the conductor of the secondary thread 4. The inlets 3 are oriented to each other by wider surfaces and the gap between them is approx. . The ends of the leads 3 are provided with contact pads adapted to connect an inductor with low impedance leads. In the inlets 3 longitudinal cooling channels are formed, connected on the side of the secondary thread 4 to its cooling circuit, which is closed by the connected inductor. The inner space of the insulating body 1 is connected to the inner space of the working chamber. A part of the insulating spacer 5 inside the insulating body 1 is protected against infrared radiation from the molten zone by a directly cooled secondary thread 4. To allow the distance between the working chamber and the RF source to be varied and thus the horizontal position of the inductor relative to the ingot, the insulating body 1 can be of variable length. for example, the bellows or telescopic structures of Figures 2 and 3.

Claims

A feedthrough of high-frequency flat transformer feeds to a hermetically separated working chamber of a zonal apparatus, characterized in that the insulating body (1) provided with a through hole freely extending the flat leads (3j), the insulating body (1) being hermetically sealed the seal (2j) is hermetically sealed on the other side by an insulating spacer (5) of the high-frequency surface transformer.

Bushing according to Claim 1, characterized in that the insulating body (1) is of bellows, bellows or telescopic construction.