CS239969B1 - Pracovní komora zonální aparatury pro zpracování vysoce čistého materiálu - Google Patents

Abstract

Účelem řešení je zjednodušení výroby, usnadnění montáže pracovní komory a zmenšení ztrátového výkonu. Uvedeného účelu je dosaženo pracovní komorou ve tvaru monolitického kovového hranolu, ve kterém je vytvořen pracovní prostor a soustava chladicích kanálků s drážkami. Pracovní prostor je opatřen průchozími otvory podle svislé osy a vnější stěny hranolu tvoří stykové plochy pro další díly pracovní komory.

Description

(54)

PETRŽELA JAN; PETRÁŠEK JOSEF, PRAHA

Pracovní komora zonální aparatury pro zpracování vysoce čistého materiálu

Účelem řešení je zjednodušení výroby, usnadnění montáže pracovní komory a zmenšení ztrátového výkonu.

Uvedeného účelu je dosaženo pracovní komorou ve tvaru monolitického kovového hranolu, ve kterém je vytvořen pracovní prostor a soustava chladicích kanálků s drážkami. Pracovní prostor je opatřen průchozími otvory podle svislé osy a vnější stěny hranolu tvoří stykové plochy pro další díly pracovní komory.

239 969

Vynález se týká pracovní komory zonální aparatury pro zpracování vysoce čistého materiálu, zejména křemíku·

Pracovní komory zonálních aparatur bývají v podstatě dvojího typu. Nej jednodušší jsou pracovní komory jednopláščové, válcového nebo hranolového tvaru. Jsou obvykle vyrobeny z nerezového plechu a opatřeny přírubami pro připojení průzorů, dvířek, průchodek a pod. Chlazeny jsou prostřednictvím kovových trubek, kterými protéká chladící kapalina, připájenými k povrchu pracovní komory. Výroba těchto pracovních komor vyžaduje velké množství rukodělné práce.

častěji se užívají pracovní komory dvouplášíové, kde chladící kapalina protéká prostorem mezi vnějším a vnitřním pláštěm.

Tato pracovní komora je dokonalejší, ale její konstrukce vyžaduje velké množství těsných svarů při připojování hrdel a spojování plášťů. Hrdlo s přírubou sloužící k připojení vysokofrekvenčního zdroje nepříznivě prodlužuje vzdálenost mezi vysokofrekvenčním zdrojem a induktorem.

Výše uvedené nevýhody odstraňuje pracovní komora zonální aparatury podle vynálezu, jejíž podstatou je, že pracovní komora je tvořena monolitickým kovovým blokem ve tvaru hranolu. V bloku je vytvořen pracovní prostor, například ve tvaru průniku koule

239 969 hranolem® Stěny bloku jsou vytvořeny jako styčná plocha pro přímé připojení horního a dolního víka, průzoru a průchodky» Pracovní prostor je opatřen průchozími otvory podle svislé osy a blok je opatřen soustavou chladicích kanálků® Soustava chladicích kanálků je tvořena vnějšími kruhovými chladicími drážkami v bloku·, umístěnými okolo průchozích otvorů, propojenými propojovacími kanálky se svislými chladicími kanálky, které jsou umístěny podél hran bloku® Vnější kruhové chladicí drážky jeou uzavřeny horním a dolním víkem®

Výhodou pracovní komory podle vynálezu je její snadná výroba, protože odpadá množství těsných svarů® Její montáž je jedno* duchá, protože další díly jako průzory, průchodky a podobně jsou připojeny přímo na vnější stěny pracovní komory* Další výhodou je zkrácení vzdálenosti středu induktoru od vysokofrekvenčního zdroje, které se projevuje zmenšením ztrátového výkonu® Způsob připojení ostatních dílů pracovní komory k jejím stěnám umožňuje širší možnosti při výběru materiálu pro její výrobu a značně snižuje výrobní náklady®

Na připojeném výkresu je na obr® 1 znázorněna pracovní komora podle vynálezu v bočním průmětu se sejmutými víky a na obr® 2 je pracovní komora se soustavou chladicích kanálků v řezu® Příklad konkrétního provedení

Základním dílem pracovní komory je blok _1 hranolového tvaru, vyrobený z duralu® V bloku 1 je vytvořen pracovní prostor 2 ve tvaru průniku kulové plochy hranolem® Vnitřní stěny pracovního prostoru 2 jsou vyleštěny® Pracovní prostor 2 je na horní a spodní straně otevřen kruhovými průchozími otvory 2, kterými při tavení prochází zpracovávaný ingot® Boční stěny bloku 1 opatřené otvorem 4 pro průchodku a otvorem J pro .průzor jsou jemně opracované® Dále je blok 1 opatřen vnějšími kruhovými chladicími drážkami 8, umístěnými okolo průchozích otvorů χ. V rozích bloku 1 jsou podél jeho hran vytvořeny svislé chladicí kanálky J, které jsou prostřednictvím propojovacích kanálků 10 spojeny s vnějšími kruhovými chladicími drážkami 8® Ve svislých ©hladicích kanálkách J jsou zasunuty čepy 12, na obou koncích opatřené pryžovým těsněním 11 a otvory se závity® Střední část čepů 12 je zúžená na cca jednu polovinu jejich průměru® K horní a dolní stěně bloku 1 jsou prostřednictvím čepů 12 a šroubů 15 připevně239 969 na víka 13 a 14 opatřená pryžovým těsněním a na vnější straně hrdlovým sroubením·

Pracovní prostor 2 může být vytvořen i ve tvaru válce, případně rotačního paraboloidu nebo elipsoidu» Vnitřní stěny pracovního prostoru 2 jsou vyleštěny pro dobrý odraz infračervených paprsků, Vnější stěny bloku 1 jsou jemně opracovány, protože slouží jako montážní a těsnící plochy pro připojování ostatních dílů, například průzorů, průchodky a pod. Tyto díly jsou k bloku i připojeny libovolnými mechanickými prostředky s těsněním·

Jako materiál pro výrobu bloku 1 je nejvhodnější dural pro svoji snadnou obrobitelnost, malou hmotnost, dobrou tepelnou vodivost a odrazitelnost v oblasti tepelného sálání» Vnější kruhové chladicí drážky 8 jsou uzavřeny utěsněnými víky 13 a 14» čímž se vytvoří kruhové chladící kanálky.

Horní a dolní utěsněná část čepů 12 slouží jako uzávěr svislých chladicích kanálků £ a současně jako matice pro šrouby 15· kterými se víka 13 a 14 připojují k bloku 1» Střední část čepů 12 je zeslabena, aby nedocházelo k úplnému uzavření svislých chladicích kanálků 2· Víka 13 a 14 mohou být případně nahrazena přímo připojovacími přírubami manipulačních komor.

Claims (4)

1. Předmět vynálezu

   239 969

   1· Pracovní komora zonální aparatury pro zpracování vysoce čistého materiálu, vyznačená tím , že je tvořena blokem /1/ ve tvaru monolitického kovového hranolu, ve kterém je vytvořen pracovní prostor /2/ a stěny bloku /1/ jsou vytvořeny jako styčná plocha pro přímé připojení horního víka /13/, dolního víka /14/, průchodky a průzoru, která je opatřena otvorem /5/ pro průzor a otvorem /4/ pro průchodku, přičemž pracovní prostor /2/ je opatřen průchozími otvory /7/ podle svislé osy a blok /1/ je opatřen soustavou chladících kanálků*
2. 2. Pracovní komora podle bodu 1 , vyznačená tím , že pracovní prostor /2/ je ve tvaru průniku koule hranolem nebo krychlí.
3. 3* Pracovní komora podle bodu 1 a 2 , vyznačená tím , že soustava chladících kanálků je tvořena vnějšími kruhovými chladícími drážkami /8/, umístěnými okolo průchozích otvorů /7/, propojenými propojovacími kanálky /10/ se svislými chladícími kanálky /9/ umístěnými podél hran bloku /1/, přičemž vnější kruhové chladící drážky /8/ jsou uzavřeny víky /13/ a /14/.
4. 4· Pracovní komora podle bodů 1,2 a 3 , vyznačená tím , že do svislých chladicích kanálků /9/ jsou vloženy utěsněné svorníky /12/, ve střední části zeslabené.