CS218270B1 - Rozkladová elektroda snímací elektronky infračerveného záření - Google Patents

Abstract

Vynález se týká rozkladové elektrody snímací elektronky infračerveného záření. Řeší materiál a podklad pro rozkladovou elektrodu snímacích elektronek. Podstata vynálezu spočívá v použití speciální práškové keramiky v želatině nanesené na křemíkové destičce. Vynález může být využit ve vakuové elektronice a v polovodičové technice.

Description

Vynález se týká rozkladové elektrody snímací elektronky infračerveného záření. Řeší materiál a podklad pro rozkladovou elektrodu snímacích elektronek. Podstata vynálezu spočívá v použití speciální práškové keramiky v želatině nanesené na křemíkové destičce. Vynález může být využit ve vakuové elektronice a v polovodičové technice.

Předložený vynález se týká rozkladové elektrody snímací elektronky infračerveného záření s elektronovým snímáním obrazu při infračerveném záření, kdy rozkladová elektroda je zhotovena z materiálu s pyroelektrickými vlastnostmi, což je zvlášť vhodné pro snímací elektronky typu pyroelektrický vidikon—pyrikon.

Dosud známé rozkladové elektrody pyroelektrických snímacích elektronek jsou zpravidla zhotoveny z monokrystalických materiálů s pyroelektrickým jevem, jež s sebou nesou některé obtíže z hlediska technologie zpracování. Jednou z hlavních nevýhod je obtížné získávání monokrystalických materiálů větších průměrů a vysoká křehkost, která při požadavku zeslabování destiček na tloušťku 10 až 30 μΐη vede k vysoké zmetkovitosti. Kromě toho, například vysoce citlivý triglycinsulfát je silně hygroskopický a je třeba v průběhu opracování zabránit přístupu vlhkosti.

V poslední době se objevila možnost použití keramických materiálů i plastických látek na bázi polyvinyífluoridů, ale jejich citlivost je mnohonásobně menší než u krystalických materiálů. Vysoký pyroelektrický koeficient má například germanát olovnatý, z něhož však lze obtížně vypěstovat dostatečně velké krystaly a jehož křehkost silně komplikuje možnost získávání tenkých destiček. Podobné problémy s křehkostí jsou též u některých keramik vykazujících pyroelektrický efekt.

Výše uvedené nedostatky jsou odstraněny rozkladovou elektrodou podle vynálezu, jehož podstatou je to, že se pro rozkladovou elektrodu použije práškové keramiky v želatině. Keramika Pb(Zr, TijCb v prášku, velikost zrn : 1 až 7μτη spojená s želatinou, vytváří kompaktní vrstvičku, silnou 10 až 40 μΐη. Touto vrstvičkou, jež má funkci rozkladové elektrody, je pokryta jedna strana leštěné křemíkové destičky. Tato destička může tvořit vstupní okénko pyroelektrického vidikonu.

Vrstvička keramiky v želatině se na křemíkové destičce vytvoří polevem nebo odstředěním suspenze práškové keramiky ve vodném roztoku želatiny, tak, že 60 až 80% roztok želatiny obsahuje 20 až 50% práškové keramiky Pb(Zr, Ti)O3.

Výhodou materiálu použitého podle vynálezu je jeho poměrně jednoduchá příprava a možnosti zpracování, umožňující zhotovení rozkladové elektrody potřebných rozměrů. Vedle nižší technologické náročnosti při výrobě rozkladové elektrody je výhodná i předpokládaná nižší zmetkovitost při výrobě.

Jako příklad je uvedena rozkladová elektroda, která je vytvořena prostřednictvím suspenze práškové keramiky PbJZr, Ti)O3 ve vodném roztoku fotografické želatiny, a to tak, že 100 ml vodného roztoku želatiny obsahuje 2 g pevné želatiny. Velikost zrn práškové keramiky je 2 až 5 um. Polevem suspenze a jejím sušením čistým vzduchem při pokojové teplotě se na leštěné straně vysokoohmové křemíkové destičky o rozměrech 2)5 mm průměr a 2 mm tloušťka, vytvoří 15 μΐη silná vrstvička keramiky v želatině. Povrch rozkladové elektrody tj. keramiky v želatině se ještě pokryje elektrodou vytvořenou vakuovým napařením 500 A silné vrstvičky oxidu ceričitého CeO2. Křemíková destička pokrytá vrstvičkou keramiky v želatině se použije jako vstupní okénko snímací elektronky pro infračervenou oblast.

Claims (1)

1. Rozkladová elektroda snímací elektronky infračerveného záření s elektronovým snímáním obrazu při infračerveném osvětlení, zhotovená z materiálu s pyroelektrickým jevem, vhodná zvlášť pro pyrikonové sníYNALEZU mací elektronky, vyznačená tím, že jako materiálu s pyroelektrickým jevem je použito práškové keramiky PbJZr, Ti)03 v^želatině, která je nanesena na křemíkové destičce.