CS229600B1 - Průchodka induktoru pro vysokofrekvenční pásmovou tavbu - Google Patents

Abstract

Účelem vynálezu je zvýšení účinnosti induktoru, zjednodušení a urychlení jeho montáže při dosažení vysoké těsnosti. Uvedeného účelu se dosáhne průchodkou induktoru, která je tvořena tělesem průchodky, opatřeným těsnicí plochou lícovanou na přírubu praccvní komory. Vnitřní prostor tělesa průchodky je vyplněn izolační vložkou s osovým dorazem, vzájemně utěsněnou s tělesem průchodky a opatřenou otvory. V otvorech jsou hermeticky uloženy přívcdy vysokofrekvenční energie vzájemně utěsněné a opatřené chladicími kanálky. Přívody vysokofrekvenční energie jsou v přítlačném styku s izolační vložkou a s izolační přítlačnou deskou. Na straně induktoru jsou přívody vysokofrekvenční energie opatřeny těsnicí kontaktní plochou a připojovacími otvory.

Description

Účelem vynálezu je zvýšení účinnosti induktoru, zjednodušení a urychlení jeho montáže při dosažení vysoké těsnosti.

Uvedeného účelu se dosáhne průchodkou induktoru, která je tvořena tělesem průchodky, opatřeným těsnicí plochou lícovanou na přírubu praccvní komory. Vnitřní prostor tělesa průchodky je vyplněn izolační vložkou s osovým dorazem, vzájemně utěsněnou s tělesem průchodky a opatřenou otvory. V otvorech jsou hermeticky uloženy přívcdy vysokofrekvenční energie vzájemně utěsněné a opatřené chladicími kanálky. Přívody vysokofrekvenční energie jsou v přítlačném styku s izolační vložkou a s izolační přítlačnou deskou. Na straně induktoru jsou přívody vysokofrekvenční energie opatřeny těsnicí kontaktní plochou a připojovacími otvory.

Vynález se týká průchodky induktoru pro vysokofrekvenční pásmovou tavbu vysoce čistých materiálů, zejména křemíku.

Při vysokofrekvenční tavbě ingotů vysoce čistých materiálů se používá k ohřevu ingotu induktoru ve formě jedna- nebo vícezávitové cívky, která je připojena prostřednictvím průchodky ke zdroji vysokofrekvenční energie a chladicí kapaliny. Na průchodku jsou kladeny značné nároky, zejména na její těsnost, protože se tavba většinou provádí ve vysokém vakuu nebo ochranném prostředí, a na její dokonalou izolaci proti vysokému vysokofrekvenčnímu napětí.

U dosud známých průchodek induktoru je odizolování přívodů vysokofrekvenční energie provedeno například pomocí desky z izolačního materiálu, těsněné proti montážní přírubě pracovní komory, nebo pomocí trubkových izolantů, jimiž prochází jeden nebo oba přívody vysokofrekvenční energie. Tyto průchodky induktoru jsou pevně spojeny s montážní přírubou pracovní komory, mnohdy těžko přístupnou, což ztěžuje dokonalé a spolehlivé utěsnění přívodů vysokofrekvenční energie, těžko se reprodukovatelně ustavuje poloha induktoru vzhledem k rotační ose taveného ingotu a výměna induktoru je zdlouhavá.

U dalšího známého provedení průchodky induktory je připojení přívodů vysokofrekvenční energie k induktoru provedeno pomocí převlečné matice a osazení s čelným těsněním proti chladicí kapalině pomocí O kroužků. V tomto případě se opět obtížně reprodukovatelně ustavuje poloha induktoru a nelze zaručit potřebnou minimální vzdálenost přívodů vysokofrekvenční energie, které vykazují velkou sériovou indukčnost. Též se používají průchodky, kde je induktor měkce připájen k přívodům vysokofrekvenční energie. Nevýhodou je nutnost použití pájedla, které znečišťuje pracovní komoru, pbtížné nastavování polohy induktoru, zdlouhavá montáž a možnost uvolnění pájených spojů i při intenzívním chlazení.

Výše uvedené nedostatky odstraňuje průchodka induktoru podle vynálezu, jejíž podstatou je, že je tvořena tělesem průchodky opatřeným dosedací těsnicí plochou, lícovanou na přírubu pracovní komory. Vnitřní prostor tělesa průchodky je vyplněn izolační vložkou s osovým dorazem, vzájemně utěsněnou s tělesem průchodky a opatřenou otvory. V otvorech jsou hermeticky uloženy přívody vysokofrekvenční energie, opatřené chladicími kanálky a vzájemně utěsněné. Přívody vysokofrekvenční energie jsou v přítlačném styku s izolační vložkou a s izolační deskou. Na straně induktoru jsou přívody vysokofrekvenční energie opatřeny těsnicí kontaktní plochou a připojovacími otvory.

Průchodka induktoru podle vynálezu tvoří s induktorem kompaktní celek, což umožňuje rychlou a snadnou výměnu induktoru. Její montáž je snadná při d.sažení vysoké těsnosti proti vakuu, přetlaku a chladicí kapalině. Vzhledem k velké kontaktní ploše připojovacích přírub induktoru k přívodům vysokofrekvenční energie jsou ohmické ztráty v průchodce induktoru malé a volbou vhodné rozteče přívodů vysokofrekvenční energie je možno snížit sériovou indukčmost, čímž se zvýší účinnost induktoru.

Na připojeném výkresu je znázorněn příklad provedení průchodky induktoru podle vynálezu.

Příklad provedení

Vnitřní prostor tělesa průchodky 1, které je opatřeno dosedací těsnicí plochou 2, lícovanou na přírubu 21 pracovní komory, je vyplněn izolační vložkou 3, utěsněnou v tělese průchodky 1 prostřednictvím úkosu 13 a O kroužku 14. Izolační vložka 3 je opatřena dvěma otvory 4, ve kterých jsou umístěny dva masívní kovové přívody vysokofrekvenční energie 5, které jsou utěsněny vzájemně i s izolační vložkcu 3 prostřednictvím drážek 15 a O kroužků 16. K přitlačení a spojení tělesa průchodky 1, izolační vložky 3 a přívodů vysokofrekvenční energie 5 slouží izolační deska 7. Přívody vysokofrekvenční energie 5 jsou pro ustavení jejich polohy opatřeny čtyřhrannou hlavicí 17 a poloha ve směru osy průchodky je zajištěna šrouby 11 v izolační desce 7. Přívody vysokofrekvenční energie 5 jsou opatřeny chladicími kanálky 6, které navazují na straně induktoru na otvory 18 přírub 10 induktoru. Připojení přírub 10 induktoru k přívcdům vysokofrevenční energie 5 je zajištěno kontaktními plochami 8 a upevňovacími šrouby 9. Spoj je utěsněn O kroužky 19. Na vnější straně pracovní komory jsou přívody vysokofrekvenční energie připojeny ke zdroji vysokofrekvenčního proudu a chladicí kapaliny. Chlazení tělesa průchodky 1 je zajištěno chladicím kanálkem 12 nebo trubkovým chladičem 20.

Průchodku induktoru podle vynálezu je možno použít ve všech zařízeních pro vysokofrekvenční pásmovou tavbu, kde se používá induktoru ve formě jedno- nebo vícezávitové cívky.

Claims (3)

1. PŘEDMĚT

   1. Průchodka induktoru pro vysokofrekvenční pásmovou tavbu, vyznačená tím, že je tvořena tělesem průchodky (1), opatřeným dosedací těsnicí plochou (2), lícovanou na přírubu (21) pracovní komory, přičemž vnitřní prostor tělesa průchodky (1) je vyplněn izolační vložkou (3) s osovým dorazem, vzájemně s ním utěsněnou a opatřenou otvory (4), v nichž jsou hermeticky uloženy přívody vysokofrekvenční energie (5), opatřené chladicími kanálky (6) a vzájemně utěsněné, společně s izolační vložkou (3) přitlačené z vnější strany příruby (21) pracovní komory izolační deskou (7), přičemž na straně induktoru jsou přívody vysokofrekvenční energie (5) opatřeny chladicími

   VYNÁLEZU kanálky (6) a vzájemně utěsněné, společně s izolační vložkou (3) přitlačené z vnější strany příruby (21) pracovní komory izolační deskou (7), přičemž na straně induktoru jsou přívody vysokofrekvenční energie (5) opatřeny těsnicí kontaktní plochou (8) a připojovacími otvory (10).
2. 2. Průchodka induktoru podle bodu 1, vyznačená tím, že přívody vysokofrekvenční energie (5) jsou opatřeny stavěcími prostředky (11).
3. 3. Průchodka induktoru podle bodů 1 a 2, vyznačená tím, že těleso průchodky (1) je opatřeno chladicím kanálkem (12) nebo trubkovým meandrem (20 j.

   1 list výkresů