CS240007B1 - Stavitelný stojan tubusu - Google Patents

Description

Vynález se týká stavitelného stojanu tubusu krokovacích kamer v polovodičovém průmyslu.

Dosud známé stojany tubusu jsou obvykle konstruovány tak, že výškové nastavení i nastavení kolmosti osy tubusu k expoziční rovině substrátu se provádí pomocí držáku tubusu, zatímco stojan je pevný. Nevýhodou takového řešení je, že ta zařízení bezprostředně navazující na tubus, která nejsou pevně spojena s držákem tubusu, se po přestavění tubusu musí opětovně nastavovat, např. při výměně objektivu. V jiném známém provedení se výška nastavuje pomocí držáku tubusu a kolimace vkládáním vložek mezi stojan tubusu a nosnou konstrukci stroje» Toto řešení sice odstraňuje potíže s navazujícími skupinami, avšak nastavení je zdlouhavá a pracné.

Výše uvedené nedostatky jsou odstraněny stavitelným stojanem tubusu podle vynálezu, sestávajícím z příčníku s držákem tubueu a s tubusem, spočívajícího na třech svislých opěrách. Jeho podstatou je příčník ve tvaru nesouměrného T, v němž jsou vytvořeny tři válcové otvory. V xaždém z těchto otvorů je pohyblivě uložen plunžr s důlky v obou čelech, sevřený válcovou čelistí. K plunžru je shora stavěcím Šroubem pohyblivým v matici pevné spojené s příčníkem přitlaČována kuličxa. btavěcí šroub je zakončen kotoučem s dělením. Zdola je plunžr v dotyku s kuličkou. Tato kulička je volně pohyblivá ve V drážce# vytvořené v kalené vložce pevně spojené s opěrou. Osy všech tří drážek jsou směrovány do středu kružnice opsané středy kuliček.

Sevření plunžrů válcovými Čelistmi po seřízení zajištuje velkou tuhost systému v příčném směru. Definovaným směrováním V drážek v kalených vložkách opér je zajištěna jednak statická určitost uložení a dále jednoznačná poloha tubusu vůči substrátu ve vodorovné rovině. Celý systém umožňuje nastavit kolmost osy tubu240 007 su k expoziční rovině substrátu, výškově nastavit tubus při předepsaném zvětšení objektivu, dále zdvihnout tubus při manipulaci v prostoru expoziční roviny substrátu a opětovně jej nastavit do výchozí polohy bez porušení kolimace a zvětšeni objektivu· Stihlé opěry ponechávají dostatečný volný prostor pro umístění křížového stolu s interferometrem, vkládacího a vyjímacího zařízení* substrá tů, předorientační jednotky apod·

Na přiložených výkresech je schematicky zobrazeno konkrétní provedení stavitelného stojanu tubusu,' a to na obr. 1 částečný ná rysný řez jedním opěrným místem příčníku a na obr» 2 půdorys přič niku ve tvaru nesouměrného Ϊ s V drážkami v kalených vložkách·

Příčník 1 nese v držáku % tubusu vlastní tubus 10. V opěrném místě je nad válcovým otvorem s příčníkem 1 pevně spojena matice 11 a v ní se pohybuje stavěči šroub 2 zakončený kotoučem 4. s děle ním. Stavěči šroub 2 se opírá prostřednictvím kuličky 6 o důlek v horním čele plunžru 4. S výhodou je použita sériově vyráběná ku lička do kuličkových ložisek. Půlku ve spodním čele plunžru 4 se dotýká kulička 6, položená do V drážky v kalené vložce 2. pevně spujené s opěrou 8 a v ní volně pohyblivá. Opěra 8 má tvar štíhlé ho válce nebo hranolu a je upevněna na nosnou konstrukci stroje_e Plunžr 4 je po seřízení stavěcím šroubem 2 znehybněn sevřením ve válcové čelisti 5.· Válcová čelist £ je konstruována jako dva válce, jeden se závitem a druhý s průchozím otvorem pro šroub. Válce jsou vloženy do otvoru, tečně vrtaného v rovině kolmé na osu otvo ru pro plunžr 4. Válce se vzájemným stažením pomocí šroubu opřou upravenými plochami o povrch plunžru 4, a tím jej aretují. Osy V drážek v kalených vložkách 7 jsou směrovány do středu 12 kružnice opsané středy kuliček 6.

Stavitelný stojan tubusu podle vynálezu může být využit i u různých měřicích zařízení, přístrojů apod.

Claims (2)

PŘEDMĚT VYNÁLEZU 240 007

1» Stavitelný stojan tubusu, sestávající z příčníku s držákem tubusu a s tubusem, spočívajícího na třech svislých opěrách, vyznačující se tím, že v příčníku (1) ve tvaru nesouměrného T jsou vytvořeny tři válcové otvory a v každém z nich je pohyblivě uložen plunžr (4) s důlky v obou čelech, sevřený válcovou čelistí (5), k němuž je shora stavěcím šroubem (2) pohyblivým v matici (11) pevně spojené s příčníkem (1) přitlačovéna kulička (6), přičemž zdola je plunžr (4) v dotyku s kuličkou (6), volně pohyblivou ve V drážce, vytvořené v kalené vložce (7) pevně spojené s opěrou (8) tak, že osy všech tří drážek jsou směrovány do středu (12) kružnice opsané středy kuliček (6).

2» Stavitelný stojan tubusu podle bodu 1, vyznačující se tím, že stavěči šroub (2) je zakončen kotoučem (3) s dělením₀