CS224222B1 - Zařízení k centrování katody - Google Patents
Zařízení k centrování katody Download PDFInfo
- Publication number
- CS224222B1 CS224222B1 CS362182A CS362182A CS224222B1 CS 224222 B1 CS224222 B1 CS 224222B1 CS 362182 A CS362182 A CS 362182A CS 362182 A CS362182 A CS 362182A CS 224222 B1 CS224222 B1 CS 224222B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- flange
- cathode
- chamber
- nozzle chamber
- centering
- Prior art date
Links
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
Vynález se týká zařízení k centrování katody v komoře trysky elektronově optiokého přístroje, například elektronového 11tografu.
Ultravakuové elektronově optické zařízení, například elektronový litograf, nebo rastrovací elektronový mikroskop/vyžadují k zajištění vysokovakuového provozu zcela jiné konstrukční a technologloké provedení/než jaká dostačují u zařízení praoují—6 1 cích s vakuem do 10 torr. U ultravakuovýoh zařízení nelze pohyby elementů optioké soustavy provádět dosud běžně známými mechanizmy a vakuově těsnícími prvky· Tím vznikají nové konstrukční problémy/ při řešeni posuvu ovládaného z vnější atmosféry do ultravakua přímo za provozu· Například systém elektronově optioké trysky s autoemisní katodou vyžaduje doladění do osy elektronového svazku a anody za provozu v rozsahu stovek mikronů. Dosavadní známé konstrukoe/ nelze k tomuto účelu využít, poněvadž nezaručují dostatečně nízké natékání plynů a mohou za provozu snadno způsobit vznik netěsnosti ultravakuového prostoru.
Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zařízení k centrování katody v komoře trysky elektronově optiokého přístroje, jehož podstatou je, že výkyvná příruba, na které je vertikálně upevněn systém katody, je spojena s komorou trysky pružným členem, například dvěma ocelovými mezikroužky, podél vnitřního obvodu svařenými, přičemž příruba komory překrývající pružný člen, je opatřena střídavě po čelním obvodě umístěnými třemi odtlačovacími šrouby, opírajícími se o výkyvnou přírubu a třemi aretačními šrouby, zapadajícími do výkyvné příruby.
Hlavní předností toboto zařízení je/konstrukční jednoduohost při dostatečné montážní pohyblivosti dílů, vůči sobě a možnost
-I
224 222 rychlého centrování katodového systému za provozu, pomocí odtlačovacích a aretačnícb šroubů při zachování ultravakuového provozu.
Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je v oso vém řezu naznačena komora trysky s centrovatelným katodovým systémem.
Základní součástí zařízení je komora 1 trysky, v jejímž dně je umístěna anoda JLO· Centrická komora 1 trysky je zakončena pružným členem J* sestávajícím ze dvou ocelových mezikroužků 14, které jsou podél vnitřního obvodu vakuotčsnč spojeny. Jeden mezikroužek 14 je vnějším obvodem spojen s komorou 1 trysky a druhý mezikroužek l4 s výkyvnou přírubou Zpevnění pružného mezičlenu 4 je provedeno dvěma meziprstenči K výkyvné přírubě 2, J® upevněn katodový systém 8, který sestává z katody JLO, z Vheneltova válce 11 a keramických nosníků 12, Příruba 2 komory má po čelním obvodě symetricky uspořádány otvory pro dvakrát tři šrouby, v nichž jsou střídavě po sobě umístěny odtlačovací šrouby 6 a aretační šrouby _7> které zapadají do závitu ve výkyvné přírubě
Montáž celého zařízení je poměrně jednoduchá. Mezikroužky l4 se nejdříve svaří na svém vnitřním obvodu tak, že při svařování jsou mezi jejich vnější obvody již volně vloženy meziprstence J5· Takto vzniklý pružný člen 4 se vystředěně vloží mezi komoru JL a výkyvnou přírubu J) a pojistí. Obvodovými sváry se postupně svaří nejdříve výkyvná příruba 2 spolu s vloženým mezikroužkem l4 a jednou hranou meziprstence 2* Druhým svárem se potom spojí komora J. s vloženým druhým mezikroužkem 14 a jednou hranou druhého meziprstence 2* ol>a meziprstence 2 nejsou navzájem spojeny svařováním a dovolují vzájemný pohyb výkyvné příruby 2 a komory JL prostřednictvím na vnitřním obvodě spojeného pružného členu 4. Jako poslední je ke komoře 1. přivařena příruba 2 komory, sloužící jako fixační element. Centrování katodového systému 8 se za provozu provádí pomocí tří odtlačovacícb šroubů 2 opírájících se do čelní plochy výkyvné příruby 2 a ta se zajistí přitažením aretačních šroubů J7, čímž jsou obě příruby 2, 2 vzájemně fixovány v požadované poloze.
224 222
Claims (1)
- P R E D M Ě T VYNÍLEZUZařízení k centrování katody v komoře trysky elektronově optického přístroje, vyznačené tím, že výkyvná příruba (3), na které je vertikálně upevněn katodový systém (8) je spojena s komorou (l) trysky pružným členem (4), například dvěma ocelovými mezikroužky (l4)Jpodél vnitřního obvodu svařenými, přičemž příruba (2) komory překrývající pružný člen (4) je opatřena střídavě po čelním obvodě umístěnými třemi odtlačovaoími šrouby (6) opírajícími se o výkyvnou přírubu (3) a třemi aretačními šrouby (7) zapadajícími do výkyvné příruby (3)·
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS362182A CS224222B1 (cs) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | Zařízení k centrování katody |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS362182A CS224222B1 (cs) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | Zařízení k centrování katody |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS224222B1 true CS224222B1 (cs) | 1984-01-16 |
Family
ID=5376800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS362182A CS224222B1 (cs) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | Zařízení k centrování katody |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS224222B1 (cs) |
-
1982
- 1982-05-18 CS CS362182A patent/CS224222B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4760236A (en) | Method and a support fixture for the manufacture of bellows consisting of annular elements | |
| JPH0560381B2 (cs) | ||
| US3463899A (en) | Device for welding parts by electron bombardment | |
| US20080211403A1 (en) | Photomultiplier | |
| US3240514A (en) | Reactor attachment | |
| JPH06344186A (ja) | 二つの環状部品の電子ビーム突合せ溶接のための内部装置及び該内部装置の使用 | |
| US4244557A (en) | High vacuum seal | |
| CS224222B1 (cs) | Zařízení k centrování katody | |
| US3955796A (en) | Flow control apparatus | |
| US3718353A (en) | Support arrangement | |
| US5491316A (en) | Process and device for the electron beam welding of two parts of a component of large size and in particular of a steam generator of a pressurized water nuclear reactor | |
| US3850796A (en) | Leakproof connection means between hoop and nozzle of pressure vessel | |
| US4475202A (en) | Gas laser | |
| US3047759A (en) | Cathode-ray tube structure | |
| GB2046511A (en) | Electron gun having a low capacitance cathode and grid assembly | |
| GB1593883A (en) | Colour television camera | |
| US3859039A (en) | Planetary cooler for rotary tube furnace | |
| USRE25067E (en) | Electron flow device | |
| US3341657A (en) | Light valve aligning means comprising structural members for mechanically positioning the light valve elements | |
| KR960000530B1 (ko) | 코마보정부재의 인라인 전자총을 갖는 컬러수상관 | |
| US3104026A (en) | Means for securing and sealing large diameter hatches in vacuum and pressure vessels | |
| US3416768A (en) | Low leakage confined seal | |
| GB2165990A (en) | Electron-beam external butt welding of tubes | |
| KR200171928Y1 (ko) | 전자총용벌브스페이서 | |
| JPH0479136A (ja) | Ｘ線イメージ管及びその製造方法 |