CS224389B1 - Interferometr pro kontrolu přesnosti rovinných leštěných ploch - Google Patents

Description

Vynález se týká interferometru pro kontrolu ' přesnosti rovinných leštěných ploch, zvláště funkčních rovinných ploch optických prvků.

Pro kontrolu rovinnosti leštěných ploch s vysokou přesností rovinnosti se užívají různé typy * interferometrů. Nejběžnější interferometr je podle Fizeaua, jehož princip spočívá v tom, že vlnoplocha, vycházející ze zdroje koherentního záření, prochází děličem a v rovinnou vlnoplochu je kolimována objektivem. Tato rovinná vlnoplocha prochází referenční deskou a odráží se od kontro' lované rovinné plochy zkoušeného předmětu. Tím dochází k interferenci světla mezi rovinnými plochami zkoušeného předmětu a referenční desky. Vzniklé interferenční proužky jsou pozorovány ! prostřednictvím zmíněného děliče světla. Nevýhoda takového, i obdobných zařízení, pracujících na obdobném principu, spočívá v nutnosti dokonale přesné referenční desky a současně i bezaberačního objektivu.

Vzhledem k tomu, že přístroje na kontrolu rovinnosti ploch jsou v sériové výrobě stále více požadovány, vznikl požadavek vyřešit konstrukčně jednoduchý kontrolní přístroj, který by zaručoval přesnou kontrolu rovinných, funkčně důležitých ploch vyráběných částí.

Tento úkol řeší předmět vynálezu, kterým je interferometr pro kontrolu přesnosti rovinných (224389 leštěných ploch, zvláště funkčních rovinných ploch optických prvků.

Podstata vynálezu spočívá v tom, že interferometr je tvořen bodovým zdrojem koherentního záření, děličem a objektivem, jehož poslední optická plocha, přivrácená ke kontrolované rovinné ploše předmětu, je rovinná.

Interferometr podle vynálezu je především konstrukčně jednoduchý a jeho hlavní výhoda spočívá v tom, že referenční deska není nutná. Tím odpadá jeden optický prvek, který u dosud známých interferometrů tvořil zásadní část celé soustavy. Navíc je tento vyřešený interferometr jednodušší na justáž a výrobně jednodušší.

Příkladné provedení interferometru je schematicky znázorněno na přiloženém výkrese.

Z tohoto výkresu vyplývá, že interferometr je tvořen koherentním zdrojem Z, děličem D a objektivem O, jehož poslední optická plocha O! je rovinná.

Svazek světla, vycházející z kohorentního zdroje Z prochází děličem D a je kolimován objektivem O, jehož poslední optická plocha O_x, přivrácená ke kontrolované rovinné ploše Pí předmětu P je dokonale rovinná a je vyrobena v interferometrické kvalitě. Tím nahrazuje referenční desku, která je nutná u známých interferometrů podobné, jednoduché stavby. K interferenci světla dochází

I mezi rovinnou plochou Pí zkoušeného předmětu I ' P a rovinnou plochou Oj objektivu O. Vzniklé interferenční proužky, pozorované okem K přes I dělič D, demonstrují kvalitu kontrolované rovinné plochy P,.

I S celým zařízením se tady pracuje obdobně jako se známým interferometrem podle Fizeaua, Předmět P je uložen na justážním vozíku, aby jej bylo možno nastavit’ do takové polohy, aby poslední i optická plocha O, byla rovnoběžná s měřenou

Claims (1)

1. | Interferometr pro kontrolu přesnosti rovinných i leštěných ploch, zvláště funkčních rovinných ploch ί optických prvků, vyznačující se tím, že je tvořen i bodovým zdrojem,koherentního záření (Z), děli2 ' rovinnou plochou P_x předmětů P. Jako zdroj^: koherentního světla Z je vhodné použít laser i s módovou clonou o výkonu kolem 0,5 mW. Interferometr podle vynálezu je možno použít pro všechna kontrolní měření rovinnosti leštěných rovinných ploch, zvláště funkčních rovinných ploch optických prvků, u kterých se vyžaduje přesnost měření ve zlomcích vlnových délek použitého světla.

   VYNÁLEZU čem (D) a objektivem (O), jehož poslední optická plocha (Oj), přivrácená ke kontrolované rovinné ploše (PJ předmětu (P), je rovinná.