CS240007B1

CS240007B1 - Adjustable body tube stand

Info

Publication number: CS240007B1
Application number: CS845582A
Authority: CS
Inventors: Bohumil Slavata
Original assignee: Bohumil Slavata
Priority date: 1984-07-20
Filing date: 1984-07-20
Publication date: 1986-02-13
Also published as: CS558284A1

Abstract

Stavitelný stojan tubusu je určen zejména pro krokovací kamery v polovodičovém průmyslu. Sestává z příčníku ve tvaru nesouměrného T s držákem tubusu a s tubusem, který spočívá ve třech svislých opěrách. Pohybuje se pomocí plunžrů ve válcových otvorech v příčníku, ovládaných stavěcími šrouby. Systém má dostatečně velkou tuhost v příčném směru a zajišťuje statickou určitost uložení.The adjustable tube rack is designed especially for jogging cameras in semiconductor industry. It consists of a crossbar shaped asymmetric T with tube holder and tube, which consists of three vertical Opera. It moves through the plungers in cylindrical holes in the crossbar, controlled set screws. The system has enough great stiffness in the transverse direction and ensures Static storage stability.

Description

Vynález se týká stavitelného stojanu tubusu krokovacích kamer v polovodičovém průmyslu.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an adjustable stepping tube tube of walking cameras in the semiconductor industry.

Dosud známé stojany tubusu jsou obvykle konstruovány tak, že výškové nastavení i nastavení kolmosti osy tubusu k expoziční rovině substrátu se provádí pomocí držáku tubusu, zatímco stojan je pevný. Nevýhodou takového řešení je, že ta zařízení bezprostředně navazující na tubus, která nejsou pevně spojena s držákem tubusu, se po přestavění tubusu musí opětovně nastavovat, např. při výměně objektivu. V jiném známém provedení se výška nastavuje pomocí držáku tubusu a kolimace vkládáním vložek mezi stojan tubusu a nosnou konstrukci stroje» Toto řešení sice odstraňuje potíže s navazujícími skupinami, avšak nastavení je zdlouhavá a pracné.Previously known tube racks are generally designed such that the height adjustment and the perpendicular adjustment of the tube axis to the exposure plane of the substrate are performed by the tube holder, while the frame is fixed. A disadvantage of such a solution is that those devices immediately adjacent to the tube which are not firmly connected to the tube holder must be readjusted after the tube has been adjusted, for example when changing the lens. In another known embodiment, the height is adjusted by means of a tube holder and collimation by inserting inserts between the tube stand and the machine support structure. This solution eliminates the problems with the downstream groups, but the adjustment is lengthy and laborious.

Výše uvedené nedostatky jsou odstraněny stavitelným stojanem tubusu podle vynálezu, sestávajícím z příčníku s držákem tubueu a s tubusem, spočívajícího na třech svislých opěrách. Jeho podstatou je příčník ve tvaru nesouměrného T, v němž jsou vytvořeny tři válcové otvory. V xaždém z těchto otvorů je pohyblivě uložen plunžr s důlky v obou čelech, sevřený válcovou čelistí. K plunžru je shora stavěcím Šroubem pohyblivým v matici pevné spojené s příčníkem přitlaČována kuličxa. btavěcí šroub je zakončen kotoučem s dělením. Zdola je plunžr v dotyku s kuličkou. Tato kulička je volně pohyblivá ve V drážce# vytvořené v kalené vložce pevně spojené s opěrou. Osy všech tří drážek jsou směrovány do středu kružnice opsané středy kuliček.The above drawbacks are overcome by the adjustable tube stand according to the invention, consisting of a cross-member with a tube holder and a tube resting on three vertical supports. It is based on a non-symmetrical T-beam in which three cylindrical holes are formed. In each of these openings, a plunger with pits in both faces is movably mounted, clamped by a cylindrical jaw. The balls are pressed against the plunger by means of an adjusting screw movable in a nut fixed to the crossbar. The melt screw is terminated with a cutting disc. Below the plunger is in contact with the ball. This ball is freely movable in the V groove # formed in the hardened insert firmly connected to the abutment. The axes of all three grooves are directed to the center of the circle circumscribed by the centers of the balls.

Sevření plunžrů válcovými Čelistmi po seřízení zajištuje velkou tuhost systému v příčném směru. Definovaným směrováním V drážek v kalených vložkách opér je zajištěna jednak statická určitost uložení a dále jednoznačná poloha tubusu vůči substrátu ve vodorovné rovině. Celý systém umožňuje nastavit kolmost osy tubu240 007 su k expoziční rovině substrátu, výškově nastavit tubus při předepsaném zvětšení objektivu, dále zdvihnout tubus při manipulaci v prostoru expoziční roviny substrátu a opětovně jej nastavit do výchozí polohy bez porušení kolimace a zvětšeni objektivu· Stihlé opěry ponechávají dostatečný volný prostor pro umístění křížového stolu s interferometrem, vkládacího a vyjímacího zařízení* substrá tů, předorientační jednotky apod·The clamping of the plungers by the cylindrical jaws after adjustment ensures high rigidity of the system in the transverse direction. By defining the direction of the V grooves in the hardened seat inserts, the static position of the bearing and the unequivocal position of the tube relative to the substrate in the horizontal plane are ensured. The whole system allows to adjust the perpendicular axis of the tube240 007 su to the exposure plane of the substrate, to adjust the height of the tube at the prescribed lens magnification, to lift the tube while manipulating in the substrate exposure plane. free space for placing the cross table with interferometer, insertion and removal device * of substrates, pre-orientation unit etc. ·

Na přiložených výkresech je schematicky zobrazeno konkrétní provedení stavitelného stojanu tubusu,' a to na obr. 1 částečný ná rysný řez jedním opěrným místem příčníku a na obr» 2 půdorys přič niku ve tvaru nesouměrného Ϊ s V drážkami v kalených vložkách·The attached drawings show schematically a specific embodiment of the adjustable tube stand, in Fig. 1 a partial cross-sectional view of one support point of the crossbar and Fig. 2 shows a plan view of an asymmetric cross-section Ϊ with V grooves in hardened inserts.

Příčník 1 nese v držáku % tubusu vlastní tubus 10. V opěrném místě je nad válcovým otvorem s příčníkem 1 pevně spojena matice 11 a v ní se pohybuje stavěči šroub 2 zakončený kotoučem 4. s děle ním. Stavěči šroub 2 se opírá prostřednictvím kuličky 6 o důlek v horním čele plunžru 4. S výhodou je použita sériově vyráběná ku lička do kuličkových ložisek. Půlku ve spodním čele plunžru 4 se dotýká kulička 6, položená do V drážky v kalené vložce 2. pevně spujené s opěrou 8 a v ní volně pohyblivá. Opěra 8 má tvar štíhlé ho válce nebo hranolu a je upevněna na nosnou konstrukci stroje_ePlunžr 4 je po seřízení stavěcím šroubem 2 znehybněn sevřením ve válcové čelisti 5.· Válcová čelist £ je konstruována jako dva válce, jeden se závitem a druhý s průchozím otvorem pro šroub. Válce jsou vloženy do otvoru, tečně vrtaného v rovině kolmé na osu otvo ru pro plunžr 4. Válce se vzájemným stažením pomocí šroubu opřou upravenými plochami o povrch plunžru 4, a tím jej aretují. Osy V drážek v kalených vložkách 7 jsou směrovány do středu 12 kružnice opsané středy kuliček 6.The crossbeam 1 carries its own tube 10 in the tube holder 10. The adjusting screw 2 is supported by a ball 6 on the indentation in the upper face of the plunger 4. Preferably, a ball-bearing ball produced in series is used. The half in the lower face of the plunger 4 is touched by a ball 6, placed in a V groove in the hardened insert 2 firmly coupled to the support 8 and movable therein. The abutment 8 has the shape of a slender cylinder or prism it is fastened to the supporting structure of the machine _e plunger 4 after adjusting the adjustment screw 2 is immobilized by clamping jaws in a cylindrical fifth · £ jaw cylinder is designed as two rollers with a thread and with the second through hole for screw. The rollers are inserted into a hole tangentially drilled in a plane perpendicular to the axis of the opening for the plunger 4. The rollers are pulled together by means of a screw to support the treated surfaces against the surface of the plunger 4, thereby locking it. The axes of the grooves in the hardened inserts 7 are directed to the center 12 of the circle circumscribed by the centers of the balls 6.

Stavitelný stojan tubusu podle vynálezu může být využit i u různých měřicích zařízení, přístrojů apod.The adjustable tube stand according to the invention can also be used in various measuring devices, instruments and the like.

Claims

OBJECT OF THE INVENTION 240 007

1 »Adjustable tube stand consisting of a crossmember with a tube holder and a tube resting on three vertical supports, characterized in that three cylindrical holes are formed in the non-symmetrical T-shaped crossmember (1) and each of them has a plunger ( 4) with pits in both faces, gripped by a cylindrical jaw (5), to which a ball (6) is pressed against the crossbar (1) from above by a set screw (2) movable in a nut (11), the bottom being a plunger (4) in contact with the ball (6) freely movable in the V groove formed in the hardened insert (7) firmly connected to the support (8) so that the axes of all three grooves are directed to the center (12) of the circle circumscribed by the centers of the balls (6).

2 »Adjustable tube stand according to claim 1, characterized in that the set screw (2) is terminated by a disk (3) with a ₀ division